CN212746000U - 一种高纯度连续供气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高纯度连续供气装置，涉及气体输送技术领域，其包括工艺气体输送系统、吹扫系统和抽真空系统；工艺气体输送系统包括第一供气气路、第二供气气路和输气端口，第一供气气路包括依次连接的第一供气钢瓶、第一压力表、第一调压阀和第一供气开关阀；第二供气气路包括依次连接的第二供气钢瓶、第二压力表、第二调压阀和第二供气开关阀，第一供气气路和第二供气气路的末端与输气端口相连通；吹扫系统和抽真空系统并联设置在第一供气气路和第二供气气路上。本实用新在更换不同供气钢瓶时，对第一供气气路和第二供气路进行抽空吹扫作业，有助于提高更换后供料气体输出端的纯度。

Description

一种高纯度连续供气装置

技术领域

本实用新型涉及气体输送技术领域，尤其是涉及一种高纯度连续供气装置。

背景技术

在目前的工业生产中，很多行业需要气体作为工业原料。需要利用装有供料气体的钢瓶进行供气，当气体使用频繁时，需经常更换新钢瓶，以提供充足的气源。

现有公告号为CN207599347U的中国专利，其公开了一种连续供气装置，包括第一供气气路和第二供气气路，第一供气气路中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门、第一调压阀及第一出口压力检测装置，第二供气气路中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门、第二调压阀及第二出口压力检测装置；第一供气气路的进气端与第一气源连通，第二供气气路的进气端与第二气源连通，第一供气气路的出气端及第二供气气路的出气端均与用气端连通。

采用上述方案，通过设置第一调压阀的出口压力和第二调压阀的出口压力为高低不同值，实现供气气源的自动切换和无缝式更换，从而达到连续供气的目的；然而，当需要向第一供气气路和第二供气气路提供不同种气体时，该第一供气气路和第二供气气路中会残留原来的气体，影响更换后供料气体输出端的纯度，存在待改进之处。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型目的在于提出一种高纯度连续供气装置，利用吹扫系统和抽真空系统，在更换不同供气钢瓶时，对第一供气气路和第二供气路进行抽空吹扫作业，有助于提高更换后供料气体输出端的纯度。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种高纯度连续供气装置，包括工艺气体输送系统、吹扫系统和抽真空系统；所述工艺气体输送系统包括第一供气气路、第二供气气路和输气端口，所述第一供气气路包括依次连接的第一供气钢瓶、第一压力表、第一调压阀和第一供气开关阀；所述第二供气气路包括依次连接的第二供气钢瓶、第二压力表、第二调压阀和第二供气开关阀，所述第一供气气路和第二供气气路的末端与输气端口相连通；所述吹扫系统和抽真空系统呈串联设置，且所述吹扫系统和抽真空系统并联设置在第一供气气路和第二供气气路上，且所述吹扫气系统和抽真空系统连接在第一压力表和第二压力表的后端。

通过采用上述技术方案，若要更换第一供气钢瓶，此时保持第二供气开关阀处于敞开供气状态，关闭第一供气开关阀，利用吹扫系统和抽真空系统，对第一供气气路进行抽空吹扫作业，置换清理出第一供气气路中的残留气体，同理，更换第二供气钢瓶时，同样利用吹扫系统和抽真空系统，对第二供气气路进行抽空吹扫作业，置换清理出第二供气气路中的残留气体，进而有助于提高更换后供料气体输出端的纯度。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：

