CN221098331U - 一种前置吹扫箱、特殊气体输送供应系统及半导体工艺系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种前置吹扫箱、特殊气体输送供应系统及半导体工艺系统，前置吹扫箱包括气体供应模块、低压吹扫模块、高压保压模块、负压模块、第一排放模块和第二排放模块。其优点在于，设置第一排放模块和第二排放模块，对特殊气体、吹扫气体、保压气体进行区分，使得被排放的特殊气体输送至气体处理设备、吹扫气体和保压气体直接排放，对气体排放进行分区控制，降低后续气体处理的成本，减少环境污染；设置低压吹扫模块和高压保压模块，以使低压吹扫管路与高压保压管路分离，保护管路，提高生产效率；无须设置气体检测分析结构，降低不必要的成本。

Description

一种前置吹扫箱、特殊气体输送供应系统及半导体工艺系统

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种前置吹扫箱、特殊气体输送供应系统及半导体工艺系统。

背景技术

超高流量气体供应设备BSGS主要应用于半导体等产业中，为工艺机台输送工艺气体。一般地，需要在超高流量气体供应设备BSGS设置前置吹扫箱，用于在装载特殊气体的钢瓶或槽车消耗殆尽时，更换钢瓶或槽车时，将原来管路中的残余特殊气体吹扫干净的设备。

然而，槽车是一种具有超高容量装载特殊气体能力的容器，但其同时又具有体积巨大，占地空间大，气源不稳定等问题，目前并没有大规模使用。

为了解决无法使用槽车进行特殊气体供应的问题，中国实用新型专利CN214369312U公开了一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱。通过设计增设深度吹扫箱工艺气体供应单元，实现满足特殊气体超高流量运输的需求。然而，该技术方案仍存在如下缺陷：

1）没有设置主动泄压的结构，只适用于大容量钢瓶的特殊气体输送，无法适用于槽车系统的特殊气体输送；

2）工艺气体和吹扫气体采用同一出口排放，导致尾气处理工序的压力较大；

3）测试系统设计不合理，对气源气体进行测试，而不是对特殊气体超高流量输送设备进行调压后的供应气体进行测试，对实际生产的帮助意义不大；

4）没有对吹扫气体和保压气体进行区分，导致吹扫保压效果较差。

目前针对相关技术中存在的吹扫长度长、气体排放多、尾气处理工序压力大、没有没有对吹扫气体和保压气体进行区分等问题，尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种前置吹扫箱、特殊气体输送供应系统、特气输送供应方法及半导体工艺系统，以解决相关技术中存在的吹扫长度长、气体排放多、尾气处理工序压力大、没有没有对吹扫气体和保压气体进行区分等问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是：

