CN105738047A - 在线密封检测装置、多节式密封腔加工设备及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种在线密封检测装置，设置于两个部件的对接面，其包括：密封圈，其安装于两个部件的对接面内，该密封圈内设有周向的至少一腔室；进出气单元，其连通腔室的内部，该进出气单元上设置有至少一检测单元，该检测单元电连接处理器，用于检测进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，然后将气体压力值和/或气体浓度值发送至处理器。本发明同时公开了一种多节式密封腔加工设备及在线密封检测方法。本发明与现有技术相比，可以实现对部件密封的在线检测，且可以同时对多节式密封腔加工设备的各工位进行检测，有效地提高对于多节式密封腔加工设备的密封检测效率。

Description

在线密封检测装置、多节式密封腔加工设备及方法
技术领域
本发明涉及一种密封检测技术，具体涉及一种在线密封检测装置、多节式密封腔加工设备及方法。
背景技术
在科学研究和工业生产中，常常会用到真空设备、高压设备、生物隔离设备以及惰性气氛环境设备等需要内部具有真空环境的加工设备。这些设备可以为科学研究及工业生产创造各种工作环境，由此来满足各种不同的严苛工艺需求。但是，这些设备都是创立一个与外界不一样的独立的环境空间，这就需要密封起来与外界隔绝。如果设备不密封就很难实现优秀的科研生产环境，也无法满足严苛的要求。如果对设备进行密封之后，后续就需要在生产过程中进行密封检验，以及对使用过程中密封进行监控或者对用户使用后出现不密封时进行诊断。
目前的密封检测通常采用氦质谱检测仪，需要借助专门的检测仪器，并且还需要使用到氦气等，不能实现实时且在线的监控；尤其是对于的多节式的大型互联设备，检测工作还得是人工对每个密封面一一检测，工作量非常巨大，还十分影响检测效率。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种可以实现在线监控且可以适应多节式密封腔加工设备的在线密封检测装置、多节式密封腔加工设备及方法。
为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：
在线密封检测装置，设置于两个部件的对接面，其包括：
密封圈，其安装于两个部件的对接面内，该密封圈内设有周向的至少一腔室；
进出气单元，其连通腔室的内部，该进出气单元上设置有至少一检测单元，该检测单元电连接处理器，用于检测进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，然后将气体压力值和/或气体浓度值发送至处理器。
本发明的在线密封检测装置主要设置了密封圈和进出气单元等，在通过具有周向的腔室的密封圈密封两个部件的对接面后，再将进出气单元连通腔室的内部，该腔室可以负压或正压，亦可充特殊气体，然后通过检测单元来检测进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，处理器再开始做分析和判断，由此便可以快速地知道腔室内是否存在漏气现象，也可以进而知道腔体内是否处于真空状态。
因此，本发明与现有技术相比，可以实现对腔体室密封的在线检测，且可以同时对多节式密封腔加工设备的各工位进行检测，有效地提高对于多节式密封腔加工设备的密封检测效率，更加适应多节式密封腔加工设备的检测要求，从而可以更好更方便地在线对真空设备、高压设备、生物隔离设备，以及惰性气氛环境设备等的生产与使用过程中的密封进行检测与监控，尤其是大型互联设备的检测与监控。
在上述技术方案的基础上，本发明还可以作如下改进：
作为优选的方案，上述的进出气单元上设置进气控制部和/或出气控制部，其分别电连接处理器，该处理器在收到气体压力值和/或气体浓度值后，与处理器内预设的值进行对比，然后处理器根据对比结果控制进气控制部和出气控制部通过进出气单元对腔室进行加气和/或减气。
采用上述优选的方案，可以实现对于腔体内的真空度的及时和自动化的调整。
作为优选的方案，上述的进出气单元为管路。
采用上述优选的方案，可以便于气体的通过，也可以便于对于密封的检测。
作为优选的方案，上述的进气控制部和出气控制部为电磁阀或气动阀。
采用上述优选的方案，可以便于对进气和出气的自动化控制。
作为优选的方案，上述的检测单元包括压力传感器和/或浓度传感器。
采用上述优选的方案，可以实现对于压力和浓度的检测。
作为优选的方案，上述的处理器还电连接报警单元，处理器在收到气体压力值和/或气体浓度值后，根据设定控制报警单元向外界报警。
采用上述优选的方案，可以提示外界知道设备内真空度的变化。
多节式密封腔加工设备，包括至少两个相对接的真空装置，该真空装置内设有腔体，该至少两个真空装置的部件的对接面上设置有上述在线密封检测装置。
本发明的多节式密封腔加工设备采用了上述的在线密封检测装置，因此具有与其相同的技术效果。
