CN113145965A - 焊接装置及衬垫的异常的检测方法 - Google Patents

Abstract

提供焊接装置及衬垫的异常的检测方法。提供一种焊接装置。焊接装置具有：炉体，具备对基板进行处理的处理室；衬垫，设在炉体的至少一部分，构成为将炉体密封；密闭空间，被从处理室隔离，由炉体和衬垫划定；气体供给装置，构成为向密闭空间内供给第1气体；以及测量装置，构成为测量密闭空间内的压力或密闭空间内的第2气体的浓度。

Description

焊接装置及衬垫的异常的检测方法

技术领域

本发明涉及焊接装置及衬垫的异常的检测方法。

背景技术

作为向印刷布线基板焊接电子零件的装置，已知有例如回流（reflow）装置。在回流装置中，为了实现维护的容易化，采用在下部炉体的上部可分离地叠合上部炉体壳体的构造，各炉体的叠合部分被用衬垫密封，以使得炉内空气不向外部漏出。通过使得炉内空气不向外部漏出，能够维持炉内的加热效率。以使焊接性改善为目的，还使用将炉内设为氮气环境的状态的N₂回流装置，通过使得炉内空气不向外部漏出，在N₂回流装置中能够将炉内保持为氮气环境状态。作为这样的具有衬垫的回流装置，例如已知有专利文献1所记载的装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019-166532号公报。

发明内容

发明要解决的课题

在回流装置中，将预先被印刷了焊膏的基板运送至回流装置的回流炉内并加热。防止炉内空气泄漏的衬垫随着炉内空气被加热而劣化。除此以外，当基板被加热时，焊膏中包含的焊剂气化，焊剂烟在回流炉内漂浮。如果该焊剂烟附着于衬垫，则使衬垫腐蚀。这样发生了因热造成的劣化、因焊剂烟的附着造成的腐蚀等异常的衬垫有可能产生炉内空气的泄漏。

此外，作为回流装置以外的焊接装置，例如可以举出具备喷流焊槽的喷流焊接装置等。在该喷流焊接装置中，将预先涂布有焊剂的基板在向喷流焊槽运送的过程中加热，并且在喷流焊槽中用喷流的熔融焊料进行焊接。在基板加热工序、喷流焊槽中的焊接工序中，焊剂气化而发生焊剂烟。因而，与回流装置同样，在喷流焊接装置中，也设有防止炉内空气、焊剂烟向装置外泄漏的衬垫。这样，在焊接装置中，一般设有主要防止炉内空气向装置外泄漏的密封用的衬垫，发生了因热造成的劣化等异常的衬垫有可能产生炉内空气的泄漏。

在专利文献1所记载的回流装置中，一边测量炉内的氧浓度一边向炉内供给氮，当即使经过一定时间炉内的氧浓度也没有减小到规定的值时，判断为发生了氮泄漏。即，在专利文献1的装置中，到在衬垫发生异常结果判断为炉内的氧浓度减小到规定的值为止，至少需要某种程度的时间。

此外，在专利文献1所记载的回流装置中，当炉内的氧浓度即使经过一定时间也没有减小到规定的值时、即发生了炉内的氧浓度的异常时，不能判别出其原因是由衬垫的异常造成的还是由其他原因造成的。

本发明是鉴于上述以往的问题而做出的。其目的之一是更迅速地检测衬垫的异常。此外，本发明的另一目的是判别炉内（处理室内）的氧浓度的异常的原因是否是由衬垫造成的。

本发明解决上述目的的至少一个。

用来解决课题的手段

根据第1方案，提供一种焊接装置。焊接装置具有：炉体，具备对基板进行处理的处理室；衬垫，设在前述炉体的至少一部分，构成为将前述炉体密封；密闭空间，被从前述处理室隔离，由前述炉体和前述衬垫划定；气体供给装置，构成为向前述密闭空间内供给第1气体；以及测量装置，构成为测量前述密闭空间内的压力或前述密闭空间内的第2气体的浓度。

根据第1方案，在第1气体充满于密闭空间内之后，能够测量密闭空间内的压力或第2气体的浓度，所以当密闭空间内的压力或第2气体的浓度达到了规定的阈值时，能够掌握在衬垫发生了异常。此外，由衬垫划定的密闭空间除了以将处理室与炉外分隔的方式取位以外，还容易使其体积比处理室小，所以能够在比如以往技术那样处理室内的氧等气体浓度呈现异常靠前的阶段，检测到比处理室狭小的密闭空间的气体的泄漏，结果，能够更迅速地检测衬垫的异常。

