CN217503353U - 一种超净高纯化学品供应系统 - Google Patents

Abstract

一种超净高纯化学品供应系统，包括出料阀组、压料阀组、吹扫阀组、真空发生器与多个原料罐，出料阀组包括一号气动阀，化学品输出接口经一号气动阀后与原料罐液相接口连通，压料阀组包括二号气动阀、一号单向阀与三号气动阀，压料气接口依次经二号气动阀、一号单向阀、三号气动阀后与原料罐气相接口连通，吹扫阀组包括二号单向阀、一号气动微漏阀与四号气动阀，吹扫气接口依次经二号单向阀、一号气动微漏阀、四号气动阀、五号气动阀后通过六号气动阀、八号气动阀分别与原料罐液相接口、原料罐气相接口连通，真空发生器经七号气动阀后与五号气动阀连通，七号气动阀与四号气动阀连通。本设计不仅适用范围广，而且可靠性高。

Description

一种超净高纯化学品供应系统

技术领域

本实用新型涉及化学品供应技术领域，尤其涉及一种超净高纯化学品供应系统，主要适用于提高适用范围与可靠性。

背景技术

超净高纯少量应用的电子级特殊化学品，比如GeCl4、TMA、TEOS等，达不到建站供应的需求量，一般采用原料周转罐进行不间断供料的供应模式，广泛应用于光纤、太阳能电池、半导体制造工艺中。由于以上化学品不仅有危化品的特点：易燃易爆、腐蚀、有毒，而且有超高纯洁净要求，所以对设备的制造有着极高的要求。超净高纯化学品供应装置，是化学品应用企业将不同规格原料罐的原料，输送至工艺生产设备进行产品的生产制造。

现有化学品供应装置存在如下缺陷：首先，无法根据工艺生产需求，同时对不同种类化学品进行输出，使得供应装置适用范围较窄；其次，化学品供应时，并未对原料罐连接管路内残留物进行吹扫，也未对供应装置内部气密性进行检测，从而使得供应装置的可靠性较低。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的适用范围窄、可靠性低的缺陷与问题，提供一种适用范围广、可靠性高的超净高纯化学品供应系统。

为实现以上目的，本实用新型的技术解决方案是：一种超净高纯化学品供应系统，包括柜体及其内设置的控制箱、多个原料罐；

所述控制箱内设置有出料阀组、压料阀组、吹扫阀组与真空发生器；

所述出料阀组包括多个一号气动阀，多个一号气动阀的一端分别与多个化学品输出接口连通，多个一号气动阀的另一端分别与多个液相连接接口连通；

所述压料阀组包括二号气动阀、多个一号单向阀与多个三号气动阀，所述二号气动阀的一端与压料气接口连通，二号气动阀的另一端依次经一号单向阀、三号气动阀后分别与多个气相连接接口连通；

所述吹扫阀组包括二号单向阀、一号气动微漏阀与四号气动阀，所述二号单向阀的一端与吹扫气接口连通，二号单向阀的另一端经一号气动微漏阀后与四号气动阀的一端连通，四号气动阀的另一端分别与多个五号气动阀的一端连通，多个五号气动阀的另一端通过六号气动阀与多个液相连接接口连通，多个五号气动阀的另一端通过八号气动阀与多个气相连接接口连通；

所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口连通，真空发生器的出气口与尾气排放接口连通，真空发生器的吸气口与七号气动阀的一端连通，七号气动阀的另一端分别与多个五号气动阀的一端连通，所述七号气动阀的另一端与四号气动阀的另一端连通；

多个所述液相连接接口通过多根液相连接管路分别与多个原料罐的液相接口连通，多个所述气相连接接口通过多根气相连接管路分别与多个原料罐的气相接口连通。

所述二号气动阀经一号减压阀后与压料气接口连通，二号气动阀与一号减压阀之间的管路上设置有一号压力传感器。

所述一号减压阀经一号过滤器后与压料气接口连通。

所述一号气动阀与液相连接接口之间的管路上设置有二号压力传感器。

所述真空发生器包括文丘里发生器、三号单向阀与二号气动微漏阀，所述文丘里发生器的进气口依次经三号单向阀、二号气动微漏阀后与驱动气输入接口连通，文丘里发生器的出气口与尾气排放接口连通，文丘里发生器的吸气口与七号气动阀连通。