作为优选的方案，上述的真空装置为手套箱。
采用上述优选的方案，可以使得在线密封检测装置直接应用于手套箱。
在线密封检测方法，其包括以下步骤：
1)在两个部件的对接面内安装密封圈，并在密封圈内设置周向的至少一腔室；
2)设置连接腔室的进出气单元，并在进出气单元上设置有至少一检测单元，将检测单元电连接处理器，检测单元检测进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，然后将气体压力值和/或气体浓度值发送至处理器。
本发明的在线密封检测方法采用了上述的在线密封检测装置，因此具有与其相同的技术效果。
作为优选的方案，在进出气单元上设置进气控制部和/或出气控制部，其分别电连接处理器，处理器在收到气体压力值和/或气体浓度值后，与处理器内预设的值进行对比，然后处理器根据对比结果控制进气控制部和出气控制部通过进出气单元对腔室进行加气和/或减气。
采用上述优选的方案，可以实现对于腔体内的真空度的及时和自动化的调整。
附图说明
图1为本发明的在线密封检测装置及多节式密封腔加工设备的结构示意图。
图2为图1中A部的放大图。
图3为本发明的在线密封检测装置的系统架构图。
其中，1.真空装置11.腔体12.对接面2.密封圈21.腔室3.进出气单元31.进气控制部32.出气控制部4.检测单元41.压力传感器42.浓度传感器5.处理器6.报警单元。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本发明的优选实施方式。
为了达到本发明的目的，如图1-3所示，在本发明的在线密封检测装置的其中一些实施方式中，设置于两个腔体11的对接面12，该腔体11位于真空装置1内，该在线密封检测装置具体包括：密封圈2，其安装于两个腔体11的对接面12内(具体可以是用以连接的法兰盘内)，该密封圈2内设有周向的腔室21，该腔室21可以根据需要设置一个或者多个；进出气单元2，其连通腔室21的内部，该进出气单元2具体可以为管路或者腔体等，该进出气单元2上设置有检测单元4，该检测单元4电连接处理器5。其中，在一种实施方式中，检测单元4采用压力传感器41，用于检测进出气单元内的气体压力值；在另一种实施方式中，检测单元4采用浓度传感器42，用于检测进出气单元内的气体浓度值；在另一种实施方式中，检测单元4同时采用压力传感器41和浓度传感器42，用于同时检测进出气单元内的气体浓度值和气体压力值。检测单元4然后将检测的气体压力值和/或气体浓度值发送至处理器5。其中，除了将本装置可以应用于两个腔体的对接面，还可以应用于任何两个环形，圆环、放环、不规则环的对接面，或者腔体与环形，圆环、放环、不规则环之间的对接面，比如手套口的环与大仓之间进行对接的地方。
结合图1-3所示，在本发明的在线密封检测方法的其中一些实施方式中，其包括以下步骤：S1：在两个腔体11的对接面12内安装密封圈2，并在密封圈2内设置周向的腔室21；S2：设置连接腔室21的进出气单元3，并在进出气单元3上设置有检测单元4，将检测单元4电连接处理器5，检测单元4检测进出气单元3内的气体压力值和/或气体浓度值，然后将气体压力值和/或气体浓度值发送至处理器5。优选还可以包括步骤S3：在进出气单元3上设置进气控制部31和出气控制部32，其分别电连接处理器5，该进气控制部31和出气控制部32具体可以为电磁阀或气动阀，该处理器5在收到气体压力值和/或气体浓度值后，与处理器5内预设的值进行对比，然后处理器5根据对比结果控制进气控制部31和出气控制部32通过进出气单元3对腔室21进行加气和减气。其中，在另一些实施方式中，上述的进出气单元上也可以设置进气控制部31或者出气控制部32，其分别电连接处理器5，该处理器5在收到气体压力值和/或气体浓度值后，与处理器5内预设的值进行对比，然后处理器5根据对比结果控制进气控制部31或者出气控制部32通过进出气单元3对腔室21进行加气或者减气。采用该实施方式的方案，可以实现对于腔体内的真空度的及时和自动化的调整。
本实施例的在线密封检测装置主要设置了密封圈和进出气单元等，在通过具有周向的腔室的密封圈密封两个腔体的对接面后，再将进出气单元连通腔室的内部，该腔室可以负压或正压，亦可充特殊气体，然后通过检测单元来检测进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，处理器再开始做分析和判断，由此便可以快速地知道腔室内是否存在漏气现象，也可以进而知道腔体内是否处于真空状态。因此，本实施例与现有技术相比，可以实现对腔体室密封的在线检测，且可以同时对多节式密封腔加工设备的各工位进行检测，有效地提高对于多节式密封腔加工设备的密封检测效率，更加适应多节式密封腔加工设备的检测要求，从而可以更好更方便地在线对真空设备、高压设备、生物隔离设备，以及惰性气氛环境设备等的生产与使用过程中的密封进行检测与监控，尤其是大型互联设备的检测与监控。
