CN117450423B - 一种特气输送供应装置、系统、方法及半导体工艺系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种特气输送供应装置、系统、方法及半导体工艺系统，特气输送供应装置包括第一气体输入单元、加热单元、过滤单元、调压单元、检测单元、第一气体输出单元和第一排放单元。其优点在于，通过过滤单元和调压单元对特殊气体进行二次过滤和二次调压，将槽车输送的高压特殊气体转变为低压特殊气体，以满足工艺腔室的使用要求；利用检测单元对经过滤单元、调压单元处理的特殊气体进行检测，判断特殊气体的气体成分、浓度等是否满足使用需求，有效提高气体处理效率，提高后续工艺良率；利用第一排放单元特气输送供应装置的特殊气体进行排放，确保未满足检测要求的特殊气体不进入后续工艺腔室。

Description

一种特气输送供应装置、系统、方法及半导体工艺系统

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种特气输送供应装置、特气输送供应系统、特气输送供应方法及半导体工艺系统。

背景技术

超高流量气体供应设备BSGS主要应用于半导体等产业中，为工艺机台输送工艺气体。超高流量气体供应设备BSGS的气源一般采用钢瓶存储。由于钢瓶的存储体积较小，导致在输送工艺气体时，需要经常更换钢瓶。然而，在更换钢瓶的过程中，通常需要中断工艺流程，导致生产效率低。

为了解决上述问题，中国实用新型专利CN214369272U公开了一种用于特殊气体超高流量输送的设备。其通过设计增设工艺气体供应单元，实现切换供应和换瓶流程，通过程式控制气动阀自己完成工作，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。然而，该技术方案仍存在如下缺陷：

1）气源仍采用钢瓶提供，导致仍需要频繁更换钢瓶，即需要频繁切换深度吹扫箱；

2）主柜体集成有吹扫单元，吹扫单元需要对主柜体、深度吹扫箱进行吹扫工艺，导致吹扫长度较长，气体排放多，容易污染环境；

3）工艺气体和吹扫气体采用同一出口排放，导致尾气处理工序的压力较大；

4）在主柜体的管路压力较大时，无法进行主动泄压，容易产生爆炸风险；

5）仅对气源气体进行测试，没有对调压过滤后的工艺气体进行测试，容易出现不符合工艺要求，导致生产良率低；

6）仅能输出单一标准的工艺气体，无法满足不同工艺要求；

7）没有对吹扫气体和保压气体进行区分，导致吹扫保压效果较差。

目前针对相关技术中存在的需要频繁切换气源、吹扫长度长、气体排放多、尾气处理工序压力大、无法对调压过滤后的工艺气体检测、无法满足不同工艺要求、没有没有对吹扫气体和保压气体进行区分等问题，尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中的不足，提供一种特气输送供应装置、特气输送供应系统、特气输送供应方法及半导体工艺系统，以解决相关技术中存在的需要频繁切换气源、吹扫长度长、气体排放多、尾气处理工序压力大、无法对调压过滤后的工艺气体检测、无法满足不同工艺要求、没有没有对吹扫气体和保压气体进行区分等问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案是：

第一方面，提供一种特气输送供应装置，用于槽车输送特殊气体，包括：

第一气体输入单元，所述第一气体输入单元与吹扫装置连通，用于获取吹扫装置输送的特殊气体；

加热单元，所述加热单元与所述第一气体输入单元连接，用于对特殊气体进行加热；

过滤单元，所述过滤单元与所述第一气体输入单元连通，用于对特殊气体进行过滤；

调压单元，所述调压单元与所述过滤单元连通，并位于所述过滤单元的上游和/或下游，用于对特殊气体进行调压；

过流量保护单元，所述过流量保护单元分别与所述过滤单元、所述调压单元连通；

检测单元，所述检测单元与所述过滤单元连通，用于对特殊气体进行检测；

第一气体输出单元，所述第一气体输出单元与所述过滤单元连通，用于输出特殊气体；

第一排放单元，所述第一排放单元分别与所述过滤单元、所述过流量保护单元连通，用于排放气体。

在其中的一些实施例中，所述第一气体输入单元包括：

至少一第一气体输入元件，所述第一气体输入元件分别与吹扫装置、所述过滤单元连通，并与所述加热单元连接，用于获取吹扫装置输送的特殊气体、输送特殊气体至所述过滤单元。

在其中的一些实施例中，所述加热单元包括：

至少一加热元件，所述加热元件与所述第一气体输入单元连接，并位于所述过滤单元的上游和/或下游、所述调压单元的上游和/或下游，用于对特殊气体进行加热。

在其中的一些实施例中，所述过滤单元包括：

至少一第一过滤元件，所述第一过滤元件分别与所述第一气体输入单元、所述调压单元连通，并位于所述调压单元的上游，用于对特殊气体进行一次过滤；

至少一第二过滤元件，所述第二过滤元件分别与所述过流量保护单元、所述第一气体输出单元、所述检测单元、所述第一排放单元连通，并位于所述调压单元的下游，用于对特殊气体进行二次过滤。

在其中的一些实施例中，所述调压单元包括：

至少一第一调压元件，所述第一调压元件与所述过滤单元、所述过流量保护单元连通，并位于所述过流量保护单元的上游，用于对特殊气体进行一次调压；

至少一第二调压元件，所述第二调压元件分别与所述第一调压元件、所述过流量保护单元连通，并位于所述过流量保护单元的下游，用于对特殊气体进行二次调压。

在其中的一些实施例中，所述过流量保护单元包括：

至少一过流量保护元件，所述过流量保护元件分别与所述过滤单元、所述调压单元、所述第一排放单元连通。

在其中的一些实施例中，所述检测单元包括：

至少一第一检测元件，所述第一检测元件分别与所述过滤单元、所述第一气体输出单元连通，用于对特殊气体进行检测。

在其中的一些实施例中，所述第一气体输出单元包括：

至少一第一气体输出元件，所述第一气体输出元件分别与所述过滤单元、所述检测单元、工艺腔室连通，用于输出特殊气体至工艺腔室；

至少一第二气体输出元件，所述第二气体输出元件分别与所述过滤单元、所述检测单元连通，用于输出特殊气体。

在其中的一些实施例中，所述第一排放单元包括：

第一排放元件，所述第一排放元件分别与所述过滤单元、所述过流量保护单元连通，用于排放气体。

在其中的一些实施例中，还包括：

纯化单元，所述纯化单元分别与所述过滤单元、所述检测单元、所述第一气体输出单元、所述第一排放单元连通，用于对特殊气体进行纯化。

在其中的一些实施例中，所述检测单元还包括：

第二检测元件，所述第二检测元件分别与所述纯化单元、所述第一气体输出单元连通，用于对纯化后的特殊气体进行检测。

在其中的一些实施例中，所述纯化单元包括：

至少一纯化元件，所述纯化元件分别与所述过滤单元、所述检测单元、所述第一气体输出单元、所述第一排放单元连通，用于对特殊气体进行纯化。

在其中的一些实施例中，还包括：

第一泄压单元，所述第一泄压单元分别与所述第一气体输入单元、所述第一排放单元连通，用于泄压。

在其中的一些实施例中，所述第一泄压单元包括：

至少一第一泄压元件，所述第一泄压元件分别与所述第一气体输入单元、所述第一排放单元连通，用于泄压。

第二方面，提供一种特气输送供应系统，包括：

如第一方面所述的特气输送供应装置；

至少一吹扫装置，所述吹扫装置分别与所述特气输送供应装置、槽车装置连通，用于获取槽车装置传输的特殊气体以及输送特殊气体至所述特气输送供应装置。

在其中的一些实施例中，所述吹扫装置包括：

第二气体输入单元，所述第二气体输入单元与槽车装置连通，用于获取槽车装置传输的特殊气体；

第二气体输出单元，所述第二气体输出单元与所述第二气体输入单元连通，用于输送特殊气体至所述特气输送供应装置；

低压吹扫单元，所述低压吹扫单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于低压吹扫；

第二排放单元，所述第二排放单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于排放气体。

在其中的一些实施例中，还包括：

高压保压单元，所述高压保压单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于高压保压。

在其中的一些实施例中，还包括：

第二泄压单元，所述第二泄压单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二排放单元连通，用于泄压。

第三方面，提供一种特气输送供应方法，应用于如第一方面所述的特气输送供应装置。

第四方面，提供一种特气输送供应方法，应用于如第二方面所述的特气输送供应系统。

第五方面，提供一种半导体工艺系统，包括：

如第一方面所述的特气输送供应装置。

第六方面，提供一种半导体工艺系统，包括：

如第二方面所述的特气输送供应系统。

本发明采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本发明的一种特气输送供应装置、特气输送供应系统、特气输送供应方法及半导体工艺系统，通过过滤单元和调压单元对特殊气体进行二次过滤和二次调压，将槽车输送的高压特殊气体转变为低压特殊气体，以满足工艺腔室的使用要求；利用检测单元对经过滤单元、调压单元处理的特殊气体进行检测，判断特殊气体的气体成分、浓度等是否满足使用需求，有效提高气体处理效率，提高后续工艺良率；利用第一排放单元对特气输送供应装置的特殊气体进行排放，确保未满足检测要求的特殊气体不进入后续工艺腔室。

附图说明

图1是根据本发明实施例的特气输送供应装置的框架图（一）；

图2是根据本发明实施例的特气输送供应装置的框架图（二）；

图3是根据本发明实施例的特气输送供应装置的框架图（三）；

图4是根据本发明实施例的特气输送供应装置的框架图（四）；

图5是根据本发明实施例的特气输送供应系统的框架图；

图6是根据本发明实施例的吹扫装置的框架图（一）；

图7是根据本发明实施例的吹扫装置的框架图（二）；

图8是根据本发明实施例的吹扫装置的框架图（三）；

图9是根据本发明实施例的特气输送供应系统的具体实施方式的示意图。

其中的附图标记为：100、特气输送供应装置；101、第一气体输入单元；102、加热单元；103、过滤单元；104、调压单元；105、过流量保护单元；106、检测单元；107、第一气体输出单元；108、第一排放单元；109、纯化单元；110、吹扫单元；111、第一泄压单元；

200、吹扫装置；201、第二气体输入单元；202、第二气体输出单元；203、低压吹扫单元；204、第二排放单元；205、高压保压单元；206、第二泄压单元；

300、重量检测装置；

400、槽车装置。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行描述和说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。基于本申请提供的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些示例或实施例，对于本领域的普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图将本申请应用于其他类似情景。此外，还可以理解的是，虽然这种开发过程中所作出的努力可能是复杂并且冗长的，然而对于与本申请公开的内容相关的本领域的普通技术人员而言，在本申请揭露的技术内容的基础上进行的一些设计，制造或者生产等变更只是常规的技术手段，不应当理解为本申请公开的内容不充分。

在本申请中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域普通技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例在不冲突的情况下，可以与其它实施例相结合。

除非另作定义，本申请所涉及的技术术语或者科学术语应当为本申请所属技术领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本申请所涉及的“一”、“一个”、“一种”、“该”等类似词语并不表示数量限制，可表示单数或复数。本申请所涉及的术语“包括”、“包含”、“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；例如包含了一系列步骤或单元（单元）的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可以还包括没有列出的步骤或单元，或可以还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。本申请所涉及的“连接”、“相连”、“耦接”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电气的连接，不管是直接的还是间接的。本申请所涉及的“多个”/“若干”是指两个或两个以上。“和/或”描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，“A和/或B”可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。本申请所涉及的术语“第一”、“第二”、“第三”等仅仅是区别类似的对象，不代表针对对象的特定排序。

