CN212871635U - 一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，包括预抽真空组件、氦质谱检漏仪、清扫气源与多个检测工位，多个所述检测工位均分别与所述预抽真空组件、所述氦质谱检漏仪、所述清扫气源连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位并行运行不同检测步骤。本实用新型通过设置的多个检测工位，多工位并行，一个工位检测，其余工位可同时进行上料、预抽、破空、下料等其余操作，充分提高了氦质谱检漏仪的利用率，使生产效率得到大大提升；并且通过对检测工位上的工装结构进行更换，可实现批检加分检的组合模式；还通过单独设置的预抽真空泵，比氦质谱检漏仪本身的抽空能力大、抽速快，提高了工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及氦质谱检漏仪应用技术领域，具体涉及一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统。
背景技术
氦质谱检漏仪作为真空检漏应用中常用的分析仪器，由于其可检漏率小，检测速度快，检测过程简单方便，在电力、新能源、制冷、航空等行业应用越来越广泛。
氦质谱检漏仪的检漏的工作过程包括上料、抽空、清本底、检漏、破空、下料等几个必不可少的检测步骤，在这几个检测步骤中，只有清本底和检漏两个检测步骤是氦质谱检漏仪必须参与的，其他检测步骤氦质谱检漏仪要么处于等待状态(比如上料和下料)，要么可以采用替代方案而不用参与(比如抽空和破空)，这样造成氦质谱检漏仪的实际利用效率并不是很高，为此，提出一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于：如何有效地提高氦质谱检漏仪的利用率，使氦质谱检漏仪能够不间断连续工作，提高生产效率，提供了一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统。
本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本实用新型包括预抽真空组件、氦质谱检漏仪、清扫气源与多个检测工位，多个所述检测工位均分别与所述预抽真空组件、所述氦质谱检漏仪、所述清扫气源连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，所述氦质谱检漏仪的数量为一个，各所述检测工位同时运行不同检测步骤。
更进一步地，所述检测工位上设置有检测工装，各所述检测工位的所述检测工装结构完全相同。
更进一步地，所述检测工位上设置有检测工装，各所述检测工位的所述检测工装结构不相同。
更进一步地，各所述检测工位上均设置有多个检测操作通路，分别为清扫通路、检测通路、预抽通路与破空通路，所述清扫气源通过所述清扫通路分别与各所述检测工位连接，所述氦质谱检漏仪通过所述检测通路分别与各所述检测工位连接，所述预抽真空组件通过所述预抽通路分别与各所述检测工位连接，所述破空通路分别与各所述检测工位连接。
更进一步地，所述清扫通路、所述检测通路、所述预抽通路与所述破空通路上均设置有控制阀。
更进一步地，所述多工位氦质谱检漏系统还包括多个真空计，多个所述真空计分别与各所述检测工位连接。
更进一步地，所述多工位氦质谱检漏系统还包括控制系统，各所述控制阀、所述氦质谱检漏仪、各所述真空计分别与所述控制系统电连接，由所述控制系统控制动作。
更进一步地，所述清扫气源为氮气或压缩空气。
更进一步地，所述预抽真空组件为单个真空泵或真空泵组。
本实用新型相比现有技术具有以下优点：通过设置的多个检测工位，多工位并行，一个工位检测，其余工位可同时进行上料、预抽、破空、下料等其余操作，充分提高了氦质谱检漏仪的利用率，使生产效率得到大大提升；并且通过对检测工位上的工装结构进行更换，可实现批检加分检的组合模式，进一步提高了工作效率；通过单独设置的预抽真空泵，比氦质谱检漏仪本身的抽空能力大、抽速快，大大提高了整体的工作效率。
附图说明
图1是本实用新型实施例二中的气路原理图；
图2是本实用新型实施例二中的电气控制原理图。
具体实施方式
下面对本实用新型的实施例作详细说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。
实施例一
本实施例提供一种技术方案：一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，包括预抽真空组件、氦质谱检漏仪、清扫气源与多个检测工位，多个所述检测工位均分别与所述预抽真空组件、所述氦质谱检漏仪、所述清扫气源连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，检测时仅其中一个所述检测工位运行的检测步骤需所述氦质谱检漏仪直接参与。
所述检测工位上设置有检测工装，各所述检测工位的所述检测工装结构完全相同；
所述检测工位上设置有检测工装，各所述检测工位的所述检测工装结构不相同。
各所述检测工位上均设置有多个检测操作通路，分别为清扫通路、检测通路、预抽通路与破空通路，所述清扫气源通过所述清扫通路分别与各所述检测工位连接，所述氦质谱检漏仪通过所述检测通路分别与各所述检测工位连接，所述预抽真空组件通过所述预抽通路分别与各所述检测工位连接，所述破空通路分别与各所述检测工位连接。
所述清扫通路、所述检测通路、所述预抽通路与所述破空通路上均设置有控制阀。
所述多工位氦质谱检漏系统还包括多个真空计，多个所述真空计分别与各所述检测工位连接。
所述多工位氦质谱检漏系统还包括控制系统，各所述控制阀、所述氦质谱检漏仪、各所述真空计分别与所述控制系统电连接，由所述控制系统控制动作。
所述清扫气源为氮气或压缩空气。
实施例二
如图1、2所示，本实施例提供一种技术方案：一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，包括预抽真空泵22、氦质谱检漏仪23、氮气源26、多个检测工位1、8、15等。每个检测工位均配置了四条通路，分别为配置了清扫电磁阀5、11、18的清扫通路，配置了检漏电磁阀4、10、17的检测通路，配置了预抽电磁阀3、9、16的预抽通路和配置了破空电磁阀6、13、20及配置了消音器7、14、21的破空通路。每个检测工位均配置了一个真空计2、12、19。氮气源26经减压阀25和过滤器24处理后，输出合适压力的干燥无尘的氮气供多工位氦质谱检漏系统使用。
