CN212644227U - 一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备 - Google Patents

Abstract

一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备，包括：柜体、特殊气体排放操作系统、控制显示操作单元、报警单元和本地紧急停止按钮，特殊气体排放操作系统设于柜体内，控制显示操作单元、报警单元和本地紧急停止按钮与柜体连接。其中，特殊气体排放操作系统包括：钢瓶气体入口球阀、排放气动球阀、排放调压阀、吹扫N2入口球阀、吹扫N2调压阀、吹扫N2气动球阀、抽真空气动球阀、仪表N2入口调压阀、电磁阀、N2入口球阀、N2入口调压阀、真空发生器、压力表、压力传感器和工作管路。本实用新型与传统的管道直接传导的设备相比，针对特殊的可燃性、腐蚀性、有毒性的特殊气体进行系统化改造，更加安全，同时操控更加系统便捷。

Description

一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备

技术领域

本实用新型涉及一种特殊气体钢瓶充装领域，具体涉及一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用到许多特殊气体，特殊气体一般通过钢瓶储存，所以一定涉及到钢瓶气体的充装和残余气体的排空。

目前一些老的设备上，有很多直接将管路固定在墙壁上，没有箱体，还有一些是全手动操作，对于特殊的可燃性、腐蚀性、有毒性的特殊气体很容易对人体造成危害。

为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。

一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备，包括：柜体、特殊气体排放操作系统、控制显示操作单元、报警单元和本地紧急停止按钮，所述特殊气体排放操作系统设于柜体内，所述控制显示操作单元、报警单元和本地紧急停止按钮与柜体连接；

其中，所述特殊气体排放操作系统包括：钢瓶气体入口球阀、排放气动球阀、排放调压阀、吹扫N2入口球阀、吹扫N2调压阀、吹扫N2气动球阀、抽真空气动球阀、仪表N2入口调压阀、电磁阀、N2入口球阀、N2入口调压阀、真空发生器、压力表、压力传感器和工作管路，所述工作管路包括：主管路、连接管路和仪表气入口管路，所述钢瓶气体入口球阀前端通过软管连接钢瓶，所述钢瓶气体入口球阀后端与主管路连接，所述主管路设置有压力表和压力传感器，所述排放气动球阀前端与主管路连接，所述排放气动球阀后端通过连接管路与排放调压阀前端连接，所述排放调压阀后端通过连接管路与设备外端连接，所述吹扫N2入口球阀前端通过连接管路从设备外部接入氮气，所述吹扫N2入口球阀后端通过连接管路连接吹扫N2调压阀前端，所述吹扫N2调压阀后端通过连接管路与吹扫N2气动球阀连接，所述吹扫N2调压阀上设置有压力表，所述吹扫N2气动球阀后端与主管路连接，所述抽真空气动球阀前端与主管路连接，所述抽真空气动球阀后端通过连接管路与真空发生器连接，所述仪表N2入口调压阀前端与仪表气入口管路连接，所述仪表N2入口调压阀后端通过连接管路与电磁阀连接，所述电磁阀共有三个，所述电磁阀前端通过连接管路与吹扫N2调压阀连接，所述电磁阀后端分别通过软管与吹扫N2气动球阀、抽真空气动球阀和排放气动球阀连接，所述N2入口球阀前端与仪表气入口管路连接，所述N2入口球阀后端通过连接管路与N2入口调压阀连接，所述N2入口调压阀后端通过连接管路与真空发生器连接，所述N2入口调压阀上设置有低压端压力表，所述真空发生器一端通过连接管路接入氮气，所述真空发生器另一端通过连接管路与抽真空气动球阀连接，所述真空发生器后端通过连接管路与设备外端排放口连接，所述电磁阀和压力传感器与微处理器连接。

进一步，所述压力表包括：第一低压端压力表、第二低压端压力表和第三低压端压力表，所述第一低压端压力表与排放调压阀连接，所述第二低压端压力表与吹扫N2调压阀连接，所述第三低压端压力表与N2入口调压阀连接。

进一步，所述报警单元包括：声光报警器和蜂鸣器，所述声光报警器安装在柜体的右上角，所述蜂鸣器设置在柜体的正门上，所述声光报警器和蜂鸣器与微处理器连接。

进一步，所述特殊气体排放操作系统包括：第一单向阀和第二单向阀，所述第一单向阀设于吹扫N2调压阀和吹扫N2气动球阀之间，所述第二单向阀设于N2入口调压阀和真空发生器之间。

进一步，所述特殊气体排放操作系统包括：安全阀，所述安全阀前端与吹扫N2调压阀后端连接，所述安全阀后端与真空发生器后端的排放管路连接。

进一步，所述特殊气体排放操作系统包括：流量计，所述流量计设置在排放调压阀的后端管路中，所述流量计与微处理器连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型与传统的管道直接传导的设备相比，针对特殊的可燃性、腐蚀性、有毒性的特殊气体进行系统化改造，更加安全，同时操控更加系统便捷。