所述吹扫系统包括吹扫进气端、进气气路、第一吹扫气路和第二吹扫气路，所述吹扫进气端通入惰性气体，所述进气气路连接在吹扫进气端，所述第一吹扫气路与第二吹扫气路的一端并联设置在进气气路的另一端，所述第一吹扫气路上设置有第一吹扫开关阀，所述第二吹扫气路上设置有第二吹扫开关阀，所述第一吹扫气路的另一端连接在第一压力表和第一调压阀之间，所述第二吹扫气路的另一端连接在第二压力表和第二调压阀之间；所述抽真空系统包括第一抽空气路、第二抽空气路和真空发生排气部，所述第一抽空气路的一端连接在第一压力表和第一调压阀之间，所述第二抽空气路的一端连接在第二压力表和第二调压阀之间；所述第一抽空气路和第二抽空气路上分别连接有第一抽空开关阀和第二抽空开关阀，所述第一抽空气路和第二抽空气路的另一端与真空发生排气部连接。

通过采用上述技术方案，当需要对第一供气气路进行抽空吹扫作业时，关闭第一供气开关阀，向吹扫进气端通入惰性气体，打开第一吹扫气路上的第一吹扫开关阀，关闭第一抽空开关阀，观察第一压力表，惰性气体充满时，再打开第一抽空开关阀，利用真空发生排气部对第一抽空气路中的惰性气体进行抽空吹扫作业，同理，采用同样的方式对对第二供气器路进行抽空吹扫作业，进而具体实现了对第一供气气路或第二供气气路中的残留气体进行吹扫置换。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述吹扫进气端包括高氮进气端和低氮进气端，所述进气气路包括并联设置的高氮进气气路和低氮进气气路，所述高氮进气气路与高氮进气端连接，所述低氮进气气路与低氮进气端连接，且所述高氮进气气路上设置有高氮进气开关阀，所述低氮进气气路上设置有低氮进气开关阀，所述第一供气气路位于第一压力表和第一调压阀之间连接有第一保压开关阀，所述第二供气气路位于第二压力表和第二调压阀之间连接有第二保压开关阀。

通过采用上述技术方案，在对第一供气气路进行吹扫作业之前，打开高氮进气开关阀和第一吹扫开关阀，然后向高氮进气端充入高浓度氮气，使高浓度氮气流入第一供气气路中并被第一抽空开关阀和第一保压开关阀堵截在第一供气气路中，此时，观察第一压力表，当第一压力表处于稳定状态时，关闭第一吹扫开关阀，使得高浓度氮气被堵截在第一供气钢瓶输出端的第一供气气路中进行保压处理，保压一段时间后，通过对第一压力表的观察，判断第一供气钢瓶输出端第一供气气路的气密性，若无气密性问题，再打开第一抽空开关阀，利用真空发生排气部将高浓度氮气抽离并排出；

之后，关闭高氮进气开关阀，打开低氮进气开关阀，对第一吹扫气路和第一供气气路进行抽空置换吹扫作业，即在吹扫作业之前进行保压处理，以检测第一供气气路的气密性。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述工艺气体输送系统与抽真空系统之间设置有预吹扫系统，所述预吹扫系统包括第一预吹扫气路和第二预吹扫气路，所述第一预吹扫气路上设置有第一预吹扫开关阀，所述第二预吹扫气路上设置有第二预吹扫开关阀，所述第一预吹扫气路的一端连接在第一调压阀和第一供气开关阀之间，所述第一预吹扫气路的另一端连接在第一抽空开关阀的后端，所述第二预吹扫气路的一端连接在第二调压阀和第二供气开关阀之间，所述第二预吹扫气路的另一端连接在第二抽空开关阀的后端。

通过采用上述技术方案，当需要更换第一供气钢瓶时，在更换之前，关闭第一供气开关阀，此时，第一预扫开关阀的两端具有压强差，打开第一预扫开关阀后，第一供气钢瓶残留的气体在真空排气部的作用下被排出，无需通入低氮进行吹扫，便可实现对第一供气气路的预吹扫功能，提高对第一供气气路的清洁效率；同理，在更换第二供气钢瓶之前，对第二供气气路具有预吹扫功能。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述第一预吹扫气路位于第一预吹扫开关阀的后端连接有第一单向阀，所述第二预吹扫气路位于第二预吹扫开关阀的后端连接有第二单向阀。