所述二号单向阀经二号减压阀后与吹扫气接口连通，二号单向阀与二号减压阀之间的管路上设置有三号压力传感器。

所述二号减压阀经二号过滤器后与吹扫气接口连通。

所述五号气动阀与四号气动阀、七号气动阀之间的管路上设置有四号压力传感器。

所述柜体上设置有抽风风阀。

所述供应系统还包括磅秤，所述磅秤设置在原料罐的底部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型一种超净高纯化学品供应系统中，根据工艺生产需求，化学品输出接口可连接同种化学品输出，也可以连接不同种类、不同规格化学品输出；化学品供应前，利用吹扫阀组与真空发生器配合完成真空发生器功能自检，利用吹扫阀组与真空发生器，对原料罐连接管路内部残留物进行快速吹扫，以达到符合要求的洁净度，同时，对供应系统内连接管路进行气密性测试；化学品供应时，利用出料阀组与压料阀组配合将原料罐内化学品输送至工艺使用点。因此，本实用新型适用范围广、可靠性高。

2、本实用新型一种超净高纯化学品供应系统中，二号气动阀经一号减压阀后与压料气接口连通，二号气动阀与一号减压阀之间的管路上设置有一号压力传感器，通过一号减压阀与一号压力传感器配合来调节压料气压力，以使压料气压力满足工艺需求；一号减压阀经一号过滤器后与压料气接口连通，增设一号过滤器，以除掉吹扫气中的杂质。因此，本实用新型操作简便、可靠性高。

3、本实用新型一种超净高纯化学品供应系统中，真空发生器包括文丘里发生器、三号单向阀与二号气动微漏阀，文丘里发生器的进气口依次经三号单向阀、二号气动微漏阀后与驱动气输入接口连通，文丘里发生器的出气口与尾气排放接口连通，文丘里发生器的吸气口与七号气动阀连通；采用上述结构的三合一气动真空发生器，不仅操作简便，而且使得真空发生器的工作可靠性高。因此，本实用新型操作简便、可靠性高。

4、本实用新型一种超净高纯化学品供应系统中，二号单向阀经二号减压阀后与吹扫气接口连通，二号单向阀与二号减压阀之间的管路上设置有三号压力传感器，通过二号减压阀与三号压力传感器配合来调节吹扫气压力，以使吹扫气压力满足工艺需求；二号减压阀经二号过滤器后与吹扫气接口连通，增设二号过滤器，以除掉吹扫气中的杂质。因此，本实用新型操作简便、可靠性高。

5、本实用新型一种超净高纯化学品供应系统中，一号气动阀与液相连接接口之间的管路上设置有二号压力传感器，五号气动阀与四号气动阀、七号气动阀之间的管路上设置有四号压力传感器，通过二号压力传感器与四号压力传感器来检测管路内压力并进行相应操作，使得操作简便可靠。因此，本实用新型操作简便可靠。

6、本实用新型一种超净高纯化学品供应系统中，柜体上设置有抽风风阀，以实现化学品泄漏时控制抽风风阀抽出泄露源防止泄漏外扩；磅秤设置在原料罐的底部，通过磅秤来获取原料罐内化学品剩余重量，当化学品重量超低时切断供应，使得操作简便。因此，本实用新型安全性高、操作简便。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1中控制箱的结构示意图。

图中：柜体1、控制箱2、原料罐3、一号气动阀4、化学品输出接口5、液相连接接口6、二号气动阀7、一号单向阀8、三号气动阀9、压料气接口10、气相连接接口11、二号单向阀12、一号气动微漏阀13、四号气动阀14、吹扫气接口15、五号气动阀16、六号气动阀17、驱动气输入接口18、尾气排放接口19、七号气动阀20、八号气动阀21、液相连接管路22、气相连接管路23、一号减压阀24、一号压力传感器25、一号过滤器26、二号压力传感器27、文丘里发生器28、三号单向阀29、二号气动微漏阀30、二号减压阀31、三号压力传感器32、二号过滤器33、四号压力传感器34、抽风风阀35、磅秤36。