第一方面，提供一种前置吹扫箱，用于槽车输送特殊气体，包括：

气体供应模块，所述气体供应模块分别与槽车、特殊气体输送供应设备连通，用于从槽车获取特殊气体以及传输特殊气体至特殊气体输送供应设备；

低压吹扫模块，所述低压吹扫模块与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行低压吹扫；

高压保压模块，所述高压保压模块与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行高压保压；

负压模块，所述负压模块与所述气体供应模块连通，用于向所述气体供应模块进行提供负压；

第一排放模块，所述第一排放模块与所述负压模块连通，用于排放特殊气体；

第二排放模块，所述第二排放模块与所述负压模块连通，用于排放吹扫气体、保压气体。

在其中的一些实施例中，所述气体供应模块包括：

气体供应管路，所述气体供应管路分别与槽车、特殊气体输送供应设备连通；

第一控制阀，所述第一控制阀设置于所述气体供应管路，并靠近所述气体供应管路的输入端设置，用于控制所述气体供应管路的开闭；

第二控制阀，所述第二控制阀设置于所述气体供应管路，并靠近所述气体供应管路的输出端设置，用于控制所述气体供应管路的开闭。

在其中的一些实施例中，所述低压吹扫模块包括：

低压吹扫管路，所述低压吹扫管路与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行低压吹扫；

微漏阀，所述微漏阀设置于所述低压吹扫管路，并靠近所述低压吹扫管路的输入端设置；

第一单向阀，所述第一单向阀设置于所述低压吹扫管路，并位于所述微漏阀的下游；

第三控制阀，所述第三控制阀设置于所述低压吹扫管路，并位于所述第一单向阀的下游，用于控制所述低压吹扫管路的开闭。

在其中的一些实施例中，所述高压保压模块包括：

高压保压管路，所述高压保压管路与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行高压保压；

第四控制阀，所述第四控制阀设置于所述高压保压管路，并靠近所述高压保压管路的输入端设置；

第二单向阀，所述第二单向阀设置于所述高压保压管路，并位于所述第四控制阀的下游。

在其中的一些实施例中，所述负压模块包括：

负压管路，所述负压管路与所述气体供应模块连通；

真空发生器，所述真空发生器设置于所述负压管路，用于向所述气体供应模块进行提供负压；

第五控制阀，所述第五控制阀设置于所述负压管路，并位于所述真空发生器的上游，用于控制所述负压管路的开闭；

第三单向阀，所述第三单向阀设置于所述负压管路，并位于所述第五控制阀的上游；

第六控制阀，所述第六控制阀设置于所述负压管路，并位于所述第三单向阀的上游。

在其中的一些实施例中，所述第一排放模块包括：

第一排放管路，所述第一排放管路与所述负压模块连通，用于排放特殊气体；

第七控制阀，所述第七控制阀设置于所述第一排放管路，用于控制所述第一排放管路的开闭。

在其中的一些实施例中，所述第一排放模块还包括：

第八控制阀，所述第八控制阀设置于所述第一排放管路，用于控制所述第一排放管路的开闭。

在其中的一些实施例中，所述第二排放模块包括：

第二排放管路，所述第二排放管路与所述负压模块连通，用于排放吹扫气体、保压气体；

第九控制阀，所述第九控制阀设置于所述第二排放管路，用于控制所述第二排放管路的开闭。

在其中的一些实施例中，所述第二排放模块还包括：

第十控制阀，所述第十控制阀设置于所述第二排放管路，用于控制所述第二排放管路的开闭。

在其中的一些实施例中，还包括：

泄压模块，所述泄压模块分别与所述气体供应模块、所述负压模块连通，用于泄压。

在其中的一些实施例中，所述泄压模块包括：

泄压管路，所述泄压管路分别与所述气体供应模块、所述负压模块连通，用于泄压；

第十一控制阀，所述第十一控制阀设置于所述泄压管路，用于控制所述泄压管路的开闭；

泄压阀，所述泄压阀设置于所述泄压管路，并位于所述第十一控制阀的下游；

第四单向阀，所述第四单向阀设置于所述泄压管路，并位于所述泄压阀的下游。

在其中的一些实施例中，还包括：

安全保障模块，所述安全保障模块设置于所述前置吹扫箱，用于监测环境信息。

在其中的一些实施例中，所述安全保障模块包括：

烟雾监测器，所述烟雾监测器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于监测环境的烟雾信息；

喷淋器，所述喷淋器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于向环境喷淋液体；

鼓风器，鼓风器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于将环境的气体排出；

紫外红外火焰探测器，所述紫外红外火焰探测器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于监测环境中是否存在明火；

