KR20180105672A - 온라인 밀폐 검측 장치, 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치 및 방법 - Google Patents

온라인 밀폐 검측 장치, 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 두 부품의 연결면 상에 설치된 온라인 밀폐 검측 장치를 개시하고, 상기 온라인 밀폐 검측 장치는 상기 두 부품의 상기 연결면에 설치되고, 그 내부에 원주방향의 챔버가 적어도 하나 설치되는, 밀폐 링; 상기 챔버의 내부와 연결되는 유입 및 유출 유닛을 포함하되, 상기 유입 및 유출 유닛에 적어도 하나의 검측 유닛이 설치되며, 상기 검측 유닛은 프로세서와 전기적으로 연결되고, 상기 유입 및 유출 유닛 내의 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 검측한 다음, 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 상기 프로세서에 전송한다. 또한 본 발명은 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치 및 온라인 밀폐 검측 방법을 개시한다. 종래 기술과 비교하여, 본 발명은 부품 밀폐의 온라인 검측을 실현하고, 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치의 각 작동 위치를 동시에 감지할 수 있으며, 이는 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치의 밀폐 검측 효율을 효과적으로 개선할 수 있다.

Description

온라인 밀폐 검측 장치, 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치 및 방법
본 발명은 밀폐 검측 기술에 관한 것으로서, 구체적으로 온라인 밀폐 검측 장치, 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치 및 방법에 관한 것이다.
과학 연구 및 산업 생산에서 일반적으로 진공 장치, 고압 장치, 생물 격리 장치 및 불활성 분위기 환경 장치 등과 같이 내부적으로 진공 환경을 갖춘 처리 장치가 필요하다. 전술한 장비는 과학 연구 및 산업 생산에 다양한 작업 환경을 만들어 상이하고 혹독한 환경 요구를 충족시킬 수 있다. 그러나, 전술한 장치들은 외부와는 다른 독립된 환경 공간을 만들 뿐이어서, 외부로부터 분리되도록 밀폐될 필요가 있다. 만약 장치가 밀폐되지 않으면 우수한 과학적 연구 및 생산 환경을 실현하는 것은 매우 어렵게 될 뿐만 아니라, 혹독한 요구를 충족시킬 수 없다. 만약 장치를 밀폐한 후, 이후의 생산 과정에서 밀폐 검측을 필요로 하고, 사용 과정에서 밀폐 상황에 대해 감독 또는 사용자 사용 후 밀폐되지 않았는지 여부를 검사해야 한다.
현재의 밀폐 검측은 보통 헬륨 측정기를 사용하는데, 이는 전문적인 검측 기기 및 헬륨 등을 필요로 하여, 실시간 및 온라인 감독을 수행할 수 없다. 특히, 멀티 섹션형 대형 연결 장치에 대해 인공적으로 매 번 밀폐면에 대해 검사해야 하므로 업무량이 상당히 많아져 검측 효율에 큰 영향을 끼친다.
전술한 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 온라인 모니터링이 가능하고 멀티 섹션형 밀폐 챔버 처리 장치에 적용 가능한 온라인 밀폐 검측 장치, 멀티 섹션형 밀폐 챔버 처리 장치 및 방법을 제공한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 제안은 다음과 같다:
두 부품의 연결면 상에 설치된 온라인 밀폐 검측 장치로서, 상기 온라인 밀폐 검측 장치는, 상기 두 부품의 상기 연결면에 설치되고, 그 내부에 원주방향의 챔버가 적어도 하나 설치되는, 밀폐 링; 상기 챔버의 내부와 연결되는 유입 및 유출 유닛을 포함하되, 상기 유입 및 유출 유닛에 적어도 하나의 검측 유닛이 설치되며, 상기 검측 유닛은 프로세서와 전기적으로 연결되고, 상기 유입 및 유출 유닛 내의 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 검측한 다음, 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 상기 프로세서에 전송한다.