具体实施方式

以下结合附图说明和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

参见图1、图2，一种超净高纯化学品供应系统，包括柜体1及其内设置的控制箱2、多个原料罐3；

所述控制箱2内设置有出料阀组、压料阀组、吹扫阀组与真空发生器；

所述出料阀组包括多个一号气动阀4，多个一号气动阀4的一端分别与多个化学品输出接口5连通，多个一号气动阀4的另一端分别与多个液相连接接口6连通；

所述压料阀组包括二号气动阀7、多个一号单向阀8与多个三号气动阀9，所述二号气动阀7的一端与压料气接口10连通，二号气动阀7的另一端依次经一号单向阀8、三号气动阀9后分别与多个气相连接接口11连通；

所述吹扫阀组包括二号单向阀12、一号气动微漏阀13与四号气动阀14，所述二号单向阀12的一端与吹扫气接口15连通，二号单向阀12的另一端经一号气动微漏阀13后与四号气动阀14的一端连通，四号气动阀14的另一端分别与多个五号气动阀16的一端连通，多个五号气动阀16的另一端通过六号气动阀17与多个液相连接接口6连通，多个五号气动阀16的另一端通过八号气动阀21与多个气相连接接口11连通；

所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口18连通，真空发生器的出气口与尾气排放接口19连通，真空发生器的吸气口与七号气动阀20的一端连通，七号气动阀20的另一端分别与多个五号气动阀16的一端连通，所述七号气动阀20的另一端与四号气动阀14的另一端连通；

多个所述液相连接接口6通过多根液相连接管路22分别与多个原料罐3的液相接口连通，多个所述气相连接接口11通过多根气相连接管路23分别与多个原料罐3的气相接口连通。

所述二号气动阀7经一号减压阀24后与压料气接口10连通，二号气动阀7与一号减压阀24之间的管路上设置有一号压力传感器25。

所述一号减压阀24经一号过滤器26后与压料气接口10连通。

所述一号气动阀4与液相连接接口6之间的管路上设置有二号压力传感器27。

所述真空发生器包括文丘里发生器28、三号单向阀29与二号气动微漏阀30，所述文丘里发生器28的进气口依次经三号单向阀29、二号气动微漏阀30后与驱动气输入接口18连通，文丘里发生器28的出气口与尾气排放接口19连通，文丘里发生器28的吸气口与七号气动阀20连通。

所述二号单向阀12经二号减压阀31后与吹扫气接口15连通，二号单向阀12与二号减压阀31之间的管路上设置有三号压力传感器32。

所述二号减压阀31经二号过滤器33后与吹扫气接口15连通。

所述五号气动阀16与四号气动阀14、七号气动阀20之间的管路上设置有四号压力传感器34。

所述柜体1上设置有抽风风阀35。

所述供应系统还包括磅秤36，所述磅秤36设置在原料罐3的底部。

本实用新型的原理说明如下：

开启一号气动微漏阀、四号气动阀，将吹扫气充入供应系统管路，达到预设压力后关闭吹扫气（通过压力传感器检测管路内压力），开启真空发生器，通过检测管路内压力来判断真空发生器功能是否正常。

开启原料罐气相连接管路气动阀，并从尾气排放管路泄放原料罐内压力，达到预设压力后关闭气动阀；开启吹扫气管路气动阀，将吹扫气充入原料罐液相连接管路，以将管路内液体压入原料罐；泄放一次压力、充入一次气体为1次余料回压，目的是让管路内残存液体尽可能少，以便管路能被快速吹扫置换干净。

开启真空发生器、尾气排放管路气动阀，抽出管路内气体，达到预设压力后关闭真空发生器与气动阀，进行原料罐气液相连接管路气密性测试，目的在于保证原料罐气液相阀门已安全可靠关闭，拆除过程无泄漏风险。

