CN212871633U - 一种多工位多机氦质谱检漏系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多工位多机氦质谱检漏系统，包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位，所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位分别与所述清扫气源连接。本实用新型通过采用一机一工位的检测方式，解决了一机多工位工作模式中存在的检测工位需要轮流检测、受到检漏仪本身性能瓶颈限制、节拍提升有限、控制逻辑较为复杂等问题，有效地提高了检漏系统的可靠性；并且各检测工位可同时运行相同的检测步骤，消除了一机多工位工作模式中对检漏仪的依赖，使检测效率得到进一步提高，值得被推广使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及氦质谱检漏仪应用技术领域，具体涉及一种多工位多机氦质谱检漏系统。
背景技术
氦质谱检漏仪作为真空检漏应用中常用的分析仪器，由于其可检漏率小，检测速度快，检测过程简单方便，在电力、新能源、制冷、航空等行业应用越来越广泛。
在进行大规模生产时，自动化程度和可靠性对生产效率有着重要的作用。检测工位作为整个自动化生产流水线的一部分，整个检漏系统的节拍和可靠工作显的尤为重要。采用单机多工位的方式工作，每个工位要轮流检测，受制于氦质谱检漏仪本身性能瓶颈的限制，节拍提升有限，并且控制逻辑较为复杂，对检漏系统的可靠性是一个考验，为此，提出一种多工位多机氦质谱检漏系统。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于：如何有效地提高多工位多机氦质谱检漏系统的测量精度，提供了一种多工位多机氦质谱检漏系统。
本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本实用新型包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位，所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位分别与所述清扫气源连接，各所述检测工位同时运行相同/不同检测步骤。
更进一步地，所述检测工位上设置有检测工装。
更进一步地，各所述检测工位上均设置有多个检测操作通路，分别为清扫通路、检测通路与破空通路，所述清扫气源通过所述清扫通路分别与各所述检测工位连接，所述氦质谱检漏仪通过所述检测通路分别与各所述检测工位连接，所述破空通路分别与各所述检测工位连接。
更进一步地，所述清扫通路、所述检测通路、所述破空通路上均设置有控制阀。
更进一步地，各所述检测工位的各所述清扫通路可同时运行，各所述检测工位的各所述检测通路可同时运行，各所述检测工位的各所述破空通路可同时运行。
更进一步地，所述多工位氦质谱检漏系统还包括多个真空计，多个所述真空计分别与各所述检测工位连接。
更进一步地，所述多工位氦质谱检漏系统还包括控制系统，各所述控制阀、所述氦质谱检漏仪、各所述真空计分别与所述控制系统电连接，由所述控制系统控制动作。
更进一步地，所述清扫气源为氮气或压缩空气。
本实用新型相比现有技术具有以下优点：通过采用一机一工位的检测方式，解决了一机多工位工作模式中存在的检测工位需要轮流检测、受到检漏仪本身性能瓶颈限制、节拍提升有限、控制逻辑较为复杂等问题，有效地提高了检漏系统的可靠性；并且各检测工位可同时运行相同的检测步骤，消除了一机多工位工作模式中对检漏仪的依赖，使检测效率得到进一步提高，值得被推广使用。
附图说明
图1是本实用新型实施例二中的气路原理图；
图2是本实用新型实施例二中的电气控制原理图。
具体实施方式
下面对本实用新型的实施例作详细说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。
实施例一
本实施例提供一种技术方案：一种多工位多机氦质谱检漏系统，包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位，所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接，各所述检测工位分别与所述清扫气源连接，各所述检测工位可根据需要同时运行相同检测步骤。
各所述检测工位上均设置有多个检测操作通路，分别为清扫通路、检测通路与破空通路，所述清扫气源通过所述清扫通路分别与各所述检测工位连接，所述氦质谱检漏仪通过所述检测通路分别与各所述检测工位连接，所述破空通路分别与各所述检测工位连接。
所述清扫通路、所述检测通路、所述预抽通路与所述破空通路上均设置有控制阀。
各所述检测工位的各所述清扫通路可同时运行，各所述检测工位的各所述检测通路可同时运行，各所述检测工位的各所述破空通路可同时运行。
所述多工位氦质谱检漏系统还包括多个真空计，多个所述真空计分别与各所述检测工位连接。
