CN212986741U - 一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备 - Google Patents

Abstract

一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，包括：操作单元、烘箱单元、控制显示操作单元、声光报警器和急停按钮，操作单元与烘箱单元外部连接，控制显示操作单元与烘箱单元连接，声光报警器和急停按钮与控制显示操作单元表面连接。其中，操作单元包括：架子、氦气入口阀、氦气手动阀、氦气备用阀、吹扫气备用阀、吹扫气一级手阀、吹扫气一级调压阀、吹扫气二级手阀、吹扫气二级调压阀、吹扫气气动阀、分析口阀、管路阀、压力表、压力传感器、真空计、排放气动阀、抽真空气动阀、支路排放气动阀、抽真空阀、真空电磁阀、泵、仪表气入口阀、仪表气备用阀和仪表气调压阀。本实用新型与传统技术相比，配件系统化集成，避免人为引起的设备和人身损害。

Description

一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备

技术领域

本实用新型涉及特殊气体钢瓶充装技术领域，具体涉及一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，特殊气体一般通过钢瓶储存，所以一定涉及到钢瓶气体的充装预处理；目前市场上一些设备，钢瓶的预处理很少有加热功能的，对于钢瓶预处理的质量和效果上不很理想影响充装气体质量，从而影响后端电子产品的质量，造成很大的损失。

为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。

一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，包括：操作单元、烘箱单元、控制显示操作单元、声光报警器和急停按钮，所述操作单元与烘箱单元外部连接，所述控制显示操作单元与烘箱单元连接，所述声光报警器和急停按钮与控制显示操作单元表面连接；

其中，所述操作单元包括：架子、氦气入口阀、氦气手动阀、氦气备用阀、吹扫气备用阀、吹扫气一级手阀、吹扫气一级调压阀、吹扫气二级手阀、吹扫气二级调压阀、吹扫气气动阀、分析口阀、管路阀、压力表、压力传感器、真空计、排放气动阀、抽真空气动阀、支路排放气动阀、抽真空阀、真空电磁阀、泵、仪表气入口阀、仪表气备用阀和仪表气调压阀，所述架子与烘箱单元内部连接，所述氦气入口阀前端与外部接入气体连接，所述氦气入口阀前端与压力表连接，所述氦气入口阀后端与氦气手动阀连接，所述氦气手动阀后端与吹扫气一级手阀连接，所述氦气手动阀和吹扫气一级手阀中间与压力表连接，所述氦气备用阀与氦气入口阀和氦气手动阀中间连接，所述吹扫气备用阀与氦气手动阀和吹扫气一级手阀中间连接，所述吹扫气一级手阀后端与吹扫气一级调压阀连接，所述吹扫气一级调压阀与压力表连接，所述吹扫气一级调压阀后端与吹扫气二级手阀连接，所述吹扫气二级手阀后端与吹扫气二级调压阀连接，所述吹扫气二级调压阀后端与吹扫气气动阀连接，所述吹扫气二级调压阀和吹扫气气动阀中间与压力表连接，所述吹扫气气动阀后端与管路阀连接，所述吹扫气气动阀和管路阀中间与压力表和压力传感器连接，所述分析口阀前端与吹扫气气动阀和管路阀中间连接，所述分析口阀后端与分析设备连接，所述管路阀后端与烘箱单元内部连接，所述排放气动阀前端与吹扫气气动阀和管路阀中间连接，所述排放气动阀后端与外部排放点连接，所述抽真空气动阀前端与吹扫气气动阀和管路阀中间连接，所述抽真空气动阀后端与抽真空阀连接，所述支路排放气动阀前端与吹扫气气动阀和管路阀中间连接，所述支路排放气动阀后端与抽真空气动阀和抽真空阀中间连接，所述抽真空气动阀和抽真空阀中间与真空计连接，所述抽真空阀后端与泵连接，所述真空电磁阀前端与抽真空阀和泵中间连接，所述真空电磁阀后端与外部排放点连接，所述泵后端与外部排放点连接，所述仪表气入口阀前端与外部接入点连接，所述仪表气入口阀后端与仪表气调压阀连接，所述仪表气入口阀和仪表气调压阀中间与压力表连接，所述仪表气调压阀后端与吹扫气气动阀、排放气动阀、抽真空气动阀和支路排放气动阀连接，所述仪表气调压阀与压力表连接，所述仪表气备用阀与仪表气入口阀和仪表气调压阀中间连接，所述仪表气备用阀后端与设备外部连接，所述吹扫气气动阀、抽真空气动阀、支路排放气动阀、排放气动阀、压力传感器、真空计和泵与控制显示操作单元连接。