附图说明：

图1为本实用新型的外部结构示意图。

图2为本实用新型的内部结构示意图。

附图标记：

柜体100、特殊气体排放操作系统200、钢瓶气体入口球阀210、排放气动球阀220、排放调压阀230、吹扫N2入口球阀240、吹扫N2调压阀250、吹扫N2气动球阀260、抽真空气动球阀270、仪表N2入口调压阀280、电磁阀290、N2入口球阀2100、N2入口调压阀2200、真空发生器2300、压力表2400、第一低压端压力表2401、第二低压端压力表2402、第三低压端压力表2403、压力传感器2500、工作管路2600、主管路2601、连接管路2602和仪表气入口管路2603。

控制显示操作单元300、报警单元400、声光报警器410、蜂鸣器420、本地紧急停止按钮500、第一单向阀610、第二单向阀620、安全阀700和流量计800。

具体实施方式

以下结合具体实施例，对本实用新型作进步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。

实施例1

图1为本实用新型的外部结构示意图。图2为本实用新型的内部结构示意图。

如图1和图2所示，一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备，包括：柜体100、特殊气体排放操作系统200、控制显示操作单元300、报警单元400和本地紧急停止按钮500，特殊气体排放操作系统200设于柜体100内，控制显示操作单元300、报警单元400和本地紧急停止按钮500与柜体100连接。

其中，特殊气体排放操作系统200包括：钢瓶气体入口球阀210、排放气动球阀220、排放调压阀230、吹扫N2入口球阀240、吹扫N2调压阀250、吹扫N2气动球阀260、抽真空气动球阀270、仪表N2入口调压阀280、电磁阀290、N2入口球阀2100、N2入口调压阀2200、真空发生器2300、压力表2400、压力传感器2500和工作管路2600，工作管路2600包括：主管路2601、连接管路2602和仪表气入口管路2603，钢瓶气体入口球阀210前端通过软管连接钢瓶，钢瓶气体入口球阀210后端与主管路2601连接，主管路2601设置有压力表2400和压力传感器2500，排放气动球阀220前端与主管路2601连接，排放气动球阀220后端通过连接管路2602与排放调压阀230前端连接，排放调压阀230后端通过连接管路2602与设备外端连接，吹扫N2入口球阀240前端通过连接管路2602从设备外部接入氮气，吹扫N2入口球阀240后端通过连接管路2602连接吹扫N2调压阀250前端，吹扫N2调压阀250后端通过连接管路2602与吹扫N2气动球阀260连接，吹扫N2调压阀250上设置有压力表2400，吹扫N2气动球阀260后端与主管路2601连接，抽真空气动球阀270前端与主管路2601连接，抽真空气动球阀270后端通过连接管路2602与真空发生器2300连接，仪表N2入口调压阀280前端与仪表气入口管路2603连接，仪表N2入口调压阀280后端通过连接管路2602与电磁阀290连接，电磁阀290共有三个，电磁阀290前端通过连接管路2602与吹扫N2调压阀250连接，电磁阀290后端分别通过软管与吹扫N2气动球阀260、抽真空气动球阀270和排放气动球阀220连接，N2入口球阀2100前端与仪表气入口管路2603连接，N2入口球阀2100后端通过连接管路2602与N2入口调压阀2200连接，N2入口调压阀2200后端通过连接管路2602与真空发生器2300连接，N2入口调压阀2200上设置有低压端压力表，真空发生器2300一端通过连接管路2602接入氮气，真空发生器2300另一端通过连接管路2602与抽真空气动球阀270连接，真空发生器2300后端通过连接管路2602与设备外端排放口连接，电磁阀290和压力传感器2500与微处理器连接。

压力表2400包括：第一低压端压力表2401、第二低压端压力表2402和第三低压端压力表2403，第一低压端压力表2401与排放调压阀230连接，第二低压端压力表2402与吹扫N2调压阀250连接，第三低压端压力表2403与N2入口调压阀2200连接。

报警单元400包括：声光报警器410和蜂鸣器420，声光报警器410安装在柜体100的右上角，蜂鸣器420设置在柜体100的正门上，声光报警器410和蜂鸣器420与微处理器连接。

特殊气体排放操作系统200包括：第一单向阀610和第二单向阀620，第一单向阀610设于吹扫N2调压阀250和吹扫N2气动球阀260之间，第二单向阀620设于N2入口调压阀2200和真空发生器2300之间。

特殊气体排放操作系统200包括：安全阀700，安全阀700前端与吹扫N2调压阀250后端连接，安全阀700后端与真空发生器2300后端的排放管路连接。

特殊气体排放操作系统200包括：流量计800，流量计800设置在排放调压阀230的后端管路中，流量计800与微处理器连接。

本实用新型创新点是将传统手动管路操作进行了整合，进行系统化管理，利用计算机配合感应器和开关阀实现更加安全便捷的管理，具体而言就是通过系统操控，就可以将气体排放进行控制，通过程式控制气动阀自己完成气体排放，而不需要人手工去操控阀门。排放设备用触摸屏作为人机界面，操作员只需按操作提示操作触控操作屏即可启动工控机完成排放流程，排放过程中无需操作人员直接操作阀门，从而最大可能减少有毒有害气体对人员的危害。