所述多工位氦质谱检漏系统还包括控制系统，各所述控制阀、所述氦质谱检漏仪、各所述真空计分别与所述控制系统电连接，由所述控制系统控制动作。
所述清扫气源为氮气或压缩空气。
实施例二
如图1、2所示，本实施例提供一种技术方案：一种多工位多机氦质谱检漏系统，包括预抽真空泵25，氮气源28，多个检测工位1、9、17等。每个检测工位均配置了四条通路，分别是配置了检漏电磁阀6、13、21的检漏通路，配置了预抽电磁阀5、12、20的预抽通路，配置了清扫电磁阀4、11、19的清扫通路和配置了破空电磁阀3、14、22及消音器7、15、23的破空通路。每个检漏通路均对应连接一台氦质谱检漏仪8、16、24，每个检测工位均配置了一个真空计2、10、18。氮气源28经减压阀27和过滤器26处理后，输出合适压力的干燥无尘的氮气供系统使用。
本实施例的工作原理：单一检测工位的工作过程(以检测工位1为例，各检测工位工作过程均相同且一般同时进行)如下：检测工位1在机械手上料后，控制系统29打开该工位对应的预抽电磁阀5，由预抽真空泵25对该工位预抽真空，实时的真空度值由该工位上的真空计2传送给控制系统29。当真空度值达到设定的值，控制系统29打开检漏电磁阀6，关闭预抽电磁阀5，由氦质谱检漏仪8对检测工位1进行清本底，达到本底值后，开始检漏。检漏结束后，控制系统29关闭检漏电磁阀6，打开破空电磁阀3，引入空气对检测工位1破除真空，破空结束关闭破空电磁阀3。然后机械手取下检测工位1上的工件，同时控制系统29打开清扫电磁阀4对检测工位1及公共管路清扫，除去残留的氦气，然后关闭清扫电磁阀4。
需要说明的是，所述多工位多机氦质谱检漏系统内置的控制系统为一套基于PLC的控制系统29，可根据不同用户的不同工艺要求，灵活定制自动检漏的工艺流程和工艺参数，满足用户的不同需求；所述多工位多机氦质谱检漏系统的多个检测工位的工装结构可以是完全相同的，也可以是不同的；所述氮气源28也可以是干燥无尘的压缩空气，可节约成本，所述预抽真空泵25和预抽通路可根据实际情况取消，直接由氦质谱检漏仪和检漏通路完成抽空功能。
综上所述，该多工位多机氦质谱检漏系统，通过采用一机一工位的检测方式，解决了一机多工位工作模式中存在的检测工位需要轮流检测、受到检漏仪本身性能瓶颈限制、节拍提升有限、控制逻辑较为复杂等问题，有效地提高了检漏系统的可靠性；并且各检测工位可同时运行相同的检测步骤，消除了一机多工位工作模式中对检漏仪的依赖，使检测效率得到进一步提高，值得被推广使用。
尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
Claims (9)
1.一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位，所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位分别与所述清扫气源连接。
2.根据权利要求1所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：各所述检测工位上均设置有多个检测操作通路，分别为清扫通路、检测通路与破空通路，所述清扫气源通过所述清扫通路分别与各所述检测工位连接，所述氦质谱检漏仪通过所述检测通路分别与各所述检测工位连接，所述破空通路分别与各所述检测工位连接。
3.根据权利要求2所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：所述清扫通路、所述检测通路、所述破空通路上均设置有控制阀。
4.根据权利要求2所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：各所述检测工位的各所述清扫通路同时运行，各所述检测工位的各所述检测通路同时运行，各所述检测工位的各所述破空通路同时运行。
5.根据权利要求2所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：各所述检测工位的各所述清扫通路不同时运行，各所述检测工位的各所述检测通路不同时运行，各所述检测工位的各所述破空通路不同时运行。
6.根据权利要求3所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：所述多工位多机氦质谱检漏系统还包括多个真空计，多个所述真空计分别与各所述检测工位连接。
7.根据权利要求6所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：所述多工位多机氦质谱检漏系统还包括控制系统，各所述控制阀、所述氦质谱检漏仪、各所述真空计分别与所述控制系统电连接。
8.根据权利要求1所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：所述检测工位上设置有检测工装。
9.根据权利要求1所述的一种多工位多机氦质谱检漏系统，其特征在于：所述清扫气源为氮气或压缩空气。
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