TW200540353A - Gas supply integrated unit and method of adding gas unit - Google Patents

Description

200540353 -九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於—種用於供應製程氣體到半導體工 序，使製程氣體分歧供應之氣體供應组合單元以及氣體單元 之增設方法。 、【先前技術】 在半導體製造工廠中，製程氣體收納於筒槽中，而配置 •在無塵室外。而且，為了使相同製程氣體自筒槽供應到無塵 室内之複數處所，而使用使製程氣體分政供應之氣體供應裝 置。在這種氣體供應裝置中，當產生需要製程氣體之新設處 所時，就有必要實施管線增設作業。 第1 3圖係表示實施3管路供應之製程氣體供應裝置回 路圖；第1 4圖係表示具體化第1 3圖後之機械設置狀態俯視 圖。製程氣體空氣操作閥1〇7，係透過製程氣體供應口 108 連接到未圖示之製程氣體筒槽。製程氣體空氣操作閥1 〇 7， _係透過製程氣體共通流路1〇5連接到第2手動閥 103A， 103B， 103C 。 第2手動閥l〇3A，103B，103C，係連接到第1手動閥 101A，101B，101C。第 1 手動閥 i〇ia，101B，101C 出口，係與 製程氣體出口 100A，100B，100C相連通。在第2手動闕 103A，103B，103C 與第 1 手動閥 101A，101B，101C 間之流路 中，連通有壓力計l〇2A，102B，102C。 又，沖洗氣體手動閥11 0，係透過沖诜氣體供應口 111 連接到未圖示之沖洗氣體筒槽。沖洗氣體手動閥1 1 0，係透 2097-7103-PF 5 200540353 一過止回閥1 0 9及沖洗氣體共通流路1 〇 6連接到第3手動閥 1 04Α，1 04Β，10 4C。第 3 手動閥 1〇4Α，104Β，104C 係連接到第 1 手動閥 101Α，101Β，101C。 製程氣體共通流路1 0 5端部1 0 5 a係被撞止检密封。冲 洗氣體共通流路1 0 6端部1 〇 6 a係被擔止检密封。 接著’說明在第13圖3管路回路中增設1管路之情形。 第1 3圖中係使第4管路D記載於右側；第〗5圖係表示增設 •後之回路圖；第1 6圖係表示具體化第丨5圖後之機械設置狀 φ態俯視圖。 接著’說明增設第4管路之工程順序。在該工程中，無 法供應製程氣體，半導體製造工序也必須停止。 在開始時，使製程氣體空氣操作閥107成關閥狀態，使 第3手動閥l〇4A，l〇4B，104C成開閥狀態，使第i手動閥 101A，101B，101C成開閥狀態。該狀態下，打開沖洗氣體手動 閥11 0。藉此，自製程氣體空氣操作閥i 〇7到第】手動閥 101A’101B，1G1C内殘留製程氣體會被作為沖洗氣體之氮氣 籲置換。經過充分時間來實施氣體置換後，關閉沖洗氣體手動 閥 11 0。 接著j去除密封沖洗氣體共通流路106端部106a之擋 止权使第4 s路沖洗氣體共通流路j $入口端部1 〇 6 b與 配官112連接。又，去除密封製程氣體共通流路端部败 之擋止栓，使第4管路製程氣體共通流路m人 觀 與配管丨1 3連接。 第4管路機械之構成係盥笛]η ^ ^ ^ 偁風係與第1〜3官路之構成相同，因 此說明予以省略。笛1您μ、丄 吕路沖洗氣體共通流路工〇 6之新端部

2097-7103-PF 6 200540353 一 1 〇 6 c，係以擋止栓密封。又，第4管路制 & I長氣體共通流路1 0 5 之新端部1 0 5 c，係以擋止栓密封。 接著’使製程氣體出口 100D盘夫阁— — 卜 〜禾圖不之必要處所連接。 藉此’第4管路之增設工程就算完成。 【發明内容】 【發明所欲解決的課題】 、 可是，先前氣體供應組合單元呈右a 干ϋ丹百以下問題。 (1)當貫施新氣體管路增設工裝拉 ^ 日又 ％ 4，因為必須停止既 有氣體管路，所以，只有在停止半導妒制 卞守體I造工序時，才能實 施增設工程。 ' 又，即使在增設工程終了後， ^ 虱體共通流路105及 沖洗氣體共通流路106之第15圖中斜 τ针綠所不暴露到大氣之 部分，會有大氣中水分附著在流路 )土您問題。亦即，當水 分混入製程氣體時，製程氣體之功能有 刀月b有日等會不完全，因此在 增設第4管路後，有必要自沖洗翕俨 r /无虱體共通流路1 06使沖洗氣 體長時間流動’而去除暴露空氣流路之水分。實際上，沖洗 需持續數小時〜數十小時。 (2:因為需要第16圖所示多餘的配管mm，氣體 供應組合單元之橫向會變大，與積體化之小型化要求相反。 又’第4管路係藉由螺栓安裝在基板12〇上，但是，其對位 必須調整配管11 2，11 3，而古耐总也4 士 而有配官無效時間很長之問題。 為解决此問題’本申請人在日本特開2〇〇3 —382139號公 報中，提案有在使複數氣體單元安裝在執道之氣體供給組合 單兀中.又置與製知氣體共通流路端部連通之製程氣體共通 2097-7103-PF 7 200540353 》,L路^ 一手動閥及與沖 辦丘、s a效 乳體共通流路端部連通之沖洗氣 夕巧辨s J守在增设於氣體供應組合單元 之亂體早兀處，設置盥劁 3一乳體共通流路端部手動閥連通之 端邻i: 端部手動閥及與製程氣體共通流路 知部連通之沖洗氣體共 辦丘、s 士故 机路、部手動閥相連通之沖洗氣 體/、通/爪路端部手動閥，i 日士門梯_尸 “、、7員停止半導體製造工序就能於短 牯間增設氣體單元之技術。 上述氣體供應組合單元， —姑ζ，扯 早 在組合於氣體供應裝置時，必 女褒到壁面。在上述申缚安 ^ ^ ^ . 明案中，開示有使增設之氣體單元沿 者執道、/月動到既定位置，再 灯Μ ^栓固定，在此時卻沒有考* 到關於氣體單元之虛理松。# 。氧體供應組合單元，係連接到設 U室外部之筒槽，使製程氣體供應到無塵室内之複數處 體供^ ’很多都安裝在半導體製造工廠壁面上。使製程氣 體供應到各處所之氣體Ii π孔篮早70，係例如以螺栓安裝到軌道。因 此，當增設管路時’使氣體單元對位到既定位置後，必須一 :手：押氣體單元而防止位置偏移，另一隻手則鎖固螺絲， 氣體單元之處理很困難。 在此，本發明係為解決上述課題而提出之方案，其目的 在提供-種於增設管路時之氣體單元處理性很良好的氣體 供應組合單元以及氣體單元之增設方法。 【用於解決課題的手段】 本發明氣體供應組合單元以及氣體單元之增設方法，係 具有如下構成。： ’、 七 )一種氣體供應組合單元，具有複數個使設於出口 之第1手動閥、設於使第1手動閥與製程氣體共通流路 2〇97~7ΐ〇3-ρρ 8 200540353 相連通位置上之楚 n乂手動閥及設於使第1手動闊與沖洗氣體 *=通控，藉一聯成 媿邱n 八特徵在於：（a)具有與製程氣體共通流路 通流路端部連、甬：： 部手動間及與沖洗氣體共 灰=口P連通之沖洗氣體共通流路端部手動闊； 軋體單元氣體流向垂直 一 .之執道上形成有導引二二複數個而安裝有氣體單元