温度监测器，所述温度监测器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于监测环境的温度。

第二方面，提供一种特殊气体输送供应系统，包括：

如第一方面所述的前置吹扫箱；

特殊气体输送供应设备，所述特殊气体输送供应设备与所述前置吹扫箱连通，用于获取所述前置吹扫箱传输的特殊气体以及供应特殊气体至工艺腔室。

第三方面，提供一种半导体工艺系统，包括：

如第一方面所述的前置吹扫箱。

第四方面，提供一种半导体工艺系统，包括：

如第二方面所述的特殊气体输送供应系统。

本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本实用新型的一种前置吹扫箱、特殊气体输送供应系统及半导体工艺系统，设置第一排放模块和第二排放模块，对特殊气体、吹扫气体、保压气体进行区分，使得被排放的特殊气体输送至气体处理设备、吹扫气体和保压气体直接排放，对气体排放进行分区控制，降低后续气体处理的成本，减少环境污染；设置低压吹扫模块和高压保压模块，以使低压吹扫管路与高压保压管路分离，保护管路，提高生产效率；无须设置气体检测分析结构，降低不必要的成本；设置泄压模块对前置吹扫箱进行物理泄压，对槽车系统进行保护。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的前置吹扫箱的示意图（一）；

图2是根据本实用新型实施例的前置吹扫箱的示意图（二）；

图3是根据本实用新型实施例的特殊气体输送供应系统的框架图；

图4是根据本实用新型实施例的前置吹扫箱的具体实施方式的示意图。

其中的附图标记为：100、前置吹扫箱；

110、气体供应模块；111、气体供应管路；112、第一控制阀；113、第二控制阀；114、第一压力监测器；

120、低压吹扫模块；121、低压吹扫管路；122、微漏阀；123、第一单向阀；124、第三控制阀；

130、高压保压模块；131、高压保压管路；132、第四控制阀；133、第二单向阀；

140、负压模块；141、负压管路；142、真空发生器；143、第五控制阀；144、第三单向阀；145、第六控制阀；

150、第一排放模块；151、第一排放管路；152、第七控制阀；153、第八控制阀；

160、第二排放模块；161、第二排放管路；162、第九控制阀；163、第十控制阀；

170、泄压模块；171、泄压管路；172、第十一控制阀；173、泄压阀；174、第四单向阀；

180、安全保障模块；181、烟雾监测器；182、喷淋器；183、鼓风器；184、紫外红外火焰探测器；185、温度监测器；

200、特殊气体输送供应设备；

300、重量检测设备；

400、槽车。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行描述和说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。基于本申请提供的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些示例或实施例，对于本领域的普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图将本申请应用于其他类似情景。此外，还可以理解的是，虽然这种开发过程中所作出的努力可能是复杂并且冗长的，然而对于与本申请公开的内容相关的本领域的普通技术人员而言，在本申请揭露的技术内容的基础上进行的一些设计，制造或者生产等变更只是常规的技术手段，不应当理解为本申请公开的内容不充分。

在本申请中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域普通技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例在不冲突的情况下，可以与其它实施例相结合。

除非另作定义，本申请所涉及的技术术语或者科学术语应当为本申请所属技术领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本申请所涉及的“一”、“一个”、“一种”、“该”等类似词语并不表示数量限制，可表示单数或复数。本申请所涉及的术语“包括”、“包含”、“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；例如包含了一系列步骤或单元（单元）的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可以还包括没有列出的步骤或单元，或可以还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。本申请所涉及的“连接”、“相连”、“耦接”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电气的连接，不管是直接的还是间接的。本申请所涉及的“多个”/“若干”是指两个或两个以上。“和/或”描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，“A和/或B”可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。本申请所涉及的术语“第一”、“第二”、“第三”等仅仅是区别类似的对象，不代表针对对象的特定排序。

实施例1

本实施例涉及本实用新型的前置吹扫箱。

本实用新型的一个示意性实施例。如图1所示，一种前置吹扫箱100，用于槽车输送特殊气体，包括气体供应模块110、低压吹扫模块120、高压保压模块130、负压模块140、第一排放模块150和第二排放模块160。其中，气体供应模块110分别与槽车、特殊气体输送供应设备连通，用于从槽车获取特殊气体以及传输特殊气体至特殊气体输送供应设备；低压吹扫模块120与气体供应模块110连通，用于对气体供应模块110进行低压吹扫；高压保压模块130与气体供应模块110连通，用于对气体供应模块110进行高压保压；负压模块140与气体供应模块110连通，用于向气体供应模块110进行提供负压；第一排放模块150与负压模块140连通，用于排放特殊气体；第二排放模块160与负压模块140连通，用于排放吹扫气体、保压气体。