通过采用上述技术方案，利用第一单向阀和第二单向阀，保证气体流经第一预扫气路和第二预扫气路时，不会因为压强差的变化而产生逆流。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述第一吹扫气路位于第一吹扫开关阀的后端连接有第三单向阀，所述第二吹扫气路位于第二吹扫开关阀的后端连接有第四单向阀。

通过采用上述技术方案，利用第三单向阀和第四单向阀，保证在对第一进气气路和第二进气气路进行吹扫作业时，气体为单向流动，进而保证吹扫作业的正常进行。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述第一供气气路位于第一压力表和第一保压开关阀之间设置有第一垫片过滤器，所述第二供气气路位于第二压力表和第二保压开关阀之间设置有第二垫片过滤器。

通过采用上述技术方案，利用第一垫片过滤器和第二垫片过滤器，分别对从第一供气钢瓶和第二供气钢瓶中的气体进行过滤作用，进而有助于提高气体的纯度。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述第一供气气路和第二供气气路与输气端口之间依次连接有过滤保护开关和终墙过滤器。

通过采用上述技术方案，利用过滤保护开关和终墙过滤器，对即将输出的气体进行过滤作用，进一步提高输出气体的纯度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

利用吹扫系统和抽真空系统，在更换不同钢瓶时，对第一供气气路和第二供气路进行抽空吹扫作业，有助于提高更换后供料气体输出端的纯度；

综合利用工艺气体输送系统、吹扫系统和抽真空系统以及预吹扫系统，减少更换第一供气钢瓶或第二供气钢瓶的前后产生的残留气体以及空气的影响，大大提高气路中的清洁度，进而大大地提高了输出气体的纯度。

附图说明

图1为本实施例主要体现高纯度连续供气装置的气路布局示意图；

图2为本实施例主要体现工艺气体输送系统的结构示意图；

图3为本实施例主要体现吹扫系统和抽空系统的结构示意图；

图4为本实施例主要体现预吹扫系统和抽空系统的结构示意图；

图5为本实施例主要体现二次预吹扫时的气路布局示意图。

附图标记：a、工艺气体输送系统；a1、第一供气气路；a11、第一供气钢瓶；a12、第一压力表；a13、第一垫片过滤器；a14、第一保压开关阀；a15、第一调压阀；a16、第一供气开关阀；a17、第一隔离阀；a2、第二供气气路；a21、第二供气钢瓶；a22、第二压力表；a23、第二垫片过滤器；a24、第二保压开关阀；a25、第二调压阀；a26、第二供气开关阀；a27、第二隔离阀；a3、输出气路；a31、过滤保护开关；a32、终墙过滤器；a4、输气端口；b、吹扫系统；b1、吹扫进气端；b11、高氮进气端；b12、低氮进气端；b2、进气气路；b21、高氮进气气路；b211、高氮进气开关阀；b22、低氮进气气路；b221、气动微漏阀；b222、进气单向阀；b223、低氮进气开关阀；b3、第一吹扫气路；b31、第三单向阀；b32、第一吹扫开关阀；b4、第二吹扫气路；b41、第四单向阀；b42、第二吹扫开关阀；b5、第三压力表；c、抽真空系统；c1、第一抽空气路；c11、第一抽空开关阀；c2、第二抽空气路；c21、第二抽空开关阀；c3、真空发生排气部；c4、第四压力表；d、预吹扫系统；d1、第一预吹扫气路；d11、第一预吹扫开关阀；d12、第一单向阀；d2、第二预吹扫气路；d21、第二预吹扫开关阀；d22、第二单向阀。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，一种高纯度连续供气装置，包括工艺气体输送系统a、吹扫系统b和抽真空系统c以及预吹扫系统d；实际使用中，利用工艺气体输送系统a进行气体的输送作业，在更换输出气源时，结合吹扫系统b和抽真空系统c以及预吹扫系统d对气路进行吹扫置换抽空作业，进而提高输出气体的纯度。