二=動地安裝在導引凹槽；⑴增設之氣體單元I ·: ’、％孔體共通流路端部手動閥連通之另-製程氣體 共通流路端部手動閥及盥 礼體 〃甲洗乳體共通流路端部手動閥連 ^另程氣體共通流路端料㈣，藉由使貫穿増 體早兀之螺栓鎖固在螺栓孔而安裝到安裝構件。 、 (2 )苐1項記載之發明φ 一 μ ^ 戰心月中女裝構件係具有與氣體單 凡郎距寬度相同之寬度。 味（3)—種氣體供應組合單元，具有複數個使設於出口 =之弟1手動閥、設於使第i手動閥與製程氣體共通流路 丨二=置上之第2手動闕及設於使第1手動閥與沖洗氣體 共紅路相連通位置上之第3控制閥，藉由流路塊串聯成一 體之氣體單元，其特徵在於··“）具有與製程氣體共通流路 端部連通之製程氣體共通流路端部手動間及與沖洗氣體丑 通流路端部連通之沖洗氣體共通流路端部手動閥；（b)2 設之氣體單元’係具有與製程氣體共通流路端部手動間料 之另一製程氣體共通流路端部手動闊及與沖洗氣體共通流 路端部手動閥連通之另-製程氣體共通流路端部手動間； U)用於使增設氣體單元連接到既設氣體單元之高度調整 2097-7103-PF 9 200540353 機構’係自增設氣體單元端部著脫之物件。 (4 )第3項記載之發明中，高度調整機構在前端部設 有傾斜。 口、/ 5 —種氣體單元之增設方法，在具備複數個使設於

出/;,L路之第1手動閥、設於使第1手動閥與製程氣體共通 流路相連通L 之弟2手動閥及5又於使第1手動閥|沖洗 :體r流路相連通位置上之第3控制間，藉由流二聯 :之亂體单元的氣體供應、组合單元處，增設氣體單元， η: a)軋體供應組合單元’係具有與製程氣體共 二：：：：連通之製程氣體共通流路端部手動間及與沖洗 — 中冼乱肢，、通 路端部手動閥，在 與亂體早兀氣體流向垂直 有氣體單元；（b) i“ 旻數個的軌道上安裝 、 S ϋ又之氣體單7^，係具有與製程氣雕丘 通流路端部手動閥連通之 ” 闊及與沖洗氣體共通产路：:體共通流路端部手動 共通流路端部手動關· f 衣私乳體 私少设於氣體單元兩端邱 1 ^至 f Π^而口 P之軌道導引凹槽處， 裝安裝構件，使定位户且 別了 β動地女 見，你描μ , ，、女爰在各安裝構件後，透過定位治 八 ^ 5又之氣體單元與安|構# ~ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 文衣構件體移動到既定位置後， 供應組合單元及增設氣體單 體單元到安裝構件，取下定位治具。 (6 )弟5項記載之發明中，安裝構件上至 個螺栓孔，增設氣體單元 y …” 早係穿設有螺栓之穿孔在兩端部至 >形成2個，使插通穿孔 ^ —壯μ i 螺裎鎖固到螺栓孔，藉此，安穿 到女衣構件，其特徵在於 使疋位/口具女裝到安裝構件一螺

2097-7103-PF 10 200540353 •栓孔後，藉由使定位治具插通增設氣體單元之穿孔，以定位 保持增設氣體單兀，之後，使螺栓貫穿增設氣體單元之定位 治具未插通穿孔而鎖固到安裝構件螺栓孔，之後，自安裝構 件螺栓孔取下定位治具，然後使螺栓貫穿穿設過定位治具之 穿孔而鎖固到安裝構件螺栓孔。 【發明效果】 接著，說明具有上述構成之發明的作用效果。 氣體供應組合單元之氣體單元，係與氣體單元氣體流向 馨垂直交叉，而安裝在設有複數個的執道上。氣體供應組合單 元，係例如安裝在與氣體單元氣體流動垂直的壁面上，組合 入氣體供應裝置。 氣體供應組合單元，通常係與製程氣體共通流路端部連 通之製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體共通流路 端部連通之沖洗氣體共通流路端部手動閥，為閉閥狀態。而 且，氣體供應組合單元，即使在增設新管路時，只少到沖洗 終了為止，製程氣體共通流路端部手動閥及沖洗氣體共通流 •路端部手動閥，為被關閉狀態。 在執道上形成有導引凹槽，當增設管路時，例如使安裝 構件分別可滑動地安裝到設於氣體單元兩端部之軌道導引 凹槽。在各安裝構件’形成有複數（在此說明2個的情形） 螺栓孔。在此，在各安裝構件一邊螺栓孔安裝定位治具，使 定位治具貫穿增設之氣體單元螺栓會貫穿之穿孔。藉此，增 設氣體單元，係藉由定位治具相對安裝構件被定位，同時， 透過定位治具及安裝構件，被保持在軌道。因此，兩手離開 增設之氣體單元，也能實施增設作業。