进一步，所述烘箱单元包括：箱体、管路、电加热器和排风扇，所述管路与箱体内部连接，所述管路前端与管路阀连接，所述管路与钢瓶连接，所述电加热器与箱体顶部连接，所述排风扇与箱体顶部连接，所述电加热器和排风扇与控制显示操作单元连接。

进一步，所述控制显示操作单元包括：电控箱体、微处理器、触摸屏和温度显示器，所述触摸屏与电控箱体连接，所述微处理器与电控箱体内部连接，所述电控箱体与架子上部连接，所述微处理器与触摸屏连接，所述温度显示器与电控箱体连接。

进一步，所述操作单元内设有第一安全阀、第二安全阀、第三安全阀、第四安全阀、爆破片、缓冲罐、排污阀和切换面板，所述第一安全阀与吹扫气一级调压阀和吹扫气二级手阀中间连接，所述第二安全阀与吹扫气二级调压阀和吹扫气气动阀中间连接，所述第三安全阀与吹扫气气动阀和管路阀中间连接，所述第四安全阀与仪表气调压阀后端连接，所述爆破片与抽真空气动阀和抽真空阀中间连接，所述缓冲罐与泵后端连接，所述排污阀与缓冲罐连接，所述切换面板与操作单元内连接。

进一步，所述切换面板包括：N2入口阀、Ar入口阀、气体入口阀、备用阀和切换管路，所述N2入口阀前端与N2接入点连接，所述N2入口阀和N2接入点中间与压力表连接，所述N2入口阀后端与切换点连接，所述Ar入口阀前端与Ar接入点连接，所述Ar入口阀和Ar接入点中间与压力表连接，所述Ar入口阀后端与切换点连接，所述气体入口阀前端通过切换管路与切换点连接，所述切换管路与压力表连接，所述气体入口阀后端与吹扫气一级手阀连接，所述备用阀前端与切换管路连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型与传统技术相比，通过将设备进行系统集成，通过系统控制气动阀自己完成钢瓶的预处理工作，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。

附图说明：

图1为本实用新型的外部结构示意图。

图2为本实用新型的外部结构后视图。

图3为本实用新型烘箱单元的内部结构示意图。

图4为本实用新型的结构示意图。

图5为本实用新型的控制逻辑图。

附图标记：

操作单元100、架子110、氦气入口阀120、氦气手动阀130、氦气备用阀140、吹扫气备用阀150、吹扫气一级手阀160、吹扫气一级调压阀170、吹扫气二级手阀180、吹扫气二级调压阀190、吹扫气气动阀1100、分析口阀1200、管路阀1300、压力表1400、压力传感器1500、真空计1600、排放气动阀1700、抽真空气动阀1800、支路排放气动阀1900、抽真空阀1110、真空电磁阀1120、泵1130、仪表气入口阀1140、仪表气备用阀1150和仪表气调压阀1160。

第一安全阀101、第二安全阀102、第三安全阀103、第四安全阀104、爆破片105、缓冲罐106、排污阀107和切换面板108。

N2入口阀1081、Ar入口阀1082、气体入口阀1083、备用阀1084和切换管路1085。

烘箱单元200、箱体210、管路220、电加热器230和排风扇240。

控制显示操作单元300、电控箱体310、微处理器320、触摸屏330和温度显示器340。

声光报警器400和急停按钮500。

具体实施方式

以下结合具体实施例，对本实用新型作进步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。

实施例1

图1为本实用新型的外部结构示意图。图2为本实用新型的外部结构后视图。图3为本实用新型烘箱单元的内部结构示意图。图4为本实用新型的结构示意图。图5为本实用新型的控制逻辑图。

如图1-5所示，一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，包括：操作单元100、烘箱单元200、控制显示操作单元300、声光报警器400和急停按钮500，操作单元100与烘箱单元200外部连接，控制显示操作单元300与烘箱单元200连接，声光报警器400和急停按钮500与控制显示操作单元300表面连接；