第2方案在第1方案中，要点在于，前述第1气体是氮。

根据第2方案，即使在充满于密闭空间内的氮泄漏到处理室内（炉内）的情况下，也能够抑制给处理室内的环境带来影响。

第3方案在第1方案或第2方案中，要点在于，前述第2气体是氧。

根据第3方案，在用氧浓度计监视处理室内的气体环境的情况下，通过将该氧浓度计连接到密闭空间内，能够交替地测量处理室和密闭空间。因而，能够抑制焊接装置所需要的零件数（测量装置的数量）增加。

第4方案在第1方案中，要点在于，前述第1气体和前述第2气体是相同种类的气体。

根据第4方案，在第1气体充满于密闭空间内之后，当是与第1气体相同种类的第2气体减少到规定值时，能够判断在衬垫发生了异常。

第5方案在第1方案至第4方案的任一项中，要点在于，前述衬垫包括：第1密封部；第2密封部，与前述第1密封部离开而配置；第3密封部，将前述第1密封部与前述第2密封部之间密封；以及第4密封部，将前述第1密封部与前述第2密封部之间密封，与前述第3密封部离开而配置；前述密闭空间至少由前述炉体、前述第1密封部、前述第2密封部、前述第3密封部及前述第4密封部划定。

根据第5方案，由于由多个密封部将炉体密封，所以即使某个密封部劣化，也能够借助其他密封部维持炉体的密封。

第6方案在第5方案中，要点在于，前述第3密封部被配置在前述第1密封部和前述第2密封部各自的一方的端部之间；前述第4密封部被配置在前述第1密封部和前述第2密封部各自的另一方的端部之间。

根据第6方案，由于能够使密闭空间沿着基板运送方向变长，所以能够检测出第1密封部和第2密封部的大致整体的异常。

第7方案在第1方案至第6方案的任一项中，要点在于，具有能够与前述测量装置通信的控制装置；前述控制装置构成为，判定从前述测量装置接收到的前述压力或前述浓度是否达到了规定的阈值。

根据第7方案，通过将在衬垫发生了异常时的密闭空间的压力或第2气体的浓度设为规定的阈值，能够由控制装置判定在衬垫发生了异常。

第8方案提供一种衬垫的异常的检测方法，所述衬垫将具备对基板进行处理的处理室的炉体密封。该检测方法要点在于，向被从前述处理室隔离的、由前述炉体和前述衬垫划定的密闭空间供给第1气体；测量前述密闭空间内的压力或第2气体的浓度；判定前述压力或前述第2气体的浓度是否达到了规定的阈值。

根据第8方案，在第1气体被供给到密闭空间内之后，能够测量密闭空间内的压力或第2气体的浓度，所以当密闭空间内的压力或第2气体的浓度达到了规定的阈值时，能够掌握在衬垫发生了异常。此外，由衬垫划定的密闭空间除了以将处理室与炉外分隔的方式取位以外，还容易使其体积比处理室小，所以能够在比如以往技术那样处理室内的氧等气体浓度呈现异常靠前的阶段，检测到比处理室狭小的密闭空间的气体的泄漏，结果，能够更迅速地检测衬垫的异常。

第9方案在第8方案中，要点在于，前述第1气体是氮。

根据第9方案，即使在充满于密闭空间内的氮泄漏到处理室内的情况下，也能够抑制给处理室内的环境带来影响。

第10方案在第8方案或第9方案中，要点在于，前述第2气体是氧。

根据第10方案，在用氧浓度计监视处理室内的气体环境的情况下，通过将该氧浓度计连接到密闭空间内，能够交替地测量处理室和密闭空间。因而，能够抑制为了执行检测方法而需要的零件数（测量装置的数量）增加。