2097-7103-PF 200540353 • 接著，使增設氣體單元與安裝構件一體沿著執道移動， 使增設氣體單元製程氣體共通流路入口端部移動到與既有 製程氣體共通流路出口端部連接之位置，使增設氣體單元沖 洗氣體共通流路入口端部移動到與既有沖洗氣體共通流路 出口端部連接之位置。此時，例如當安裝構件具有與氣體單 元節距寬度相同寬度時，當移動增設氣體單元，直到增設氣 體單元安裝構件抵接既有氣體單元安裝構件時，能使節距寬 度容易設定到既定值。 _ 在此，例如當既有氣體單元藉由高度調整機構調整高度 時，當增設氣體單元不藉由高度調整機構調整高度時，增設 氣體單元與既有氣體單元之高度會不同。在此情形下，增設 氣體單元，係不與既有氣體單元產生干涉地，能移動到製程 氣體共通流路端部手動閥出口及沖洗氣體共通流路端部手 動閥出口。 當使增設氣體單元移動到既定位置時，以螺栓等使增設 氣體單元暫時固定在既有氣體單元而結合之。又，使螺栓貫 Φ穿增設氣體單元無設任何物件之穿孔，暫時固定在安裝構件 螺栓孔。之後，使定位治具自軌道取下而自增設氣體單元穿 孔拔出，而且，使螺栓貫穿無設任何物件之穿孔而暫時固定 在安裝構件螺栓孔。 當使增設氣體單元結合到氣體供應組合單元時，增設氣 體單元對齊既有氣體單元而上升，所以，增設氣體單元下表 面與軌道上表面間產生間隙。在此，自增設氣體單元端部插 入高度調整構件。此時，當事先在高度調整構件前端設置傾 斜時，能使高度調整構件容易插入增設氣體單元與執道間。 2097-7103-PF 12 200540353 增設氣體單元，係藉由南度調整構件而被提高既定量，與既 有氣體單元相對合。藉此，增設氣體單元製程氣體共通流路 入口端部會與製程氣體供應端部手動閥出口相連接，沖洗氣 體共通流路入口端部會與沖洗氣體共通流路端部手動間出 口相連接，所以，可更加鎖緊暫時固定之螺拾。 當以上增設工程結束時，使增設氣體單元製程氣體共通 流路端部手動閥及沖洗氣體共通流路端部手動閥成關門狀 態，使第2手動閥成開閥狀態，使第i手動閥及第3控^闕 成開閥狀態，使鄰接增設氣體單元之既有氣體單元沖洗氣體 共通流路端部手動閥成開閥狀態。 糟此，使沖洗氣體流動在增設氣體單元内，以除去氣體 ::::水分。當水分充分去除，而半導體製造裝置側已經 準備元成時，關閉增設氣體單元第3控制閥，打開第2手動 閥，藉此，能使製程氣體供應到增設氣體單元。 因此，當使用本發明氣體供應組合單元時，（& =程氣體共通流路端部連通之製程氣體共通流路端部Ϊ 端1手動η . 端㈣通之沖洗氣體共通流路 ^手動閥，（b)與氣體單元氣體流向 數個而安裝有氣體單元之軌道上形成有導 = 有2個螺拴孔之安穿 槽，至 >、形成 说 产 衷構件係可滑動地安裝在導引凹梯·（ C ) 增設之氣體單元，係罝 丨凹槽，（C ) 通之另-製程氣體：、s、:程氣體共通流路端部手動閥連 ' 一、〃丨L路端部手動閥及與沖洗3 <1* it通 流路端部手動閥連通 、汗洗軋體共通 閥，藉由使貫穿3製程氣體共通流路端部手動 安裝構件，所以，使安““乎"口在累槎孔而安裝到 使女I構件螺栓孔對合到増設氣體單元之

2097-7103-PF 200540353 工時會減少，增設管路時之氣體單元處理性也會變好。 在此情形下，當安裝構件係具有與氣體單元節距寬度相 同之寬度時，能容易設定增設氣體單元及既有氣體單元之節 距寬度。 又，當使用本發明氣體供應組合單元時，（a)具有與 製程氣體共通流路端部連通之製程氣體共通流路端部手動 _閥及與沖洗氣體共通流路端部連通之沖洗氣體共通流路端 .部手動閥；（b )增設之氣體單元，係具有與製程氣體共通 鲁流路端部手動閥連通之另一製程氣體共通流路端部手動閥 及與沖洗氣體共通流路端部手動閥連通之另一製程氣體共 通流路端部手動閥；（c )用於使增設氣體單元連接到既設 氣體單元之高度調整機構，係自增設氣體單元端部著脫之物 件，所以，能容易調整增設氣體單元之高度，增設管路時之 氣體單元處理性也會變好。 在此情形下，當高度調 簡單地裝卸高度調整機構

又，當使用本發明氣體單元之增設方法時，（a )氣體 供應組合單元，係具有與製程氣體共通流路端部連通之製程 氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體共通流路端部連= 之冲洗氣體共通流路端部手動閥，在與氣體單元氣體流向垂 直交叉而設有複數個的軌道上安裝有氣體單元；（b)IL拎設 之氣體單元，係具有與製程氣體共通流路端部手動閥連^ = 另一製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體丑=之 端部手動閥連通之另一製程氣體共通流路端部手、：路 在執道上形成有導引凹槽，至少設於氣體單元兩端二=

2097-7103-PF 14 200540353 •導引凹槽處，分別可滑動地安裝安裝構件，使定位治具安裝 在各安裝構件後，透過定位治具，使增設之氣體單元與安裝 構件一體移動到既定位置後，結合氣體供應組合單元及增設 氣體單元，同時，安裝增設氣體單元到安裝構件，取下定位 治具，所以，能以兩手實施增設作業，增設管路時之氣體單 元處理性也會變好。 • 又’在此情形下，安裝構件上至少形成有2個螺栓孔， 增設氣體單元，係穿設有螺栓之穿孔在兩端部至少形成2 _個，使插通穿孔之螺栓鎖固到螺栓孔，藉此，安裝到安裝構 件，其中使定位治具安裝到安裝構件一螺栓孔後，藉由使定 位治具插通增設氣體單元之穿孔，以定位保持增設氣體單 元，之後，使螺栓貫穿增設氣體單元之定位治具未插通穿孔 而鎖固到安裝構件螺栓孔，之後，自安裝構件螺栓孔取下定 位治具，然後使螺栓貫穿穿設過定位治具之穿孔而鎖固到安 裝構件螺栓，所以，藉由定位治具能對合安裝構件螺栓孔與 增設氣體單元穿孔，使用兩手就能使螺栓鎖固到安裝構件螺 _栓孔’能簡單而快速地實施管路增設作業。 /' 【實施方式】 …接著，參照圖面說明本發明氣體供應組合單元以及氣體 早兀之增设方法-實施形態。第！圖係表示由給製程氣體到 既有5管路之氣體單元A’B，C，D，E所構成之氣體供應組合單 疋回路圖及用於增設之第6氣體單^回路圖。而且，在第 1圖中，氣體單S Α〜D之回路係相肖’所卩，省略氣體單元 B，C，D而僅圖示第丨氣體單元人及第5氣體單元e。 2097-7103-PF 15 200540353 • 製程氣體手動閥11，係透過製程氣體供應口 1 2連接到 未圖示之製程氣體筒槽。製程氣體手動閥11，係透過壓力計 1 3、空氣操作閥1 4、止回閥1 5及製程氣體共通回路1 6，連 接到氣體單元A〜E第2手動閥17A，17B，17C，17D，17E —邊的 接口。 第2手動閥17人，173，170，170，17£其他接口係連接到第 1 手動閥 18A，18B，18C，18D，18E 。第 1 手動閥 18A，18B，18C，18D，18E出口接口 ，係與製程氣體出口 _ 1 9A，1 9B，1 9C，1 9D，1 9E 連通。連通第 2 手動間