其中，操作单元100包括：架子110、氦气入口阀120、氦气手动阀130、氦气备用阀140、吹扫气备用阀150、吹扫气一级手阀160、吹扫气一级调压阀170、吹扫气二级手阀180、吹扫气二级调压阀190、吹扫气气动阀1100、分析口阀1200、管路阀1300、压力表1400、压力传感器1500、真空计1600、排放气动阀1700、抽真空气动阀1800、支路排放气动阀1900、抽真空阀1110、真空电磁阀1120、泵1130、仪表气入口阀1140、仪表气备用阀1150和仪表气调压阀1160，架子110与烘箱单元200内部连接，氦气入口阀120前端与外部接入气体连接，氦气入口阀120前端与压力表1400连接，氦气入口阀120后端与氦气手动阀130连接，氦气手动阀130后端与吹扫气一级手阀160连接，氦气手动阀130和吹扫气一级手阀160中间与压力表1400连接，氦气备用阀140与氦气入口阀120和氦气手动阀130中间连接，吹扫气备用阀150与氦气手动阀130和吹扫气一级手阀160中间连接，吹扫气一级手阀160后端与吹扫气一级调压阀170连接，吹扫气一级调压阀170与压力表1400连接，吹扫气一级调压阀170后端与吹扫气二级手阀180连接，吹扫气二级手阀180后端与吹扫气二级调压阀190连接，吹扫气二级调压阀190后端与吹扫气气动阀1100连接，吹扫气二级调压阀190和吹扫气气动阀1100中间与压力表1400连接，吹扫气气动阀1100后端与管路阀1300连接，吹扫气气动阀1100和管路阀1300中间与压力表1400和压力传感器1500连接，分析口阀1200前端与吹扫气气动阀1100和管路阀1300中间连接，分析口阀1200后端与分析设备连接，管路阀1300后端与烘箱单元200内部连接，排放气动阀1700前端与吹扫气气动阀1100和管路阀1300中间连接，排放气动阀1700后端与外部排放点连接，抽真空气动阀1800前端与吹扫气气动阀1100和管路阀1300中间连接，抽真空气动阀1800后端与抽真空阀1110连接，支路排放气动阀1900前端与吹扫气气动阀1100和管路阀1300中间连接，支路排放气动阀1900后端与抽真空气动阀1800和抽真空阀1110中间连接，抽真空气动阀1800和抽真空阀1110中间与真空计1600连接，抽真空阀1110后端与泵1130连接，真空电磁阀1120前端与抽真空阀1110和泵1130中间连接，真空电磁阀1120后端与外部排放点连接，泵1130后端与外部排放点连接，仪表气入口阀1140前端与外部接入点连接，仪表气入口阀1140后端与仪表气调压阀1160连接，仪表气入口阀1140和仪表气调压阀1160中间与压力表1400连接，仪表气调压阀1160后端与吹扫气气动阀1100、排放气动阀1700、抽真空气动阀1800和支路排放气动阀1900连接，仪表气调压阀1160与压力表1400连接，仪表气备用阀1150与仪表气入口阀1140和仪表气调压阀1160中间连接，仪表气备用阀1150后端与设备外部连接，吹扫气气动阀1100、抽真空气动阀1800、支路排放气动阀1900、排放气动阀1700、压力传感器1500、真空计1600和泵1130与控制显示操作单元300连接。

烘箱单元200包括：箱体210、管路220、电加热器230和排风扇240，管路220与箱体210内部连接，管路220前端与管路阀1300连接，管路220与钢瓶连接，电加热器230与箱体210顶部连接，排风扇240与箱体210顶部连接，电加热器230和排风扇240与控制显示操作单元300连接。

控制显示操作单元300包括：电控箱体310、微处理器320、触摸屏330和温度显示器340，触摸屏330与电控箱体310连接，微处理器320与电控箱体310内部连接，电控箱体310与架子110上部连接，微处理器320与触摸屏330连接，温度显示器340与电控箱体310连接。

操作单元100内设有第一安全阀101、第二安全阀102、第三安全阀103、第四安全阀104、爆破片105、缓冲罐106、排污阀107和切换面板108，第一安全阀101与吹扫气一级调压阀170和吹扫气二级手阀180中间连接，第二安全阀102与吹扫气二级调压阀190和吹扫气气动阀1100中间连接，第三安全阀103与吹扫气气动阀1100和管路阀1300中间连接，第四安全阀104与仪表气调压阀1160后端连接，爆破片105与抽真空气动阀1800和抽真空阀1110中间连接，缓冲罐106与泵1130后端连接，排污阀107与缓冲罐106连接，切换面板108与操作单元100内连接。