在本实用新型中，低压吹扫气体为氮气，高压保压气体为氮气。

一般地，高压保压气体的纯度高于低压吹扫气体的纯度。即低压吹扫气体为PN₂，高压保压气体为HPN₂。

如图2所示，气体供应模块110包括气体供应管路111、第一控制阀112和第二控制阀113。其中，气体供应管路111分别与槽车、特殊气体输送供应设备连通；第一控制阀112设置于气体供应管路111，并靠近气体供应管路111的输入端设置，用于控制气体供应管路111的开闭；第二控制阀113设置于气体供应管路111，并靠近气体供应管路111的输出端设置，用于控制气体供应管路111的开闭。

在其中的一些实施例中，第一控制阀112包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

在其中的一些实施例中，第二控制阀113包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，气体供应模块110还包括第一压力监测器114。其中，第一压力监测器114与气体供应管路111连通，用于监测气体供应管路111的压力。

第一压力监测器114与气体供应管路111的连通位置位于第一控制阀112与第二控制阀113之间。

在其中的一些实施例中，第一压力监测器114包括但不限于压力表、压力计。

如图2所示，低压吹扫模块120包括低压吹扫管路121、微漏阀122、第一单向阀123和第三控制阀124。其中，低压吹扫管路121与气体供应模块110连通，用于对气体供应模块110进行低压吹扫；微漏阀122设置于低压吹扫管路121，并靠近低压吹扫管路121的输入端设置；第一单向阀123设置于低压吹扫管路121，并位于微漏阀122的下游；第三控制阀124设置于低压吹扫管路121，并位于第一单向阀123的下游，用于控制低压吹扫管路121的开闭。

具体地，低压吹扫管路121与气体供应管路111连通。

更具体得，低压吹扫管路121与气体供应管路111的连通位置位于第一控制阀112与第二控制阀113之间。

在其中的一些实施例中，低压吹扫管路121与高压保压模块130连通。

在其中的一些实施例中，低压吹扫管路121与高压保压模块130的连通位置在第一单向阀123与第三控制阀124之间。

在其中的一些实施例中，第三控制阀124包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

如图2所示，高压保压模块130包括高压保压管路131、第四控制阀132和第二单向阀133。其中，高压保压管路131与气体供应模块110连通，用于对气体供应模块110进行高压保压；第四控制阀132设置于高压保压管路131，并靠近高压保压管路131的输入端设置；第二单向阀133设置于高压保压管路131，并位于第四控制阀132的下游。

具体地，高压保压管路131与气体供应管路111连通。

更具体得，高压保压管路131与气体供应管路111的连通位置位于第一控制阀112与第二控制阀113之间。

在其中的一些实施例中，高压保压管路131与低压吹扫管路121连通。

在其中的一些实施例中，第四控制阀132包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

如图2所示，负压模块140包括负压管路141、真空发生器142、第五控制阀143、第三单向阀144和第六控制阀145。其中，负压管路141与气体供应模块110连通；真空发生器142设置于负压管路141，用于向气体供应模块110进行提供负压；第五控制阀143设置于负压管路141，并位于真空发生器142的上游，用于控制负压管路141的开闭；第三单向阀144设置于负压管路141，并位于第五控制阀143的上游；第六控制阀145设置于负压管路141，并位于第三单向阀144的上游。

具体地，负压管路141与气体供应管路111连通。

更具体得，负压管路141与气体供应管路111的连通位置位于第一控制阀112与第二控制阀113之间。

在其中的一些实施例中，真空发生器142为VGBV1/V.G/CV。

在其中的一些实施例中，第五控制阀143包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

在其中的一些实施例中，第六控制阀145包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，负压模块140还包括第二压力监测器146。其中，第二压力监测器146与负压管路141连通，用于监测负压管路141的压力。