17A，17B，17C，17D，17E 與第 1 手動閥 18A，18B，18C，18D，18E 之流路中，連通有壓力計20A，20B，20C，20D，20E及調壓器 21A，21B，21C，21D，21E。 又，沖洗氣體手動閥22，係透過沖洗氣體供應口 23連 接未圖示之沖洗氣體筒槽。沖洗氣體手動閥2 2，係透過壓力 計24、空氣操作閥25及沖洗氣體共通流路26連接到第3空

氣操作閥（相當「第3控制閥」之物件）27A，27B，27C，27D，27E _一邊接口。第3空氣操作閥27A，27B，27C，27D，27E其他接口 係連接到第1手動閥18A，18B，18C，18D，18E。 製程氣體共通流路1 6端部1 6a，係以製程氣體共通流 路端部手動閥2 8密封。又，沖洗氣體共通流路2 6端部2 6 a， 係以沖洗氣體共通流路端部手動閥2 9密封。 第2圖係表示將第1圖氣體供應組合單元回路具體化之 機械設置狀態俯視圖；第3圖係表示氣體供應組合單元第4 氣體單元D及第5氣體單元e之放大俯視圖。第4圖係氣體 供應組合單元之側視圖。 2097-7103-PF 16 200540353 ‘ 如第2圖所示，2支執道31，32兩端係以執道固定棒 33, 34平行固定。如第2圖及第3圖所示，單元固定板 3 5, M，3M，3 7% 3 7C，3 7D，3 7E係可在橫向平移地安裝在執道 31，32 上。單元固定板 35, 36, 37A，37B，37C, 37D，37E 安裝有 各種流體控制機械，構成製程氣體用氣體單元1、沖洗氣體 用氣體單元2及第1〜5氣體單元A〜E。 在執道31，32上，形成有導引凹槽31a，31b，32a，32b。 T型螺帽（相當於「安裝構件」之物件） ⑩45,46,47A，47B，47C，47D，47E係可滑動地安裝在執道31導引 凹槽31a及執道32導引凹槽32a上。氣體單元12, A〜E之 單元固定板35,36,37人，373,37(：，370,37£係固定在1'型螺帽 45, 46, 47A，47B，4 7C，47D，4 7E，在連結鄰接氣體單元之狀態 下，被保持在執道31，32。 如第2圖所示，在製程氣體用單元固定板35固定有製 程氣體手動閥11、壓力計1 3、空氣操作閥} 4及止回閥i 5， 在略微偏右側位置上’固定有製程氣體用流路塊丨61。 • 沖洗氣體用單兀固定板3 6固定有沖洗氣體手動閥2 2、 壓力e十2 4及空氣操作閥2 5 ’在略微偏右側位置上，固定有 沖洗氣體用流路塊261及製程氣體用流路塊161。 第1〜4氣體單元A〜D係相同構造，所以在此參照第3 圖來說明第4氣體單元D’第1〜3氣體單元a〜c則省略說 明。在第4單元固定板37D自上而下固定有第1手動閥i8D、 壓力計20D、調壓器21D、第3空氣操作閥及第2手動 閥1 7D，在略微偏右側位置上，固定有沖洗氣體用流路塊2 61 及製程氣體用流路塊1 61。

2097-7103-PF 17 200540353 在弟5早凡固定板37E自上而下固定有第）手動閥 18E、壓力計2GE、調壓器21E、第3空氣操作閥爪及第2 手動閥ΠΕ’在避開第4氣體單“製程氣體用流路塊⑴ 而略微偏右側位置上’固^有既有製程氣體共通流路端部手 動闊28。又’在避開第4氣體單u沖洗氣體用流路塊261 而略微偏右側位置上，固定有既有沖洗氣體共通流路端部手 動閥2 9。 上述氣體單元1，2，A~E之製程氣體用流路塊161們及第 籲4氣體單元D製程氣體用流路塊161及第5氣體單元E製程 氣體用流路端部手動閥28，係透過製程氣體用連接塊61 (例 如參照第3圖）而相互連通（參照第2圖），構成製程氣體 共通流路1 6 (參照第1圖）。 又，氣體單元1，2, A〜E之沖洗氣體用流路塊261們及第 4氣體單元D沖洗氣體用流路塊2 6 1及第5氣體單元β沖洗 氣體用流路端部手動閥2 9，係透過製程氣體用連接塊6 2 (例 如參照第3圖）而相互連通（參照第2圖），構成沖洗氣體 _共通流路2 6 (參照第1圖）。 而且’如第 4 圖所示，單元固定板 35,36,37A，37B，37C，37D，37E下表面與軌道31，32上表面之 間，配設有隔板（相當「高度調整機構」之物件） 50,51，52A，52B，52C，52D，52E，調整各管路之高度。 在上述既有氣體單元之外，如第2圖所示，增設第6氣 體單元F係固定於第6單元固定板37F。亦即,，在第6氣體 單元F自上而下固定有第1手動閥18F、壓力計20F、調壓 器21F、第3空氣操作閥27F及第2手動閥17F，在略微偏