切换面板108包括：N2入口阀1081、Ar入口阀1082、气体入口阀1083、备用阀1084和切换管路1085，N2入口阀1081前端与N2接入点连接，N2入口阀1081和N2接入点中间与压力表1400连接，N2入口阀1081后端与切换点连接，Ar入口阀1082前端与Ar接入点连接，Ar入口阀1082和Ar接入点中间与压力表1400连接，Ar入口阀1082后端与切换点连接，气体入口阀1083前端通过切换管路1085与切换点连接，切换管路1085与压力表1400连接，气体入口阀1083后端与吹扫气一级手阀160连接，备用阀1084前端与切换管路1085连接。

本实用新型的工作原理是，设计新型烘箱设备，通过将设备进行系统集成，通过系统控制气动阀自己完成钢瓶的预处理工作，同时加装电加热器230和排风扇240，能够有效的提高钢瓶预处理的质量，从而提高钢瓶充装气体的质量；本实用新型用触摸屏330作为人机界面，操作员只需按操作提示操作触控触摸屏330即可启动计算机程式自动完成钢瓶预处理工作，预处理中无需操作人员直接操作主要阀门，从而最大可能减少有毒有害气体对人员的危害。

而本实用新型的技术方案就是一套完整的可实现的设备。包括管路、阀门和感应器的连接关系和种类选择。

以上对本实用新型的具体实施方式进行了说明，但本实用新型并不以此为限，只要不脱离本实用新型的宗旨，本实用新型还可以有各种变化。

Claims (5)

1.一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，其特征在于，包括：操作单元(100)、烘箱单元(200)、控制显示操作单元(300)、声光报警器(400)和急停按钮(500)，所述操作单元(100)与烘箱单元(200)外部连接，所述控制显示操作单元(300)与烘箱单元(200)连接，所述声光报警器(400)和急停按钮(500)与控制显示操作单元(300)表面连接；

