JPWO2005114016A1 - ガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図13に、3ラインの供給を行っているプロセスガス供給装置の回路図を示し、図14に、その回路を具体化した機器の設置状態を平面図で示す。プロセスガスエアオペレイトバルブ107が、プロセスガス供給口108を介して図示しないプロセスガスタンクと接続している。プロセスガスエアオペレイトバルブ107は、プロセスガス共通流路105を介して、第2手動弁103A,103B,103Cに接続している。
また、パージガス手動弁110が、パージガス供給口111を介して図示しないパージガスタンクと接続している。パージガス手動弁110は、逆止弁109、パージガス共通流路106を介して、第3手動弁104A,104B,104Cに接続している。第3手動弁104A,104B,104Cは、第1手動弁101A,101B,101Cに接続している。
プロセスガス共通流路105の端部105aは止め栓により封止されている。パージガス共通流路106の端部106aは、止め栓により封止されている。
第4ラインを増設する工事手順を説明する。この工事中は、プロセスガスは供給できず、半導体製造工程も停止している必要がある。
始めに、プロセスガスエアオペレイトバルブ107を閉弁状態とし、第3手動弁104A,104B,104Cを開弁状態とし、第1手動弁101A,101B,101Cを開弁状態とする。その状態で、パージガス手動弁110を開弁する。これにより、プロセスガスエアオペレイトバルブ107から第1手動弁101A,101B,101C内に残っているプロセスガスを窒素ガスであるパージガスと置換する。十分な時間をかけてガス置換を行った後、パージガス手動弁110を閉弁する。
第4ラインの機器の構成は第1から第3ラインの構成と同じなので説明を省略する。第4ラインのパージガス共通流路106の新たな端部106cは、止め栓により封止されている。また、プロセスガス共通流路105の新たな端部105cは止め栓により封止されている。
次に、プロセスガス出口100Dを図示しない必要な箇所と接続する。
これにより、第4ラインの増設が終了する。
(1)新たなガスラインの増設工事を行う場合、既存のガスラインを停止しなければならないため、半導体製造工程が停止するときにしか増設工事を行うことができなかった。
また、増設工事を終了した後においても、プロセスガス共通流路105、及びパージガス共通流路106の図15に大気暴露部として斜線で示す部分が、大気に暴露されるため、大気中の水分が流路の内壁に付着する問題があった。すなわち、プロセスガスに水分が混入すると、プロセスガスの機能が不完全となる場合があり、第4ラインを増設した後、パージガス共通流路106よりパージガスを長時間流して、空気暴露した流路の水分を除去する必要があったからである。実際に、数時間から数十時間のパージが行われていた。
(1)出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁と、該第1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第3制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、(a)プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、(b)ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されてガスユニットが取り付けられるレールにガイド溝が形成され、少なくとも2個のボルト孔が形成された取付部材がガイド溝に摺動可能に装着されており、(c)増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、当該増設するガスユニットを貫通するボルトをボルト孔に締結することにより取付部材に取り付けられていることを特徴とする。
ガス供給集積ユニットのガスユニットは、ガスユニットのガスの流れと直角に交差して複数設置されるレールに取り付けられている。ガス供給集積ユニットは、例えば、ガスユニットのガスの流れが垂直となるように壁面に取り付けられ、ガス供給装置に組み込まれている。
ガス供給集積ユニットは、通常、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁、及びパージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とは、閉弁状態にある。そして、ガス供給集積ユニットは、新しいラインを増設する場合にも、少なくともパージ終了までは、プロセスガス共通流路端部手動弁及びパージガス共通流路端部手動弁とが閉弁されている。
増設するガスユニットを所定位置まで移動させたら、既設のガスユニットに増設するガスユニットをボルトなどで仮止めして結合する。また、増設するガスユニットの空いている貫通孔にボルトを貫き通し、取付部材のボルト孔に仮止めする。その後、位置決め治具をレールから取り外して増設するガスユニットの貫通孔から抜き出し、さらに空いた貫通孔にボルトを貫き通して取付部材のボルト孔に仮止めする。
これにより、増設したガスユニット内にパージガスを流してガスユニット内の水分の除去を行う。水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、増設したガスユニットの第3制御弁を閉じ、第2手動弁を開くことにより、増設したガスユニットにプロセスガスを供給することができる。
この場合に、取付部材がガスユニットのピッチ幅と同一幅を有すれば、増設するガスユニットと既設のガスユニットとのピッチ幅を容易に設定することができる。
この場合に、高さ調整手段の先端部に傾斜が設けられていれば、高さ調整手段を簡単に着脱することができる。