如图1和图2所示，工艺气体输送系统a包括第一供气气路a1、第二供气气路a2、输出气路a3和输气端口a4，其中，第一供气气路a1包括依次连接的第一供气钢瓶a11、第一压力表a12、第一垫片过滤器a13、第一保压开关阀a14、第一调压阀a15、第一供气开关阀a16和第一隔离阀a17；第二供气气路a2包括依次连接的第二供气钢瓶a21、第二压力表a22、第二垫片过滤器a23、第二保压开关阀a24、第二调压阀a25、第二供气开关阀a26和第二隔离阀a27，第一供气气路a1和第二供气气路a2的末端并联在输出气路a3上，输出气路a3上依次连接有过滤保护开关a31和终墙过滤器a32，且输出气路a3的末端与输气端口a4相连接。

实际气体运输送中，采用单瓶单备原则，打开第一保压开关阀a14、第一供气开关阀a16和第一隔离阀a17，关闭第二保压开关阀a24、第二供气开关阀a26和第二隔离阀a27，此时，第一供气钢瓶a11中的气体流经第一供气气路a1至输出气路a3至输气端口a4，进行输气。

如图1和图3所示，吹扫系统b包括吹扫进气端b1、进气气路b2、第一吹扫气路b3和第二吹扫气路b4，吹扫进气端b1包括高氮进气端b11和低氮进气端b12，进气气路b2包括并联设置的高氮进气气路b21和低氮进气气路b22，高氮进气气路b21与高氮进气端b11连接，高氮进气气路b21上设置有高氮进气开关阀b211；低氮进气气路b22与低氮进气端b12连接，低氮进气气路b22上依次连接有气动微漏阀b221、进气单向阀b222和低氮进气开关阀b223。

第一吹扫气路b3和第二吹扫气路b4呈并联设置，且并联设置的第一吹扫气路b3和第二吹扫气路b4与并联设置的高氮进气气路b21和低氮进气气路b22相串联，且并联设置的第一吹扫气路b3和第二吹扫气路b4与并联设置的高氮进气气路b21和低氮进气气路b22之间的串联气路上连接有三压力表b5。第一吹扫气路b3上依次连接有第三单向阀b31和第一吹扫开关阀b32，第二吹扫气路b4上依次连接有第四单向阀b41和第二吹扫开关阀b42，第一吹扫气路b3的另一端连接在第一进气气路b2的第一调压阀a15和第一垫片过滤器a13之间，第二吹扫气路b4的另一端连接在第二进气气路b2的第二调压阀a25和第二垫片过滤器a23之间。

抽真空气系统包括第一抽空气路c1、第二抽空气路c2和真空发生排气部c3，第一抽空气路c1的一端连接在第一压力表a12和第一垫片过滤器a13之间形成四通，第一抽空气路c1上连接有第一抽空开关阀c11；第二抽空气路c2的一端连接在第二压力表a22和第二垫片过滤器a23之间形成四通，第二抽空气路c2上连接有第二抽空开关阀c21，真空发生排气部c3设置为真空发生器,第一抽空气路c1和第二抽空气路c2并联设置在真空发生器上，且第一抽空气路c1和第二抽空气路c2的并联端与真空发生器之间连接有第四压力表c4。

实际吹扫之前，需要进行保压处理，由于第一供气气路a1和第二供气气路a2的保压处理和吹扫处理的方式均相同，现以第一供气气路a1的保压处理和吹扫处理为例进行阐述。

保压处理：首先，打开高氮进气开关阀b211和第一吹扫气路b3上的第一吹扫开关阀b32，向高氮进气端b11充入高浓度氮气，随着高浓度氮气的持续输入，当第一压力表a12的示数处于稳定状态时，关闭第一吹扫开关阀b32，使得高浓度氮气被堵截于第一供气钢瓶a11、第一抽空开关阀c11、第一保压开关阀a14之间，对该段气路进行保压处理，保压一段时间后，通过对第一压力表a12的观察，判断第一供气钢瓶a11输出端第一供气气路a1的气密性，若无气密性问题，再打开第一抽空开关阀c11，利用真空发生器将高浓度氮气抽离并排出。