附图说明

图1是有关本实施方式的回流装置的概略俯视图。

图2是有关本实施方式的回流装置的概略侧视图。

图3是有关本实施方式的衬垫的俯视图。

图4是图3的向视4－4的衬垫的剖视图。

图5A是表示使用推式铆钉安装衬垫的次序的图。

图5B是表示使用推式铆钉安装衬垫的次序的图。

图5C是表示使用推式铆钉安装衬垫的次序的图。

图6是图3的向视6－6的衬垫的侧视图。

图7是向视7－7的衬垫的侧视图。

图8是表示有关本实施方式的回流装置的衬垫的异常的检测方法的流程图。

图9是表示有关本实施方式的回流装置的衬垫的异常的检测方法的另一流程图。

图10是有关本实施方式的衬垫的另一例的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下说明的附图中，对于相同或对应的构成要素赋予相同的附图标记而省略重复的说明。另外，在以下说明的实施方式中，作为本发明的焊接装置的一例而说明回流装置，但并不限于此，只要是使用衬垫的前述那样的焊接装置，就能够包含在本发明中。

图1是有关本实施方式的回流装置的概略俯视图。图2是有关本实施方式的回流装置的概略侧视图。如图1及图2所示，回流装置100具有炉体110、运入口120、运出口130和控制装置140。炉体110在其内部具有处理未图示的基板的处理室110D。运入口120是用来将涂布有焊膏的未图示的基板向炉体110内的处理室110D运入的入口。运出口130是用来将被加热后的未图示的基板从炉体110的处理室110D运出的出口。在本实施方式的回流装置100中，分别各设有1个运入口120及运出口130，但并不限于此，为了使基板处理数提高，也可以设置例如两个以上的运入口120，设置与其对应的数量的运出口130。

回流装置100具有用来将被从运入口120投入的基板向运出口130运送的未图示的运送输送机。炉体110在内部具有将被从运入口120运入的基板从上下加热、在加热后冷却的结构。具体而言，例如炉体110在其内部具有被配置为串联（in line）状的多个加热区和至少一个冷却区。将从运入口120运入的基板以规定速度朝向运出口130运送。将基板在加热区的预加热部预加热，然后在加热区的正式加热部加热到规定的温度。在该过程中，基板上的焊膏熔融，在该焊膏的熔融时发生焊剂烟。在冷却区中，基板被迅速地冷却，焊料凝固。

控制装置140例如构成为，能够控制有关本实施方式的回流装置100的运转，与未图示的运送输送机、加热区、冷却区可通信地连接。控制装置140例如也可以包括CPU、存储有动作程序的存储器、以及包括输入输出单元的PLC（Programmable Logic Controller；可编程逻辑控制器）等。进而，控制装置140构成为，能够控制后述的测量装置30、气体供给装置32的动作。

回流装置100也可以具有构成为向处理室110D的内部供给氮等非活性气体（相当于第1气体的一例）的气体供给装置32和测量装置30。测量装置30可以是测量氧（相当于第2气体的一例）等气体的浓度的气体浓度传感器。回流装置100通过气体供给装置32供给氮等非活性气体，使处理室110D内的氧浓度下降。测量装置30测量处理室110D内的氧浓度。由测量装置30测量的氧浓度的数据例如可以被向控制装置140或与控制装置140独立的外装的计算机发送。由此，操作者能够确认处理室110D内的气体环境是否正常。

如图2所示，炉体110具有上部炉体110A和下部炉体110B。上部炉体110A及下部炉体110B例如以铰链式相互连结，为了内部的维护等，上部炉体110A构成为，能够相对于下部炉体110B单侧开闭。在本实施方式中，为了防止炉内空气从上部炉体110A与下部炉体110B的叠合面泄漏，如图1所示，在上部炉体110A及下部炉体110B的至少某个设置衬垫10。衬垫10能够由任意的封闭材料形成，例如由硅海绵构成。在本实施方式中，具体而言，沿着将运入口120与运出口130相连的方向（基板的运送方向），在下部炉体110B的开口部的两端设置衬垫10。由此，在上部炉体110A及下部炉体110B关闭的状态下，能够防止炉内空气泄漏，所以在基板的加热过程中，能够抑制在炉体110的内部产生的焊剂烟也向炉体110的外部流出。另外，衬垫10也可以设于上部炉体110A。

如上述那样，在本实施方式那样的回流装置100中，衬垫10随着炉内空气被加热而劣化。除此以外，如果焊剂烟附着于衬垫10，则使衬垫10腐蚀。这样发生了因热造成的劣化或因焊剂烟的附着造成的腐蚀等异常的衬垫10有可能产生炉内空气的泄漏。对此，可以考虑测量炉体110的处理室110D内的特定的气体的浓度，检测炉内空气的泄漏，但到在衬垫10发生异常结果判断炉内的特定的气体的浓度是否达到规定的值为止有可能需要时间。