第二压力监测器146与负压管路141的连通位置位于第五控制阀143与第三单向阀144之间。

在其中的一些实施例中，第二压力监测器146包括但不限于压力表、压力计。

如图2所示，第一排放模块150包括第一排放管路151和第七控制阀152。其中，第一排放管路151与负压模块140连通，用于排放特殊气体；第七控制阀152设置于第一排放管路151，用于控制第一排放管路151的开闭。

具体地，第一排放管路151与真空发生器142连通。

在其中的一些实施例中，第七控制阀152包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，第一排放模块150还包括第八控制阀153。其中，第八控制阀153设置于第一排放管路151，用于控制第一排放管路151的开闭。

具体地，第八控制阀153位于第七控制阀152的上游。

在这种情况下，第七控制阀152、第八控制阀153中的一个为手动阀、一个为自动阀。

在其中的一些实施例中，第八控制阀153包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

如图2所示，第二排放模块160包括第二排放管路161和第九控制阀162。其中，第二排放管路161与负压模块140连通，用于排放吹扫气体、保压气体；第九控制阀162设置于第二排放管路161，用于控制第二排放管路161的开闭。

具体地，第二排放管路161与真空发生器142连通。

在其中的一些实施例中，第九控制阀162包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，第二排放模块160还包括第十控制阀163。其中，第十控制阀163设置于第二排放管路161，用于控制第二排放管路161的开闭。

具体地，第十控制阀163位于第九控制阀162的上游。

在这种情况下，第九控制阀162、第十控制阀163中的一个为手动阀、一个为自动阀。

在其中的一些实施例中，第十控制阀163包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，如图1所示，前置吹扫箱100还包括泄压模块170。其中，泄压模块170分别与气体供应模块110、负压模块140连通，用于泄压。

如图2所示，泄压模块170包括泄压管路171、第十一控制阀172、泄压阀173和第四单向阀174。其中，泄压管路171分别与气体供应模块110、负压模块140连通，用于泄压；第十一控制阀172设置于泄压管路171，用于控制泄压管路171的开闭；泄压阀173设置于泄压管路171，并位于第十一控制阀172的下游；第四单向阀174设置于泄压管路171，并位于泄压阀173的下游。

具体地，泄压管路171分别与气体供应管路111、真空发生器142连通。

在其中的一些实施例中，第十一控制阀172包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，如图1所示，前置吹扫箱100还包括安全保障模块180。其中，安全保障模块180设置于前置吹扫箱100，用于监测环境信息。

如图2所示，安全保障模块180包括烟雾监测器181、喷淋器182、鼓风器183、紫外红外火焰探测器184和温度监测器185。其中，烟雾监测器181设置于前置吹扫箱100所处环境的顶部，用于监测环境的烟雾信息；喷淋器182设置于前置吹扫箱100所处环境的顶部，用于向环境喷淋液体；鼓风器183设置于前置吹扫箱100所处环境的顶部，用于将环境的气体排出；紫外红外火焰探测器184设置于前置吹扫箱100所处环境的顶部，用于监测环境中是否存在明火；温度监测器185设置于前置吹扫箱100所处环境的顶部，用于监测环境的温度。

在前置吹扫箱100出现泄漏、燃烧的情况下，利用烟雾监测器181进行预警；使用喷淋器182进行喷淋，以降低环境内的相关气体的浓度，防止出现爆炸；通过鼓风器183可以快速将环境内的气体排放至废气处理系统。