而本实用新型的技术方案就是一套完整的可实现的排放设备。包括管路、阀门和感应器的连接关系和种类。

以上对本实用新型的具体实施方式进行了说明，但本实用新型并不以此为限，只要不脱离本实用新型的宗旨，本实用新型还可以有各种变化。

Claims (6)

1.一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备，其特征在于，包括：柜体(100)、特殊气体排放操作系统(200)、控制显示操作单元(300)、报警单元(400)和本地紧急停止按钮(500)，所述特殊气体排放操作系统(200)设于柜体(100)内，所述控制显示操作单元(300)、报警单元(400)和本地紧急停止按钮(500)与柜体(100)连接；

其中，所述特殊气体排放操作系统(200)包括：钢瓶气体入口球阀(210)、排放气动球阀(220)、排放调压阀(230)、吹扫N2入口球阀(240)、吹扫N2调压阀(250)、吹扫N2气动球阀(260)、抽真空气动球阀(270)、仪表N2入口调压阀(280)、电磁阀(290)、N2入口球阀(2100)、N2入口调压阀(2200)、真空发生器(2300)、压力表(2400)、压力传感器(2500)和工作管路(2600)，所述工作管路(2600)包括：主管路(2601)、连接管路(2602)和仪表气入口管路(2603)，所述钢瓶气体入口球阀(210)前端通过软管连接钢瓶，所述钢瓶气体入口球阀(210)后端与主管路(2601)连接，所述主管路(2601)设置有压力表(2400)和压力传感器(2500)，所述排放气动球阀(220)前端与主管路(2601)连接，所述排放气动球阀(220)后端通过连接管路(2602)与排放调压阀(230)前端连接，所述排放调压阀(230)后端通过连接管路(2602)与设备外端连接，所述吹扫N2入口球阀(240)前端通过连接管路(2602)从设备外部接入氮气，所述吹扫N2入口球阀(240)后端通过连接管路(2602)连接吹扫N2调压阀(250)前端，所述吹扫N2调压阀(250)后端通过连接管路(2602)与吹扫N2气动球阀(260)连接，所述吹扫N2调压阀(250)上设置有压力表(2400)，所述吹扫N2气动球阀(260)后端与主管路(2601)连接，所述抽真空气动球阀(270)前端与主管路(2601)连接，所述抽真空气动球阀(270)后端通过连接管路(2602)与真空发生器(2300)连接，所述仪表N2入口调压阀(280)前端与仪表气入口管路(2603)连接，所述仪表N2入口调压阀(280)后端通过连接管路(2602)与电磁阀(290)连接，所述电磁阀(290)共有三个，所述电磁阀(290)前端通过连接管路(2602)与吹扫N2调压阀(250)连接，所述电磁阀(290)后端分别通过软管与吹扫N2气动球阀(260)、抽真空气动球阀(270)和排放气动球阀(220)连接，所述N2入口球阀(2100)前端与仪表气入口管路(2603)连接，所述N2入口球阀(2100)后端通过连接管路(2602)与N2入口调压阀(2200)连接，所述N2入口调压阀(2200)后端通过连接管路(2602)与真空发生器(2300)连接，所述N2入口调压阀(2200)上设置有低压端压力表，所述真空发生器(2300)一端通过连接管路(2602)接入氮气，所述真空发生器(2300)另一端通过连接管路(2602)与抽真空气动球阀(270)连接，所述真空发生器(2300)后端通过连接管路(2602)与设备外端排放口连接，所述电磁阀(290)和压力传感器(2500)与微处理器连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备，其特征在于：所述压力表(2400)包括：第一低压端压力表(2401)、第二低压端压力表(2402)和第三低压端压力表(2403)，所述第一低压端压力表(2401)与排放调压阀(230)连接，所述第二低压端压力表(2402)与吹扫N2调压阀(250)连接，所述第三低压端压力表(2403)与N2入口调压阀(2200)连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备，其特征在于：所述报警单元(400)包括：声光报警器(410)和蜂鸣器(420)，所述声光报警器(410)安装在柜体(100)的右上角，所述蜂鸣器(420)设置在柜体(100)的正门上，所述声光报警器(410)和蜂鸣器(420)与微处理器连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备，其特征在于：所述特殊气体排放操作系统(200)包括：第一单向阀(610)和第二单向阀(620)，所述第一单向阀(610)设于吹扫N2调压阀(250)和吹扫N2气动球阀(260)之间，所述第二单向阀(620)设于N2入口调压阀(2200)和真空发生器(2300)之间。

5.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备，其特征在于：所述特殊气体排放操作系统(200)包括：安全阀(700)，所述安全阀(700)前端与吹扫N2调压阀(250)后端连接，所述安全阀(700)后端与真空发生器(2300)后端的排放管路连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体钢瓶排空的排放设备，其特征在于：所述特殊气体排放操作系统(200)包括：流量计(800)，所述流量计(800)设置在排放调压阀(230)的后端管路中，所述流量计(800)与微处理器连接。

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