所以，在有关本实施方式的回流装置100中，用衬垫10形成被从处理室110D隔离的密闭空间，由此更迅速地检测衬垫10的异常。图3是有关本实施方式的衬垫10的俯视图。图4是图3的向视4－4的衬垫10的剖视图。如图3及图4所示，本实施方式的衬垫10具有第1密封部12、第2密封部14和固定部16。第1密封部12、第2密封部14及固定部16以沿着将图1所示的运入口120与运出口130相连的方向（基板的运送方向）的方式，在上部炉体110A及下部炉体110B的开口部的两端的各自延伸。第1密封部12和第2密封部14相互离开而配置，固定部16位于其之间。

如图4所示，第1密封部12和第2密封部14分别具有与上部炉体110A接触的第1密封面12a及第2密封面14a。如图4所示，在本实施方式中，第1密封面12a及第2密封面14a的截面呈半圆形状。并不限于此，第1密封面12a及第2密封面14a的截面可以具有凸状的任意的形状。

也可以使第1密封部12和第2密封部14的厚度及形状分别不同，但如图4所示，在本实施方式中，第1密封部12及第2密封部14具有大致相同的厚度及大致相同的形状。由此，当将炉体110关闭时，在第1密封部12和第2密封部14作用大致均等的压力，结果，能够使第1密封部12和第2密封部14的劣化的程度更均等。

固定部16是与第1密封部12及第2密封部14结合的板状部分。换言之，固定部16起到将第1密封部12与第2密封部14一体地结合的功能。固定部16位于第1密封部12与第2密封部14之间，在与第1密封部12及第2密封部14相同的方向上延伸。如图3所示，固定部16具有多个贯通孔16a。如后述那样，通过将推式铆钉插入至贯通孔16a，能够将衬垫10相对于炉体110可拆装地固定。

此外，如图4所示，固定部16比第1密封部12及第2密封部14薄。由此，能够防止配置于固定部16的推式铆钉在炉体110的封闭时成为比第1密封部12和第2密封部14高地突出的状态，构成为，使得不在物理上给炉体110的封闭带来影响。

接着，对将图3及图4所示的衬垫10向炉体110安装的次序进行说明。图5A至图5C是表示使用推式铆钉安装衬垫10的次序的图。在图5A至图5C中，描绘了炉体110的一部分，在炉体110的对应部位设有将推式铆钉插入的孔110C。如图5A所示，推式铆钉20具有销21和铆钉主体25。销21具有头部22和轴部23。轴部23具有锥状部分，以使其直径朝向销21的前端逐渐扩大。铆钉主体25具有凸缘部26和从凸缘部26延伸的脚部27。凸缘部26具有能够将销21插入的孔，脚部27被形成为大致圆筒状，以使销21能够插入。在脚部27，在销21的前端侧的端部具有切口部27a。

为了将衬垫10向炉体110安装，首先，将衬垫10配置于炉体110，如图5A所示，将推式铆钉20向衬垫10的贯通孔16a及炉体110的孔110C插入。在图5A所示的状态下，衬垫10还没有被固定于炉体110。

接着，如图5B所示，例如操作者将销21的头部22相对于铆钉主体25推入。此时，通过销21的轴部23，铆钉主体25的脚部27扩径，将铆钉主体25的脚部27相对于炉体110的孔110C的内周面推压。由此，推式铆钉20被相对于炉体110固定。衬垫10被铆钉主体25的凸缘部26向炉体110推压。由此，衬垫10被推式铆钉20固定于炉体110。

当将衬垫10从炉体110拆卸时，如图5C所示，将推式铆钉20的销21进一步朝向前端推入。结果，通过销21的比较细径的部分位于铆钉主体25的内侧，铆钉主体25的脚部27的直径被缩小（成为笔直状态）。在此状态下，通过将推式铆钉20从衬垫10的贯通孔16a及炉体110的孔110C拔出，衬垫10的固定被解除。