전술한 기술적 제안을 기초로, 본 발명은 또한 다음과 같이 개선할 수 있다.
선택적 제안으로서, 상기 유입 및 유출 유닛에 상기 프로세서와 전기적으로 연결되는 유입 제어부 및/또는 유출 제어부가 설치되고, 상기 프로세서가 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 수신한 다음, 상기 프로세서에서 사전 설정된 값과 비교한 후, 상기 프로세서는 비교 결과에 따라 상기 챔버 내의 기체를 증가 및/또는 감소시키기 위해 상기 유입 및 유출 유닛을 통해 상기 유입 제어부 및 유출 제어부를 제어한다.
전술한 선택적 제안을 채택함으로써, 캐비티 내의 진공 정도에 대한 시기적절하고 자동적인 조정이 가능하다.
선택적 제안으로서, 상기 유입 및 유출 유닛은 파이프 라인이다.
전술한 선택적 제안을 채택함으로써, 기체 전달 및 밀폐 검측이 편리해질 수 있다.
선택적 제안으로서, 상기 유입 제어부 및 유출 제어부는 자기 밸브 또는 에어 밸브이다.
전술한 선택적 제안을 채택함으로써, 유입 및 유출에 대한 자동 제어가 편리해질 수 있다.
선택적 제안으로서, 상기 검측 유닛은 압력 센서 및/또는 농도 센서를 포함한다.
전술한 선택적 제안을 채택함으로써, 압력 및 농도에 대한 검측을 실현할 수 있다.
선택적 제안으로서, 상기 프로세서는 알람 유닛에도 전기적으로 연결되고, 상기 프로세서가 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 수신한 이후, 설정에 따라 상기 알람 유닛을 제어하여 외부에 알린다.
전술한 선택적 제안을 채택함으로써, 장치 내부의 진공 변화를 외부에 알릴 수 있다.
멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치는 적어도 두 개의 마주 연결된 진공 장치를 포함하고, 상기 진공 장치 내에 캐비티(cavity)가 설치된다.
전술한 온라인 밀폐 검측 장치는 적어도 두 개의 진공 장치의 부품의 연결면에 설치된다.
본 발명의 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치는 전술한 온라인 밀폐 검측 장치를 채택하므로, 동일한 기술적 효과를 갖는다.
선택적 제안으로서, 상기 진공 장치는 글러브 박스이다.
전술한 선택적 제안을 채택함으로써, 글러브 박스 내의 온라인 밀폐 검측 장치를 바로 적용할 수 있다.
온라인 밀폐 검측 방법은 다음 단계들을 포함한다.
1) 두 부품의 연결면 내에 밀폐 링을 설치하고, 상기 밀폐 링 내에 원주 방향의 챔버를 적어도 하나 설치하는 단계
2) 상기 챔버와 연결되는 유입 및 유출 유닛을 설치하고, 상기 유입 및 유출 유닛에 검측 유닛을 적어도 하나 설치하며, 상기 검측 유닛을 프로세서와 전기적으로 연결하고, 상기 검측 유닛은 상기 유입 및 유출 유닛 내의 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 검측한 후, 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 상기 프로세서에 전송하는 단계.
본 발명의 온라인 밀폐 검측 방법은 전술한 온라인 밀폐 검측 장치를 채택하므로, 동일한 기술적 효과를 갖는다.
선택적 제안으로서, 상기 유입 및 유출 유닛에 상기 프로세서와 전기적으로 연결되는 유입 제어부 및/또는 유출 제어부가 설치되고, 상기 프로세서가 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 수신한 다음, 상기 프로세서에서 사전 설정된 값과 비교한 후, 상기 프로세서는 비교 결과에 따라 상기 챔버 내의 기체를 증가 및/또는 감소시키기 위해 상기 유입 및 유출 유닛을 통해 상기 유입 제어부 및 유출 제어부를 제어한다.