2097-7103-PF 18 200540353 固疋有與既有製程氣體共 不同之製鞀# μ — a /、通版路^ 4手動閥28 虱體共通 路端部手動閱 共通流路端部手動閥29不同…V1及與既有沖洗氣體 fB Α Ο χ 、 〇 /洗氣體共通流路端部手動 閥42。又’鄰接製程氣體共通流路端部手動閥Ο及沖 體共通流路端部手動閥42 ” 沖洗氣體用流路塊62。 有—體用連接塊61及 接著’參照第5〜12圖說明在上述氣體供應 :設第6氣體單元F之順序。而且，在本實施形態中早= Φ亂體早W及第6氣體單元F而增設管路，所以，在各 俯視圖及侧視圖中圖示第5 等則適宜省略之。 A體…，F，其他氣體單元 安如第5圖所示，使τ型螺帽47F —個個可滑動地 裝d軌道31，32。將T型螺帽47F安裝到軌道31，32之方 法相同，所以，在此僅說明軌道31。 軌道31導引凹槽3la，31b，如第6圖所示，由剖面略 '二角形之執道凹槽及寬度略小於執道凹槽而朝軌道31上 開口之開口部所構成。了型螺帽47F，係寬度與氣體單元 即距寬度相同之棒狀物件，對應導引凹槽3ia，3i^執道凹 — 角心T型螺帽47F上，在對應形成於 弟6單元固定板37F之穿孔371 371 (參照第之圖）位置上， 形成有螺栓孔471，47卜螺拾孔471在内周形成有母螺紋。τ 型螺帽47F,係在使形成有螺检孔471，471之側面相對於軌 道31開口部傾斜之狀態下，自導引凹槽31b開口部上方插 入軌道凹槽，當螺栓孔471,471係由導引凹槽3ib開口部可 見之狀態下’被收納在導引凹槽31b軌道凹槽内時，緣部係 2〇S7-7i〇3-pf 19 200540353 ，被卡止在導引凹槽31 b開口部，仏 ^ . L . J ’所以，可滑動地被保持在軌 道31。 接著，如第5圖所示，# 彳更工件（相當「定位治具」之物 件）5 5分別安裝在T型螺帽j 7 p 糸〒目47F螺栓孔471，471 —邊。工件 55前端部設有公螺紋，使苴俞# ^ ^ 使具則端部自執道31導引凹槽3lh 插入而螺入T型螺帽47F蟫扒了丨，〜 和 螺锃孔471，藉此，安裝到τ型蟫 帽47F。工件55, 55，係#忐m么 货便成對角位置地安裝到T型螺轳 47F，47F。 ^ 因此，如第7、8圖所+ .. _ α所不，使弟6氣體單元F透過工件 55定位保持。在單元固定板π , . y ^ 极d7F，在4個角落形成有鎖固在 τ型螺帽47F之螺栓V會貫穿之穿孔3n，使工件55插入該 牙孔371工件55 ’係貫穿第6單元固定板m對角位7 使第6氣體單元F相對於第ςw ^ 丁 ％弟^ «I體早兀E：平行配置。藉 第6氣體單元F係透過第β罝；1 处、弟b早兀固定板37F對合到τ型螺 47F，同時，透過τ型螺帽47F # #拄,# ^ π 目 r被保持在執道3 1，32。因此 例如即使氣體供應組合單元被安 ， p ^ 饭文裝在壁面時，第6氣體單亓 Θ破工件55, 55牽引而不會自軌 70 曰θ軌道31，32脫落，增設作業 能自氣體供應組合單元及第6氣 、考 — 虱體早兀F放開兩手。 接著’如苐7圖所示，使第g盏辦ϋσ 一 5氣體單元Ε側(圖中㈣頭方向移動到既有第 螺帽-Μ系透過工件55,55而連體單元FW型 元F盥τ别總w ^ 口 所以，能使第6氣體單 疋F與Τ型螺帽47F—體地沿著執 旱 ^ ,,雙α产 ^ 31，32間單地平行移動。 在此，第6軋體單元F製程氣體 3 *洛捱於„ 〇r7r 乱用連接塊61係透過坌 d工虱知作閥2 7F，與製程氣濟| 4 第 、s ^ ^ 共通流路端部手動閙41相、由 通。在製程氣體用連接塊61處，入 f手動間41相連

2097-7103-PF 入口、部61a係向上方開 200540353 口 5氣體單元£製減體共料路 28處，出口端部28b係向下方鬥 — 動閥 連接塊61入口端部6 1 a與势$ γ -體用 ”衣釦氣體共通流路 出口端部28b自上下方向連結 于動閥28 ^ … 此1定I私乳體共通流路1 fi 延長到製程氣體共通流路端部手動閥41為止。 又’第6氣體單“沖洗氣體用連接塊6 空氣操作閥27F，與沖洗氣體此、3味妨山 ^ ^ , 孔體共通流路端部手動閥42相連 通。在沖洗氣體用連接塊62虛 λ ^ ^ ^ ,L 處，入口端部62a係向上方開

口。另外，在第5氣體單元E T冼狀體共通流路端部手動閥 29處，出口端部29b係向下方nL丄 旬 遠桩柹R9 開口。猎此，當使沖洗氣體用 連接塊62人η端冑62a與沖洗氣體共通流部 出口端部29b自上下方向 閥29 了此便#洗乳體共通流路26 I長到製程氣體共通流路端部手動閥42為止。 〃當使第6氣體單^平行移動時，帛5氣體單元£，如 第7、8圖所示，在第5單元固定板37E與軌道3ι，π間配 設有隔板52E。另外，第6氣體單元F在第6單元固定板3汀 修與軌道31，32間並未配設有隔板52F。因此，第6氣體單元 F係位於比第5氣體單元E剛好僅低隔板52E厚度η之位置。 因此’第6氣體單元ρ之製程氣體用連接塊61及沖洗氣體 用連接塊62能不干涉到第5氣體單元Ε之製程氣體共通流 路端部手動閥28及沖洗氣體共通流路端部手動閥29地平行 移動’製程氣體用連接塊61入口端部6丨a與製程氣體共通 流路端部手動閥28出口端部28b之密封墊面、及沖洗氣體 用連接塊62入口端部62a與沖洗氣體共.通流路端部手動閥 29出口端部29b之密封墊面不會受傷。 2097-7103-PF 21 200540353 又T 1螺巾自47F寬度係與氣體單元節距寬度相同，所 以，當滑動第6氣體單元F直到τ型螺帽47F抵接到第5氣 體單兀E之T型螺帽4 7E為止時，能很容易地設定第5氣體 單元E及第6氣體單元f節距寬度到既定值。 如此一來’使第6氣體單元F移動到既定位置，亦即， 分別使第6氣體單元ρ製程氣體共通流路入口端部6 1 a移動 到第5氣體單元E製程氣體共通流路16出口端部28b正下 方之位置，又，使第6氣體單元f沖洗氣體共通流路2 6入 σ端部62a移動到第5氣體單元e沖洗氣體共通流路26出 口端部29b正下方之位置，如第9圖所示，工件55,55維持 原樣，使螺栓V貫穿單元固定板37F無設任何物件之穿孔 371，而分別暫時固定在τ型螺帽47F螺栓孔471。亦即，以 螺栓V暫時固定第6氣體單元f之對角位置（參照圖中χ i 部及X2部）。之後，卩螺栓V暫時固^第5氣體單元E製程 氣體共通流路端部手動閥28及第6氣體單元F製程氣體用 連接塊Π (參照圖中X3部），同時，明栓v暫時固定第$ I氣體單U沖洗氣體共通流路端部手動閥29及第6氣體單 元F沖洗氣體用連接塊62 (參照圖中χ4部）。 此時，第6單元固定板3WT型螺帽;^係藉由工件 55入來定位對角位置，即使在放開兩首之狀態下，穿孔3”與 螺栓孔4 71也會重合。因此，增設作 ,^^, 0 曰°又作業之作業者，能使用兩 手而使螺栓V自第6皁元固定板37F穿 螺检孔川貫穿，以螺,絲起子等旋轉牙;；…型螺帽川 速地暫時固定螺栓卜❿且，形成而能簡易且迅 體共通流路端部手動閥28之螺 ：體…製程氣 形成在第6氣體單元f