实施例1

本实施例涉及本发明的特气输送供应装置。

如图1所示，一种特气输送供应装置100，用于槽车输送特殊气体，包括第一气体输入单元101、加热单元102、过滤单元103、调压单元104、过流量保护单元105、检测单元106、第一气体输出单元107和第一排放单元108。其中，第一气体输入单元101与吹扫装置连通，用于获取吹扫装置输送的特殊气体；加热单元102与第一气体输入单元101连接，用于对特殊气体进行加热；过滤单元103与第一气体输入单元101连通，用于对特殊气体进行过滤；调压单元104与过滤单元103连通，并位于过滤单元103的上游和/或下游，用于对特殊气体进行调压；过流量保护单元105分别与过滤单元103、调压单元104连通；检测单元106与过滤单元103连通，用于对特殊气体进行检测；第一气体输出单元107与过滤单元103连通，用于输出特殊气体；第一排放单元108分别与过滤单元103、过流量保护单元105连通，用于排放气体。

其中，特殊气体的输送路径如下：

第一气体输入单元101→加热单元102→过滤单元103→调压单元104→加热单元102→调压单元104→过流量保护单元105→过滤单元103→检测单元106或第一气体输出单元107。

在本发明中，第一气体输入单元101获取的特殊气体为高压气体，无法直接应用于工艺腔室。因此，通过调压单元104对特殊气体进行降压处理，以获得低压气体，从而可以直接应用于工艺腔室。

第一气体输入单元101包括至少一第一气体输入元件。其中，第一气体输入元件分别与吹扫装置、过滤单元103连通，并与加热单元102连接，用于获取吹扫装置输送的特殊气体、输送特殊气体至过滤单元103。

在第一气体输入元件为若干个的情况下，若干第一气体输入元件并联设置，并与至少一吹扫装置连通。一般地，每一吹扫装置与至少一第一气体输入元件连通。

对于第一气体输入单元101与吹扫装置的连通方式，包括以下几种方式：

1）若干第一气体输入元件与同一吹扫装置连通，例如同一吹扫装置与两第一气体输入元件连通；

2）若干第一气体输入元件分别与若干吹扫装置连通，例如吹扫装置与第一气体输入元件一一对应。

在其中的一些实施例中，第一气体输入元件包括但不限于第一气体输入接口。

进一步地，第一气体输入单元101还包括至少一第一开关阀元件。其中，第一开关阀元件设置于分别与第一气体输入元件、过滤单元103连通的管路，并位于过滤单元103的上游，用于控制管路的开闭。

第一开关阀元件的数量与第一气体输入元件的数量相匹配。一般地，第一开关阀元件的数量等于第一气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第一开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

加热单元102包括至少一加热元件。其中，加热元件与第一气体输入单元101连接，并位于过滤单元103的上游和/或下游、调压单元104的上游和/或下游，用于对特殊气体进行加热。

具体地，加热元件与第一气体输入元件连接。

一般地，第一气体输入元件嵌设于加热元件的内部。例如，加热元件与第一气体输入元件以热交换的方式对特殊气体进行加热。

加热元件的数量与第一气体输入元件的数量相匹配。一般地，加热元件的数量为第一气体输入元件的数量的整数倍。

对于加热元件与第一气体输入元件的匹配方式，包括以下几种方式：

1）若干加热元件与同一第一气体输入元件连接，例如同一第一气体输入元件与两加热元件连接；

2）若干加热元件分别与若干第一气体输入元件连接，例如第一气体输入元件与加热元件一一对应。

在其中的一些实施例中，加热元件为加热模组。

过滤单元103包括至少一第一过滤元件和至少一第二过滤元件。其中，第一过滤元件分别与第一气体输入单元101、调压单元104连通，并位于调压单元104的上游，用于对特殊气体进行一次过滤；第二过滤元件分别与过流量保护单元105、检测单元106、第一气体输出单元107、第一排放单元108连通，并位于过流量保护单元105的下游，用于对特殊气体进行二次过滤。

具体地，第一过滤元件与第一气体输入元件连通。

更具体地，第一过滤元件与第一气体输入元件通过气体管路连通，该气体管路嵌入加热元件设置。

一般地，第一过滤元件对经加热元件加热后的特殊气体进行一次过滤。

第一过滤元件的数量与第一气体输入元件的数量相匹配。一般地，第一过滤元件的数量等于第一气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第一过滤元件包括但不限于过滤器。

一般地，第二过滤元件对经调压单元104调压后的特殊气体进行二次过滤。

第二过滤元件的数量与第一过滤元件的数量相匹配。一般地，第二过滤元件的数量等于第一过滤元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二过滤元件包括但不限于过滤器。

进一步地，过滤单元103还包括至少一第二开关阀元件。其中，第二开关阀元件设置于分别与第一气体输入单元101、第一过滤元件连通的管路，并位于第一过滤元件的上游，用于控制管路的开闭。

具体地，第二开关阀元件设置于分别与第一气体输入元件、第一过滤元件连通的管路，并位于第一开关阀元件的下游。

第二开关阀元件的数量与第一过滤元件的数量相匹配。一般地，第二开关阀元件的数量等于第一过滤元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，过滤单元103还包括至少一第三开关阀元件、至少一第四开关阀元件和至少一第五开关阀元件。其中，第三开关阀元件设置于分别与过流量保护单元105、第二过滤元件连通的管路，并位于过流量保护单元105的下游、第二过滤元件的上游；第四开关阀元件设置于分别与第二过滤元件、第一气体输出单元107连通的管路，并位于第二过滤元件的下游；第五开关阀元件设置于分别与第二过滤元件、第一气体输出单元107连通的管路，并位于第四开关阀元件的下游。

第三开关阀元件的数量与第二过滤元件的数量相匹配。一般地，第三开关阀元件的数量等于第二过滤元件的数量。

在其中的一些实施例中，第三开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第四开关阀元件的数量与第二过滤元件的数量相匹配。一般地，第四开关阀元件的数量等于第二过滤元件的数量。

在其中的一些实施例中，第四开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第五开关阀元件的数量与第二过滤元件的数量相匹配。一般地，第五开关阀元件的数量等于第二过滤元件的数量。

在其中的一些实施例中，第五开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，过滤单元103还包括至少一第一压力检测元件。其中，第一压力检测元件设置于分别与第二过滤元件、过流量保护单元105连通的管路，并位于过流量保护单元105的下游、第二过滤元件的上游，用于检测管路的压力（即特殊气体的压力）。

第一压力检测元件的数量与第二过滤元件的数量相匹配。一般地，第一压力检测元件的数量等于第二过滤元件的数量。

在其中的一些实施例中，第一压力检测元件为压力检测器，包括但不限于压力检测表、压力检测计。

调压单元104包括至少一第一调压元件和至少一第二调压元件。其中，第一调压元件与过滤单元103连通，并位于过流量保护单元105的上游，用于对特殊气体进行一次调压；第二调压元件分别与过流量保护单元105、第一调压元件连通，并位于过流量保护单元105的下游，用于对特殊气体进行二次调压。

具体地，第一调压元件与第一过滤元件连通，并位于第一过滤元件的下游，用于对经一次过滤的特殊气体进行调压；第二调压元件用于对经一次调压的特殊气体进行二次调压。

一般地，经第一调压元件调压后的特殊气体需要再次进入加热元件进行二次加热，然后输送至第二调压元件。

第一调压元件的数量与第一过滤元件的数量相匹配。一般地，第一调压元件的数量等于第一过滤元件的数量。

在其中的一些实施例中，第一调压元件为调压器，例如205PSIG REG。

第二调压元件的数量与第一调压元件的数量相匹配。一般地，第二调压元件的数量等于第一调压元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二调压元件为调压器。

进一步地，调压单元104还包括至少一第二压力检测元件。其中，第二压力检测元件设置于分别与第一调压元件、第二调压元件连通的管路，并位于第一调压元件的下游、第二调压元件的上游，用于检测管路的压力（即特殊气体的压力）。

一般地，第二压力检测元件位于加热元件的下游，即对经二次加热的特殊气体进行压力监测。

第二压力检测元件的数量与第一调压元件的数量相匹配。一般地，第二压力检测元件的数量等于第一调压元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二压力检测元件为压力检测器，包括但不限于压力检测表、压力检测计。

过流量保护单元105包括至少一过流量保护元件。其中，过流量保护元件分别与过滤单元103、调压单元104、第一排放单元108连通。

具体地，过流量保护元件分别与第二调压元件、第二过滤元件连通。

过流量保护元件的数量与第二调压元件的数量相匹配。一般地，过流量保护元件的数量等于第二调压元件的数量。

在其中的一些实施例中，过流量保护元件为过流量保护器，包括但不限于过流量保护开关。

检测单元106包括至少一第一检测元件。其中，第一检测元件分别与过滤单元103、第一气体输出单元107连通，用于对特殊气体进行检测。

具体地，第一检测元件与第二过滤元件连通，用于对二次过滤的特殊气体进行检测。

第一检测元件的数量与第二过滤元件的数量相匹配。一般地，第一检测元件的数量不大于第二过滤元件的数量。

在其中的一些实施例中，第一检测元件包括但不限于第一气体检测接口。

进一步地，检测单元106还包括至少一第六开关阀元件。其中，第六开关阀元件设置于分别与第一检测元件、过滤单元103连通的管路，用于控制管路的开闭。

具体地，第六开关阀元件设置于分别与第一检测元件、第二过滤元件连通的管路。

更具体地，第六开关阀元件设置于第四开关阀元件与第五开关阀元件之间。

第六开关阀元件的数量与第一检测元件的数量相匹配。一般地，第六开关阀元件的数量不大于第一检测元件的数量。

第六开关阀元件的数量与第二过滤元件的数量相匹配。一般地，第六开关阀元件的数量等于第二过滤元件的数量。

在其中的一些实施例中，第六开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第一气体输出单元107包括至少一第一气体输出元件和至少一第二气体输出元件其中，第一气体输出元件分别与过滤单元103、检测单元106、工艺腔室连通，用于输出特殊气体至工艺腔室；第二气体输出元件分别与过滤单元103、检测单元106连通，用于输出特殊气体。

具体地，第一气体输出元件分别与第二过滤元件、第一检测元件连通；第二气体输出元件分别与第二过滤元件、第一检测元件连通。

第一气体输出元件的数量与第二过滤元件的数量相匹配。一般地，第一气体输出元件的数量不大于第二过滤元件的数量。

在其中的一些实施例中，第一气体输出元件包括但不限于第一气体输出接口。

第二气体输出元件与第一气体输出元件为并联设置。

第二气体输出元件的数量与第二过滤元件的数量相匹配。一般地，第二气体输出元件的数量不大于第二过滤元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二气体输出元件包括但不限于第二气体输出接口。

进一步地，第一气体输出单元107还包括至少一第七开关阀元件和至少一第八开关阀元件。其中，第七开关阀元件设置于分别与第一气体输出元件与过滤单元103连通的管路，用于控制管路的开闭；第八开关阀元件设置于分别与第二气体输出元件与过滤单元103连通的管路，用于控制管路的开闭。

具体地，第七开关阀元件设置于分别与第一气体输出元件与第二过滤元件连通的管路；第八开关阀元件设置于分别与第二气体输出元件与第二过滤元件连通的管路。

更具体地，第七开关阀元件设置于第五开关阀元件的下游；第八开关阀元件设置于第五开关阀元件的下游。

第七开关阀元件的数量与第一气体输出元件的数量相匹配。一般地，第七开关阀元件的数量等于第一气体输出元件的数量。

在其中的一些实施例中，第七开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第八开关阀元件的数量与第二气体输出元件的数量相匹配。一般地，第八开关阀元件的数量等于第二气体输出元件的数量。

