CN212644233U - 一种气体分流柜管路排布结构 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种气体分流柜管路排布结构，其包括管路本体，管路本体包括气瓶工作管路和吹扫管路，气瓶工作管路包括第一供气管路、第二供气管路和排气管路，第一供气管路的进气口处有第一钢瓶，第一钢瓶的出气口有第一安全阀，第一钢瓶上有第一控制阀，第一供气管路上有第一压力传感器、第一减压阀和第一气动隔离阀，第二供气管路的进气口处有第二钢瓶，第二钢瓶上有第二控制阀，第二钢瓶的出气口有第二安全阀，第二供气管路上有第二压力传感器、第二减压阀和第二气动隔离阀。本申请具有第一钢瓶和第二钢瓶之间进行切换，可对反应设备进行连续供气，有利于保证反应设备正常的生产，有利于防止造成资源损失，有利于节约资源的效果。

Description

一种气体分流柜管路排布结构

技术领域

本申请涉及气体分流柜的领域，尤其是涉及一种气体分流柜管路排布结构。

背景技术

目前气体分流柜是为了满足微电子半导体生产要求而设计的气体输送系统。通常气体分流柜由两个工艺钢瓶管线以及一个工艺输出管线组成。

当气体分流柜对反应设备进行供气时，将钢瓶处的控制阀打开，钢瓶中的气体通过供气管路进入到排气管路，进而进入反应设备中。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在有当钢瓶中的气体用完时，需要更换钢瓶，需将钢瓶处的控制阀关闭，钢瓶中断给反应设备供气，然后更换新的钢瓶，将钢瓶处的控制阀打开，进而钢瓶继续给反应设备供气，但钢瓶更换过程中供气中断，导致反应设备没有气源，反应中断，影响生产，造成资源损失，浪费资源的缺陷。

实用新型内容

为了改善相关技术的缺陷，本申请提供一种气体分流柜管路排布结构。

本申请提供的一种气体分流柜管路排布结构采用如下的技术方案：

一种气体分流柜管路排布结构，包括管路本体，所述管路本体包括气瓶工作管路和吹扫管路，所述气瓶工作管路包括第一供气管路、第二供气管路和排气管路，第一供气管路的进气口处设置有第一钢瓶，第一钢瓶的出气口设置有第一安全阀，且第一钢瓶上设置有第一控制阀，第一供气管路上设置有第一压力传感器、第一减压阀和第一气动隔离阀，且第一减压阀设置在第一压力传感器和第一气动隔离阀之间；所述第二供气管路的进气口处设置有第二钢瓶，第二钢瓶上设置有第二控制阀，第二钢瓶的出气口设置有第二安全阀，第二供气管路上设置有第二压力传感器、第二减压阀和第二气动隔离阀，且第二减压阀设置在第二压力传感器和第二气动隔离阀之间；所述第一供气管路远离第一钢瓶的一端和第二供气管路远离第二钢瓶的一端均与排气管路相连通。

通过采用上述技术方案，当气体分流柜在使用时，打开第一控制阀和第一气动隔离阀，第一钢瓶中的气体通过第一安全阀进入第一供气管路，气体通过压力传感器检测第一供气管路中的压力，进而第一减压阀控制第一供气管路中通过的气体流量调节第一管路中的气体压力大小，气体通过气动隔离阀进入排气管路，继而气体由排气管路排出。当第一钢瓶中的气体不足时，通过打开第二控制阀和第二气动隔离阀，第二钢瓶中的气体通过第二安全阀进入第二供气管路，气体通过压力传感器检测第一供气管路中的压力，进而第一减压阀控制第一供气管路中通过的气体流量调节第一管路中的气体压力大小，气体通过第二气动隔离阀进入排气管路，继而气体由排气管路排出，然后关闭第一气动调节阀，然后对第一钢瓶进行更换操作。当第二钢瓶气体不足时，第二钢瓶的切换操作同第一钢瓶一致。如此设置，第一钢瓶和第二钢瓶之间进行切换，可对反应设备进行连续供气，有利于保证反应设备正常的生产，有利于防止造成资源损失，有利于节约资源。