吹扫处理：保压处理之后，为进一步提高第一供气气路a1中的清洁度，向低氮进气端b12通入低浓度氮气，打开低氮进气开关阀b223和第一吹扫气路b3上的第一吹扫开关阀b32，关闭第一抽空开关阀c11，观察第一压力表a12，低浓度氮气充满时，再打开第一抽空开关阀c11，利用真空发生器对第一抽空气路c1中的低浓度氮气进行抽空吹扫作业，实现对第一供气气路a1中的残留气体进行吹扫置换。

实际使用中，可根据供气气体的不同，吹扫多次。

如图1和图4所示，预吹扫系统d包括第一预吹扫气路d1和第二预吹扫气路d2，第一预吹扫气路d1上依次连接有第一预吹扫开关阀d11和第一单向阀d12，第一预吹扫气路d1的一端连接在第一调压阀a15和第一供气开关阀a16之间，且第一预吹扫气路d1的另一端并联在第一抽空开关阀c11的后端；第二预吹扫气路d2上依次连接有第二预吹扫开关阀d21和第二单向阀d22，第二预吹扫气路d2的一端连接在第二调压阀a25和第二供气开关阀a26之间，第二预吹扫气路d2的另一端并联在第二抽空开关阀c21的后端。

实际使用中，当需要更换第一供气钢瓶a11时，更换之前，关闭第一供气开关阀a16，打开第一保压开关阀a14，此时，第一预扫开关阀的两端具有压强差，打开第一预扫开关阀后，第一供气钢瓶a11残留的气体在真空发生器的作用下被排出，无需通入低氮进行吹扫，便可实现对第一供气气路a1的预吹扫功能，提高对第一供气气路a1的清洁效率；同理，在更换第一供气钢瓶a11之前，该第二预吹扫气路d2上的第二预吹扫开关阀d21同样地对第二供气气路a2具有预吹扫功能。

本实施例的实施原理为：

实际使用中，该供气装置，采用的是一瓶一备的使用原则，当无需更换第一供气钢瓶a11或第二供气钢瓶a21时，该供气装置则处于正常的工艺气体输送作业。

工艺气体输送作业：若使用的是第一供气钢瓶a11，第二供气钢瓶a21则处于备用的状态，此时，打开第一保压开关阀a14、第一供气开关阀a16和第一隔离阀a17，第一供气钢瓶a11中的工艺气体则会沿着第一供气气路a1进入输气端口a4，进行气体输送作业。

当需要更换第一供气钢瓶a11时，关闭第一供气开关阀a16，打开第二保压开关阀a24、第二供气开关阀a26和第二隔离阀a27，第二供气钢瓶a21中的工艺气体则会沿着第一供气气路a1进入输气端口a4，进行气体输送作业。

对于第一供气钢瓶a11的更换，为了提高第一供气气路a1的清洁度，更换步骤如下：一次预吹扫、负压保压测试、二次预吹扫、更换钢瓶、一次后吹扫、正压保压测试、二次后吹扫。

一次预吹扫：更换第一供气钢瓶a11之前，关闭第一供气开关阀a16，打开第一保压开关阀a14，此时，第一预扫开关阀的两端具有压强差，打开第一预扫开关阀后，第一供气钢瓶a11残留的气体在真空发生器的作用下被排出，无需通入低氮进行吹扫，便可实现对第一供气气路a1的预吹扫功能，提高对第一供气气路a1的清洁效率。

负压保压测试：一次预吹扫后，关闭第一预吹扫开关阀d11，使得第一供气气路a1中剩余的残留气体停留在第一供气钢瓶a11和第一吹扫开关阀b32之间，持续一段时间后，再观察第一调压阀a15上的压力示数，判断此段气路的气密性。