2 パージガス用ガスユニット
A,B,C,D,E ガスユニット
F 増設するガスユニット
16 プロセスガス共通流路
16a 端部
17A,17B,17C,17D,17E 第2手動弁
18A,18B,18C,18D,18E 第1手動弁
26 パージガス共通流路
26a 端部
27A,27B,27C,27D,27E 第3エアオペレイトバルブ
28 プロセスガス共通流路端部手動弁
29 パージガス共通流路端部手動弁
41 プロセスガス共通流路端部手動弁
42 パージガス共通流路端部手動弁
47F Tナット
471 ボルト孔
37F 第6ユニット固定板
371 貫通孔
52F スペーサ
522 傾斜
55 インストーラ
プロセスガス手動弁11は、プロセスガス供給口12を介して図示しないプロセスガスタンクと接続している。プロセスガス手動弁11は、圧力計13、エアオペレイトバルブ14、逆止弁15、プロセスガス共通流路16を介して、ガスユニットA〜Eの第2手動弁17A,17B,17C,17D,17Eの一方のポートに接続している。
第2手動弁17A,17B,17C,17D,17Eの他ポートは、第1手動弁18A,18B,18C,18D,18Eに接続している。第1手動弁18A,18B,18C,18D,18Eの出口ポートは、プロセスガス出口19A,19B,19C,19D,19Eと連通されている。第2手動弁17A,17B,17C,17D,17Eと、第1手動弁18A,18B,18C,18D,18Eとを連通させている流路には、圧力計20A,20B,20C,20D,20Eとレギュレータ21A,21B,21C,21D,21Eが連通されている。
プロセスガス共通流路16の端部16aは、プロセスガス共通流路端部手動弁28により封止されている。また、パージガス共通流路26の端部26aは、パージガス共通流路端部手動弁29により封止されている。
図2に示すように、2本のレール31,32が、両端をレール固定棒33,34により平行に固定されている。レール31,32には、図2及び図3に示すように、ユニット固定板35,36,37A,37B,37C,37D,37Eが横方向に平行移動可能に取り付けられている。ユニット固定板35,36,37A,37B,37C,37D,37Eに各種流体制御機器が取り付けられて、プロセスガス用ガスユニット1、パージガス用ガスユニット2、第1〜第5ガスユニットA〜Eが構成されている。
パージガス用ユニット固定板36には、パージガス手動弁22、圧力計24、エアオペレイトバルブ25が固定され、それらから少し右側にずれた位置にパージガス用流路ブロック261とプロセスガス用流路ブロック161が固定されている。
第5ユニット固定板37Eには、上から第1手動弁18E、圧力計20E、レギュレータ21E、第3エアオペレイトバルブ27E、第2手動弁17E、そして、第4ガスユニットDのプロセスガス用流路ブロック161を避けて少し右側にずれた位置に既設プロセスガス共通流路端部手動弁28が固定されている。また、第4ガスユニットDのパージガス用流路ブロック261を避けて少し右側にずれた位置に既設のパージガス共通流路端部手動弁29が固定されている。
また、ガスユニット1,2,A〜Eは、パージガス用流路ブロック261同士、及び、第4ガスユニットDのパージガス用流路ブロック261と第5ガスユニットEのパージガス共通流路端部手動弁29がパージガス用継手ブロック62(例えば、図3参照)を介して相互に連通し(図2参照)、パージガス共通流路26(図1参照)を構成する。
なお、図4に示すように、ユニット固定板35,36,37A,37B,37C,37D,37Eの下面とレール31,32の上面との間には、スペーサ(「高さ調整手段」に相当するもの。)50,51,52A,52B,52C,52D,52Eが配設され、各ラインの高さを調整している。
レール31のガイド溝31a,31bは、図6に示すように、断面略三角形状のレール溝と、レール溝より小さい幅でレール31の上面に開口する開口部とからなる。Tナット47Fは、ガスユニットのピッチ幅と同一幅Wを有する棒状のものであって、ガイド溝31a,31bのレール溝に対応して断面略三角形状に形成されている。Tナット47Fには、第6ユニット固定板37Fに形成された貫通孔371,371(図2参照)に対応する位置にボルト孔471,471が形成されている。ボルト孔471は、内周に雌ネジが形成されている。Tナット47Fは、ボルト孔471,471が形成された側面をレール31の開口部に対して傾けた状態でガイド溝31bの開口部上方からレール溝へと挿入され、ボルト孔471,471がガイド溝31bの開口部から見えるようにガイド溝31bのレール溝内に収納されると、縁部がガイド溝31bの開口部に係止されるため、レール31にスライド可能に保持される。
また、第6ガスユニットFは、パージガス用継手ブロック62が第2手動弁17Fを介してパージガス共通流路端部手動弁42と連通している。パージガス用継手ブロック62には入口端部62aが上向きに開口している。一方、第5ガスユニットFのパージガス共通流路端部手動弁29には出口端部29bが下向きに開口している。よって、パージガス用継手ブロック62の入口端部62aとパージガス共通流路端部手動弁29の出口端部29bとを上下方向から接続すれば、パージガス共通流路26をパージガス共通流路端部手動弁42まで延長することができる。
第6ガスユニットFは、ボルトVをボルト孔471にねじ込んで仮止めする際、ネジ送りによって第5ガスユニットEに倣って上昇し、図10の側面図に示すように、第6ユニット固定板37Fの下面とレール31,32の上面との間にスペースSができる。
これにより、第6ガスユニットF内にパージガスを流して、第6ガスユニットF内の水分の除去を行う。水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、第3エアオペレイトバルブ27Fを閉じ、第2手動弁17Fを開くことにより、第6ガスラインFにプロセスガスを供給することができる。