在其中的一些实施例中，第八开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第一排放单元108包括第一排放元件。其中，第一排放元件分别与过滤单元103、过流量保护单元105连通，用于排放气体。

具体地，第一排放元件分别与第二过滤元件、过流量保护元件连通。

在其中的一些实施例中，第一排放元件为真空发生器。

进一步地，第一排放单元108还包括至少一第九开关阀元件、至少一第一单向阀元件和至少一第十开关阀元件。其中，第九开关阀元件设置于分别与第一排放元件、过滤单元103、过流量保护单元105连通的管路，并位于第一排放元件的上游，用于控制管路的开闭；第一单向阀元件设置于分别与第一排放元件、过滤单元103、过流量保护单元105连通的管路，并位于第九开关阀元件的下游、第一排放元件的上游；第十开关阀元件设置于分别与第一排放元件、过滤单元103、过流量保护单元105连通的管路，并位于第一单向阀元件的下游、第一排放元件的上游，用于控制管路的开闭。

具体地，第九开关阀元件设置于分别与第一排放元件、第二过滤元件、过流量保护元件连通的管路，并位于过流量保护元件的下游、第二过滤元件的上游。

更具体地，第九开关阀元件设置于第一压力检测元件的下游、第三开关阀元件的上游。

第九开关阀元件的数量与第二调压元件的数量相匹配。一般地，第九开关阀元件的数量等于第二调压元件的数量。

在其中的一些实施例中，第九开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第一单向阀元件的数量与第九开关阀元件的数量相匹配。一般地，第一单向阀元件的数量等于第九开关阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第一单向阀元件包括但不限于单向阀。

第十开关阀元件的数量与第一排放元件的数量相匹配。一般地，第十开关阀元件的数量等于第一排放元件的数量。

在其中的一些实施例中，第十开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，第一排放单元108还包括至少一第二气体输入元件和至少一第三气体输出元件。其中，第二气体输入元件与第一排放元件连通，并位于第一排放元件的上游；第三气体输出元件与第一排放元件连通，并位于第一排放元件的下游。

第二气体输入元件的数量与第一排放元件的数量相匹配。一般地，第二气体输入元件的数量等于第一排放元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二气体输入元件为第二气体输入接口。

在第三气体输出元件为若干个的情况下，若干第三气体输出元件并联设置，并分别与第一排放元件连通。

一般地，第三气体输出元件为两个，一个第三气体输出元件用于输出一般气体，一个第三气体输出元件用于输出特殊气体。

在其中的一些实施例中，第三气体输出元件为第三气体输出接口。

进一步地，第一排放单元108还包括至少一第十一开关阀元件和至少一第十二开关阀元件。其中，第十一开关阀元件设置于分别与第一排放元件、第三气体输出元件连通的管路，并位于第一排放元件的下游，用于控制管路的开闭；第十二开关阀元件设置于分别与第一排放元件、第三气体输出元件连通的管路，并位于第十一开关阀元件的下游，用于控制管路的开闭。

第十一开关阀元件的数量与第三气体输出元件的数量相匹配。一般地，第十一开关阀元件的数量等于第三气体输出元件的数量。

在其中的一些实施例中，第十一开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第十二开关阀元件的数量与第十一开关阀元件的数量相匹配。一般地，第十二开关阀元件的数量等于第十一开关阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第十二开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，第一排放单元108还包括至少一第三压力检测元件。其中，第三压力检测元件设置于分别与第一排放元件、过滤单元103、过流量保护单元105连通的管路，并位于第一排放元件的上游，用于检测管路的压力（即特殊气体的压力）。

具体地，第三压力检测元件设置于分别与第一排放元件、第二过滤元件、过流量保护元件连通的管路。

一般地，第三压力检测元件位于第一单向阀元件的下游、第十开关阀元件的上游。

第三压力检测元件的数量与第一排放元件的数量相匹配。一般地，第三压力检测元件的数量等于第一排放元件的数量。

在其中的一些实施例中，第三压力检测元件为压力检测器，包括但不限于压力检测表、压力检测计。

对于本实施例的特气输送供应装置100，其包括如下几种实施方式：

（一）第一种实施方式

在本实施方式中，第一气体输入元件为1个、加热元件为1个、第一过滤元件为1个、第二过滤元件为1个、第一调压元件为1个、第二调压元件为1个、过流量保护元件为1个、检测元件为1个、第一气体输出元件为1个、第二气体输出元件为1个。

特殊气体的输送路径如下：

第一气体输入元件→加热元件→第一过滤元件→第一调压元件→加热元件→第二调压元件→过流量保护元件→第二过滤元件→第一检测元件或第一气体输出元件或第二气体输出元件。

（二）第二种实施方式

在本实施方式中，第一气体输入元件为1个、加热元件为2个、第一过滤元件为1个、第二过滤元件为1个、第一调压元件为1个、第二调压元件为1个、检测元件为1个、第一气体输出元件为1个、第二气体输出元件为1个。

特殊气体的输送路径如下：

第一气体输入元件→第一个加热元件→第一过滤元件→第一调压元件→第二个热元件→第二调压元件→过流量保护元件→第二过滤元件→第一检测元件或第一气体输出元件或第二气体输出元件。

（三）第三种实施方式-第一种实施方式的变种

在本实施方式中，第一气体输入元件为2个、加热元件为2个、第一过滤元件为2个、第二过滤元件为2个、第一调压元件为2个、第二调压元件为2个、过流量保护元件为2个、检测元件为1个、第一气体输出元件为1个、第二气体输出元件为1个。

特殊气体的输送路径如下：

1）第一个第一气体输入元件→第一个加热元件→第一个第一过滤元件→第一个第一调压元件→第一个加热元件→第一个第二调压元件→第一个过流量保护元件→第一个第二过滤元件→第一检测元件或第一气体输出元件或第二气体输出元件；

2）第二个第一气体输入元件→第二个加热元件→第二个第一过滤元件→第二个第一调压元件→第二个加热元件→第二个第二调压元件→第二个过流量保护元件→第二个第二过滤元件→第一检测元件或第一气体输出元件或第二气体输出元件。

一般地，在同一时刻，1）和2）仅进行一个。

（四）第四种实施方式-第二种实施方式的变种

在本实施方式中，第一气体输入元件为2个、加热元件为4个、第一过滤元件为2个、第二过滤元件为2个、第一调压元件为2个、第二调压元件为2个、过流量保护元件为2个、检测元件为1个、第一气体输出元件为1个、第二气体输出元件为1个。

特殊气体的输送路径如下：

1）第一个第一气体输入元件→第一个加热元件→第一个第一过滤元件→第一个第一调压元件→第二个加热元件→第一个第二调压元件→第一个过流量保护元件→第一个第二过滤元件→第一检测元件或第一气体输出元件或第二气体输出元件；

2）第二个第一气体输入元件→第三个加热元件→第二个第一过滤元件→第二个第一调压元件→第四个加热元件→第二个第二调压元件→第二个过流量保护元件→第二个第二过滤元件→第一检测元件或第一气体输出元件或第二气体输出元件。

一般地，在同一时刻，1）和2）仅进行一个。

本实施例的优点在于，通过过滤单元和调压单元对特殊气体进行二次过滤和二次调压，将槽车输送的高压特殊气体转变为低压特殊气体，以满足工艺腔室的使用要求；利用检测单元对经过滤单元、调压单元处理的特殊气体进行检测，判断特殊气体的气体成分、浓度等是否满足使用需求，有效提高气体处理效率，提高后续工艺良率；利用第一排放单元对特气输送供应装置的特殊气体进行排放，确保未满足检测要求的特殊气体不进入后续工艺腔室。

实施例2

本实施例为实施例1的一个变形实施例。

如图2所示，特气输送供应装置100还包括纯化单元109。其中，纯化单元109分别与过滤单元103、检测单元106、第一气体输出单元107、第一排放单元108连通，用于对特殊气体进行纯化。

检测单元106还包括至少一第二检测元件。其中，第二检测元件分别与纯化单元109、第一气体输出单元107连通，用于对纯化后的特殊气体进行检测。

具体地，第二检测元件与第一气体输出元件、第二气体输出元件连通。

第二检测元件的数量与第一气体输出元件的数量相匹配。一般地，第一检测元件的数量不大于第一气体输出元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二检测元件包括但不限于第二气体检测接口。

进一步地，检测单元106还包括至少一第十三开关阀元件。其中，第十三开关阀元件设置于分别与第二检测元件、第一气体输出单元107、纯化单元109连通的管路，用于控制管路的开闭。

具体地，第十三开关阀元件设置于分别与第一气体输出元件、第二气体输出元件连通的管路。

第十三开关阀元件的数量与第二检测元件的数量相匹配。一般地，第十三开关阀元件的数量等于第十一检测元件的数量。

在其中的一些实施例中，第十三开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，第一气体输出单元107还包括至少一第十四开关阀元件和至少一第十五开关阀元件。其中，第十四开关阀元件设置于分别与第一气体输出元件、检测单元106、纯化单元109连通的管路，用于控制管路的开闭；第十四开关阀元件设置于分别与第二气体输出元件、检测单元106、纯化单元109连通的管路，用于控制管路的开闭。

具体地，第十四开关阀元件设置于分别与第一气体输出元件与第二检测元件连通的管路；第十五开关阀元件设置于分别与第二气体输出元件与第二检测元件连通的管路。

更具体地，第十四开关阀元件设置于第七开关阀元件的上游；第十五开关阀元件设置于第八开关阀元件的上游。

第十四开关阀元件的数量与第一气体输出元件的数量相匹配。一般地，第十四开关阀元件的数量等于第一气体输出元件的数量。

在其中的一些实施例中，第十四开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第十五开关阀元件的数量与第二气体输出元件的数量相匹配。一般地，第十五开关阀元件的数量等于第二气体输出元件的数量。

在其中的一些实施例中，第十五开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

纯化单元109包括至少一纯化元件。其中，纯化元件分别与过滤单元103、检测单元106、第一气体输出单元107、第一排放单元108连通，用于对特殊气体进行纯化。

具体地，纯化元件分别与第二过滤元件、第二检测元件、第一气体输出元件、第二气体输出元件、第一排放元件连通，用于对二次过滤的特殊气体进行纯化。

在纯化元件为若干个的情况下，若干纯化元件并联设置，并分别与第二过滤元件、第二检测元件、第一气体输出元件、第二气体输出元件、第一排放元件连通。

在其中的一些实施例中，纯化元件为纯化模组。

进一步地，纯化单元109还包括至少一第十六开关阀元件、至少一第十七开关阀元件、至少一第十八开关阀元件、至少一第十九开关阀元件和至少一第二十开关阀元件。其中，第十六开关阀元件设置于分别与纯化元件、过滤单元103、第一气体输出单元107连通的管路，并位于过滤单元103的下游、纯化元件的上游、第一气体输出单元107的上游，用于控制管路的开闭；第十七开关阀元件设置于分别与纯化元件、过滤单元103、第一气体输出单元107连通的管路，并位于第十六开关阀元件的下游、第一气体输出单元107的上游，用于控制管路的开闭；第十八开关阀元件设置于分别与纯化元件、过滤单元103连通的管路，并位于第十六开关阀元件的下游、纯化元件的上游，用于控制管路的开闭；第十九开关阀元件设置于分别与纯化元件、过滤单元103、第一气体输出单元107连通的管路，并位于纯化元件的下游、第一气体输出单元107的上游，用于控制管路的开闭；第二十开关阀元件设置于分别与纯化元件、第一排放单元108连通的管路，用于控制管路的开闭。