2097-7103-PF 200540353 •製程氣體用連接塊61之螺栓孔、及形成在第5氣體單元E 沖洗氣體共通流路端部手動閥29之螺栓孔與形成在第6氣 體單元F沖洗氣體用連接塊之螺栓孔也會重合，作業者 能使用兩手暫時固定螺栓V。 當第6氣體單元f使螺栓V螺入螺栓孔471而暫時固定 時，藉由螺紋的進給，第6氣體單元F會對齊第5氣體單元 E而上升，如第1圖側視圖所示，在第6單元固定板37f下 表面與軌道31，32上表面之間會產生空間s。 馨之後，自T型螺帽47F，47F取下工件55,55而自單元 固定板37F穿孔371拔出。而且，使螺栓v貫穿未設任何物 件之穿孔371，使其暫時固定在τ型螺帽47F，47F螺栓孔 471，471。如此一來，第6氣體單元F係順序暫時固定第6 單元固定板37F之對角位置，所以，在暫時固定時，不會傾 斜而與第5氣體單元F扭曲ό在此，如第1〇、11圖所示， 使隔板52F分別配設在第6氣體單元F兩端部，調整第6氣 體單兀F之高度。隔板52F，係設有缺口 521以避開螺栓ν， 籲在其前端部形成有傾斜522。隔板52F，係自單元固定板37F 端部’沿著第6氣體單元F氣體流向，在圖中箭頭Ν方向上， 分別插入單元固定板37F下表面與執道31，32上表面之間。 藉此’第6氣體單元？係自執道31，32僅被提高隔板52?，52卩 厚度之高度，形成在第6氣體單元F製程氣體用連接塊61 之入口端部61 a係連接到形成在第5氣體單元E製程氣體共 通流路端部手動閥28之出口端部28b，又，形成在第6氣體 單兀F沖洗氣體用連接塊62之入口端部62a係連接到形成 在第5氣體單元e沖洗氣體共通流路端部手動閥29之出口 2097-7103-pp 23 200540353 端部29b。 在此狀態下’如第12圖所示，分別使暫時固定第6 * 體單元F之螺栓V更加鎖緊（參照圖中χ5，χ6，χ7，別乳 使第6氣體單元？固定在第5氣體單元E及T型螺帽47ρ ’ 而且，在此情形下，為了防止第6氣體單元f傾斜， 序更=鎖緊第6單元固定板37F之對角位置。藉此，既有製 程氣體共W端部手_ 28與增設製減 部手動閥41會相遠π n 士 a、 、通机路端 ^ ^ pe 9Q , ^ T，既有沖洗氣體共通流路端邱