在其中的一些实施例中，烟雾监测器181为烟雾探测器。

在其中的一些实施例中，喷淋器182为喷淋头。

在其中的一些实施例中，鼓风器183包括但不限于排气扇。

在其中的一些实施例中，温度监测器185包括但不限于温度传感器。

本实用新型的前置吹扫箱100的工作方法如下：

（1）特殊气体输送的气体流向

槽车→气体供应模块110→特殊气体输送供应设备；

（2）低压吹扫气体的气体流向

低压吹扫模块120→气体供应模块110→负压模块140→第二排放模块160；

（3）高压保压气体的气体流向

高压保压模块130→气体供应模块110→负压模块140→第二排放模块160；

（4）特殊气体排放的气体流向

气体供应模块110→负压模块140→第一排放模块150；

（5）泄压的气体流向

气体供应模块110→泄压模块170→第一排放模块150。

具体如下：

（1）特殊气体输送

打开第一控制阀112、第二控制阀113，关闭其他阀；

特殊气体的流向如下：

槽车→气体供应管路111→特殊气体输送供应设备；

（2）低压吹扫

a.打开微漏阀122、第三控制阀124，关闭其他阀；

吹扫气体的流向如下：

低压吹扫管路121→气体供应管路111；

b.打开第五控制阀143、第六控制阀145、第九控制阀162或第十控制阀163，关闭其他阀；

吹扫气体的流向如下：

气体供应管路111→负压管路141→第二排放管路161；

（3）高压保压

a.打开第三控制阀124、第四控制阀132，关闭其他阀；

高压气体的流向如下：

高压保压管路131→气体供应管路111；

b.打开第五控制阀143、第六控制阀145、第九控制阀162或第十控制阀163，关闭其他阀；

保压气体的流向如下：

气体供应管路111→负压管路141→第二排放管路161；

（4）特殊气体排放

打开第五控制阀143、第六控制阀145、第七控制阀152或第八控制阀153，关闭其他阀；

特殊气体的流向如下：

气体供应管路111→负压管路141→第一排放管路151→气体处理设备；

（5）泄压

打开泄压阀173、第十一控制阀172、第七控制阀152，关闭其他阀；

气体供应管路111→泄压管路171→第一排放管路151→气体处理设备。

本实用新型的技术效果如下：

1）设置第一排放模块和第二排放模块，对特殊气体、吹扫气体、保压气体进行区分，使得被排放的特殊气体输送至气体处理设备、吹扫气体和保压气体直接排放，对气体排放进行分区控制，降低后续气体处理的成本，减少环境污染；

2）设置低压吹扫模块和高压保压模块，以使低压吹扫管路与高压保压管路分离，保护管路，提高生产效率；

3）无须设置气体检测分析结构，降低不必要的成本；

4）设置泄压模块对前置吹扫箱进行物理泄压，对槽车系统进行保护。

实施例2

本实施例涉及本实用新型的特殊气体输送供应系统。

如图3所示，一种特殊气体输送供应系统，包括如实施例1所述的前置吹扫箱100和特殊气体输送供应设备200。其中，特殊气体输送供应设备200与前置吹扫箱100连通，用于获取前置吹扫箱100传输的特殊气体以及供应特殊气体至工艺腔室。

在其中的一些实施例中，前置吹扫箱100的数量为若干个。若干前置吹扫箱100并联设置，并分别与特殊气体输送供应设备200连接。

在任一一前置吹扫箱100出现故障的情况下，或，任一一槽车400的特殊气体不足的情况下，可以切换至另一前置吹扫箱100进行特殊气体输送。

进一步地，特殊气体输送供应系统还包括重量检测设备300。其中，重量检测设备300用于对槽车400进行检测。

在其中的一些实施例中，重量检测设备300的数量为若干个。

重量检测设备300的数量与吹扫设备100的数量相匹配。一般地，重量检测设备300的数量等于吹扫设备100的数量，即重量检测设备300与吹扫设备100一一对应。

在其中的一些实施例中，重量检测设备300为磅秤。

实施例3

本实施例涉及本实用新型的半导体工艺系统。

一种半导体工艺系统，包括如实施例1所述的前置吹扫箱100。

进一步地，半导体工艺系统还包括特殊气体输送供应设备200。即半导体工艺系统包括如实施例2所述的特殊气体输送供应系统。

实施例4

本实施例为本实用新型的一个具体实施方式。

如图4所示，一种深度前置吹扫箱，适用于槽车系统，包括包括气动阀SI-A、气动阀SI-B、气动微漏阀PGBVR、单向阀CV1、气动隔膜阀PGIR、压力显示单元PTS1、气动隔膜阀HPAR、单向阀CV2、VGBV2/V.G/CV、手动隔膜阀MIV、单向阀CV3、气动隔膜阀PV、压力显示单元PTS2、泄压阀SV、手动隔膜阀MSIV、单向阀CV4、手动隔膜阀MIVV1、气动隔膜阀PI1、手动隔膜阀MIVV2、气动隔膜阀PI2。