开启一号气动微漏阀、四号气动阀，将吹扫气充入原料罐连接管路，达到预设压力后关闭吹扫气；开启真空发生器、尾气排放管路气动阀，抽出管路内气体，达到预设压力后关闭真空发生器与气动阀；充入一次吹扫气、抽一次真空为1次吹扫置换，目的是将管路内残留化学品清除干净达到安全无害拆除条件。

开启四号气动阀，将吹扫气充入原料罐气液相连接接口及管路；一号气动微漏阀此时为关闭状态，该状态下阀门会有微流量氮气流通，以防止拆除原料罐时外界气体进入管路污染系统。

开启一号气动微漏阀、四号气动阀，将吹扫气充入原料罐连接管路，达到预设压力后关闭吹扫气，进行原料罐气液相连接管路气密性测试。

开启压料气管路气动阀、化学品输出管路气动阀，压料气进入原料罐将化学品压进输出管路输送至工艺使用点；化学品供应过程中，通过压力传感器检测供应压力，通过磅秤检测原料罐内化学品剩余重量，重量偏低时提示准备更换原料罐，重量超低时切断供应或切换至备用原料罐供应。

实施例1：

参见图1、图2，一种超净高纯化学品供应系统，包括柜体1及其内设置的控制箱2、多个原料罐3；所述控制箱2内设置有出料阀组、压料阀组、吹扫阀组与真空发生器；所述出料阀组包括多个一号气动阀4，多个一号气动阀4的一端分别与多个化学品输出接口5连通，多个一号气动阀4的另一端分别与多个液相连接接口6连通；所述压料阀组包括二号气动阀7、多个一号单向阀8与多个三号气动阀9，所述二号气动阀7的一端与压料气接口10连通，二号气动阀7的另一端依次经一号单向阀8、三号气动阀9后分别与多个气相连接接口11连通；所述吹扫阀组包括二号单向阀12、一号气动微漏阀13与四号气动阀14，所述二号单向阀12的一端与吹扫气接口15连通，二号单向阀12的另一端经一号气动微漏阀13后与四号气动阀14的一端连通，四号气动阀14的另一端分别与多个五号气动阀16的一端连通，多个五号气动阀16的另一端通过六号气动阀17与多个液相连接接口6连通，多个五号气动阀16的另一端通过八号气动阀21与多个气相连接接口11连通；所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口18连通，真空发生器的出气口与尾气排放接口19连通，真空发生器的吸气口与七号气动阀20的一端连通，七号气动阀20的另一端分别与多个五号气动阀16的一端连通，所述七号气动阀20的另一端与四号气动阀14的另一端连通；多个所述液相连接接口6通过多根液相连接管路22分别与多个原料罐3的液相接口连通，多个所述气相连接接口11通过多根气相连接管路23分别与多个原料罐3的气相接口连通；所述一号气动阀4与液相连接接口6之间的管路上设置有二号压力传感器27；所述五号气动阀16与四号气动阀14、七号气动阀20之间的管路上设置有四号压力传感器34。

实施例2：

基本内容同实施例1，不同之处在于：

所述二号气动阀7经一号减压阀24后与压料气接口10连通，二号气动阀7与一号减压阀24之间的管路上设置有一号压力传感器25；所述一号减压阀24经一号过滤器26后与压料气接口10连通。

实施例3：

基本内容同实施例1，不同之处在于：

所述真空发生器包括文丘里发生器28、三号单向阀29与二号气动微漏阀30，所述文丘里发生器28的进气口依次经三号单向阀29、二号气动微漏阀30后与驱动气输入接口18连通，文丘里发生器28的出气口与尾气排放接口19连通，文丘里发生器28的吸气口与七号气动阀20连通。

实施例4：

基本内容同实施例1，不同之处在于：

所述二号单向阀12经二号减压阀31后与吹扫气接口15连通，二号单向阀12与二号减压阀31之间的管路上设置有三号压力传感器32；所述二号减压阀31经二号过滤器33后与吹扫气接口15连通。