전술한 선택적 제안을 채택함으로써, 캐비티 내의 진공 정도에 대한 시기적절하고 자동적인 조정이 가능하다.
본 발명의 상기 온라인 밀폐 검측 장치는 주로 밀폐 링과 유입 및 유출 유닛 등을 설치하여, 챔버의 원주방향의 밀폐 링이 두 부품의 연결면을 밀봉한 후, 유입 및 유출 유닛을 챔버 내부와 연결하는데, 이 챔버는 특정 기체를 채울 뿐만 아니라 음 또는 양의 압력일 수 있다. 다음으로 검측 유닛을 통해 유입 및 유출 유닛 내의 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 감지하고, 프로세서는 분석 및 판단을 다시 시작하며, 이로써 챔버에 기체 유출 현상이 있는지 여부를 신속하게 알 수 있으며, 캐비티가 진공 상태에 있는지 여부도 알 수 있다.
따라서, 종래 기술과 비교하여 본 발명은 챔버 밀폐의 온라인 검측을 실현하고, 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치의 각 작동 위치를 감지할 수 있는데, 이는 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치의 검측 효율성을 효과적으로 개선하고 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치의 검측 요구에 보다 적합할 수 있다. 따라서, 진공 장치, 고압 장치, 생물 격리 장치 및 불활성 분위기 환경 장치 등의 생산 및 사용 과정에서의 밀봉에 대해 보다 편리하게 온라인 검측 및 감독, 특히 대형 상호연결 장치의 검측 및 감독을 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 온라인 밀폐 검측 장치 및 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치의 구조 개략도이다.
도 2는 도 1의 A 부분의 확대도이다.
도 3은 본 발명의 온라인 밀폐 검측 장치의 시스템 구조 개략도이다.
이하의 도면과 상세한 설명을 결합하여 본 발명의 바람직한 실시방식을 설명한다.
본 발명의 목적을 달성하기 위해, 도 1 내지 도 3에서 도시하는 바와 같이, 본 발명의 온라인 밀폐 검측 장치의 일 실시방식에서, 두 캐비티(11)의 연결면(12)에 설치되고, 상기 캐비티(11)는 진공 장치(1) 내에 위치하며, 상기 온라인 밀폐 검측 장치는 다음을 포함한다: 두 캐비티(11)의 연결면(12)에(구체적으로 연결을 위해 이용되는 플랜지일 수 있다) 설치되는 밀폐 링(2)으로서, 상기 밀폐 링(2) 내에 원주방향의 챔버(21)가 설치되며, 상기 챔버(21)는 필요에 따라 하나 또는 복수개가 설치될 수 있다; 상기 챔버(21)의 내부와 연결되는 유입 및 유출 유닛으로서, 이 유입 및 유출 유닛(2)은 구체적으로 관로이거나 캐비티 등일 수 있고, 이 유입 및 유출 유닛(2)에 검측 유닛(4)이 설치되며, 상기 검측 유닛(4)은 프로세서와 전기적으로 마주 연결된다. 여기에서, 일 실시 방식에서, 검측 유닛(4)은 유입 및 유출 유닛 내의 기체 압력값을 측정하는데 이용되는 압력 센서(41)를 채용한다; 다른 일 실시 방식에서, 검측 유닛(4)은 유입 및 유출 유닛 내의 기체 농도값을 측정하는 농도 센서(42)를 채용한다; 다른 일 실시 방식에서, 검측 유닛(4)은 유입 및 유출 유닛 내의 기체 압력값 및 기체 농도값을 측정하는데 이용되는 압력 센서(41)와 농도 센서(42)를 동시에 채용한다. 검측 유닛(4)은 이후 검측된 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 프로세서(5)로 전송한다. 