优选的，所述吹扫管路包括吹扫进气管路和吹扫出气管路，吹扫进气管路的一端连通设置有第一进气管路和第二进气管路，第一进气管路远离吹扫进气管路的一端连通设置在第一压力传感器和第一减压阀之间的第一供气管路上，且第一进气管路上设置有第一气动吹扫隔离阀，第二进气管路远离吹扫进气管路的一端连通设置在第二压力传感器和第二减压阀之间的第二供气管路上，且第二进气管路上设置有第二气动吹扫隔离阀；所述吹扫出气管路的一端连接设置有真空发生器装置，吹扫出气管路的另一端连通设置有第一出气管路和第二出气管路，且第一出气管路远离吹扫出气管路的一端连通设置在第一压力传感器和第一减压阀之间的第一供气管路上，且第一出气管路上设置有第一气动排放阀，第二气动管路远离吹扫出气管路的一端连通设置在第二压力传感器和第二减压阀之间的第二供气管路上，且第二出气管路上设置有第二气动排放阀。

通过采用上述技术方案，当对第一钢瓶进行更换后，将第一气动隔离阀关闭，将惰性气体通过吹扫进气管路进入第一进气管路，打开第一吹扫隔离阀，关闭第一气动排放阀，待惰性气体充满第一供气管路后，打开第一气动排放阀，利用真空发生器装置使惰性气体从第一供气管路进入第一出气管路，通过第一出气管路进入吹扫出气管路，进而由真空发生器装置排出，完成换瓶吹扫，同理当对第二钢瓶进行更换后，将第二气动隔离阀关闭，将惰性气体通过吹扫进气管路进入第二进气管路，打开第二吹扫隔离阀，关闭第二气动排放阀，待惰性气体充满第二供气管路后，打开第二气动排放阀，利用真空发生器装置使惰性气体从第二供气管路进入第二出气管路，通过第二出气管路进入吹扫出气管路，进而由真空发生器装置排出，完成换瓶吹扫。吹扫管路有利于清除第一供气管路或第二供气管路中换瓶后残存的杂质和多余气体，有利于保证气体的纯度，有利于保证气体反应柜对反应设备的正常供气。

优选的，所述第一进气管路和第二进气管路上均设置有单向阀，且单向阀位于第一吹扫隔离阀和第一进气管路进口端之间、第二吹扫隔离阀和第二进气管路进口端之间。

通过采用上述技术方案，当惰性气体通过第一进气管路或第二进气管路时，单向阀有利于防止气体在第一进气管路或第二进气管路逆流，有利于保证气体的单向流动，继而有利于保证吹扫作业的正常进行。

优选的，所述第一供气管路和第二供气管路上均设置有垫片过滤器，且垫片过滤器分别位于第一压力传感器和第一减压阀之间、第二压力传感器和第二减压阀之间。

通过采用上述技术方案，垫片过滤器有利于对进入第一供气管路或第二供气管路的气体进行过滤，有利于提高气体的纯度和质量。

优选的，所述排气管路上设置有过滤保护开关和终端过滤器，且过滤保护开关位于终端过滤器远离排气管路出气口的一端。

通过采用上述技术方案，通过过滤保护开关和终端过滤器，对排气管路中的气体进行过滤，有利于提高气体的纯度和质量，有利于保证气体在反应设备正常的反应。

优选的，所述第一供气管路和第二供气管路上均设置有手动隔离阀，且手动隔离阀分别位于第一气动隔离阀远离第一减压阀的一端、第二气动隔离阀远离第二减压阀的一端。

通过采用上述技术方案，当第一气动隔离阀或第二气动隔离阀损坏时，通过手动隔离阀控制气体在第一供气管路和第二供气管路中的输送，有利于防止气体因第一气动隔离阀和第二气动隔离阀的损坏而泄漏，有利于保证气体分流柜对气体的正常输送，有利于提高气体分流柜的灵活性和稳定性。