二次预吹扫（参见图5）：负压保压测试后，向低氮进气端b12通入低浓度氮气，打开低氮进气开关阀b223、第一吹扫开关阀b32，使低浓度氮气充入负压保压气路中，然后，打开第一预吹扫开关阀d11，利用真空发生器对负压保压气路中进行吹扫置换作业，实际使用中，可根据情况，吹扫多次。

更换钢瓶：多次吹扫过后，关闭第一保压开关阀a14、第一抽空阀和第一吹扫开关阀b32，再更换第一供气钢瓶a11。

一次后吹扫：更换第一供气钢瓶a11后，向低氮进气端b12通入低浓度氮气，打开低氮进气开关阀b223和第一吹扫气路b3上的第一吹扫开关阀b32，关闭第一抽空开关阀c11和第一保压开关阀a14，观察第一压力表a12，当低浓度氮气充满时，再打开第一抽空开关阀c11，利用真空发生器对第一抽空气路c1中的低浓度氮气进行抽空置换吹扫作业，目的是排出更换第一钢瓶时，第一供气气路a1中存在的空气。

正压保压测试：打开高氮进气开关阀b211和第一吹扫气路b3上的第一吹扫开关阀b32，向高氮进气端b11充入高浓度氮气，随着高浓度氮气的持续输入，当第一压力表a12的示数处于稳定状态时，关闭第一吹扫开关阀b32，使得高浓度氮气被堵截于第一供气钢瓶a11、第一抽空开关阀c11、第一保压开关阀a14之间，对该段气路进行保压处理，保压一段时间后，通过对第一压力表a12的观察，判断第一供气钢瓶a11输出端第一供气气路a1的气密性，若无气密性问题，再打开第一抽空开关阀c11，利用真空发生器将高浓度氮气抽离并排出。

二次后吹扫：向低氮进气端b12通入低浓度氮气，打开低氮进气开关阀b223和第一吹扫气路b3上的第一吹扫开关阀b32，关闭第一抽空开关阀c11和第一保压开关阀a14，观察第一压力表a12，当低浓度氮气充满时，再打开第一抽空开关阀c11，利用真空发生器对第一抽空气路c1中的低浓度氮气进行抽空置换吹扫作业，清理第一供气气路a1中仍然残留的空气，实际使用中，可根据情况，吹扫多次。

最后，才能进行正常的工艺气体输送作业。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种高纯度连续供气装置，其特征在于，包括工艺气体输送系统（a）、吹扫系统（b）和抽真空系统（c）；所述工艺气体输送系统（a）包括第一供气气路（a1）、第二供气气路（a2）和输气端口（a4），所述第一供气气路（a1）包括依次连接的第一供气钢瓶（a11）、第一压力表（a12）、第一调压阀（a15）和第一供气开关阀（a16）；所述第二供气气路（a2）包括依次连接的第二供气钢瓶（a21）、第二压力表（a22）、第二调压阀（a25）和第二供气开关阀（a26），所述第一供气气路（a1）和第二供气气路（a2）的末端与输气端口（a4）相连通；所述吹扫系统（b）和抽真空系统（c）呈串联设置，且所述吹扫系统（b）和抽真空系统（c）并联设置在第一供气气路（a1）和第二供气气路（a2）上，且所述吹扫系统（b）和抽真空系统（c）连接在第一压力表（a12）和第二压力表（a22）的后端。

2.根据权利要求1所述的一种高纯度连续供气装置，其特征在于，所述吹扫系统（b）包括吹扫进气端（b1）、进气气路（b2）、第一吹扫气路（b3）和第二吹扫气路（b4），所述吹扫进气端（b1）通入惰性气体，所述进气气路（b2）连接在吹扫进气端（b1），所述第一吹扫气路（b3）与第二吹扫气路（b4）的一端并联设置在进气气路（b2）的另一端，所述第一吹扫气路（b3）上设置有第一吹扫开关阀（b32），所述第二吹扫气路（b4）上设置有第二吹扫开关阀（b42），所述第一吹扫气路（b3）的另一端连接在第一压力表（a12）和第一调压阀（a15）之间，所述第二吹扫气路（b4）的另一端连接在第二压力表（a22）和第二调压阀（a25）之间；