여기에서 본 장치는 두 캐비티의 연결면에 적용될 수 있을 뿐만 아니라, 어떠한 두 개의 환형, 원형, 방형, 불규칙한 환형의 연결면, 또는 캐비티와 환형, 원형, 방형, 불규칙한 환형 사이의 연결면, 예를 들어 장갑 구멍과 창고 사이에 연결되는 부분에 적용될 수도 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 온라인 밀폐 측정 방법의 일 실시 방식은 다음 단계들을 포함한다: S1: 두 캐비티(11)의 연결면(12) 내에 밀폐 링(2)을 설치하고, 상기 밀폐 링(2) 내에 원주 방향의 챔버(21)를 적어도 하나 설치한다; S2: 챔버(21)와 연결되는 유입 및 유출 유닛(3)을 설치하고, 상기 유입 및 유출 유닛(3)에 검측 유닛(4)을 적어도 하나 설치하며, 상기 검측 유닛(4)을 프로세서(5)와 전기적으로 연결하고, 상기 검측 유닛(4)은 상기 유입 및 유출 유닛(3) 내의 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 검측한 후, 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 상기 프로세서(5)에 전송한다; S3: 상기 유입 및 유출 유닛(3)에 상기 프로세서(5)와 전기적으로 연결되는 유입 제어부(31) 및/또는 유출 제어부(32)가 설치되고, 상기 프로세서(5)가 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 수신한 다음, 상기 프로세서(5)에서 사전 설정된 값과 비교한 후, 상기 프로세서는 비교 결과에 따라 상기 챔버 내의 기체를 증가 및/또는 감소시키기 위해 상기 유입 및 유출 유닛(3)을 통해 상기 유입 제어부(31) 및 유출 제어부(32)를 제어한다. 여기에서, 다른 일 실시 방식에서, 전술한 유입 및 유출 유닛에 유입 제어부(31) 및 유출 제어부(32)가 설치되고, 각각 프로세서(5)와 전기적으로 연결되며, 상기 프로세서(5)는 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 수신한 이후, 프로세서(5) 내의 사전 설정된 값과 비교한 다음, 프로세서(5)는 비교 결과에 따라 유입 제어부(31) 또는 유출 제어부(32)를 제어하여 유입 및 유출 유닛(3)을 통해 챔버(21)에 기체를 늘리거나 또는 기체를 줄인다. 이러한 실시 방식을 채용함으로써, 캐비티 내의 진공 정도에 대해 적정 시점에 자동으로 조절이 가능하다.
본 실시예의 상기 온라인 밀폐 검측 장치는 주로 밀폐 링과 유입 및 유출 유닛 등을 설치하여, 챔버의 원주방향의 밀폐 링이 두 부품의 연결면을 밀봉한 후, 유입 및 유출 유닛을 챔버 내부와 연결하는데, 이 챔버는 특정 기체를 채울 뿐만 아니라 음 또는 양의 압력일 수 있다. 다음으로 검측 유닛을 통해 유입 및 유출 유닛 내의 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 감지하고, 프로세서는 분석 및 판단을 다시 시작하며, 이로써 챔버에 기체 유출 현상이 있는지 여부를 신속하게 알 수 있으며, 캐비티가 진공 상태에 있는지 여부도 알 수 있다. 따라서, 종래 기술과 비교하여 본 발명은 챔버 밀폐의 온라인 검측을 실현하고, 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치의 각 작동 위치를 감지할 수 있는데, 이는 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치의 검측 효율성을 효과적으로 개선하고 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치의 검측 요구에 보다 적합할 수 있다. 따라서, 진공 장치, 고압 장치, 생물 격리 장치 및 불활성 분위기 환경 장치 등의 생산 및 사용 과정에서의 밀봉에 대해 보다 편리하게 온라인 검측 및 감독, 특히 대형 상호연결 장치의 검측 및 감독을 수행할 수 있다.