优选的，所述第一供气管路和第二控制管路上均设置有气体流量计。

通过采用上述技术方案，气体流量计有利于清楚的观测气体的使用情况，便于清楚的了解第一钢瓶或第二钢瓶内的气体余量。

优选的，所述第一供气管路和第二供气管路上均设置有压力表。

通过采用上述技术方案，压力表有利于清楚的观测第一供气管路或第二供气管路中的压力数值，便于对气体在第一供气管路或第二供气管路中的气体进行及时的调控。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.当气体分流柜在使用时，打开第一控制阀和第一气动隔离阀，第一钢瓶中的气体通过第一安全阀进入第一供气管路，气体通过压力传感器检测第一供气管路中的压力，进而第一减压阀控制第一供气管路中通过的气体流量调节第一管路中的气体压力大小，气体通过气动隔离阀进入排气管路，继而气体由排气管路排出。当第一钢瓶中的气体不足时，通过打开第二控制阀和第二气动隔离阀，第二钢瓶中的气体通过第二安全阀进入第二供气管路，气体通过压力传感器检测第一供气管路中的压力，进而第一减压阀控制第一供气管路中通过的气体流量调节第一管路中的气体压力大小，气体通过第二气动隔离阀进入排气管路，继而气体由排气管路排出，然后关闭第一气动调节阀，然后对第一钢瓶进行更换操作。当第二钢瓶气体不足时，第二钢瓶的切换操作同第一钢瓶一致。如此设置，第一钢瓶和第二钢瓶之间进行切换，可对反应设备进行连续供气，有利于保证反应设备正常的生产，有利于防止造成资源损失，有利于节约资源；

2.当对第一钢瓶进行更换后，将第一气动隔离阀关闭，将惰性气体通过吹扫进气管路进入第一进气管路，打开第一吹扫隔离阀，关闭第一气动排放阀，待惰性气体充满第一供气管路后，打开第一气动排放阀，利用真空发生器装置使惰性气体从第一供气管路进入第一出气管路，通过第一出气管路进入吹扫出气管路，进而由真空发生器装置排出，完成换瓶吹扫，同理当对第二钢瓶进行更换后，将第二气动隔离阀关闭，将惰性气体通过吹扫进气管路进入第二进气管路，打开第二吹扫隔离阀，关闭第二气动排放阀，待惰性气体充满第二供气管路后，打开第二气动排放阀，利用真空发生器装置使惰性气体从第二供气管路进入第二出气管路，通过第二出气管路进入吹扫出气管路，进而由真空发生器装置排出，完成换瓶吹扫。吹扫管路有利于清除第一供气管路或第二供气管路中换瓶后残存的杂质和多余气体，有利于保证气体的纯度，有利于保证气体反应柜对反应设备的正常供气；

3.通过过滤保护开关和终端过滤器，对排气管路中的气体进行过滤，有利于提高气体的纯度和质量，有利于保证气体在反应设备正常的反应。

附图说明

图1是本申请实施例的整体结构示意图。

附图标记说明：1、管路本体；11、气瓶工作管路；111、第一供气管路；112、第二供气管路；113、排气管路；12、吹扫管路；121、吹扫进气管路；122、吹扫出气管路；2、第一钢瓶；3、第一安全阀；4、第一控制阀；5、第一压力传感器；6、第一减压阀；7、第一气动隔离阀；8、第二钢瓶；9、第二控制阀；10、第二安全阀；13、第二气动隔离阀；14、垫片过滤器；15、过滤保护开关；16、终端过滤器；17、手动隔离阀；18、气体流量计；19、压力表；20、第二压力传感器；21、第二减压阀；22、第一进气管路；23、第二进气管路；24、第一气动吹扫隔离阀；25、第二气动吹扫隔离阀；26、真空发生器装置；27、第一出气管路；28、第二出气管路；29、第一气动排放阀；30、第二气动排放阀；31、单向阀。