如以上说明，衬垫10被推式铆钉20相对于炉体110可拆装地固定。由于推式铆钉20能够由操作者容易地拆装，所以能够容易地将衬垫10相对于炉体110拆装。此外，在本实施方式中，通过将推式铆钉20向衬垫10的贯通孔16a插入，能够使凸缘部26与衬垫10直接接触，将衬垫10固定于炉体110。进而，通过从该固定的状态将推式铆钉20的销21进一步朝向前端推入、将推式铆钉20从衬垫10的贯通孔16a及炉体110的孔110C拔出，衬垫10的固定被解除。由此，与以往的借助螺纹件或粘合剂的固定方法相比，能够使衬垫10的安装作业性及衬垫10的更换的维护性改善。

第1密封部12及第2密封部14也可以代替用推式铆钉20固定而被用任意的粘接剂固定于炉体110。此外，在此情况下，也可以没有固定部16的贯通孔16a，也可以将固定部16自身排除。即，也可以将第1密封部12和第2密封部14作为分别独立的部件而用任意的粘接剂固定于炉体110。

参照图3，回到衬垫10的说明。如图3所示，衬垫10还具有第3密封部42和第4密封部44。图6是图3的向视6－6的衬垫10的侧视图。图7是向视7－7的衬垫10的侧视图。第3密封部42及第4密封部44被配置在第1密封部12与第2密封部14之间，构成为，将第1密封部12与第2密封部14之间密封。第3密封部42及第4密封部44与第1密封部12及第2密封部14同样，可以由任意的封闭材料形成，例如由硅海绵构成。第3密封部42及第4密封部44可以具有能够将第1密封部12与第2密封部14之间密封的任意的形状。在图6及图7所示的例子中，第3密封部42及第4密封部44具有将第1密封部12与第2密封部14的间隙填充那样的形状。

如图3所示，第3密封部42及第4密封部44相互离开而配置。在图3所示的例子中，第3密封部42被配置在第1密封部12与第2密封部14各自的一方的端部（图中下侧端部）之间，第4密封部44被配置在第1密封部12与第2密封部14各自的另一方的端部（图中上侧端部）之间。由此，能够使密闭空间S1沿着基板运送方向变长，所以能够检测第1密封部12和第2密封部14的大致整体的异常。

如图3所示，在第1密封部12和第2密封部14相互离开、并且第3密封部42和第4密封部44相互离开的同时，将第1密封部12与第2密封部14之间密封，从而当将炉体110关闭时，由炉体110和衬垫10划定密闭空间S1。即，在图3所示的例子中，至少通过炉体110、第1密封部12、第2密封部14、第3密封部42及第4密封部44确定密闭空间S1。该密闭空间S1被从炉体110的处理室110D隔离，成为独立的空间。在本实施方式中，由于衬垫10包括第1密封部12、第2密封部14、第3密封部42、第4密封部44多个密封部，所以即使某个密封部劣化，也能够借助其他密封部维持炉体110的密封。

回流装置100还具有测量装置30和气体供给装置32。测量装置30及气体供给装置32也可以作为与图1所示的测量装置30及气体供给装置32独立的装置设置，但优选的是与它们共通。由此，能够使回流装置100的零件数减少。气体供给装置32构成为，将氮等非活性气体（相当于第1气体的一例）向密闭空间S1内供给。气体供给装置32包括气体源，经由供给管32a向密闭空间S1供给气体。在图3所示的例子中，供给管32a的一部分穿过第4密封部44而位于密闭空间S1内。另外，气体供给装置32供给的气体并不限于非活性气体，也可以是任意的气体，但为了即使在充满于密闭空间S1内的气体泄漏到处理室110D内的情况下也抑制给处理室110D内的环境带来影响，优选的是氮等非活性气体。

测量装置30测量密闭空间S1内的气体的压力或浓度。测量装置30例如也可以是测量密闭空间S1内的压力的压力传感器。或者，测量装置30例如也可以是测量氧（相当于第2气体的一例）等气体的浓度的气体浓度传感器。作为氧浓度传感器，例如可以采用第一热研株式会社制的EcoaZ EZY系列。在图3所示的例子中，测量装置30被配置在密闭空间S1的外部，与测量装置30连接的连通管30a穿过第4密封部44延伸至密闭空间S1的内部。测量装置30构成为，能够经由连通管30a抽吸密闭空间S1内的气体而测量浓度，将测量数据向控制装置140等发送。