其中，SI-A、SI-B构成特殊气体输送管路；PGBVR、CV1、PGIR、PTS1构成低压吹扫管路；HPAR、CV2构成高压保压管路；PV、CV3、PTS2、MIV、VGBV2/V.G/CV构成真空排放管路；MSIV、SV、CV4构成泄压管路；PI1、MIVV1构成特殊气体排放管路；PI2、MIVV2构成一般气体排放管路。

一般地，MIVV1和MIVV2常开。

其中，深度前置吹扫箱与特殊气体超高流量输送柜连通，用于向特殊气体超高流量输送柜输送特殊气体

本实用新型的使用方法如下：

（1）向特殊气体超高流量输送柜输送特殊气体

打开SI-A、SI-B，其余不相关的阀关闭。

（2）吹扫

打开PGBVR、PGIR、SI-A，其余不相关的阀关闭，用于吹扫盘面与槽车连接的管路。

（3）保压

打开HPAR、PGIR、SI-A，其余不相关的阀关闭，用于保证盘面与槽车连接的管路没有压力下降。

（4）排放

打开VGBV2/V.G/CV、MIV、PV1，通过PI1、MIVV1排放特殊气体，通过PI2、MIVV2排放一般气体（如吹扫气体）。其余不相关的阀关闭。

（5）泄压

在压力过大的情况下，打开MSIV、SV，通过PI1、MIVV1排放特殊气体。其余不相关的阀关闭。

本实用新型的技术效果如下：

1）新增泄压模块，可以通过物理结构泄压的方式，做到对槽车系统的保护，有效的降低了槽车系统因外部环境变化而产生的危险；

2）新增排放控制系统，可以对一般气体排放和特殊气体排放做到分区控制，降低成本，减少环境污染；

3）新增高压保压和低压吹扫的分离管路，保护管路，提升生产效率，更加稳定的供应特殊气体；

4）精简了原方案的测试系统，集成到后端设备中，从而做到更高的生产效率和降低不必要的成本；

5）有效避免了特殊气体的泄露，保护生态环境；

6）利用深度前置吹扫箱可以减少吹扫长度，只需要吹扫槽车与吹扫箱的连接管路，不需要吹扫从设备本体到槽车的管路，减少了特殊气体的排放，减少环境危害。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种前置吹扫箱，用于槽车输送特殊气体，其特征在于，包括：