实施例5：

基本内容同实施例1，不同之处在于：

所述柜体1上设置有抽风风阀35；所述供应系统还包括磅秤36，所述磅秤36设置在原料罐3的底部。

Claims (10)

1.一种超净高纯化学品供应系统，包括柜体(1)及其内设置的控制箱(2)、多个原料罐(3)，其特征在于：

所述控制箱(2)内设置有出料阀组、压料阀组、吹扫阀组与真空发生器；

所述出料阀组包括多个一号气动阀(4)，多个一号气动阀(4)的一端分别与多个化学品输出接口(5)连通，多个一号气动阀(4)的另一端分别与多个液相连接接口(6)连通；

所述压料阀组包括二号气动阀(7)、多个一号单向阀(8)与多个三号气动阀(9)，所述二号气动阀(7)的一端与压料气接口(10)连通，二号气动阀(7)的另一端依次经一号单向阀(8)、三号气动阀(9)后分别与多个气相连接接口(11)连通；

所述吹扫阀组包括二号单向阀(12)、一号气动微漏阀(13)与四号气动阀(14)，所述二号单向阀(12)的一端与吹扫气接口(15)连通，二号单向阀(12)的另一端经一号气动微漏阀(13)后与四号气动阀(14)的一端连通，四号气动阀(14)的另一端分别与多个五号气动阀(16)的一端连通，多个五号气动阀(16)的另一端通过六号气动阀(17)与多个液相连接接口(6)连通，多个五号气动阀(16)的另一端通过八号气动阀(21)与多个气相连接接口(11)连通；

所述真空发生器的进气口与驱动气输入接口(18)连通，真空发生器的出气口与尾气排放接口(19)连通，真空发生器的吸气口与七号气动阀(20)的一端连通，七号气动阀(20)的另一端分别与多个五号气动阀(16)的一端连通，所述七号气动阀(20)的另一端与四号气动阀(14)的另一端连通；

多个所述液相连接接口(6)通过多根液相连接管路(22)分别与多个原料罐(3)的液相接口连通，多个所述气相连接接口(11)通过多根气相连接管路(23)分别与多个原料罐(3)的气相接口连通。

2.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品供应系统，其特征在于：所述二号气动阀(7)经一号减压阀(24)后与压料气接口(10)连通，二号气动阀(7)与一号减压阀(24)之间的管路上设置有一号压力传感器(25)。

3.根据权利要求2所述的一种超净高纯化学品供应系统，其特征在于：所述一号减压阀(24)经一号过滤器(26)后与压料气接口(10)连通。

4.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品供应系统，其特征在于：所述一号气动阀(4)与液相连接接口(6)之间的管路上设置有二号压力传感器(27)。

5.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品供应系统，其特征在于：所述真空发生器包括文丘里发生器(28)、三号单向阀(29)与二号气动微漏阀(30)，所述文丘里发生器(28)的进气口依次经三号单向阀(29)、二号气动微漏阀(30)后与驱动气输入接口(18)连通，文丘里发生器(28)的出气口与尾气排放接口(19)连通，文丘里发生器(28)的吸气口与七号气动阀(20)连通。

6.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品供应系统，其特征在于：所述二号单向阀(12)经二号减压阀(31)后与吹扫气接口(15)连通，二号单向阀(12)与二号减压阀(31)之间的管路上设置有三号压力传感器(32)。

7.根据权利要求6所述的一种超净高纯化学品供应系统，其特征在于：所述二号减压阀(31)经二号过滤器(33)后与吹扫气接口(15)连通。

8.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品供应系统，其特征在于：所述五号气动阀(16)与四号气动阀(14)、七号气动阀(20)之间的管路上设置有四号压力传感器(34)。

9.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品供应系统，其特征在于：所述柜体(1)上设置有抽风风阀(35)。

10.根据权利要求1所述的一种超净高纯化学品供应系统，其特征在于：所述供应系统还包括磅秤(36)，所述磅秤(36)设置在原料罐(3)的底部。

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