具体地，第十六开关阀元件设置于分别与纯化元件、第二过滤元件、第一气体输出元件、第二气体输出元件连通的管路，并位于第二过滤元件的下游、纯化元件的上游、第一气体输出元件的上游、第二气体输出元件的上游；第十七开关阀元件设置于分别与纯化元件、第二过滤元件、第一气体输出元件、第二气体输出元件连通的管路，并位于第十六开关阀元件的下游、第一气体输出元件的上游、第二气体输出元件的上游；第十八开关阀元件设置于分别与纯化元件、第二过滤元件连通的管路；第十九开关阀元件设置于分别与纯化元件、第二过滤元件、第一气体输出元件、第二气体输出元件连通的管路，并位于纯化元件的下游、第一气体输出元件的上游、第二气体输出元件的上游；第二十开关阀元件设置于分别与纯化元件、第一排放元件连通的管路。

更具体地，第十六开关阀元件设置于第五开关阀元件的下游；第十九开关阀元件设置于第十四开关阀元件的上游、第十五开关阀元件的上游；第二十开关阀元件设置于第十开关阀元件的上游。

第十六开关阀元件的数量与纯化元件的数量相匹配。一般地，第十六开关阀元件的数量不大于纯化元件的数量。

在其中的一些实施例中，第十六开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第十七开关阀元件的数量与第十六开关阀元件的数量相匹配。一般地，第十七开关阀元件的数量等于第十六开关阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第十七开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第十八开关阀元件的数量与纯化元件的数量相匹配。一般地，第十八开关阀元件的数量等于纯化元件的数量。

在其中的一些实施例中，第十八开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第十九开关阀元件的数量与纯化元件的数量相匹配。一般地，第十九开关阀元件的数量等于纯化元件的数量。

在其中的一些实施例中，第十九开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第二十开关阀元件的数量与纯化元件的数量相匹配。一般地，第二十开关阀元件的数量等于纯化元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二十开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

对于本实施例的特气输送供应装置100，其包括如下几种实施方式：

（一）第一种实施方式

在本实施方式中，纯化元件为1个。

特殊气体的输送路径如下：

1）第一气体输入元件→加热元件→第一过滤元件→第一调压元件→加热元件→第二调压元件→过流量保护元件→第二过滤元件→第一检测元件→纯化元件→第二检测元件或第一气体输出元件或第二气体输出元件；

2）第一气体输入元件→加热元件→第一过滤元件→第一调压元件→加热元件→第二调压元件→过流量保护元件→第二过滤元件→第一检测元件→第一气体输出元件或第二气体输出元件。

（二）第二种实施方式

在本实施方式中，纯化元件为2个。

特殊气体的输送路径如下：

1）第一气体输入元件→加热元件→第一过滤元件→第一调压元件→加热元件→第二调压元件→过流量保护元件→第二过滤元件→第一检测元件→第一个纯化元件→第二检测元件或第一气体输出元件或第二气体输出元件；

1）第一气体输入元件→加热元件→第一过滤元件→第一调压元件→加热元件→第二调压元件→过流量保护元件→第二过滤元件→第一检测元件→第二个纯化元件→第二检测元件或第一气体输出元件或第二气体输出元件；

3）第一气体输入元件→加热元件→第一过滤元件→第一调压元件→加热元件→第二调压元件→过流量保护元件→第二过滤元件→第一检测元件→第一气体输出元件或第二气体输出元件。

一般地，在同一时刻，1）和2）仅进行一个。

本实施例的优点在于，通过纯化单元对过滤、调压后的特殊气体进行纯化，进一步提高特殊气体的纯度，减少杂质含量，提高后续工艺良品率。

实施例3

本实施例为实施例2的一个变形实施例。

如图3所示，特气输送供应装置100还包括吹扫单元110。其中，吹扫单元110与纯化单元109连通，用于对纯化单元109吹扫。

吹扫单元110包括至少一第三气体输入元件。其中，第三气体输入元件与纯化单元109连通，用于对纯化单元109吹扫。

具体地，第三气体输入元件与纯化元件连通，用于对纯化元件吹扫。

第三气体输入元件的数量与纯化元件的数量相匹配。一般地，第三气体输入元件的数量等于纯化元件的数量。

在其中的一些实施例中，第三气体输入元件包括但不限于第三气体输入接口。

进一步地，吹扫单元110还包括至少一第二十一开关阀元件和至少一第二单向阀元件。其中，第二十一开关阀元件设置于分别与第三气体输入元件、纯化单元109连通的管路，并位于第三气体输入元件的下游，用于控制管路的开闭；第二单向阀元件设置于分别与第三气体输入元件、纯化单元109连通的管路，并位于第二十一开关阀元件的下游。

具体地，第二十一开关阀元件设置于分别与第三气体输入元件、纯化元件连通的管路；第二单向阀元件设置于分别与第三气体输入元件、纯化元件连通的管路。

第二十一开关阀元件的数量与第三气体输入元件的数量相匹配。一般地，第二十一开关阀元件的数量等于第三气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二十一开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第二单向阀元件的数量与第二十一开关阀元件的数量相匹配。一般地，第二单向阀元件的数量等于第二十一开关阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二单向阀元件包括但不限于单向阀。

实施例4

本实施例为实施例1~实施例3的一个变形实施例。

如图4所示，特气输送供应装置100还包括第一泄压单元111。其中，第一泄压单元111分别与第一气体输入单元101、第一排放单元108连通，用于泄压。

第一气体输入单元101与第一排放单元108连通，用于直接排放第一气体输入单元101的气体。

进一步地，第一排放单元108还包括至少一第二十二开关阀元件和至少一第三单向阀元件。其中，第二十二开关阀元件设置于分别与第一气体输入单元101、第一排放单元108连通的管路，用于控制管路的开闭；第三单向阀元件设置于分别与第一气体输入单元101、第一排放单元108连通的管路，并位于第二十二开关阀元件的下游。

具体地，第二十二开关阀元件设置于分别与第一气体输入元件、第一排放元件连通的管路，并位于第一开关阀元件的下游；第三单向阀元件设置于分别与第一气体输入元件、第一排放元件连通的管路，并位于第十开关阀元件的上游。

第二十二开关阀元件的数量与第一气体输入元件的数量相匹配。一般地，第二十二开关阀元件的数量等于第一气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二十二开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第三单向阀元件的数量与第二十二开关阀元件的数量相匹配。一般地，第三单向阀元件的数量等于第二十二开关阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第三单向阀元件包括但不限于单向阀。

第一泄压单元111包括至少一第一泄压元件。其中，第一泄压元件分别与第一气体输入单元101、第一排放单元108连通，用于泄压。

具体地，第一泄压元件分别与第一气体输入元件、第一排放元件连通。

更具体地，第一泄压元件与第一气体输入元件的连通位置位于第一过滤元件的上游。

第一泄压元件的数量与第一气体输入元件的数量相匹配。一般地，第一泄压元件的数量等于第一气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第一泄压元件包括但不限于泄压阀。

进一步地，第一泄压单元111还包括至少一第二十三开关阀元件和至少一第四单向阀元件。其中，第二十三开关阀元件设置于分别与第一泄压元件、第一气体输入单元101连通的管路，并位于第一泄压元件的上游，用于控制管路的开闭；第四单向阀元件设置于分别与第一泄压元件、第一排放单元108连通的管路，并位于第一泄压元件的下游。

具体地，第二十三开关阀元件设置于分别与第一泄压元件、第一气体输入元件连通的管路，并位于第一开关阀元件的下游；第四单向阀元件设置于分别与第一泄压元件、第一排放元件连通的管路，并位于第十开关阀元件的上游。

第二十三开关阀元件的数量与第一泄压元件的数量相匹配。一般地，第二十三开关阀元件的数量等于第一泄压元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二十三开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第四单向阀元件的数量与第二十三开关阀元件的数量相匹配。一般地，第四单向阀元件的数量等于第二十三开关阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第四单向阀元件包括但不限于单向阀。

进一步地，第一泄压单元111还包括至少一第四压力检测元件。其中，第四压力检测元件设置于分别与第一泄压元件、第一气体输入单元101连通的管路，并位于第一泄压元件的上游，用于检测管路的压力。

具体地，第四压力检测元件设置于分别与第一泄压元件、第一气体输入元件、第一过滤元件连通的管路。

一般地，第四压力检测元件位于第二开关阀元件的上游。

第四压力检测元件的数量与第一泄压元件的数量相匹配。一般地，第四压力检测元件的数量等于第一泄压元件的数量。

在其中的一些实施例中，第四压力检测元件为压力检测器，包括但不限于压力检测表、压力检测计。

本实施例的优点在于，通过第一泄压单元可以对一般气体和特殊气体做到分区控制排放，降低成本，减少污染。

实施例5

本实施例为实施例1~实施例4的一个变形实施例。

特气输送供应装置100还包括第一安全保障单元。其中，第一安全保障单元设置于特气输送供应装置100所处环境的顶部，用于监测环境信息。

第一安全保障单元包括第一烟雾监测元件、第一液体喷淋元件和第一鼓风元件。其中，第一烟雾监测元件设置于特气输送供应装置100所处环境的顶部，用于监测环境的烟雾信息；第一液体喷淋元件设置于特气输送供应装置100所处环境的顶部，用于向环境喷淋液体；第一鼓风元件设置于特气输送供应装置100所处环境的顶部，用于将环境的气体排出。

在其中的一些实施例中，第一烟雾监测元件为烟雾探测器。

在其中的一些实施例中，第一液体喷淋元件为喷淋头。

在其中的一些实施例中，第一鼓风元件包括但不限于排气扇。

本实施例的优点在于，在特气输送供应装置出现泄漏、燃烧的情况下，利用第一烟雾监测元件进行预警；使用第一液体喷淋元件进行喷淋，以降低环境内的相关气体的浓度，防止出现爆炸；通过第一鼓风元件可以快速将环境内的气体排放至废气处理系统。

实施例6

本实施例涉及本发明的特气输送供应系统。

本发明的一个示意性实施例。如图5所示，一种特气输送供应系统，包括如实施例1~实施例4任一所述的特气输送供应装置100和至少一吹扫装置200。其中，吹扫装置200分别与特气输送供应装置100、槽车装置400连通，用于获取槽车装置400传输的特殊气体以及输送特殊气体至特气输送供应装置100。

吹扫装置200的数量与第一气体输入单元101的第一气体输入元件的数量相匹配。一般地，吹扫装置200的数量等于第一气体输入元件的数量。

槽车装置400的数量与吹扫装置200的数量相匹配。一般地，槽车装置400的数量不大于吹扫装置200的数量。

进一步地，特气输送供应系统还包括至少一重量检测装置300。其中，重量检测装置300用于对槽车装置400进行检测。

重量检测装置300的数量与槽车装置400的数量相匹配。一般地，重量检测装置300的数量不小于槽车装置400的数量。

在其中的一些实施例中，重量检测装置300为磅秤。

如图6所示，吹扫装置200包括第二气体输入单元201、第二气体输出单元202、低压吹扫单元203和第二排放单元204。其中，第二气体输入单元201与槽车装置连通，用于获取槽车装置传输的特殊气体；第二气体输出单元202与第二气体输入单元201连通，用于输送特殊气体至特气输送供应装置100；低压吹扫单元203分别与第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通，用于低压吹扫；第二排放单元204分别与第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通，用于排放气体。

其中，特殊气体的输送路径如下：

槽车装置→第二气体输入单元201→第二气体输出单元202→特气输送供应装置100。

第二气体输入单元201包括至少一第四气体输入元件。其中，第四气体输入元件分别与槽车装置、第二气体输出单元202、低压吹扫单元203、第二排放单元204连通，用于获取槽车装置输送的特殊气体、输送特殊气体至第二气体输出单元202。