气体供应模块，所述气体供应模块分别与槽车、特殊气体输送供应设备连通，用于从槽车获取特殊气体以及传输特殊气体至特殊气体输送供应设备；

低压吹扫模块，所述低压吹扫模块与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行低压吹扫；

高压保压模块，所述高压保压模块与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行高压保压；

负压模块，所述负压模块与所述气体供应模块连通，用于向所述气体供应模块进行提供负压；

第一排放模块，所述第一排放模块与所述负压模块连通，用于排放特殊气体；

第二排放模块，所述第二排放模块与所述负压模块连通，用于排放吹扫气体、保压气体。

2.根据权利要求1所述的前置吹扫箱，其特征在于，所述气体供应模块包括：

气体供应管路，所述气体供应管路分别与槽车、特殊气体输送供应设备连通；

第一控制阀，所述第一控制阀设置于所述气体供应管路，并靠近所述气体供应管路的输入端设置，用于控制所述气体供应管路的开闭；

第二控制阀，所述第二控制阀设置于所述气体供应管路，并靠近所述气体供应管路的输出端设置，用于控制所述气体供应管路的开闭。

3.根据权利要求1所述的前置吹扫箱，其特征在于，所述低压吹扫模块包括：

低压吹扫管路，所述低压吹扫管路与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行低压吹扫；

微漏阀，所述微漏阀设置于所述低压吹扫管路，并靠近所述低压吹扫管路的输入端设置；

第一单向阀，所述第一单向阀设置于所述低压吹扫管路，并位于所述微漏阀的下游；

第三控制阀，所述第三控制阀设置于所述低压吹扫管路，并位于所述第一单向阀的下游，用于控制所述低压吹扫管路的开闭；和/或

所述高压保压模块包括：

高压保压管路，所述高压保压管路与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行高压保压；

第四控制阀，所述第四控制阀设置于所述高压保压管路，并靠近所述高压保压管路的输入端设置；

第二单向阀，所述第二单向阀设置于所述高压保压管路，并位于所述第四控制阀的下游。

4.根据权利要求1所述的前置吹扫箱，其特征在于，所述负压模块包括：

负压管路，所述负压管路与所述气体供应模块连通；

真空发生器，所述真空发生器设置于所述负压管路，用于向所述气体供应模块进行提供负压；

第五控制阀，所述第五控制阀设置于所述负压管路，并位于所述真空发生器的上游，用于控制所述负压管路的开闭；

第三单向阀，所述第三单向阀设置于所述负压管路，并位于所述第五控制阀的上游；

第六控制阀，所述第六控制阀设置于所述负压管路，并位于所述第三单向阀的上游。

5.根据权利要求1所述的前置吹扫箱，其特征在于，所述第一排放模块包括：

第一排放管路，所述第一排放管路与所述负压模块连通，用于排放特殊气体；

第七控制阀，所述第七控制阀设置于所述第一排放管路，用于控制所述第一排放管路的开闭；和/或

所述第二排放模块包括：

第二排放管路，所述第二排放管路与所述负压模块连通，用于排放吹扫气体、保压气体；

第九控制阀，所述第九控制阀设置于所述第二排放管路，用于控制所述第二排放管路的开闭。

6.根据权利要求5所述的前置吹扫箱，其特征在于，所述第一排放模块还包括：

第八控制阀，所述第八控制阀设置于所述第一排放管路，用于控制所述第一排放管路的开闭；和/或

所述第二排放模块还包括：

第十控制阀，所述第十控制阀设置于所述第二排放管路，用于控制所述第二排放管路的开闭。

7.根据权利要求1~6任一所述的前置吹扫箱，其特征在于，还包括：

泄压模块，所述泄压模块分别与所述气体供应模块、所述负压模块连通，用于泄压；和/或

安全保障模块，所述安全保障模块设置于所述前置吹扫箱，用于监测环境信息。

8.根据权利要求7所述的前置吹扫箱，其特征在于，所述泄压模块包括：

泄压管路，所述泄压管路分别与所述气体供应模块、所述负压模块连通，用于泄压；

第十一控制阀，所述第十一控制阀设置于所述泄压管路，用于控制所述泄压管路的开闭；

泄压阀，所述泄压阀设置于所述泄压管路，并位于所述第十一控制阀的下游；

第四单向阀，所述第四单向阀设置于所述泄压管路，并位于所述泄压阀的下游；和/或

所述安全保障模块包括：

烟雾监测器，所述烟雾监测器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于监测环境的烟雾信息；

喷淋器，所述喷淋器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于向环境喷淋液体；

鼓风器，鼓风器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于将环境的气体排出；

紫外红外火焰探测器，所述紫外红外火焰探测器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于监测环境中是否存在明火；

温度监测器，所述温度监测器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于监测环境的温度。

9.一种特殊气体输送供应系统，其特征在于，包括：

如权利要求1~8任一所述的前置吹扫箱；

特殊气体输送供应设备，所述特殊气体输送供应设备与所述前置吹扫箱连通，用于获取所述前置吹扫箱传输的特殊气体以及供应特殊气体至工艺腔室。

10.一种半导体工艺系统，其特征在于，包括：

如权利要求1~8任一所述的前置吹扫箱；或

如权利要求9所述的特殊气体输送供应系统。