보다 바람직한 본 발명의 실시 결과를 위해, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 온라인 밀폐 측정 장치의 다른 일 실시 방식에서, 전술한 내용을 기초로 하여, 전술한 상기 유입 및 유출 유닛(3)에 상기 프로세서(5)와 전기적으로 연결되는 유입 제어부(31) 및/또는 유출 제어부(32)가 설치되고, 유입 제어부(31) 및 유출 제어부(32)는 구체적으로 전자기 밸브일 수 있고, 상기 프로세서(5)는 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 수신한 이후, 프로세서(5) 내의 사전 설정된 값과 비교한 다음, 프로세서(5)는 비교 결과에 따라 유입 제어부(31) 또는 유출 제어부(32)를 제어하여 유입 및 유출 유닛(3)을 통해 챔버(21)에 기체를 늘리거나 또는 기체를 줄인다. 여기에서 다른 일 실시 방식에서, 전술한 상기 유입 및 유출 유닛(3)에 상기 프로세서(5)와 전기적으로 연결되는 유입 제어부(31) 및/또는 유출 제어부(32)가 설치될 수 있고, 프로세서(5)는 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 수신한 이후, 프로세서(5) 내의 사전 설정된 값과 비교한 다음, 프로세서(5)는 비교 결과에 따라 유입 제어부(31) 또는 유출 제어부(32)를 제어하여 유입 및 유출 유닛(3)을 통해 챔버(21)에 기체를 늘리거나 또는 기체를 줄인다. 이러한 실시 방식을 채용함으로써, 캐비티 내의 진공 정도에 대해 적정 시점에 자동으로 조절이 가능하다.
보다 바람직한 본 발명의 실시 결과를 위해, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 온라인 밀폐 측정 장치의 다른 일 실시 방식에서, 전술한 내용을 기초로 하여, 전술한 프로세서는 알람 유닛에도 전기적으로 연결되고, 상기 프로세서가 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 수신한 이후, 설정에 따라 상기 알람 유닛을 제어하여 외부에 알리는데, 이 알람 유닛은 구체적으로 시청각 알람 장치일 수 있다. 이러한 실시 방식을 채용함으로써, 장치 내 진공 정도의 변화를 외부에 알릴 수 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위해, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치 의 일 실시 방식에서, 두 개의 서로 마주 연결된 진공 장치(1)를 포함하고, 필요에 따라 보다 낳은 개수를 설치할 수도 있으며, 이 진공 장치(1) 내에는 캐비티(11)가 설치되고, 이 캐비티(11)의 마주 연결된 면(12)에 전술한 온라인 밀폐 검측 장치가 설치된다. 본 발명의 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치는 전술한 온라인 밀폐 검측 장치를 채택하므로, 이와 동일한 기술적 효과를 갖는다.
보다 바람직한 본 발명의 실시 결과를 위해, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 온라인 밀폐 측정 장치의 다른 일 실시 방식에서, 전술한 내용을 기초로 하여, 전술한 진공 장치(1)는 글러브 박스이다. 전술한 선택적 제안을 채택함으로써, 글러브 박스 내의 온라인 밀폐 검측 장치를 바로 적용할 수 있다.
결론적으로, 진공 장치, 고압 장치, 생물 격리 장치 및 불활성 분위기 환경 장치 등의 생산 및 사용 과정에서의 밀봉에 대해 온라인의 자동 검측이 가능하여, 장치 생산 효율을 대폭 높일 수 있고; 진공 장치, 고압 장치, 생물 격리 장치 및 불활성 분위기 환경 장치 등의 생산 및 사용 과정에서의 밀봉에 대해 온라인의 자동 검측이 가능할 수도 있으며, 진공 장치, 고압 장치, 생물 격리 장치 및 불활성 분위기 환경 장치 등의 생산 및 사용 과정에서의 누출에 대해 자동 경보도 가능하다.
전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 방식에 불과하고, 본 영역의 통상의 기술자들에게 있어서, 본 발명의 창조적 사상에서 벗어나지 않는 한, 약간의 변형 및 개선을 수행할 수도 있으며, 이들은 모두 본 발명의 보호범위에 속함을 주목해야 한다.