本实施例的工作原理：单一检测工位的工作过程如下(以检测工位1为例，各检测工位均相同)：检测工位1安装好工件后，基于PLC的控制系统27打开该工位对应的预抽电磁阀3，由预抽真空泵22对该工位预抽真空，实时的真空度值由该工位上的真空计2传送给控制系统27。当真空度值达到设定的阈值，控制系统27打开检漏电磁阀4，关闭预抽电磁阀3，由氦质谱检漏仪23对检测工位1进行清本底，达到本底值后，开始检漏。检漏结束后，控制系统27关闭检漏电磁阀4，打开破空电磁阀6，引入空气对检测工位1破除真空，破空结束关闭破空电磁阀6。然后取下检测工位1上的工件，同时打开清扫电磁阀5对检测工位1及公共管路清扫，除去残留的氦气，然后关闭清扫电磁阀5。
如上所述，在工位1打开检漏电磁阀4进行清本底和检漏步骤时，其余检测工位8和15就可以进行上下料的操作步骤，控制系统27打开对应工位的预抽电磁阀9、16进行抽空，抽空完成后，多工位氦质谱检漏系统检测其余工位的检漏电磁阀的状态，若有开启状态的，则等待，若均为关闭状态，则打开本工位的检漏电磁阀，本工位进入清本底和检漏状态。这样就能实现氦质谱检漏仪的不间断连续工作，使氦质谱检漏仪得到了充分的利用，抽空、破空、上下料均是在氦质谱检漏仪工作的时候进行的，并且单独设置的预抽真空泵，比氦质谱检漏仪本身的抽空能力大，抽速快，这样就大大提高了整体的工作效率。
需要说明的是，该多工位氦质谱检漏系统内置的控制系统为一套基于PLC的控制系统27，可根据不同用户的不同工艺要求，灵活定制自动检漏的工艺流程和工艺参数，满足用户的不同需求；多工位氦质谱检漏系统的多个检测工位均设置有工装，工装结构可以是完全相同的，也可以是不同的，可以实现批检加分检的组合模式，提高工作效率；预抽真空泵也可以采用真空泵组，提升抽空能力；氮气源26也可以采用干燥无尘的压缩空气，节约成本。
综上所述，该具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，通过设置的多个检测工位，多工位并行，一个工位检测，其余工位可同时进行上料、预抽、破空、下料等其余操作，充分提高了氦质谱检漏仪的利用率，使生产效率得到大大提升；并且通过对检测工位上的工装结构进行更换，可实现批检加分检的组合模式，进一步提高了工作效率；还通过单独设置的预抽真空泵，比氦质谱检漏仪本身的抽空能力大、抽速快，大大提高了整体的工作效率。
尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
Claims (9)
1.一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：包括预抽真空组件、清扫气源、一个氦质谱检漏仪、多个检测工位，多个所述检测工位均分别与所述预抽真空组件、所述氦质谱检漏仪、所述清扫气源连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位同时运行检测流程的不同检测步骤。
2.根据权利要求1所述的一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：所述检测工位上设置有检测工装，各所述检测工位的所述检测工装结构完全相同。
3.根据权利要求1所述的一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：所述检测工位上设置有检测工装，各所述检测工位的所述检测工装结构不相同。
4.根据权利要求1所述的一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：各所述检测工位上均设置有多个检测操作通路，分别为清扫通路、检测通路、预抽通路与破空通路，所述清扫气源通过所述清扫通路分别与各所述检测工位连接，所述氦质谱检漏仪通过所述检测通路分别与各所述检测工位连接，所述预抽真空组件通过所述预抽通路分别与各所述检测工位连接，所述破空通路分别与各所述检测工位连接。
5.根据权利要求4所述的一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：所述清扫通路、所述检测通路、所述预抽通路与所述破空通路上均设置有控制阀。
6.根据权利要求5所述的一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：所述多工位氦质谱检漏系统还包括多个真空计，多个所述真空计分别与各所述检测工位连接。
7.根据权利要求6所述的一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：所述多工位氦质谱检漏系统还包括控制系统，各所述控制阀、所述氦质谱检漏仪、各所述真空计分别与所述控制系统电连接。
8.根据权利要求1或4所述的一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：所述清扫气源为氮气或压缩空气。
9.根据权利要求1所述的一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，其特征在于：所述预抽真空组件为单个真空泵或真空泵组。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202021459192.XU CN212871635U (zh) | 2020-07-22 | 2020-07-22 | 一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统 |
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| CN202021459192.XU CN212871635U (zh) | 2020-07-22 | 2020-07-22 | 一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统 |
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| CN (1) | CN212871635U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115808272A (zh) * | 2022-12-01 | 2023-03-17 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法 |
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2020
- 2020-07-22 CN CN202021459192.XU patent/CN212871635U/zh active Active
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