如图7所示，第4密封部44具有与测量装置30连接的连通管30a穿过的配管孔44a、以及气体供给装置32的供给管32a穿过的配管孔44b。配管孔44a通过具有比连通管30a的直径稍小的直径，能够抑制密闭空间S1内的气体从连通管30a与配管孔44a之间泄漏。此外，通过配管孔44b具有比气体供给装置32的供给管32a的直径稍小的直径，能够抑制密闭空间S1内的气体从供给管32a与配管孔44b之间泄漏。另外，第4密封部44也可以不具备配管孔44a和配管孔44b。在此情况下，可以以穿过第4密封部44与第1密封部12、第2密封部14、第3密封部42或固定部16之间的方式分别配置连通管30a及供给管32a。在将炉体110关闭时，通过第1密封部12、第2密封部14、第3密封部42、第4密封部44压缩变形，不再有连通管30a及供给管32a与衬垫10的间隙，能够抑制密闭空间S1内的气体泄漏。或者，连通管30a及供给管32a也可以以穿过第1密封部12、第2密封部14、第3密封部42或固定部16的某个的方式分别配置。即，只要能够在维持密闭的原状下将连通管30a和供给管32a连接到密闭空间S1内，连通管30a及供给管32a的位置是任意的。另外，也可以将测量装置30配置在密闭空间S1内。

另外，形成于固定部16的贯通孔16a通过推式铆钉20紧密地嵌合到贯通孔16a内，能够防止密闭空间S1内的气体从贯通孔16a的泄漏。

接着，对衬垫10的异常的检测方法进行说明。图8是表示有关本实施方式的回流装置100的衬垫10的异常的检测方法的流程图。图8表示测量装置30是压力传感器的情况下的例子。首先，将炉体110关闭（步骤S801）。由此，由炉体110和衬垫10划定被从炉体110的处理室110D隔离的密闭空间S1。接着，由气体供给装置32将氮等非活性气体经由供给管32a向密闭空间S1注入（步骤S802）。非活性气体既可以以预先决定的注入量向密闭空间S1注入，在测量装置30是压力传感器的情况下，也可以进行注入以使密闭空间S1的压力达到规定的压力。

如果非活性气体被供给到密闭空间S1内，则测量装置30经由连通管30a在任意的时点（timing）测量密闭空间S1内的压力（步骤S803）。将测量装置30测量的测量数据例如向控制装置140发送。此外，也可以向与控制装置140独立的外装的计算机发送测量数据。

接着，在从气体供给装置32注入非活性气体起经过规定时间后，判定由测量装置30测量出的压力是否达到了规定的阈值（步骤S804）。具体而言，控制装置140将测量装置30测量出的压力的值与预先决定的阈值比较，判定测量出的压力的值是否上升到上述阈值。当判定为在经过规定时间后上述压力的值没有达到上述阈值时（步骤S804，否），推测为密闭空间S1内的气体泄漏到密闭空间S1的外部。

在控制装置140具有能够显示由测量装置30测量出的值的显示器的情况下，也可以将该测量出的值显示于显示器。在此情况下，也可以操作者确认显示于显示器的值，操作者判定该值是否达到了预先决定的阈值。

当由测量装置30判定为在经过规定时间后压力没有达到规定的阈值时（步骤S804，否），控制装置140通过设于回流装置100的未图示的报知装置，向操作者报知在衬垫10发生了异常（步骤S805）。报知装置例如可以是在控制装置140显示上述异常的显示装置、通过声音或振动向操作者通知上述异常的警报装置。另外，在步骤S804中，在操作者判定显示于显示器的测量值是否达到预先决定的阈值的情况下，也可以将步骤S805省略。另一方面，当判定为上述压力的值达到上述阈值、即上述压力的值上升至上述阈值时（步骤S804，是），认为在衬垫10没有异常，重复步骤S803及步骤S804。

图9是表示有关本实施方式的回流装置100的衬垫10的异常的检测方法的另一流程图。图9表示测量装置30是气体浓度传感器的情况下的例子。在图9中，对于与图8所示的处理相同的处理赋予相同的附图标记而省略说明。

如果在步骤S802中非活性气体被供给到密闭空间S1内，则测量装置30经由连通管30a在任意的时点测量密闭空间S1内的特定的气体的浓度（步骤S903）。具体而言，在测量装置30是氧浓度传感器的情况下，测量装置30测量密闭空间S1内的氧的浓度。将测量装置30测量出的测量数据例如向控制装置140发送。此外，也可以将测量数据向与控制装置140独立的外装的计算机发送。