1: 진공장치
11: 캐비티
12: 연결면
2: 밀폐 링
21: 챔버
3: 유입 및 유출 유닛
31: 유입 제어 유닛
32: 유출 제어 유닛
4: 검측 유닛
41: 압력 센서
42: 농도 센서
5: 프로세서
6: 알람 유닛

Claims (10)

  1. 두 부품의 연결면 상에 설치된 온라인 밀폐 검측 장치로서, 상기 온라인 밀폐 검측 장치는,
    상기 두 부품의 상기 연결면에 설치되고, 그 내부에 원주방향의 챔버가 적어도 하나 설치되는, 밀폐 링;
    상기 챔버의 내부와 연결되는 유입 및 유출 유닛을 포함하되,
    상기 유입 및 유출 유닛에 적어도 하나의 검측 유닛이 설치되며,
    상기 검측 유닛은 프로세서와 전기적으로 연결되고, 상기 유입 및 유출 유닛 내의 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 검측한 다음, 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 상기 프로세서에 전송하는 것을 특징으로 하는, 온라인 밀폐 검측 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유입 및 유출 유닛에 상기 프로세서와 전기적으로 연결되는 유입 제어부 및/또는 유출 제어부가 설치되고, 상기 프로세서가 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 수신한 다음, 상기 프로세서에서 사전 설정된 값과 비교한 후, 상기 프로세서는 비교 결과에 따라 상기 챔버 내의 기체를 증가 및/또는 감소시키기 위해 상기 유입 및 유출 유닛을 통해 상기 유입 제어부 및 유출 제어부를 제어하는 것을 특징으로 하는, 온라인 밀폐 검측 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 유입 및 유출 유닛은 파이프 라인인 것을 특징으로 하는, 온라인 밀폐 검측 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 유입 제어부 및 유출 제어부는 자기 밸브 또는 에어 밸브인 것을 특징으로 하는, 온라인 밀폐 검측 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 검측 유닛은 압력 센서 및/또는 농도 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는, 온라인 밀폐 검측 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 프로세서는 알람 유닛에도 전기적으로 연결되고, 상기 프로세서가 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 수신한 이후, 설정에 따라 상기 알람 유닛을 제어하여 외부에 알리는 것을 특징으로 하는, 온라인 밀폐 검측 장치.
  7. 적어도 두 개의 마주 연결된 진공 장치를 포함하고, 상기 진공 장치 내에 캐비티(cavity)가 설치되는, 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치로서,
    상기 적어도 두 개의 진공 장치의 부품의 연결면에 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 온라인 밀폐 검측 장치가 설치된 것을 특징으로 하는, 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 진공 장치는 글러브 박스인 것을 특징으로 하는, 멀티 섹션형 밀폐 챔버 가공 장치.
  9. 두 부품의 연결면 내에 밀폐 링을 설치하고, 상기 밀폐 링 내에 원주 방향의 챔버를 적어도 하나 설치하는 단계;
    상기 챔버와 연결되는 유입 및 유출 유닛을 설치하고, 상기 유입 및 유출 유닛에 검측 유닛을 적어도 하나 설치하며, 상기 검측 유닛을 프로세서와 전기적으로 연결하고, 상기 검측 유닛은 상기 유입 및 유출 유닛 내의 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 검측한 후, 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 상기 프로세서에 전송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 온라인 밀폐 검측 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 유입 및 유출 유닛에 상기 프로세서와 전기적으로 연결되는 유입 제어부 및/또는 유출 제어부가 설치되고, 상기 프로세서가 상기 기체 압력값 및/또는 기체 농도값을 수신한 다음, 상기 프로세서에서 사전 설정된 값과 비교한 후, 상기 프로세서는 비교 결과에 따라 상기 챔버 내의 기체를 증가 및/또는 감소시키기 위해 상기 유입 및 유출 유닛을 통해 상기 유입 제어부 및 유출 제어부를 제어하는 것을 특징으로 하는, 온라인 밀폐 검측 방법.
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