KR100932816B1 - 진공척 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 상면에는 격자형으로 배열된 지지돌기(110)와 진공홈(111)이 구비되고, 내부에는 양측으로 구획된 설치,진공,필터공간(120)(121)(122)이 형성되어 일측 필터공간(122)의 상부에 진공홈(111)과 통하는 진공홀(123)이 형성되며, 후방 양측에는 설치공간(120) 및 진공공간(121)과 각각 통하는 입,출구(130)(131)가 구비된 상판(100); 상기 상판(100)의 설치,진공,필터공간(120)(121)(122)에 설치되는 에어절감밸브(B),진공센서(S)와 진공발생기(V) 및 필터(F); 상기 상판(100)의 전방 중앙과 양측에 각각 장착되어 입구(130) 및 진공공간(121)과 통하는 압력,진공게이지(200)(300); 상기 상판(100)의 전방 양측에 전후로 이동가능하게 설치되어 진공공간(121)을 각각 개폐시키는 스위치(400); 상기 상판(100)의 하부 내측에 기밀하게 체결되는 상판커버(500); 상기 양측 필터공간(122)의 하부에 기밀하게 체결되어 타측 필터공간(122)과 통하는 연결공(610)을 구비하는 필터커버(600); 상기 상판(100)의 하부에 체결되어 저면에는 장방형으로 길게 형성된 진공홈(710)과 지지돌기(720)가 구비되고, 진공홈(710)에는 연결공(610)과 통하는 진공홀(730)이 구비된 하판(700)을 포함하는 진공척.
- 제 1 항에 있어서, 상기 상판(100)의 내부 중앙에는 입구(130) 및 압력게이지(200)와 통하는 제1압력라인(140)이 형성되고, 상기 상판(100)의 내부 양측에는 에어절감밸브(B) 및 진공발생기(V)와 통하는 제2압력라인(141)이 형성되며, 상기 상판(100)의 내부 양측에는 진공공간(121)과 필터공간(122) 및 진공게이지(300)와 통하는 진공라인(142)이 형성되고, 상기 상판(100)의 전방 중앙과 양측에는 압력게이지(200)와 진공게이지(300)를 수용하는 게이지커버(150)가 일체로 형성되며, 상기 상판(100)의 전방 양측에는 스위치(400)를 수용하는 스위치홈(160)이 형성된 것을 특징으로 하는 진공척.
- 제 2 항에 있어서, 상기 게이지커버(150)의 내측 중앙부에는 압력,진공게이지(200)(300)의 볼트(210)(310)와 나사결합되는 암나사(151)가 구비되고, 상기 암나사(151)의 전방 하부에는 압력,진공게이지(200)(300)의 너트(211)(311)를 돌릴 수 있도록 렌치홈(152)이 형성된 것을 특징으로 하는 진공척.
- 제 2 항에 있어서, 상기 스위치홈(160)에는 키(161)가 구비되고, 상기 스위치(400)의 일측 외면에는 키(161)에 끼워지는 키홈(410)과 단속홈(411)이 형성되며, 상기 스위치(400)의 후방 외면에는 제1,2환홈(420)(430)이 구비되고, 상기 제1,2환홈(420)(430)에는 진공라인(142)과 통하는 제1,2관통홀(421)(431)이 형성되며, 상기 제1관통홀(421)의 중앙에는 진공공간(121)과 통하는 제1연결홀(422)이 후방으로 관통되고, 상기 제2관통홀(431)의 중앙에는 외부와 통하는 제2연결홀(432)이 전방으로 관통된 것을 특징으로 하는 진공척.
- 제 1 항에 있어서, 상기 지지돌기(110)에는 기준점 설정용 암나사(110a)가 형성된 것을 특징으로 하는 진공척.
- 제 1 항에 있어서, 상기 진공홀(123)의 상부 외측으로는 이물질이 내부로 유입되는 것을 방지하는 단턱(123a)이 형성된 것을 특징으로 하는 진공척.
- 제 1 항에 있어서, 상기 상판커버(500)의 중앙부 양측에는 필터삽입공(510)이 형성되고, 상기 필터커버(600)의 양측 상부에는 필터삽입공(510)에 끼워지는 삽입관(620)이 구비되며, 상기 삽입관(620)의 일측에는 진공라인(142)과 통하도록 절개부(621)가 형성된 것을 특징으로 하는 진공척.
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Citations (4)
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US5775395A (en) * | 1996-04-10 | 1998-07-07 | Wilkins; David | Vacuum fixture |
JP2000308934A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | New Sutorongu Hanbai Kk | 真空チャック |
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