在其中的一些实施例中，第四气体输入元件包括但不限于第四气体输入接口。

进一步地，第二气体输入单元201还包括至少一第二十四开关阀元件。其中，第二十四开关阀元件设置于分别与第四气体输入元件、槽车装置连通的管路，并位于第四气体输入元件的下游，用于控制管路的开闭。

第二十四开关阀元件的数量与第四气体输入元件的数量相匹配。一般地，第二十四开关阀元件的数量等于第四气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二十四开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第二气体输出单元202包括至少一第四气体输出元件。其中，第四气体输出元件分别与第二气体输入单元201、特气输送供应装置100的第一气体输入单元101、低压吹扫单元203、第二排放单元204连通，用于获取第四气体输入元件输送的特殊气体、输送特殊气体至第一气体输入单元101。

具体地，第四气体输出元件分别与第四气体输入元件、第一气体输入元件连通。

第四气体输出元件的数量与第四气体输入元件的数量相匹配。一般地，第四气体输出元件的数量等于第四气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第四气体输出元件包括但不限于第四气体输出接口。

进一步地，第二气体输出单元202还包括第二十五开关阀元件。其中，第二十五开关阀元件设置于分别与第四气体输出元件、第二气体输入单元201连通的管路，并位于第四气体输出元件的上游，用于控制管路的开闭。

具体地，第二十五开关阀元件设置于分别与第四气体输出元件、第四气体输入元件连通的管路，并位于第二十四开关阀元件的下游。

第二十五开关阀元件的数量与第四气体输出元件的数量相匹配。一般地，第二十五开关阀元件的数量等于第四气体输出元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二十五开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

低压吹扫单元203包括至少一第五气体输入元件。其中，第五气体输入元件分别与第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通，用于低压吹扫。

具体地，第五气体输入元件分别与第四气体输入元件、第四气体输出元件连通。

第五气体输入元件的数量与第四气体输入元件的数量相匹配。一般地，第五气体输入元件的数量等于第四气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第五气体输入元件包括但不限于第五气体输入接口。

进一步地，低压吹扫单元203还包括至少一微漏阀元件、至少一第五单向阀元件和至少一第二十六开关阀元件。其中，微漏阀元件设置于分别与第五气体输入元件、第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通的管路，用于控制管路的开闭；第五单向阀元件设置于分别与第五气体输入元件、第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通的管路，并位于微漏阀元件的下游；第二十六开关阀元件设置于分别与第五气体输入元件、第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通的管路，并位于第五单向阀元件的下游，用于控制管路的开闭。

具体地，微漏阀元件设置于分别与第五气体输入元件、第四气体输入元件、第四气体输出元件连通的管路；第五单向阀元件设置于分别与第五气体输入元件、第四气体输入元件、第四气体输出元件连通的管路；第二十六开关阀元件设置于分别与第五气体输入元件、第四气体输入元件、第四气体输出元件连通的管路，并位于第二十四开关阀元件与第二十五开关阀元件之间。

微漏阀元件的数量与第五气体输入元件的数量相匹配。一般地，微漏阀元件的数量等于第五气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，微漏阀元件包括但不限于微漏阀，例如气动微漏阀。

第五单向阀元件的数量与微漏阀元件的数量相匹配。一般地，第五单向阀元件的数量等于微漏阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第五单向阀元件包括但不限于单向阀。

第二十六开关阀元件的数量与微漏阀元件的数量相匹配。一般地，第二十六开关阀元件的数量等于微漏阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二十六开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，低压吹扫单元203还包括第五压力检测元件。其中，第五压力检测元件设置于分别与第五气体输入元件、第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通的管路，并位于第五气体输入元件的下游，用于检测管路的压力。

具体地，第五压力检测元件设置于分别与第五气体输入元件、第四气体输入元件、第四气体输出元件连通的管路，并位于第二十四开关阀元件与第二十五开关阀元件之间。

第五压力检测元件的数量与第五气体输入元件的数量相匹配。一般地，第五压力检测元件的数量等于第五气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第五压力检测元件为压力检测器，包括但不限于压力检测表、压力检测计。

第二排放单元204包括第二排放元件。其中，第二排放元件分别与第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通，用于排放气体。

具体地，第二排放元件分别与第四气体输入元件、第四气体输出元件连通。

在其中的一些实施例中，第二排放元件为真空发生器。

进一步地，第二排放单元204还包括至少一第二十七开关阀元件、至少一第六单向阀元件和至少一第二十八开关阀元件。其中，第二十七开关阀元件设置于分别与第二排放元件、第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通的管路，并位于第二排放元件的上游，用于控制管路的开闭；第六单向阀元件设置于分别与第二排放元件、第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通的管路，并位于第二十七开关阀元件的下游、第二排放元件的上游；第二十八开关阀元件设置于分别与第二排放元件、第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通的管路，并位于第六单向阀元件的下游、第二排放元件的上游，用于控制管路的开闭。

具体地，第二十七开关阀元件设置于分别与第二排放元件、第四气体输入元件、第四气体输出元件连通的管路，并位于第四气体输出元件的下游、第四气体输入元件的上游。

第二十七开关阀元件的数量与第四气体输入元件的数量相匹配。一般地，第二十七开关阀元件的数量等于第四气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二十七开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第六单向阀元件的数量与第二十七开关阀元件的数量相匹配。一般地，第六单向阀元件的数量等于第二十七开关阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第六单向阀元件包括但不限于单向阀。

第二十八开关阀元件的数量与第二排放元件的数量相匹配。一般地，第二十八开关阀元件的数量等于第二排放元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二十八开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，第二排放单元204还包括至少一第六气体输入元件和至少一第五气体输出元件。其中，第六气体输入元件与第二排放元件连通，并位于第二排放元件的上游；第五气体输出元件与第二排放元件连通，并位于第二排放元件的下游。

第六气体输入元件的数量与第二排放元件的数量相匹配。一般地，第六气体输入元件的数量等于第二排放元件的数量。

在其中的一些实施例中，第六气体输入元件为第六气体输入接口。

在第五气体输出元件为若干个的情况下，若干第五气体输出元件并联设置，并分别与第二排放元件连通。

一般地，第五气体输出元件为两个，一个第五气体输出元件用于输出一般气体，一个第五气体输出元件用于输出特殊气体。

在其中的一些实施例中，第五气体输出元件为第五气体输出接口。

进一步地，第二排放单元204还包括至少一第二十九开关阀元件和至少一第三十开关阀元件。其中，第二十九开关阀元件设置于分别与第二排放元件、第五气体输出元件连通的管路，并位于第二排放元件的下游，用于控制管路的开闭；第三十开关阀元件设置于分别与第二排放元件、第五气体输出元件连通的管路，并位于第二十九开关阀元件的下游，用于控制管路的开闭。

第二十九开关阀元件的数量与第五气体输出元件的数量相匹配。一般地，第二十九开关阀元件的数量等于第五气体输出元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二十九开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第三十开关阀元件的数量与第二十九开关阀元件的数量相匹配。一般地，第三十开关阀元件的数量等于第二十九开关阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第三十开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

进一步地，第二排放单元204还包括至少一第六压力检测元件。其中，第六压力检测元件设置于分别与第二排放元件、第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通的管路，并位于第二排放元件的上游，用于检测管路的压力（即特殊气体的压力）。

具体地，第六压力检测元件设置于分别与第二排放元件、第四气体输入元件、第四气体输出元件连通的管路。

一般地，第六压力检测元件位于第六单向阀元件的下游、第二十八开关阀元件的上游。

第六压力检测元件的数量与第二排放元件的数量相匹配。一般地，第六压力检测元件的数量等于第二排放元件的数量。

在其中的一些实施例中，第六压力检测元件为压力检测器，包括但不限于压力检测表、压力检测计。

实施例7

本实施例为实施例6的一个变形实施例。

如图7所示，吹扫装置200还包括高压保压单元205。其中，高压保压单元205分别与第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通，用于高压保压。

进一步地，高压保压单元205还与低压吹扫单元203连通。

高压保压单元205包括第七气体输入元件。其中，第七气体输入元件分别与与第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通，用于高压保压。

具体地，第七气体输入元件分别与第四气体输入元件、第四气体输出元件连通。

更具体地，第七气体输入元件还与第五气体输入元件连通。

第七气体输入元件的数量与第四气体输入元件的数量相匹配。一般地，第五气体输入元件的数量等于第四气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第七气体输入元件包括但不限于第七气体输入接口。

进一步地，高压保压单元205还包括至少一第三十一开关阀元件和至少一第七单向阀元件。其中，第三十一开关阀元件设置于分别与第七气体输入元件、第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通的管路，用于控制管路的开闭；第七单向阀元件设置于分别与第七气体输入元件、第二气体输入单元201、第二气体输出单元202连通的管路，并位于第三十一开关阀元件的下游。

具体地，第三十一开关阀元件设置于分别与第七气体输入元件、第四气体输入元件、第四气体输出元件连通的管路；第七单向阀元件设置于分别与第七气体输入元件、第四气体输入元件、第四气体输出元件连通的管路。

一般地，第三十一开关阀元件位于第二十六开关阀元件的上游。

第三十一开关阀元件的数量与第七气体输入元件的数量相匹配。一般地，第三十一开关阀元件的数量等于第七气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第三十一开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

一般地，第七单向阀元件位于第二十六开关阀元件的上游。

第七单向阀元件的数量与第三十一开关阀元件的数量相匹配。一般地，第七单向阀元件的数量等于第三十一开关阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第七单向阀元件包括但不限于单向阀。

本实施例的优点在于，通过设置高压保压单元与低压吹扫单元，可以有效保护管路、提高生产效率。

实施例8

本实施例为实施例6~实施例7的一个变形实施例。

如图8所示，吹扫装置200还包括第二泄压单元206。其中，第二泄压单元206分别与第二气体输入单元201、第二排放单元204连通，用于泄压。

第二泄压单元206包括至少一第二泄压元件。其中，第二泄压元件分别与第二气体输入单元201、第二排放单元204连通，用于泄压。

具体地，第二泄压元件分别与第四气体输入元件、第二排放元件连通。

第二泄压元件的数量与第四气体输入元件的数量相匹配。一般地，第二泄压元件的数量等于第四气体输入元件的数量。

在其中的一些实施例中，第二泄压元件包括但不限于泄压阀。

进一步地，第二泄压单元206还包括至少一第三十二开关阀元件和至少一第八单向阀元件。其中，第三十二开关阀元件设置于分别与第二泄压元件、第二气体输入单元201连通的管路，并位于第二泄压元件的上游，用于控制管路的开闭；第八单向阀元件设置于分别与第二泄压元件、第二排放单元204连通的管路，并位于第二泄压元件的下游。

具体地，第三十二开关阀元件设置于分别与第二泄压元件、第四气体输入元件连通的管路，并位于第二十四开关阀元件的下游；第八单向阀元件设置于分别与第二泄压元件、第二排放元件连通的管路。