具体实施方式

以下结合附图1对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种气体分流柜管路排布结构。参照图1，气体分流柜管路排布结构包括管路本体1，管路本体1包括气瓶工作管路11和吹扫管路12，气瓶工作管路11包括第一供气管路111、第二供气管路112和排气管路113，第一供气管路111的进气口处设置有第一钢瓶2，第一钢瓶2的出气口设置有第一安全阀3，且第一钢瓶2上设置有第一控制阀4，第一供气管路111上设置有第一压力传感器5、第一减压阀6和第一气动隔离阀7，且第一减压阀6设置在第一压力传感器5和第一气动隔离阀7之间；第二供气管路112的进气口处设置有第二钢瓶8，第二钢瓶8上设置有第二控制阀9，第二钢瓶8的出气口设置有第二安全阀10，第二供气管路112上设置有第二压力传感器20、第二减压阀21和第二气动隔离阀13，且第二减压阀21设置在第二压力传感器20和第二气动隔离阀13之间；第一供气管路111远离第一钢瓶2的一端和第二供气管路112远离第二钢瓶8的一端均与排气管路113相连通。第一钢瓶2和第二钢瓶8之间进行切换，可对反应设备进行连续供气，有利于保证反应设备正常的生产，有利于防止造成资源损失，有利于节约资源。

第一供气管路111和第二供气管路112上均设置有垫片过滤器14，且垫片过滤器14分别位于第一压力传感器5和第一减压阀6之间、第二压力传感器20和第二减压阀21之间。垫片过滤器14有利于对进入第一供气管路111或第二供气管路112的气体进行过滤，有利于提高气体的纯度和质量。

排气管路113上设置有过滤保护开关15和终端过滤器16，且过滤保护开关15位于终端过滤器16远离排气管路113出气口的一端。过滤保护开关15和终端过滤器16对排气管路113中的气体进行过滤，有利于提高气体的纯度和质量，有利于保证气体在反应设备正常的反应。

第一供气管路111和第二供气管路112上均设置有手动隔离阀17，且手动隔离阀17分别位于第一气动隔离阀7远离第一减压阀6的一端、第二气动隔离阀13远离第二减压阀21的一端。当第一气动隔离阀7或第二气动隔离阀13损坏时，通过手动隔离阀17控制气体在第一供气管路111和第二供气管路112中的输送，有利于防止气体因第一气动隔离阀7和第二气动隔离阀13的损坏而泄漏，有利于保证气体分流柜对气体的正常输送，有利于提高气体分流柜的灵活性和稳定性。

第一供气管路111和第二控制管路上均设置有气体流量计18，且气体流量计18分别设置在第一供气管路111的进气口和第一压力传感器5之间、第二供气管路112的进气口和第二压力传感器20之间。气体流量计18有利于清楚的观测气体的使用情况，便于清楚的了解第一钢瓶2或第二钢瓶8内的气体余量。

第一供气管路111和第二供气管路112上均设置有压力表19。且压力表19分别设置在第一压力传感器5和第一供气管路111上的垫片过滤器14之间、第二压力传感器20和第二供气管路112上的垫片过滤器14之间。压力表19有利于清楚的观测第一供气管路111或第二供气管路112中的压力数值，便于对气体在第一供气管路111或第二供气管路112中的气体进行及时的调控。