其中，所述操作单元(100)包括：架子(110)、氦气入口阀(120)、氦气手动阀(130)、氦气备用阀(140)、吹扫气备用阀(150)、吹扫气一级手阀(160)、吹扫气一级调压阀(170)、吹扫气二级手阀(180)、吹扫气二级调压阀(190)、吹扫气气动阀(1100)、分析口阀(1200)、管路阀(1300)、压力表(1400)、压力传感器(1500)、真空计(1600)、排放气动阀(1700)、抽真空气动阀(1800)、支路排放气动阀(1900)、抽真空阀(1110)、真空电磁阀(1120)、泵(1130)、仪表气入口阀(1140)、仪表气备用阀(1150)和仪表气调压阀(1160)，所述架子(110)与烘箱单元(200)内部连接，所述氦气入口阀(120)前端与外部接入气体连接，所述氦气入口阀(120)前端与压力表(1400)连接，所述氦气入口阀(120)后端与氦气手动阀(130)连接，所述氦气手动阀(130)后端与吹扫气一级手阀(160)连接，所述氦气手动阀(130)和吹扫气一级手阀(160)中间与压力表(1400)连接，所述氦气备用阀(140)与氦气入口阀(120)和氦气手动阀(130)中间连接，所述吹扫气备用阀(150)与氦气手动阀(130)和吹扫气一级手阀(160)中间连接，所述吹扫气一级手阀(160)后端与吹扫气一级调压阀(170)连接，所述吹扫气一级调压阀(170)与压力表(1400)连接，所述吹扫气一级调压阀(170)后端与吹扫气二级手阀(180)连接，所述吹扫气二级手阀(180)后端与吹扫气二级调压阀(190)连接，所述吹扫气二级调压阀(190)后端与吹扫气气动阀(1100)连接，所述吹扫气二级调压阀(190)和吹扫气气动阀(1100)中间与压力表(1400)连接，所述吹扫气气动阀(1100)后端与管路阀(1300)连接，所述吹扫气气动阀(1100)和管路阀(1300)中间与压力表(1400)和压力传感器(1500)连接，所述分析口阀(1200)前端与吹扫气气动阀(1100)和管路阀(1300)中间连接，所述分析口阀(1200)后端与分析设备连接，所述管路阀(1300)后端与烘箱单元(200)内部连接，所述排放气动阀(1700)前端与吹扫气气动阀(1100)和管路阀(1300)中间连接，所述排放气动阀(1700)后端与外部排放点连接，所述抽真空气动阀(1800)前端与吹扫气气动阀(1100)和管路阀(1300)中间连接，所述抽真空气动阀(1800)后端与抽真空阀(1110)连接，所述支路排放气动阀(1900)前端与吹扫气气动阀(1100)和管路阀(1300)中间连接，所述支路排放气动阀(1900)后端与抽真空气动阀(1800)和抽真空阀(1110)中间连接，所述抽真空气动阀(1800)和抽真空阀(1110)中间与真空计(1600)连接，所述抽真空阀(1110)后端与泵(1130)连接，所述真空电磁阀(1120)前端与抽真空阀(1110)和泵(1130)中间连接，所述真空电磁阀(1120)后端与外部排放点连接，所述泵(1130)后端与外部排放点连接，所述仪表气入口阀(1140)前端与外部接入点连接，所述仪表气入口阀(1140)后端与仪表气调压阀(1160)连接，所述仪表气入口阀(1140)和仪表气调压阀(1160)中间与压力表(1400)连接，所述仪表气调压阀(1160)后端与吹扫气气动阀(1100)、排放气动阀(1700)、抽真空气动阀(1800)和支路排放气动阀(1900)连接，所述仪表气调压阀(1160)与压力表(1400)连接，所述仪表气备用阀(1150)与仪表气入口阀(1140)和仪表气调压阀(1160)中间连接，所述仪表气备用阀(1150)后端与设备外部连接，所述吹扫气气动阀(1100)、抽真空气动阀(1800)、支路排放气动阀(1900)、排放气动阀(1700)、压力传感器(1500)、真空计(1600)和泵(1130)与控制显示操作单元(300)连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，其特征在于：所述烘箱单元(200)包括：箱体(210)、管路(220)、电加热器(230)和排风扇(240)，所述管路(220)与箱体(210)内部连接，所述管路(220)前端与管路阀(1300)连接，所述管路(220)与钢瓶连接，所述电加热器(230)与箱体(210)顶部连接，所述排风扇(240)与箱体(210)顶部连接，所述电加热器(230)和排风扇(240)与控制显示操作单元(300)连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，其特征在于：所述控制显示操作单元(300)包括：电控箱体(310)、微处理器(320)、触摸屏(330)和温度显示器(340)，所述触摸屏(330)与电控箱体(310)连接，所述微处理器(320)与电控箱体(310)内部连接，所述电控箱体(310)与架子(110)上部连接，所述微处理器(320)与触摸屏(330)连接，所述温度显示器(340)与电控箱体(310)连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，其特征在于：所述操作单元(100)内设有第一安全阀(101)、第二安全阀(102)、第三安全阀(103)、第四安全阀(104)、爆破片(105)、缓冲罐(106)、排污阀(107)和切换面板(108)，所述第一安全阀(101)与吹扫气一级调压阀(170)和吹扫气二级手阀(180)中间连接，所述第二安全阀(102)与吹扫气二级调压阀(190)和吹扫气气动阀(1100)中间连接，所述第三安全阀(103)与吹扫气气动阀(1100)和管路阀(1300)中间连接，所述第四安全阀(104)与仪表气调压阀(1160)后端连接，所述爆破片(105)与抽真空气动阀(1800)和抽真空阀(1110)中间连接，所述缓冲罐(106)与泵(1130)后端连接，所述排污阀(107)与缓冲罐(106)连接，所述切换面板(108)与操作单元(100)内连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备，其特征在于：所述切换面板(108)包括：N2入口阀(1081)、Ar入口阀(1082)、气体入口阀(1083)、备用阀(1084)和切换管路(1085)，所述N2入口阀(1081)前端与N2接入点连接，所述N2入口阀(1081)和N2接入点中间与压力表(1400)连接，所述N2入口阀(1081)后端与切换点连接，所述Ar入口阀(1082)前端与Ar接入点连接，所述Ar入口阀(1082)和Ar接入点中间与压力表(1400)连接，所述Ar入口阀(1082)后端与切换点连接，所述气体入口阀(1083)前端通过切换管路(1085)与切换点连接，所述切换管路(1085)与压力表(1400)连接，所述气体入口阀(1083)后端与吹扫气一级手阀(160)连接，所述备用阀(1084)前端与切换管路(1085)连接。

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