所述抽真空系统（c）包括第一抽空气路（c1）、第二抽空气路（c2）和真空发生排气部（c3），所述第一抽空气路（c1）的一端连接在第一压力表（a12）和第一调压阀（a15）之间，所述第二抽空气路（c2）的一端连接在第二压力表（a22）和第二调压阀（a25）之间；所述第一抽空气路（c1）和第二抽空气路（c2）上分别连接有第一抽空开关阀（c11）和第二抽空开关阀（c21），所述第一抽空气路（c1）和第二抽空气路（c2）的另一端与真空发生排气部（c3）连接。

3.根据权利要求2所述的一种高纯度连续供气装置，其特征在于，所述吹扫进气端（b1）包括高氮进气端（b11）和低氮进气端（b12），所述进气气路（b2）包括并联设置的高氮进气气路（b21）和低氮进气气路（b22），所述高氮进气气路（b21）与高氮进气端（b11）连接，所述低氮进气气路（b22）与低氮进气端（b12）连接，且所述高氮进气气路（b21）上设置有高氮进气开关阀（b211），所述低氮进气气路（b22）上设置有低氮进气开关阀（b223），所述第一供气气路（a1）位于第一压力表（a12）和第一调压阀（a15）之间连接有第一保压开关阀（a14），所述第二供气气路（a2）位于第二压力表（a22）和第二调压阀（a25）之间连接有第二保压开关阀（a24）。

4.根据权利要求3所述的一种高纯度连续供气装置，其特征在于，所述工艺气体输送系统（a）与抽真空系统（c）之间设置有预吹扫系统（d），所述预吹扫系统（d）包括第一预吹扫气路（d1）和第二预吹扫气路（d2），所述第一预吹扫气路（d1）上设置有第一预吹扫开关阀（d11），所述第二预吹扫气路（d2）上设置有第二预吹扫开关阀（d21），所述第一预吹扫气路（d1）的一端连接在第一调压阀（a15）和第一供气开关阀（a16）之间，所述第一预吹扫气路（d1）的另一端连接在第一抽空开关阀（c11）的后端，所述第二预吹扫气路（d2）的一端连接在第二调压阀（a25）和第二供气开关阀（a26）之间，所述第二预吹扫气路（d2）的另一端连接在第二抽空开关阀（c21）的后端。

5.根据权利要求4所述的一种高纯度连续供气装置，其特征在于，所述第一预吹扫气路（d1）位于第一预吹扫开关阀（d11）的后端连接有第一单向阀（d12），所述第二预吹扫气路（d2）位于第二预吹扫开关阀（d21）的后端连接有第二单向阀（d22）。

6.根据权利要求2所述的一种高纯度连续供气装置，其特征在于，所述第一吹扫气路（b3）位于第一吹扫开关阀（b32）的后端连接有第三单向阀（b31），所述第二吹扫气路（b4）位于第二吹扫开关阀（b42）的后端连接有第四单向阀（b41）。

7.根据权利要求1所述的一种高纯度连续供气装置，其特征在于，所述第一供气气路（a1）位于第一压力表（a12）和第一保压开关阀（a14）之间设置有第一垫片过滤器（a13），所述第二供气气路（a2）位于第二压力表（a22）和第二保压开关阀（a24）之间设置有第二垫片过滤器（a23）。

8.根据权利要求1所述的一种高纯度连续供气装置，其特征在于，所述第一供气气路（a1）和第二供气气路（a2）与输气端口（a4）之间依次连接有过滤保护开关（a31）和终墙过滤器（a32）。

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