吹扫管路12包括吹扫进气管路121和吹扫出气管路122，吹扫进气管路121的一端连通设置有第一进气管路22和第二进气管路23，第一进气管路22远离吹扫进气管路121的一端连通设置在第一压力传感器5和第一减压阀6之间的第一供气管路111上，且第一进气管路22上设置有第一气动吹扫隔离阀24，第二进气管路23远离吹扫进气管路121的一端连通设置在第二压力传感器20和第二减压阀21之间的第二供气管路112上，且第二进气管路23上设置有第二气动吹扫隔离阀25；吹扫出气管路122的一端连接设置有真空发生器装置26，吹扫出气管路122的另一端连通设置有第一出气管路27和第二出气管路28，且第一出气管路27远离吹扫出气管路122的一端连通设置在第一压力传感器5和第一减压阀6之间的第一供气管路111上，且第一出气管路27上设置有第一气动排放阀29，第二气动管路远离吹扫出气管路122的一端连通设置在第二压力传感器20和第二减压阀21之间的第二供气管路112上，且第二出气管路28上设置有第二气动排放阀30。吹扫管路12有利于清除第一供气管路111或第二供气管路112中换瓶后残存的杂质和多余气体，有利于保证气体的纯度，有利于保证气体反应柜对反应设备的正常供气。

第一进气管路22和第二进气管路23上均设置有单向阀31，且单向阀31位于第一吹扫隔离阀和第一进气管路22进口端之间、第二吹扫隔离阀和第二进气管路23进口端之间。单向阀31有利于防止气体在第一进气管路22或第二进气管路23逆流，有利于保证气体的单向流动，继而有利于保证吹扫作业的正常进行。

本申请实施例一种气体分流柜管路排布结构的实施原理为：当气体分流柜在使用时，打开第一控制阀4、第一气动隔离阀7和第一供气管路111上的手动隔离阀17，第一钢瓶2中的气体通过第一安全阀3进入第一供气管路111，同时气体流量计18计算通过的气体流量，气体通过第一压力传感器5并通过压力表19显示第一供气管路111中的压力数值，气体通过垫片过滤器14，进而第一减压阀6控制第一供气管路111中通过的气体流量调节第一管路中的气体压力大小，气体通过第一气动隔离阀7和手动隔离阀17进入排气管路113，继而气体通过过滤保护开关15和终端过滤器16由排气管路113排出。当第一钢瓶2中的气体不足时，通过打开第二控制阀9、第二气动隔离阀13和第二供气管路112上的手动隔离阀17，第二钢瓶8中的气体通过第二安全阀10进入第二供气管路112，同时气体流量计18计算通过的气体流量，气体通过第二压力传感器20并通过压力表19显示第二供气管路112中的压力数值，气体通过垫片过滤器14，进而第二减压阀21控制第二供气管路112中通过的气体流量调节第二管路中的气体压力大小，气体通过第二气动隔离阀13和手动隔离阀17进入排气管路113，继而气体通过过滤保护开关15和终端过滤器16由排气管路113排出。然后关闭第一气动调节阀和第一供气管路111上的手动隔离阀17，然后对第一钢瓶2进行更换操作。当第二钢瓶8气体不足时，第二钢瓶8的切换操作同第一钢瓶2一致。当对第一钢瓶2进行更换后，将第一气动隔离阀7关闭，将惰性气体通过吹扫进气管路121进入第一进气管路22，打开第一吹扫隔离阀，关闭第一气动排放阀29，待惰性气体充满第一供气管路111后，打开第一气动排放阀29，利用真空发生器装置26使惰性气体从第一供气管路111进入第一出气管路27，通过第一出气管路27进入吹扫出气管路122，进而由真空发生器装置26排出，完成换瓶吹扫，同理当对第二钢瓶8进行更换后，将第二气动隔离阀13关闭，将惰性气体通过吹扫进气管路121进入第二进气管路23，打开第二吹扫隔离阀，关闭第二气动排放阀30，待惰性气体充满第二供气管路112后，打开第二气动排放阀30，利用真空发生器装置26使惰性气体从第二供气管路112进入第二出气管路28，通过第二出气管路28进入吹扫出气管路122，进而由真空发生器装置26排出，完成换瓶吹扫。如此设置，第一钢瓶2和第二钢瓶8之间进行切换，可对反应设备进行连续供气，有利于保证反应设备正常的生产，有利于防止造成资源损失，有利于节约资源。