手動閥29與增設沖洗氣體共通流路端部 W 通。 ^也會相連 藉此，第6氣體單元F之增設工程就算結束 ★ 閉第6氣體單元F 钱著，關 早7^ ^之新扠製程氣體共通流路端部 及沖洗氣體共诵讳败#加$ ▲ 卞動閥4 1 ，、通抓路端部手動閥42，關閉第2手 打開第1手動„ ! μ — 勒閱17F， 動閥18F及第3空氣操作閥27F，打 單元E沖洗翕練丘、s ★ ]第5氣體 ★ 乳體共通流路端部手動閥2 9。 藉此，使沖洗氣體流動在第6氣體單元F内， 丨體單元内之水八。a ^Λ除去氣 刀 §水分充分去除，而半導體製诰肢 經準備完成時 Μ „ 裝薏側已 守’關閉增設氣體單元第3控制閥2 7 2手動閥17F，Μ ^ ^ ’打開第 糟此’能使製程氣體供應到第6氣 因此，火& m 版睪元F。 §使用本實施形態氣體供應組合單元 具有與製裎氧ι(a) 礼體共通流路1 6端部1 6a連通之製裎务 流路端部手動 虱韃共通 勒閥28及與沖洗氣體共通流路26端部？ 之沖洗氣體技、s、& a連通 开通流路端部手動閥29 ; ( b )與氣體 〜E氣髀a a + 冬元氣體 题w向垂直交叉，設有複數個而安裝有 1，2，A〜E ^ ^ 礼趲單元 凹槽 <執道 31，32 上形成有導弓丨 2097-7103-Pp 24 200540353 .31a，31b，32a，32b ,至少形成有2個螺栓孔47l，47i之τ型 螺帽47F係可滑動地安裝在導引凹槽3ib,32a; (c)增設之 第、6氣體單元F，係具有與製程氣體共通流路端部手動閥 連通之另一製程氣體共通流路端部手動閥4丨及盥沖洗氣體 共通流路端部手動閥29連通之另—製程氣體共通流路端部 手動閥42,藉由使貫穿第6氣體單元F之螺检v鎖固在螺检 孔m而安裝到τ型螺帽47F，所以，使τ型螺帽爪螺检 孔471，471對合到第6氣體單元F之工時會減少，增設管路 鲁日守之弟6氣體單元F處理性也會變好。 亦即，當在T型螺帽僅形成i個螺栓孔時，雖然必須使 4個T型螺帽分別對合到單元固定板穿孔，但是，如本實施 形態所示，當在τ型螺帽47F設置2個螺栓孔471時，當使 一邊螺栓孔471對合到穿孔371時，另一邊螺栓孔471會自 動對合到另一穿孔371。因此，本實施形態氣體供應組合單 元，係能使第6單元固定板37F穿孔371簡單地對合到τ型 螺帽71F螺栓孔47卜而使第6氣體單元ρ安裝到氣體供應 φ組合單元。 而且’本實施形態氣體供應組合單元，Τ型螺帽4 7 F係 具有與氣體單元Α〜Ε節距寬度相同之寬度，所以，能容易 設定第6氣體單元ρ及第5氣體單元E之節距寬度。 又’當使用本實施形態氣體供應組合單元時，（a )具 有與製程氣體共通流路1 6端部1 6 a連通之製程氣體共通流 路端部手動閥28及與沖洗氣體共通流路26端部26a連通之 沖洗氣體共通流路端部手動閥2 9 ;( b )增設之第6氣體單 元F，係具有與製程氣體共通流路端部手動閥28連通之另一 2097-7103-PF 25 200540353 製程氣體共通流路端部手動閥41及與沖洗氣體共通流路端 部手動閥29連通之另一製程氣體共通流路端部手動閥42; (c)用於使第6氣體單元F連接到第5氣體單& e之隔板 5 2 F，係自第6氣體單元F端部裝卸之物件，所以，能容易 調整第6氣體單it F之高度，增設管路時之氣體單元處理性 也會變好。 而且，本實施形態氣體供應組合單元，係在隔板52f前 端部設有傾斜522，所以，能使隔板52F在第6氣體單元f _下表面與執道31，32上表面之間簡單地裝卸。 又，^使用本貫施形態氣體單元之增設方法時，（a ) 氣體供應組合單元，係具有與製程氣體共通流路i6端部i6a 連通之製程氣體共通流路端部手動閥28及與沖洗氣體共通 流路26端部26a連通之沖洗氣體共通流路端部手動閥29; (b)在與氣體單元1，2, a〜E氣體流向垂直交又而設有複數 個的執道31，32上安裝有氣體單元！，2, A〜E，增設之第6氣 體單元F係具有與製程氣體共通流路端部手動閥2 8連通之 _另一製程氣體共通流路端部手動閥4丨及與沖洗氣體共通流 路端部手動閥29連通之另一製程氣體共通流路端部手動閥 42，（c)在執道31,32上形成有導引凹槽31a，31b，32 a，3 2b， 設於氣體單元兩端部之執道31，32導引凹槽 31b，32a處’分別可滑動地安裝有T型螺帽47F，使工件55 安裝在各T型螺帽47F後，透過工件55，使第6氣體單元F 相對於Τ型螺帽47F定位保持後，使第6氣體單元F與τ型 螺巾目47F —體移動到既定位置，之後，結合第5氣體單元ε 與第6氣體單元！^，同時，安裝第6氣體單元^到τ型螺帽 2097-7103-PF 26 200540353 47F，取下工件 55，無、 ，所以，能以兩手實施增設作業，辦設管 ，時=體單元處理性也會變好。此時，特別是當使氣體供 應、、且5早兀安裝在壁面時，非常有效。 在此h形下，T型螺帽47F上形成有2個螺栓孔 4J1;4:1、弟6氣體單元F第6單元固定請，係在兩端部 分別形成2個穿今古诉 牙°又有螺栓V之穿孔371，371，使插通穿孔371 之螺栓V鎖固到τ开丨J撕丄 u至〗T型螺帽47F螺栓孔471，藉此，安裝到τ f=帽其'使工件55螺入τ型螺帽47f螺栓孔471，471 、才後猎由使工件55插通第6單元固定板37F穿 孔371，以定位保持 ^ R ^ ^ 孔脱早兀F，之後，使螺栓V貫穿 弟b氣體早元J?工杜ζ1 α 未插通穿孔371而鎖固到τ型螺帽 47F螺栓孔471，之诒 a τ ’自T里螺帽47F螺栓孔471取下工 件5 5，然後使螺栓ν 、 過工件5 5之穿孔3 71而鎖固 到Τ型螺帽47F螺；I：全：?丨471，&、.

所以，藉由工件5 5能對合Τ型 螺帽47F螺栓孔471盘第… 件55此對口 U .,,,^ 一弟6早70固定板37F穿孔371，使用 兩手就能使螺栓V鍅闳糾τ和丨加 而I 、’ 1累帽47F螺栓孔471，能簡單 而l'夬速地貫施管路增設作業。 _而且’雖然針對上述實施形態說明過，是，本發明並 不偈限於上述實施形態’可有種種應用。 蟫於：4如7:t上述實施形態中，在^螺帽47F上設置2個 螺技孔471，471，同時，在單 個穿孔4 & 口疋板3了兩端部分別設置2 们牙孔371。相對於此，也可以 4π 〇7 μ外m 在T孓螺帽47F及單元固定 板37上，設置3個以上之螺 τ ^ + 札4 U或穿孔371。在此情形 晶使T型螺帽47F及氣體單亓以 孔471冷办^ 早7^ 乂工件55對合時，螺栓 1 14牙孔3 71會被對合，所 厅乂 對合作業會很快完成。 2〇97-71〇3-pf 200540353 例如’在上述實施形態中，使增設第6氣體單元f移動 到既定位置而定位後，配設隔板52F而調整高度。相對於此， 也可以使氣體供應組合單元之氣體單元不以隔板 5 0, 51，52調整高度，使隔板52F安裝在第6氣體單元F，使 第6氣體單元F定位在既定位置後拔出隔板52F，而使第6 氣體單元F相對於第5氣體單元E對合。 例如在上述貫施形態中，定位治具係使用工件5 5。 相對於此，當定位治具，係只要是使T型螺帽47F與氣體單 _兀連結而能沿著執道31，32 —體滑動之物件即可，並不侷限 於工件55。 义 例如，在上述實施形態中，使第6氣體單元F暫時固定 在T型螺帽指後，雖然使第6氣體單元F製程氣體用連接 塊jl及沖洗氣體用連接塊62，以螺栓V暫時固定在第5氣 體早凡E製程氣體共通流路手動閥28及沖洗氣體共通流路 手動閥29上，但是，也可以將暫時固定之順序顛倒。 例如，在上述實施形態中，帛3控制閥使 丨作閥27Α，27Β·_·。相對於此，楚q批生丨礼部 不目對於此，弟3控制閥也可以使用手 【圖式簡單說明】 第1圖係表示本發明實施形態 成之回路圖。 第2圖係表示第1 構 之氣體供應組合單元 圖 圖氣體供應組合單元構成之俯視圖。 弟3圖係表示第i圖氣體供應組合單元之局部放大俯視 第4圖係表示第！圖氣體供應組合單元之側視圖。 2097-7103-pp 28 200540353 第5圖係第1圖氧w —壯μ 脰供應組合單元之俯視圖，复矣-时 安裝構件加以安裝之順序。 平 口其表不將 第6圖係說明篦]m欠儿 圖氣體供；® έ泛合單元安梦 構造說明圖。 應組。早兀女衣構件之安裝 弟7圖係第1 _ * Α ..供應組合單元之俯視圖，复表干— 位保持增設氣體單元 ，、表不疋 ^ 项序及移動增設氣體單元之順岸。 第8圖係第1圖氣雕 、 位保持增設氣體單元之順床B 早 wa "表不疋 — 少 、序及移動增設氣體單元之順序。 弟9圖係第1圖氛, 時固定之順序。應組合單元之側視圖’其表示暫 > :1 0圖係第1圖氣體供應組合單元之側視圖，其 調整高度之順序。 v'