为了进一步地优化本发明的实施效果，如图1-3所示，在本发明的在线密封检测装置的另一些实施方式中，在上述内容的基础上，上述的进出气单元上设置进气控制部31和出气控制部32，其分别电连接处理器5，该进气控制部31和出气控制部32具体可以为电磁阀，该处理器5在收到气体压力值和/或气体浓度值后，与处理器5内预设的值进行对比，然后处理器5根据对比结果控制进气控制部31和出气控制部32通过进出气单元3对腔室21进行加气和减气。其中，在另一些实施方式中，上述的进出气单元上也可以设置进气控制部31或者出气控制部32，其分别电连接处理器5，该处理器5在收到气体压力值和/或气体浓度值后，与处理器5内预设的值进行对比，然后处理器5根据对比结果控制进气控制部31或者出气控制部32通过进出气单元3对腔室21进行加气或者减气。采用该实施方式的方案，可以实现对于腔体内的真空度的及时和自动化的调整。
为了进一步地优化本发明的实施效果，如图1-3所示，在本发明的在线密封检测装置的另一些实施方式中，在上述内容的基础上，上述的处理器5还电连接报警单元6，处理器5在收到气体压力值和/或气体浓度值后，根据设定控制报警单元6向外界报警，该报警单元6具体可以为声光报警器。采用该实施方式的方案，可以提示外界知道设备内真空度的变化。
为了达到本发明的目的，如图1-3所示，在本发明的多节式密封腔加工设备的其中一些实施方式中，包括两个相对接的真空装置1，也可以根据需要设置更多个，该真空装置1内设有腔体11，该腔体11的对接面12上设置有上述在线密封检测装置。本实施例的多节式密封腔加工设备采用了上述的在线密封检测装置，因此具有与其相同的技术效果。
为了进一步地优化本发明的实施效果，如图1-3所示，在本发明的在线密封检测装置的另一些实施方式中，在上述内容的基础上，上述的真空装置1为手套箱。采用该实施方式的方案，可以使得在线密封检测装置直接应用于手套箱。
综上，本发明可以对真空设备、高压设备、生物隔离设备，以及惰性气氛环境设备等的生产过程中的密封性在线的自动的检测，大大提高设备生产效率；还可以对真空设备、高压设备、生物隔离设备，以及惰性气氛环境设备等的使用过程中的密封性在线的自动的检测；还可以对真空设备、高压设备、生物隔离设备，以及惰性气氛环境设备等的使用过程中的泄露自动的报警。
以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.在线密封检测装置，设置于两个部件的对接面，其特征在于，包括：
密封圈，其安装于所述两个部件的对接面内，所述密封圈内设有周向的至少一腔室；
进出气单元，其连通所述腔室的内部，所述进出气单元上设置有至少一检测单元，所述检测单元电连接处理器，用于检测所述进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，然后将所述气体压力值和/或气体浓度值发送至所述处理器。
2.根据权利要求1所述的在线密封检测装置，其特征在于，所述进出气单元上设置进气控制部和/或出气控制部，其分别电连接所述处理器，所述处理器在收到所述气体压力值和/或气体浓度值后，与所述处理器内预设的值进行对比，然后所述处理器根据对比结果控制所述进气控制部和出气控制部通过所述进出气单元对所述腔室进行加气和/或减气。
3.根据权利要求1或2所述的在线密封检测装置，其特征在于，所述进出气单元为管路。
4.根据权利要求2所述的在线密封检测装置，其特征在于，所述进气控制部和出气控制部为电磁阀或气动阀。
5.根据权利要求1所述的在线密封检测装置，其特征在于，所述检测单元包括压力传感器和/或浓度传感器。
6.根据权利要求1所述的在线密封检测装置，其特征在于，所述处理器还电连接报警单元，所述处理器在收到所述气体压力值和/或气体浓度值后，根据设定控制所述报警单元向外界报警。
7.多节式密封腔加工设备，包括至少两个相对接的真空装置，所述真空装置内设有腔体，其特征在于，所述至少两个真空装置的部件的对接面上设置有如权利要求1-6任一所述的在线密封检测装置。
8.根据权利要求1所述的多节式密封腔加工设备，其特征在于，所述真空装置为手套箱。
9.在线密封检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)在所述两个部件的对接面内安装密封圈，并在所述密封圈内设置周向的至少一腔室；
2)设置连接所述腔室的进出气单元，并在所述进出气单元上设置有至少一检测单元，将所述检测单元电连接处理器，所述检测单元检测所述进出气单元内的气体压力值和/或气体浓度值，然后将所述气体压力值和/或气体浓度值发送至所述处理器。
10.根据权利要求9所述的在线密封检测方法，其特征在于，在所述进出气单元上设置进气控制部和/或出气控制部，其分别电连接所述处理器，所述处理器在收到所述气体压力值和/或气体浓度值后，与所述处理器内预设的值进行对比，然后所述处理器根据对比结果控制所述进气控制部和出气控制部通过所述进出气单元对所述腔室进行加气和/或减气。
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