接着，在从气体供给装置32将非活性气体注入起经过规定时间后，判定由测量装置30测量出的气体的浓度是否达到了规定的阈值（步骤S904）。具体而言，在测量装置30是氧浓度传感器的情况下，控制装置140将测量装置30测量出的氧浓度的值与预先决定的阈值比较，判定是否达到了该阈值。当判定为氧浓度的值没有达到上述阈值时（步骤S904，否），重复步骤S903及步骤S904的处理。另一方面，当判定为氧浓度的值达到上述阈值、即氧浓度的值上升到上述阈值时（步骤S904，是），推测为密闭空间S1的外部的氧侵入到密闭空间S1内而氧浓度上升。

此外，测量装置30也可以是测量与由气体供给装置32向密闭空间S1注入的气体相同种类的气体（相当于第2气体的一例）的传感器。即，例如在气体供给装置32将氮向密闭空间S1供给的情况下，测量装置30也可以是氮浓度传感器。在此情况下，控制装置140将测量装置30测量出的氮浓度的值与预先决定的阈值比较，判定是否达到了该阈值。在判定为氮浓度的值没有达到上述阈值时（步骤S904，否），重复进行步骤S903及步骤S904的处理。另一方面，当判定为氮浓度的值达到了上述阈值、即氮浓度的值下降到上述阈值时（步骤S904，是），推测为密闭空间S1内的氮被泄漏到密闭空间S1的外部。

当由测量装置30判定为气体的浓度达到了规定的阈值时（步骤S904，是），控制装置140通过设于回流装置100的未图示的报知装置，向操作者报知在衬垫10发生了异常（步骤S805）。

接着，说明有关本实施方式的衬垫10的另一例。图10是有关本实施方式的衬垫10的另一例的俯视图。图10所示的衬垫10与图3所示的衬垫10相比，具有将第1密封部12与第2密封部14之间密封的第5密封部45、第6密封部46、第7密封部47。另外，虽然图示省略，但也可以具有将第1密封部12与第2密封部14之间密封的另外的密封部。第3密封部42、第4密封部44、第5密封部45、第6密封部46、第7密封部47相互离开。

在图10所示的衬垫10中，通过由第3密封部42、第4密封部44、第5密封部45、第6密封部46及第7密封部47将第1密封部12与第2密封部14之间密封，当将炉体110关闭时，由炉体110和衬垫10划定多个密闭空间S2、S3、S4、S5。换言之，也可以说在图10所示的衬垫10中，图3所示的衬垫10的密闭空间S1被第5密封部45、第6密封部46、第7密封部47分割。

如图10所示，在密闭空间S2、S3、S4、S5分别连接着连通管30a及供给管32a。在图示的例子中，在密闭空间S2中，连通管30a及供给管32a穿过第4密封部44被连接到密闭空间S2内，在密闭空间S3、S4、S5中，连通管30a及供给管32a穿过固定部16被连接到密闭空间S3、S4、S5内。连通管30a及供给管32a只要与各密闭空间S2、S3、S4、S5的内部连通，其位置没有限制。各个连通管30a既可以与单一的测量装置30连接，也可以分别与另外的测量装置30连接。各个供给管32a既可以与单一的气体供给装置32连接，也可以分别与另外的气体供给装置32连接。对于密闭空间S2、S3、S4、S5，能够经由各个供给管32a从气体供给装置32供给氮等非活性气体。此外，密闭空间S2、S3、S4、S5内的气体可以经由各个连通管30a由测量装置30测量压力或浓度。

根据图10所示的例子，通过由测量装置30测量密闭空间S2、S3、S4、S5的气体的压力或浓度，能够检测第1密封部12及第2密封部14的基板运送方向上的哪个部分破损了。具体而言，例如在由测量装置30在密闭空间S3中的气体的压力或浓度检测到异常的情况下，能够检测出在划定密闭空间S3的第1密封部12或第2密封部14有破损。