しかも、本実施の形態のガス供給集積ユニットは、Tナット47FがガスユニットA〜Eのピッチ幅と同一幅を有するので、第6ガスユニットFと第5ガスユニットEとのピッチ幅を容易に設定することができる。
しかも、本実施の形態のガス供給集積ユニットは、スペーサ52Fの先端部に傾斜522が設けられているので、スペーサ52Fを簡単に第6ガスユニットFの下面とレール31,32の上面との間に着脱することができる。
Claims (6)
- 出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁と、該第1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第3制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、
前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、
前記ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されて前記ガスユニットが取り付けられるレールにガイド溝が形成され、少なくとも2個のボルト孔が形成された取付部材が前記ガイド溝に摺動可能に装着されており、
増設するガスユニットが、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、当該増設するガスユニットを貫通するボルトを前記ボルト孔に締結することにより前記取付部材に取り付けられていることを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 請求項1に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記取付部材は、前記ガスユニットのピッチ幅と同一幅を有することを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁と、該第1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第3制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、
前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、
増設するガスユニットが、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、
前記増設するガスユニットを既設のガスユニットと接続するための高さ調整手段が、前記増設するガスユニットの端部から着脱されるものであることを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 請求項3に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記高さ調整手段は、先端部に傾斜が設けられていることを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁と、該第1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第3制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットに、ガスユニットを増設するガスユニットの増設方法において、
前記ガス供給集積ユニットが、前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、前記ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されるレールに前記ガスユニットが取り付けられ、
前記増設するガスユニットが、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有しており、
前記レールにガイド溝が形成され、少なくとも前記ガスユニットの両端部に設置されるレールのガイド溝に取付部材をそれぞれ摺動可能に装着し、各取付部材に位置決め治具を取り付けた後、前記位置決め治具を介して前記増設するガスユニットを各取付部材に対して位置決め保持し、その後、前記増設するガスユニットを前記取付部材と一体的に所定位置まで移動させてから、前記ガス供給集積ユニットと前記増設するガスユニットとを結合するとともに、前記増設するガスユニットを前記取付部材に取り付け、前記位置決め治具を取り外すことを特徴とするガスユニットの増設方法。 - 請求項5に記載するガスユニットの増設方法において、
前記取付部材は、ボルト孔が少なくとも2個形成され、
前記増設するガスユニットは、ボルトが貫通する貫通孔が両端部に少なくとも2個形成され、前記貫通孔に貫き通したボルトを前記ボルト孔に締結することにより前記取付部材に取り付けられるものであって、
前記位置決め治具を前記取付部材のボルト孔の一つに取り付けた後、前記増設するガスユニットの前記貫通孔に前記位置決め治具を挿通することにより前記増設するガスユニットを位置決め保持し、その後、前記増設するガスユニットの前記位置決め治具が挿通されていない貫通孔に前記ボルトを貫き通して前記取付部材のボルト孔に締結してから、前記位置決め治具を前記取付部材のボルト孔から取り外し、さらにその後、前記位置決め治具が挿通していた貫通孔にボルトを貫き通して前記取付部材のボルト孔に締結することを特徴とするガスユニットの増設方法。
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