第三十二开关阀元件的数量与第二泄压元件的数量相匹配。一般地，第三十二开关阀元件的数量等于第二泄压元件的数量。

在其中的一些实施例中，第三十二开关阀元件包括但不限于隔膜阀，例如手动隔膜阀、气动隔膜阀。

第八单向阀元件的数量与第三十二开关阀元件的数量相匹配。一般地，第八单向阀元件的数量等于第三十二开关阀元件的数量。

在其中的一些实施例中，第八单向阀元件包括但不限于单向阀。

本实施例的优点在于，通过第二泄压单元可以对一般气体和特殊气体做到分区控制排放，降低成本，减少污染。

实施例9

本实施例为实施例6~实施例8的一个变形实施例。

吹扫装置200还包括第二安全保障单元。其中，第二安全保障单元设置于吹扫装置200所处环境的顶部，用于监测环境信息。

第二安全保障单元包括第二烟雾监测元件、第二液体喷淋元件、第二鼓风元件、紫外红外开关元件和温度监测元件。其中，第二烟雾监测元件设置于吹扫装置200所处环境的顶部，用于监测环境的烟雾信息；第二液体喷淋元件设置于吹扫装置200所处环境的顶部，用于向环境喷淋液体；第二鼓风元件设置于吹扫装置200所处环境的顶部，用于将环境的气体排出；紫外红外开关元件设置于吹扫装置200所处环境的顶部，用于监测环境中是否存在明火；温度监测元件设置于吹扫装置200所处环境的顶部，用于监测环境的温度。

在其中的一些实施例中，第二烟雾监测元件为烟雾探测器。

在其中的一些实施例中，第二液体喷淋元件为喷淋头。

在其中的一些实施例中，第二鼓风元件包括但不限于排气扇。

在其中的一些实施例中，紫外红外开关元件为红紫外开关（IR Switch）。

在其中的一些实施例中，温度监测元件包括但不限于温度传感器。

本实施例的优点在于，在吹扫装置出现泄漏、燃烧的情况下，利用第二烟雾监测元件进行预警；使用第二液体喷淋元件进行喷淋，以降低环境内的相关气体的浓度，防止出现爆炸；通过第二鼓风元件可以快速将环境内的气体排放至废气处理系统。

实施例9

本实施例涉及本发明的一个具体实施方式。

如图9所示，一种适用于槽车（相当于槽车装置400）的特殊气体超高流量输送系统（相当于特气输送供应系统），包括特殊气体超高流量输送柜（相当于特气输送供应装置100）、至少一前置吹扫箱（相当于吹扫装置200）和至少一磅秤（相当于重量检测装置300）。

槽车包括气动阀ISO-A/ISO-B。

前置吹扫箱包括气动阀SI-1/SI-2（相当于第二十四开关阀元件）、气动阀SI-A/SI-B（相当于第二十五开关阀元件）、气动隔膜阀PV1-L/PV1-R（相当于第二十七开关阀元件）、单向阀CV7（相当于第七单向阀元件）、手动隔膜阀MIV（相当于第二十八开关阀元件）、VGBV2/V.G/CV（相当于第二排放元件）、压力显示单元PTS4（相当于第六压力检测元件）、气动微漏阀PGBVL/PGBVR（相当于微漏阀元件）、单向阀CV5（相当于第五单向阀元件）、气动隔膜阀PGIL/PGIR（相当于第二十六开关阀元件）、压力显示单元PTS3（相当于第五压力检测元件）、气动隔膜阀HPAL/HPAR（相当于第三十一开关阀元件）、单向阀CV6（相当于第六单向阀元件）、手动隔膜阀MSIV2（相当于第三十二开关阀元件）、角阀SV2（相当于第二泄压元件）、单向阀CV8（相当于第八单向阀元件）、气动隔膜阀PI1/PI2（相当于第二十九开关阀元件）、手动隔膜阀MIVV1/MIVV2（相当于第三十开关阀元件）。

其中，PV1-L/PV1-R、CV7、MIV、VGBV2/V.G/CV、PTS4、PI1/PI2、MIVV1/MIVV2构成排放管路（相当于第二排放单元204）；PGBVL/PGBVR、CV5、PGIL/PGIR、PTS3构成低压吹扫管路（相当于低压吹扫单元203）；HPAL/HPAR、CV6构成高压保压管路（相当于高压保压单元205）；MSIV2、SV2、CV8构成安全泄压管路（相当于第二泄压单元206）。

一般地，MIVV1和MIVV2常开。

特殊气体超高流量输送柜包括手动隔膜阀MIL/MIR（相当于第一开关阀元件）、HEAT BLOCK（相当于加热元件）、压力显示单元PTS1（相当于第四压力检测元件）、气动隔膜阀HPIL/HPIR（相当于第二开关阀元件）、过滤器FILITER（相当于第一过滤元件）、250PSIGREG（相当于第一调压元件）、压力显示单元PT1L/PT1R（相当于第二压力检测元件）、REG（相当于第二调压元件）、EFS（相当于过流量保护元件）、压力显示单元PT2L/PT2R（相当于第一压力检测元件）、气动隔膜阀LPIL/LPIR（相当于第三开关阀元件）、过滤器FILITER（相当于第二过滤元件）、气动隔膜阀ASL/ASR（相当于第四开关阀元件）、手动隔膜阀PLI（相当于第五开关阀元件）、手动隔膜阀MIV1（相当于第十六开关阀元件）、手动隔膜阀MIV2（相当于第十七开关阀元件）、手动隔膜阀MIV3（相当于第十八开关阀元件）、纯化器PURIFIER（相当于纯化元件）、手动隔膜阀MIV4（相当于第十九开关阀元件）、手动隔膜阀MPV（相当于第二十开关阀元件）、手动隔膜阀MPPV（相当于第二十一开关阀元件）、单向阀CV4（相当于第四单向阀元件）、气动隔膜阀PVP（相当于第十四开关阀元件）、手动隔膜阀MIV5（相当于第七开关阀元件）、气动隔膜阀PVE（相当于第十五开关阀元件）、手动隔膜阀EXP（相当于第八开关阀元件）、手动隔膜阀TEV（相当于第六开关阀元件）、手动隔膜阀TEVP（相当于第十三开关阀元件）、气动隔膜阀LPVL/LPVR（相当于第九开关阀元件）、单向阀CV1（相当于第一单向阀元件）、手动隔膜阀MIV6（相当于第十开关阀元件）、VGBV1/V.G/CV（相当于第一排放元件）、手气动隔膜阀PI1/PI2（相当于第十一开关阀元件）、手动隔膜阀MIVV1/MIVV2（第十二开关阀元件）、气动隔膜阀PSV-L/PSV-R（相当于第二十二开关阀元件）、单向阀CV2（相当于第二单向阀元件）、手动隔膜阀MSIV3/MSIV4（相当于第二十三开关阀元件）、角阀SV3/SV4（相当于第一泄压元件）、单向阀CV3（相当于第三单向阀元件）。

其中，TEV、TEVP构成检测管路（相当于检测单元106）；PVP、MIV5构成工艺腔室气体输出管路（相当于第一气体输出单元107）；PVE、EVP构成EXP输出管路（相当于第一气体输出单元107）；LPVL/LPVR、CV1、MIV6、VGBV1/V.G/CV、PT3、PI1/PI2、MIVV1/MIVV2构成排放管路（相当于第一排放单元108）；MIV3、PURIFIER、MIV4、MPV构成纯化管路（相当于纯化单元109）；MPVV、CV4构成吹扫管路（相当于吹扫单元110）；MSIV3/MSIV4、SV3/SV4、CV3构成安全泄压管路（相当于第一泄压单元111）。

一般地，MIV5和EXP常开；MIVV1和MIVV2常开。

其中，特殊气体输出管路如下：

1）ISO-A→SI-1/SI-2→SI-A/SI-B→MIL/MIR→HPIL/HPIR→FILITER→250 PSIFREG→REG→EFS→LPIL/LPIR→ASL/ASR→PLI→MIV1→MIV3→PURIFIER→MIV4→PVP→MIV5；

2）ISO-A→SI-1/SI-2→SI-A/SI-B→MIL/MIR→HPIL/HPIR→FILITER→250 PSIFREG→REG→EFS→LPIL/LPIR→ASL/ASR→PLI→MIV1→MIV2→PVP→MIV5；

3）ISO-A→SI-1/SI-2→SI-A/SI-B→MIL/MIR→HPIL/HPIR→FILITER→250 PSIFREG→REG→EFS→LPIL/LPIR→ASL/ASR→PLI→MIV1→MIV3→PURIFIER→MIV4→PVE→EXP；

4）ISO-A→SI-1/SI-2→SI-A/SI-B→MIL/MIR→HPIL/HPIR→FILITER→250 PSIFREG→REG→EFS→LPIL/LPIR→ASL/ASR→PLI→MIV1→MIV2→PVE→EXP。

本发明的使用方法如下：

（一）特殊气体超高流量输送柜

1）向工艺腔室输送特殊气体

HEAT BLOCK一次加热→FILITER一次过滤→250PSIG REG一次调压（降压）→REG二次调压（降压）→FILITER二次过滤→工艺腔室。

HEAT BLOCK一次加热→FILITER一次过滤→250PSIG REG一次调压（降压）→REG二次调压（降压）→FILITER二次过滤→PURIFIER纯化→工艺腔室。

在FILITER二次过滤后，需要对特殊气体进行检测，判断特殊气体是否符合第一预设标准。在特殊气体符合第一预设标准的情况下，继续输送特殊气体；在特殊气体不符合第一预设标准的情况下，VGBV1/V.G/CV排出特殊气体（通过PI1、MIVV1）。

在PURIFIER纯化后，需要对特殊气体进行检测，判断特殊气体是否符合第二预设标准。在特殊气体符合第二预设标准的情况下，继续输送特殊气体；在特殊气体不符合第二预设标准的情况下，VGBV1/V.G/CV排出特殊气体（通过PI1、MIVV1）。

2）气体排放

打开VGBV1/V.G/CV、MIV2、LPVL、HPIL、LPIL、ASL、PLI、PSV-L、MPV，通过PI1、MIVV1排放特殊气体，通过PI2、MIVV2排放一般气体（如吹扫气体）。其余不相关的阀关闭。

一般地，在特殊气体超高流量输送系统处于气体供应的情况下，PI1开、PI2关；在特殊气体超高流量输送系统处于吹扫/保压的情况下，PI1关、PI2开。

3）泄压

在压力过大的情况下，打开MSIV3、SV3，通过PI1、MIVV1排放特殊气体。其余不相关的阀关闭。

4）切换检测

在第一个槽车装置400的特殊气体的重量达到警戒阈值的情况下，将第二个槽车装置400的相关管路打开，对第二个槽车装置400的特殊气体进行检测。此时，第二个槽车装置400的特殊气体向后续工序供应。

（二）前置吹扫箱

1）向特殊气体超高流量输送柜输送特殊气体

打开SI-1、SI-A。其余不相关的阀关闭。

2）吹扫

打开PGBVL、PGIL、SI-1L、SI-A。其余不相关的阀关闭，用于吹扫盘面与槽车连接的管路。

3）保压

打开PGIL、HPAL、SI-A。其余不相关的阀关闭，用于保证盘面与槽车连接的管路没有压力下降。

4）排放

打开VGBV2/V.G/CV、MIV、PV1L，通过PI1、MIVV1排放特殊气体，通过PI2、MIVV2排放一般气体（如吹扫气体）。其余不相关的阀关闭。

5）泄压

在压力过大的情况下，打开MSIV2、SV2，通过PI1、MIVV1排放特殊气体。其余不相关的阀关闭。

本发明的技术效果如下：

1）在特殊气体超高流量输送柜、前置吹扫箱分别新增泄压结构，可以卸除多余压力，保护管路；

2）在前置吹扫箱设置分离的低压吹扫结构和高压保压结构，可以利用低压吹扫结构持续性为管路提供微量的氮气，保证管路洁净；

3）在特殊气体超高流量输送柜设置可以旁通的纯化结构，可以根据不同工艺机台的需要，输出不同纯度的特殊气体；

4）在特殊气体超高流量输送柜集成检测结构，可以对不同纯度的特殊气体分别进行检测，避免未达标的特殊气体向工艺机台输送，提高良率；

5）在特殊气体超高流量输送柜集成检测结构，可以在切换不同的槽车前，对备用槽车的特殊气体进行检测，从而缩短工艺准备时间，提高效率；

6）在特殊气体超高流量输送柜、前置吹扫箱分别设置一般气体排放管路和特殊气体排放管路，对气体排放进行分区控制，从而降低尾气处理工序的处理压力，减少环境污染；

7）仅对前置吹扫箱进行吹扫工艺，缩短吹扫长度，无须对槽车装置与前置吹扫箱的管路、前置吹扫箱与特殊气体超高流量输送柜的管路进行吹扫，减少气体排放、减少环境危害；

8）通过多前置吹扫箱的设置，可以实现稳定、不间断供应特殊气体，节省时间，提高生产效率，降低生产成本。

以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (14)