第11圖係第1圖裹㈣I 乳肢供應組合皁元之俯視圖，豆 調整高度之順序。 /、衣不 弟12圖係弟1圖氣轉极處 乳肢供應組合单元之俯視圖，其表示 增加鎖緊度之順序。 μ 第1 3圖係表示先前氣俨^ 。— 乳®供應組合早兀構成之回路圖。 第14圖係表示具(卜哲 、體化弟1 3圖後之構成的俯視圖。 圖 第15圖係表示先前增設後氣體供應組合單元之回路 第16圖係表示呈轉卜势ΊΓ« / 弟1 5圖後之構成的俯視圖 【主要元件符號說明 製程氣體用氣體單元 沖洗氣體用氣體單元

2097-7103-PF 2 200540353 A，B，C，D，E 氣體早元 F 增設氣體單元 16 製程氣體共通流路 16a 端部 17A，17B，17C，17D，17E 第 2 手動閥 18A，18B，18C， 18D，18E第1手動閥 26 沖洗氣體共通流路 26a 端部 2 7A，2 7B，2 7C，2 7D，2 7E 第 3 空氣操作閥 28 製程氣體共通流路端部手動閥 29 沖洗氣體共通流路端部手動閥 41 製程氣體共通流路端部手動閥 42 沖洗氣體共通流路端部手動閥 47F T型螺帽 471 螺栓孔 37F 第6單元固定板 371 穿孔 52F 隔板 522 傾斜 55 工件 30

Claims (1)

1. 200540353 •十、申請專利範圍： 1 · 一種氣體供應組合單元，具有複數個使設於出口流路 之第1手動閥、設於使第1手動閥與製程氣體共通流路相連 通位置上之第2手動閥及設於使第1手動閥與沖洗氣體共通 "’L路相連通位置上之第3控制閥，藉由流路塊争聯成一體之 氣體單元， 其特徵在於： 具有與製程氣體共通流路端部連通之製程氣體共通流 鲁路端部手動閥及與沖洗氣體共通流路端部連通之沖洗氣體 共通流路端部手動閥； 與氣體單元氣體流向垂直交叉，設有複數個而安裝有氣 體單元之執道上形成有導引凹槽，至少形成有2個螺栓孔之 安裝構件係可滑動地安裝在導引凹槽； 增設之氣體單元，係具有與製程氣體共通流路端部手動 閥連通之另一製程氣體共通流路端部手動闊及與沖洗氣體 共通流路端部手動閥連通之另一製程氣體共通流路端部手 鲁動閥’藉由使貫穿增設氣體單元之螺栓鎖固在螺栓孔而安裳 到安裝構件。 2·如申請專利範圍第1項所述之氣體供應組合單元，其 中’安裝構件係具有與氣體單元節距寬度相同之寬度。 3 · 一種氣體供應組合單元，具有複數個使設於出口流路 之第1手動閥、設於使第1手動閥與製程氣體共通流路相連 通位置上之第2手動閥及設於使第1手動閥與沖洗氣體共通 流路相連通位置上之第3控制閥，藉由流路塊串聯成一體之 氣體單元， 2097-7103-PP 31 200540353 • 其特徵在於： 具有與製程氣體共通流路端部連通之製程氣體共通流 路端部手動閥及與沖洗氣體共通流路端部連通之沖洗氣$ 共通流路端部手動閥； 增設之氣體單元，係具有與製程氣體共通流路端部手動 閥連通之另一製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體 共通流路端部手動閥連通之另一製程氣體共通流路端部手 動閥； • 用於使增設氣體單元連接到既設氣體單元之高度調整 機構，係自增設氣體單元端部著脫之物件。 4.如申請專利範圍第3項所述之氣體供應組合單元，其 中’高度調整機構在前端部設有傾斜。 5· —種氣體單元之增設方法，在具備複數個使設於出口 流路之第1手動閥、設於使第1手動閥與製程氣體共通流路 相連通位置上之第2手動閥及設於使第1手動閥與沖洗氣體 共通流路相連通位置上之第3控制閥，藉由流路塊串聯成一 _體之氣體單元的氣體供應組合單元處，增設氣體單元， 其特徵在於： 氣體供應組合單元，係具有與製程氣體共通流路端部連 通之製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體共通流路 端部連通之沖洗氣體共通流路端部手動閥，在與氣體單元氣 體流向垂直交叉而設有複數個的執道上安裝有氣體單元； 增δ又之氣體單元，係具有與製程氣體共通流路端部手動 閥連通之另一製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體 共通流路端部手動閥連通之另一製程氣體共通流路端部手 2097-7103-PF 32 200540353 *動閥； 在軌道上形成有導引凹槽，至少設於氣體單元兩端部之 軌道導引凹槽處，分別可滑動地安裝安裝構件，使定位治具 安裝在各安裝構件後，透過定位治具，使增設之氣體單元與 安裝構件一體移動到既定位置後，結合氣體供應組合單元及 增設氣體單元，同時，安裝增設氣體單元到安裝構件，取下 定位治具。 6.如申請專利範圍第5項所述之氣體單元之增設方 B法，其中，安裝構件上至少形成有2個螺栓孔； 增設氣體單元係穿設有螺栓之穿孔在兩端部至少形成2 個，使插通穿孔之螺栓鎖固到螺栓孔，藉此，安裝到安裝構 件， 其特徵在於： 使定位治具安裝到安裝構件一螺栓孔後，藉由使定位治 具插通增設氣體單元之穿孔，以定位保持增設氣體單元，之 後，使螺栓貫穿增設氣體單元之定位治具未插通穿孔而鎖固 φ到安裝構件螺栓孔，之後，自安裝構件螺栓孔取下定位治 具，然後使螺栓貫穿穿設過定位治具之穿孔而鎖固到安裝構 件螺栓孔。 2097-7103-PF 33