JP6778880B1 - はんだ付け装置及びパッキンの異常の検知方法 - Google Patents
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Abstract
Description
14…第2シール
30…測定装置
32…気体供給装置
42…第3シール
44…第4シール
100…リフロー装置
110…炉体
110D…処理室
140…制御装置
S1,S2,S4,S4,S5…密閉空間
Claims (10)
- 基板を処理する処理室を備える炉体と、
前記炉体の少なくとも一部に設けられ、前記炉体をシールするように構成されるパッキンと、
前記処理室から隔離された、前記炉体と前記パッキンとにより画定される密閉空間と、
前記密閉空間内に第1気体を供給するように構成される気体供給装置と、
前記密閉空間内の圧力又は前記密閉空間内の第2気体の濃度を測定するように構成される測定装置と、を備えるはんだ付け装置。 - 請求項1に記載されたはんだ付け装置において、
前記第1気体は、窒素である、はんだ付け装置。 - 請求項1又は2に記載されたはんだ付け装置において、
前記第2気体は、酸素である、はんだ付け装置。 - 請求項1に記載されたはんだ付け装置において、
前記第1気体と前記第2気体は、同一種類の気体である、はんだ付け装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載されたはんだ付け装置において、
前記パッキンは、
第1シールと、
前記第1シールと離間して配置される第2シールと、
前記第1シールと前記第2シールとの間をシールする第3シールと、
前記第1シールと前記第2シールとの間をシールし、前記第3シールと離間して配置される第4シールと、を含み、
前記密閉空間は、少なくとも前記炉体、前記第1シール、前記第2シール、前記第3シール、及び前記第4シールにより画定される、はんだ付け装置。 - 請求項5に記載されたはんだ付け装置において、
前記第3シールは、前記第1シールと前記第2シールのそれぞれの一方の端部の間に配置され、
前記第4シールは、前記第1シールと前記第2シールのそれぞれの他方の端部の間に配置される、はんだ付け装置。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載されたはんだ付け装置において、
前記測定装置と通信可能な制御装置を有し、
前記制御装置は、前記測定装置から受信した前記圧力又は前記濃度が所定の閾値に達したか否かを判定するように構成される、はんだ付け装置。 - 基板を処理する処理室を備える炉体をシールするパッキンの異常の検知方法であって、
前記処理室から隔離された、前記炉体と前記パッキンとにより画定される密閉空間に第1気体を供給し、
前記密閉空間内の圧力又は第2気体の濃度を測定し、
前記圧力又は前記第2気体が所定の閾値に達したか否かを判定する、ことを含む検知方法。 - 請求項8に記載された検知方法において、
前記第1気体は、窒素である、検知方法。 - 請求項8又は9に記載された検知方法において、
前記第2気体は、酸素である、検知方法。
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