1.一种特气输送供应系统，其特征在于，包括：

特气输送供应装置，用于输出特殊气体；

至少一吹扫装置，所述吹扫装置分别与所述特气输送供应装置、槽车装置连通，用于获取槽车装置传输的特殊气体以及输送特殊气体至所述特气输送供应装置；

其中，所述特气输送供应装置包括：

第一气体输入单元，所述第一气体输入单元与吹扫装置连通，用于获取吹扫装置输送的特殊气体；

加热单元，所述加热单元与所述第一气体输入单元连接，用于对特殊气体进行一次加热、二次加热；

过滤单元，所述过滤单元与所述第一气体输入单元连通，用于对特殊气体进行一次过滤、二次过滤；

调压单元，所述调压单元与所述过滤单元连通，并位于所述过滤单元的上游、下游，用于对特殊气体进行一次调压、二次调压；

过流量保护单元，所述过流量保护单元分别与所述过滤单元、所述调压单元连通；

检测单元，所述检测单元与所述过滤单元连通，用于对特殊气体进行检测；

第一气体输出单元，所述第一气体输出单元与所述过滤单元连通，用于输出特殊气体；

第一排放单元，所述第一排放单元分别与所述过滤单元、所述过流量保护单元连通，用于排放气体；

其中，所述加热单元包括：

至少两加热元件，若干所述加热元件分别与所述第一气体输入单元连接，并位于所述过滤单元的上游和/或下游、所述调压单元的上游和/或下游，用于对特殊气体进行加热；

其中，所述过滤单元包括：

至少一第一过滤元件，所述第一过滤元件分别与所述第一气体输入单元、所述调压单元连通，并位于所述调压单元的上游，用于对经一次加热的特殊气体进行一次过滤；

至少一第二过滤元件，所述第二过滤元件分别与所述过流量保护单元、所述第一气体输出单元、所述检测单元、所述第一排放单元连通，并位于所述过流量保护单元的下游，用于对经二次调压的特殊气体进行二次过滤；

所述调压单元包括：

至少一第一调压元件，所述第一调压元件与所述第一过滤元件、所述过流量保护单元连通，并位于所述过流量保护单元的上游，用于对经一次过滤的特殊气体进行一次调压；

至少一第二调压元件，所述第二调压元件分别与所述第一调压元件、所述过流量保护单元连通，并位于所述过流量保护单元的下游，用于对经二次加热的特殊气体进行二次调压；

所述第一气体输出单元包括：

至少一第一气体输出元件，所述第一气体输出元件分别与所述过滤单元、所述检测单元、工艺腔室连通，用于输出经二次过滤的特殊气体至工艺腔室；

至少一第二气体输出元件，所述第二气体输出元件分别与所述过滤单元、所述检测单元连通，用于输出经二次过滤的特殊气体；

其中，特殊气体的输送路径如下；

所述第一气体输入单元→第一个所述加热元件→所述第一过滤元件→所述第一调压元件→第二个所述加热元件→所述第二调压元件→所述过流量保护单元→所述第二过滤元件→所述检测单元或所述所述第一气体输出元件或所述第二气体输出元件；

其中，所述吹扫装置包括：

第二气体输入单元，所述第二气体输入单元与槽车装置连通，用于获取槽车装置传输的特殊气体；

第二气体输出单元，所述第二气体输出单元与所述第二气体输入单元连通，用于输送特殊气体至所述特气输送供应装置；

低压吹扫单元，所述低压吹扫单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于低压吹扫；

第二排放单元，所述第二排放单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于排放气体；

其中，所述低压吹扫单元包括：

至少一第五气体输入元件，所述第五气体输入元件分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于低压吹扫；

至少一微漏阀元件，所述微漏阀元件设置于分别与所述第五气体输入元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，用于控制管路的开闭；

至少一第五单向阀元件，所述第五单向阀元件设置于分别与所述第五气体输入元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述微漏阀元件的下游；

至少一第二十六开关阀元件，所述第二十六开关阀元件设置于分别与所述第五气体输入元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第五单向阀元件的下游，用于控制管路的开闭；

第五压力检测元件，所述第五压力检测元件设置于分别与所述第五气体输入元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第五气体输入元件的下游，用于检测管路的压力。

2.根据权利要求1所述的特气输送供应系统，其特征在于，所述第一气体输入单元包括：

至少一第一气体输入元件，所述第一气体输入元件分别与吹扫装置、所述过滤单元连通，并与所述加热单元连接，用于获取吹扫装置输送的特殊气体、输送特殊气体至所述过滤单元；

至少一第一开关阀元件，所述第一开关阀元件设置于分别与所述第一气体输入元件、所述过滤单元连通的管路，并位于所述过滤单元的上游，用于控制管路的开闭；和/或

所述过滤单元包括：

至少一第二开关阀元件，所述第二开关阀元件设置于分别与所述第一气体输入单元、所述第一过滤元件连通的管路，并位于所述第一过滤元件的上游，用于控制管路的开闭；和/或

所述过滤单元包括：

至少一第三开关阀元件，所述第三开关阀元件设置于分别与所述过流量保护单元、所述第二过滤元件连通的管路，并位于所述过流量保护单元的下游、所述第二过滤元件的上游；

至少一第四开关阀元件，所述第四开关阀元件设置于分别与所述第二过滤元件、所述第一气体输出单元连通的管路，并位于所述第二过滤元件的下游；

至少一第五开关阀元件，所述第五开关阀元件设置于分别与所述第二过滤元件、所述第一气体输出单元连通的管路，并位于所述第四开关阀元件的下游；和/或

所述过滤单元包括：

至少一第一压力检测元件，所述第一压力检测元件设置于分别与所述第二过滤元件、所述过流量保护单元连通的管路，并位于所述过流量保护单元的下游、所述第二过滤元件的上游，用于检测特殊气体的压力；和/或

所述调压单元包括：

至少一第二压力检测元件，所述第二压力检测元件设置于分别与所述第一调压元件、所述第二调压元件连通的管路，并位于所述第一调压元件的下游、所述第二调压元件的上游，用于检测特殊气体的压力；和/或

所述过流量保护单元包括：

至少一过流量保护元件，所述过流量保护元件分别与所述过滤单元、所述调压单元、所述第一排放单元连通；和/或

所述检测单元包括：

至少一第一检测元件，所述第一检测元件分别与所述过滤单元、所述第一气体输出单元连通，用于对特殊气体进行检测；

至少一第六开关阀元件，所述第六开关阀元件设置于分别与所述第一检测元件、所述过滤单元连通的管路，用于控制管路的开闭；和/或

所述第一气体输出单元包括：

至少一第七开关阀元件，所述第七开关阀元件设置于分别与所述第一气体输出元件与所述过滤单元连通的管路，用于控制管路的开闭；

至少一第八开关阀元件，所述第八开关阀元件设置于分别与所述第二气体输出元件与所述过滤单元连通的管路，用于控制管路的开闭；和/或

所述第一排放单元包括：

第一排放元件，所述第一排放元件分别与所述过滤单元、所述过流量保护单元连通，用于排放气体；

至少一第二气体输入元件，所述第二气体输入元件与所述第一排放元件连通，并位于所述第一排放元件的上游；

至少一第三气体输出元件，所述第三气体输出元件与所述第一排放元件连通，并位于所述第一排放元件的下游，用于排放一般气体、特殊气体；

至少一第九开关阀元件，所述第九开关阀元件设置于分别与所述第一排放元件、所述过滤单元、所述过流量保护单元连通的管路，并位于所述第一排放元件的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第一单向阀元件，所述第一单向阀元件设置于分别与所述第一排放元件、所述过滤单元、所述过流量保护单元连通的管路，并位于所述第九开关阀元件的下游、所述第一排放元件的上游；

至少一第十开关阀元件，所述第十开关阀元件设置于分别与所述第一排放元件、所述过滤单元、所述过流量保护单元连通的管路，并位于所述第一单向阀元件的下游、所述第一排放元件的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第十一开关阀元件，所述第十一开关阀元件设置于分别与所述第一排放元件、所述第三气体输出元件连通的管路，并位于所述第一排放元件的下游，用于控制管路的开闭；

至少一第十二开关阀元件，所述第十二开关阀元件设置于分别与所述第一排放元件、所述第三气体输出元件连通的管路，并位于所述第十一开关阀元件的下游，用于控制管路的开闭；

至少一第三压力检测元件，所述第三压力检测元件设置于分别与所述第一排放元件、所述过滤单元、所述过流量保护单元连通的管路，并位于所述第一排放元件的上游，用于检测特殊气体的压力。

3.根据权利要求1或2所述的特气输送供应系统，其特征在于，还包括：

纯化单元，所述纯化单元分别与所述过滤单元、所述检测单元、所述第一气体输出单元、所述第一排放单元连通，用于对特殊气体进行纯化；和/或

第一泄压单元，所述第一泄压单元分别与所述第一气体输入单元、所述第一排放单元连通，用于泄压；和/或

第一安全保障单元，所述第一安全保障单元设置于特气输送供应装置所处环境的顶部，用于监测环境信息。

4.根据权利要求3所述的特气输送供应系统，其特征在于，所述检测单元还包括：

至少一第二检测元件，所述第二检测元件分别与所述纯化单元、所述第一气体输出单元连通，用于对纯化后的特殊气体进行检测；

至少一第十三开关阀元件，所述第十三开关阀元件设置于分别与所述第二检测元件、所述第一气体输出单元、所述纯化单元连通的管路，用于控制管路的开闭；和/或

所述第一气体输出单元还包括：

至少一第十四开关阀元件，所述第十四开关阀元件设置于分别与所述第一气体输出元件、所述检测单元、所述纯化单元连通的管路，用于控制管路的开闭；

至少一第十五开关阀元件，所述第十五开关阀元件设置于分别与所述第二气体输出元件、所述检测单元、所述纯化单元连通的管路，用于控制管路的开闭；和/或

所述纯化单元包括：

至少一纯化元件，所述纯化元件分别与所述过滤单元、所述检测单元、所述第一气体输出单元、所述第一排放单元连通，用于对特殊气体进行纯化；

至少一第十六开关阀元件，所述第十六开关阀元件设置于分别与所述纯化元件、所述过滤单元、所述第一气体输出单元连通的管路，并位于所述过滤单元的下游、所述纯化元件的上游、所述第一气体输出单元的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第十七开关阀元件，所述第十七开关阀元件设置于分别与所述纯化元件、所述过滤单元、所述第一气体输出单元连通的管路，并位于所述第十六开关阀元件的下游、所述第一气体输出单元的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第十八开关阀元件，所述第十八开关阀元件设置于分别与所述纯化元件、所述过滤单元连通的管路，并位于所述第十六开关阀元件的下游、所述纯化元件的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第十九开关阀元件，所述第十九开关阀元件设置于分别与所述纯化元件、所述过滤单元、所述第一气体输出单元连通的管路，并位于所述纯化元件的下游、所述第一气体输出单元的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第二十开关阀元件，所述第二十开关阀元件设置于分别与所述纯化元件、所述第一排放单元连通的管路，用于控制管路的开闭；和/或