以上为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种气体分流柜管路排布结构，包括管路本体（1），其特征在于：所述管路本体（1）包括气瓶工作管路（11）和吹扫管路（12），所述气瓶工作管路（11）包括第一供气管路（111）、第二供气管路（112）和排气管路（113），第一供气管路（111）的进气口处设置有第一钢瓶（2），第一钢瓶（2）的出气口设置有第一安全阀（3），且第一钢瓶（2）上设置有第一控制阀（4），第一供气管路（111）上设置有第一压力传感器（5）、第一减压阀（6）和第一气动隔离阀（7），且第一减压阀（6）设置在第一压力传感器（5）和第一气动隔离阀（7）之间；所述第二供气管路（112）的进气口处设置有第二钢瓶（8），第二钢瓶（8）上设置有第二控制阀（9），第二钢瓶（8）的出气口设置有第二安全阀（10），第二供气管路（112）上设置有第二压力传感器（20）、第二减压阀（21）和第二气动隔离阀（13），且第二减压阀（21）设置在第二压力传感器（20）和第二气动隔离阀（13）之间；所述第一供气管路（111）远离第一钢瓶（2）的一端和第二供气管路（112）远离第二钢瓶（8）的一端均与排气管路（113）相连通。

2.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述吹扫管路（12）包括吹扫进气管路（121）和吹扫出气管路（122），吹扫进气管路（121）的一端连通设置有第一进气管路（22）和第二进气管路（23），第一进气管路（22）远离吹扫进气管路（121）的一端连通设置在第一压力传感器（5）和第一减压阀（6）之间的第一供气管路（111）上，且第一进气管路（22）上设置有第一气动吹扫隔离阀（24），第二进气管路（23）远离吹扫进气管路（121）的一端连通设置在第二压力传感器（20）和第二减压阀（21）之间的第二供气管路（112）上，且第二进气管路（23）上设置有第二气动吹扫隔离阀（25）；所述吹扫出气管路（122）的一端连接设置有真空发生器装置（26），吹扫出气管路（122）的另一端连通设置有第一出气管路（27）和第二出气管路（28），且第一出气管路（27）远离吹扫出气管路（122）的一端连通设置在第一压力传感器（5）和第一减压阀（6）之间的第一供气管路（111）上，且第一出气管路（27）上设置有第一气动排放阀（29），第二气动管路远离吹扫出气管路（122）的一端连通设置在第二压力传感器（20）和第二减压阀（21）之间的第二供气管路（112）上，且第二出气管路（28）上设置有第二气动排放阀（30）。

3.根据权利要求2所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述第一进气管路（22）和第二进气管路（23）上均设置有单向阀（31），且单向阀（31）位于第一吹扫隔离阀和第一进气管路（22）进口端之间、第二吹扫隔离阀和第二进气管路（23）进口端之间。

4.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述第一供气管路（111）和第二供气管路（112）上均设置有垫片过滤器（14），且垫片过滤器（14）分别位于第一压力传感器（5）和第一减压阀（6）之间、第二压力传感器（20）和第二减压阀（21）之间。

5.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述排气管路（113）上设置有过滤保护开关（15）和终端过滤器（16），且过滤保护开关（15）位于终端过滤器（16）远离排气管路（113）出气口的一端。

6.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述第一供气管路（111）和第二供气管路（112）上均设置有手动隔离阀（17），且手动隔离阀（17）分别位于第一气动隔离阀（7）远离第一减压阀（6）的一端、第二气动隔离阀（13）远离第二减压阀（21）的一端。

7.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述第一供气管路（111）和第二控制管路上均设置有气体流量计（18）。

8.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述第一供气管路（111）和第二供气管路（112）上均设置有压力表（19）。

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