如以上说明，根据有关本实施方式的回流装置100，在氮等非活性气体充满于密闭空间S1内之后，能够测量密闭空间S1内的压力或气体的浓度，所以当密闭空间S1内的压力或气体的浓度达到了规定的阈值时，能够掌握在衬垫10发生了异常。此外，由衬垫10划定的密闭空间S1除了以将处理室110D和炉外分隔的方式取位以外，还容易使其体积比处理室110D小，所以能够在比如以往技术那样处理室110D内的氧等气体浓度呈现异常靠前的阶段，检测到比处理室110D狭小的密闭空间S1中的气体的泄漏，结果，能够更迅速地检测衬垫10的异常。

此外，根据有关本实施方式的回流装置100，能够由图1所示的测量装置30监视处理室110D的氧浓度的异常的有无，并且由图3、图10所示的测量装置30监视衬垫10的异常。由此，在检测到处理室110D的氧浓度的异常的情况下，通过监视衬垫10的异常的有无，能够判别处理室110D的氧浓度的异常的原因是否是由衬垫10造成的。因而，在衬垫10没有异常的情况下，能够判别出处理室110D的氧浓度的异常的原因是因为其他的理由，所以能够容易地进行氧浓度的异常的原因的追究。

在本实施方式中，关于回流装置100，以上部炉体110A能够相对于下部炉体110B单侧开闭的结构进行了说明，但本发明并不限定于前述结构。例如，在如国际公开第2018/225437号所公开那样的、上部炉体110A借助升降机构而上下开闭那样的焊接装置中，也能够使用本发明的结构。进而，本发明也能够用于关于运送输送机具有两个以上的运送输送机的焊接装置。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但上述发明的实施方式是用来使本发明的理解变得容易的，并不限定本发明。当然本发明能够不脱离其主旨而进行变更、改良，并且在本发明中包含其等价物。此外，在能够解决上述课题的至少一部分的范围、或起到效果的至少一部分的范围中，能够进行权利要求书及说明书所记载的各构成要素的任意的组合或省略。

附图标记说明

12…第1密封部

14…第2密封部

30…测量装置

32…气体供给装置

42…第3密封部

44…第4密封部

100…回流装置

110…炉体

110D…处理室

140…控制装置

S1、S2、S3、S4、S5…密闭空间。

Claims (10)

1.一种焊接装置，其特征在于，

具备：

炉体，具备对基板进行处理的处理室；

衬垫，设在前述炉体的至少一部分，构成为将前述炉体密封；

密闭空间，被从前述处理室隔离，由前述炉体和前述衬垫划定；

气体供给装置，构成为向前述密闭空间内供给第1气体；以及

测量装置，构成为测量前述密闭空间内的压力或前述密闭空间内的第2气体的浓度。

2.如权利要求1所述的焊接装置，其特征在于，

前述第1气体是氮。

3.如权利要求1或2所述的焊接装置，其特征在于，

前述第2气体是氧。

4.如权利要求1所述的焊接装置，其特征在于，

前述第1气体和前述第2气体是相同种类的气体。

5.如权利要求1或2所述的焊接装置，其特征在于，

前述衬垫包括：

第1密封部；

第2密封部，与前述第1密封部离开而配置；

第3密封部，将前述第1密封部与前述第2密封部之间密封；以及

第4密封部，将前述第1密封部与前述第2密封部之间密封，与前述第3密封部离开而配置；

前述密闭空间至少由前述炉体、前述第1密封部、前述第2密封部、前述第3密封部及前述第4密封部划定。

6.如权利要求5所述的焊接装置，其特征在于，

前述第3密封部被配置在前述第1密封部和前述第2密封部各自的一方的端部之间；

前述第4密封部被配置在前述第1密封部和前述第2密封部各自的另一方的端部之间。

7.如权利要求1或2所述的焊接装置，其特征在于，

具有能够与前述测量装置通信的控制装置；

前述控制装置构成为，判定从前述测量装置接收到的前述压力或前述浓度是否达到了规定的阈值。

8.一种检测方法，是衬垫的异常的检测方法，所述衬垫将具备对基板进行处理的处理室的炉体密封，该检测方法的特征在于，

向被从前述处理室隔离的、由前述炉体和前述衬垫划定的密闭空间供给第1气体；

测量前述密闭空间内的压力或第2气体的浓度；

判定前述压力或前述第2气体是否达到了规定的阈值。

9.如权利要求8所述的检测方法，其特征在于，

前述第1气体是氮。

10.如权利要求8或9所述的检测方法，其特征在于，

前述第2气体是氧。

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