所述第一排放单元还包括：

至少一第二十二开关阀元件，所述第二十二开关阀元件设置于分别与所述第一气体输入单元、所述第一排放单元连通的管路，用于控制管路的开闭；

至少一第三单向阀元件，所述第三单向阀元件设置于分别与所述第一气体输入单元、所述第一排放单元连通的管路，并位于所述第二十二开关阀元件的下游；和/或

所述第一泄压单元包括：

至少一第一泄压元件，所述第一泄压元件分别与所述第一气体输入单元、所述第一排放单元连通，用于泄压；

至少一第二十三开关阀元件，所述第二十三开关阀元件设置于分别与所述第一泄压元件、所述第一气体输入单元连通的管路，并位于所述第一泄压元件的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第四单向阀元件，所述第四单向阀元件设置于分别与所述第一泄压元件、所述第一排放单元连通的管路，并位于所述第一泄压元件的下游；

至少一第四压力检测元件，所述第四压力检测元件设置于分别与所述第一泄压元件、所述第一气体输入单元连通的管路，并位于所述第一泄压元件的上游，用于检测管路的压力；和/或

所述第一安全保障单元包括：

第一烟雾监测元件，所述第一烟雾监测元件设置于所述特气输送供应装置所处环境的顶部，用于监测环境的烟雾信息；

第一液体喷淋元件，所述第一液体喷淋元件设置于所述特气输送供应装置所处环境的顶部，用于向环境喷淋液体；

第一鼓风元件，所述第一鼓风元件设置于所述特气输送供应装置所处环境的顶部，用于将环境的气体排出。

5.根据权利要求1或2或4所述的特气输送供应系统，其特征在于，所述第二气体输入单元包括：

至少一第四气体输入元件，所述第四气体输入元件分别与槽车装置、所述第二气体输出单元、所述低压吹扫单元、所述第二排放单元连通，用于获取槽车装置输送的特殊气体、输送特殊气体至所述第二气体输出单元；

至少一第二十四开关阀元件，所述第二十四开关阀元件设置于分别与所述第四气体输入元件、槽车装置连通的管路，并位于所述第四气体输入元件的下游，用于控制管路的开闭；和/或

所述第二气体输出单元包括：

至少一第四气体输出元件，所述第四气体输出元件分别与所述第二气体输入单元、所述特气输送供应装置的所述第一气体输入单元、所述低压吹扫单元、所述第二排放单元连通，用于获取所述第四气体输入元件输送的特殊气体、输送特殊气体至所述第一气体输入单元；

第二十五开关阀元件，所述第二十五开关阀元件设置于分别与所述第四气体输出元件、所述第二气体输入单元连通的管路，并位于所述第四气体输出元件的上游，用于控制管路的开闭；和/或

所述第二排放单元包括：

第二排放元件，所述第二排放元件分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于排放气体；

至少一第二十七开关阀元件，所述第二十七开关阀元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第二排放元件的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第六单向阀元件，所述第六单向阀元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第二十七开关阀元件的下游、所述第二排放元件的上游；

至少一第二十八开关阀元件，所述第二十八开关阀元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第六单向阀元件的下游、所述第二排放元件的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第六气体输入元件，所述第六气体输入元件与所述第二排放元件连通，并位于所述第二排放元件的上游；

至少一第五气体输出元件，所述第五气体输出元件与所述第二排放元件连通，并位于所述第二排放元件的下游；

至少一第二十九开关阀元件，所述第二十九开关阀元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第五气体输出元件连通的管路，并位于所述第二排放元件的下游，用于控制管路的开闭；

至少一第三十开关阀元件，所述第三十开关阀元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第五气体输出元件连通的管路，并位于所述第二十九开关阀元件的下游，用于控制管路的开闭；

至少一第六压力检测元件，所述第六压力检测元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第二排放元件的上游，用于检测特殊气体的压力。

6.根据权利要求3所述的特气输送供应系统，其特征在于，所述第二气体输入单元包括：

至少一第四气体输入元件，所述第四气体输入元件分别与槽车装置、所述第二气体输出单元、所述低压吹扫单元、所述第二排放单元连通，用于获取槽车装置输送的特殊气体、输送特殊气体至所述第二气体输出单元；

至少一第二十四开关阀元件，所述第二十四开关阀元件设置于分别与所述第四气体输入元件、槽车装置连通的管路，并位于所述第四气体输入元件的下游，用于控制管路的开闭；和/或

所述第二气体输出单元包括：

至少一第四气体输出元件，所述第四气体输出元件分别与所述第二气体输入单元、所述特气输送供应装置的所述第一气体输入单元、所述低压吹扫单元、所述第二排放单元连通，用于获取所述第四气体输入元件输送的特殊气体、输送特殊气体至所述第一气体输入单元；

第二十五开关阀元件，所述第二十五开关阀元件设置于分别与所述第四气体输出元件、所述第二气体输入单元连通的管路，并位于所述第四气体输出元件的上游，用于控制管路的开闭；和/或

所述第二排放单元包括：

第二排放元件，所述第二排放元件分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于排放气体；

至少一第二十七开关阀元件，所述第二十七开关阀元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第二排放元件的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第六单向阀元件，所述第六单向阀元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第二十七开关阀元件的下游、所述第二排放元件的上游；

至少一第二十八开关阀元件，所述第二十八开关阀元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第六单向阀元件的下游、所述第二排放元件的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第六气体输入元件，所述第六气体输入元件与所述第二排放元件连通，并位于所述第二排放元件的上游；

至少一第五气体输出元件，所述第五气体输出元件与所述第二排放元件连通，并位于所述第二排放元件的下游；

至少一第二十九开关阀元件，所述第二十九开关阀元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第五气体输出元件连通的管路，并位于所述第二排放元件的下游，用于控制管路的开闭；

至少一第三十开关阀元件，所述第三十开关阀元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第五气体输出元件连通的管路，并位于所述第二十九开关阀元件的下游，用于控制管路的开闭；

至少一第六压力检测元件，所述第六压力检测元件设置于分别与所述第二排放元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第二排放元件的上游，用于检测特殊气体的压力。

7.根据权利要求1或2或4或6所述的特气输送供应系统，其特征在于，还包括：

高压保压单元，所述高压保压单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于高压保压；和/或

第二泄压单元，所述第二泄压单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二排放单元连通，用于泄压；和/或

第二安全保障单元，所述第二安全保障单元设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境信息。

8.根据权利要求7所述的特气输送供应系统，其特征在于，所述高压保压单元包括：

第七气体输入元件，所述第七气体输入元件分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于高压保压；

至少一第三十一开关阀元件，所述第三十一开关阀元件设置于分别与所述第七气体输入元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，用于控制管路的开闭；

至少一第七单向阀元件，所述第七单向阀元件设置于分别与所述第七气体输入元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第三十一开关阀元件的下游；和/或

所述第二泄压单元包括：

至少一第二泄压元件，所述第二泄压元件分别与所述第二气体输入单元、所述第二排放单元连通，用于泄压；

至少一第三十二开关阀元件，所述第三十二开关阀元件设置于分别与所述第二泄压元件、所述第二气体输入单元连通的管路，并位于所述第二泄压元件的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第八单向阀元件，所述第八单向阀元件设置于分别与所述第二泄压元件、所述第二排放单元连通的管路，并位于所述第二泄压元件的下游；和/或

第二安全保障单元包括：

第二烟雾监测元件，所述第二烟雾监测元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境的烟雾信息；

第二液体喷淋元件，所述第二液体喷淋元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于向环境喷淋液体；

第二鼓风元件，所述第二鼓风元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于将环境的气体排出；

紫外红外开关元件，所述紫外红外开关元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境中是否存在明火；

温度监测元件，所述温度监测元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境的温度。

9.根据权利要求3所述的特气输送供应系统，其特征在于，还包括：

高压保压单元，所述高压保压单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于高压保压；和/或

第二泄压单元，所述第二泄压单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二排放单元连通，用于泄压；和/或

第二安全保障单元，所述第二安全保障单元设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境信息。

10.根据权利要求9所述的特气输送供应系统，其特征在于，所述高压保压单元包括：

第七气体输入元件，所述第七气体输入元件分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于高压保压；

至少一第三十一开关阀元件，所述第三十一开关阀元件设置于分别与所述第七气体输入元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，用于控制管路的开闭；

至少一第七单向阀元件，所述第七单向阀元件设置于分别与所述第七气体输入元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第三十一开关阀元件的下游；和/或

所述第二泄压单元包括：

至少一第二泄压元件，所述第二泄压元件分别与所述第二气体输入单元、所述第二排放单元连通，用于泄压；

至少一第三十二开关阀元件，所述第三十二开关阀元件设置于分别与所述第二泄压元件、所述第二气体输入单元连通的管路，并位于所述第二泄压元件的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第八单向阀元件，所述第八单向阀元件设置于分别与所述第二泄压元件、所述第二排放单元连通的管路，并位于所述第二泄压元件的下游；和/或

第二安全保障单元包括：

第二烟雾监测元件，所述第二烟雾监测元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境的烟雾信息；

第二液体喷淋元件，所述第二液体喷淋元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于向环境喷淋液体；

第二鼓风元件，所述第二鼓风元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于将环境的气体排出；

紫外红外开关元件，所述紫外红外开关元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境中是否存在明火；

温度监测元件，所述温度监测元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境的温度。

11.根据权利要求5所述的特气输送供应系统，其特征在于，还包括：

高压保压单元，所述高压保压单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于高压保压；和/或

第二泄压单元，所述第二泄压单元分别与所述第二气体输入单元、所述第二排放单元连通，用于泄压；和/或

第二安全保障单元，所述第二安全保障单元设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境信息。

12.根据权利要求10所述的特气输送供应系统，其特征在于，所述高压保压单元包括：

第七气体输入元件，所述第七气体输入元件分别与所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通，用于高压保压；

至少一第三十一开关阀元件，所述第三十一开关阀元件设置于分别与所述第七气体输入元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，用于控制管路的开闭；

至少一第七单向阀元件，所述第七单向阀元件设置于分别与所述第七气体输入元件、所述第二气体输入单元、所述第二气体输出单元连通的管路，并位于所述第三十一开关阀元件的下游；和/或

所述第二泄压单元包括：

至少一第二泄压元件，所述第二泄压元件分别与所述第二气体输入单元、所述第二排放单元连通，用于泄压；

至少一第三十二开关阀元件，所述第三十二开关阀元件设置于分别与所述第二泄压元件、所述第二气体输入单元连通的管路，并位于所述第二泄压元件的上游，用于控制管路的开闭；

至少一第八单向阀元件，所述第八单向阀元件设置于分别与所述第二泄压元件、所述第二排放单元连通的管路，并位于所述第二泄压元件的下游；和/或

第二安全保障单元包括：

第二烟雾监测元件，所述第二烟雾监测元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境的烟雾信息；

第二液体喷淋元件，所述第二液体喷淋元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于向环境喷淋液体；

第二鼓风元件，所述第二鼓风元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于将环境的气体排出；

紫外红外开关元件，所述紫外红外开关元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境中是否存在明火；

温度监测元件，所述温度监测元件设置于所述吹扫装置所处环境的顶部，用于监测环境的温度。

13.一种特气输送供应方法，应用于如权利要求1~12任一所述的特气输送供应系统。

14.一种半导体工艺系统，其特征在于，包括：

如权利要求1~12任一所述的特气输送供应系统。