JP5125059B2 - ガラス基板の搬送方法 - Google Patents
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Description
次に、本発明の基板の搬送方法における、基板の搬送経路における基板温度および基板が到達する直前のローラー表面温度との関係について述べる。ここでは、搬送される基板の時間経過に伴って変化する温度プロファイルを図21と同様としつつ、それぞれのローラー表面温度は、接触する直前の基板の表面最高温度:Tmax、表面最低温度:Tminの範囲に可能な限り近い温度となる様、温度制御を行って搬送を行った。このようにして搬送を行った場合の基板搬送経路におけるローラー表面温度分布図を図8(a)に示し、基板を表面温度を検出するローラーの位置関係を示した図を図8(b)に示す。
実施の形態1に示した通り、従来の基板の搬送方法では基板と基板が到達する直前のローラーとの温度差が大きくなるため、薄型の基板を基板割れが生じることなく搬送することはできないのに対し、本発明の基板の搬送方法では、「搬送経路中における基板とローラーとの最大温度差」を100℃とすることが可能となり、肉厚が5mm以下の薄型基板においても基板割れを生じさせることなく搬送することが可能となった。
実施の形態1及び2では、ローラーの加熱・冷却手段として図2〜図5に示す加熱冷却手段3a、3bを設けた場合を示したが、ローラー1内部に加熱冷却手段を配置した場合においても同様の内容で実施した。ローラー内部に加熱冷却手段を配置した断面図を図10に示し、棒状のIRヒーター8をローラー1内部に挿入した挿入型IRヒーター斜視図を図11に示す。ローラー1内部に棒状のIRヒーター8を挿入することで、ローラー1の所望の位置を部分的にローラー1内部から加熱することが可能となった。また、ローラー断面図である図12に示すように、棒状のIRヒーター8表面に複数の冷却エアー吐出口11を設け、棒状IRヒーター8の内部から冷却エアーを供給する構造とした。これにより、ローラー1の所望の位置を冷却することが可能となった。また、図10〜12ではローラー1内部から非接触でローラー1を加熱冷却する方式を示したが、ブラス機構を利用したことを示した図である図13に示すように、ローラー1内部に挿入したヒーター(発熱体)12からブラシ機構13を利用し、熱伝導によりローラー1を加熱しても良い。この場合、ヒーター温度をローラー表面温度よりも低下させることで、ブラシ機構による熱伝導により、逆にローラー1を冷却することが可能になる。また、ヒーター12内部にローラー1を冷却するための冷却用エアー10を供給できる冷却用エアー供給配管9を設け、冷却エアー吐出口11から吐出することで、ローラー1を冷却してもよい。
次に、実施の形態1〜3に示した本発明の基板の搬送方法に用いる搬送装置に、ローラーの温度を検出する手段14と、基板表面温度を検出する手段15aと、基板の高さを検出する手段15bを設けた。具体的には、ローラー表面温度と基板表面温度を検出する手段として放射温度計を用い、基板高さを検出する手段としては、レーザー変位形を用いた。
2 基板
3a 加熱冷却手段
3b 加熱冷却手段
4 基板加熱用ヒーター
5 加熱室
6 加熱室壁
7 駆動部
8 IRヒーター
9 冷却用エアー供給配管
10 冷却用エアー
11 冷却エアー吐出口
12 ヒーター(発熱体)
13 ブラシ機構
14 ローラー表面温度検出手段
15a 基板温度検出手段
15b 基板高さ検出手段
16 制御手段
17 バルブ
18 局部的に太さの異なるローラー
19 破損基板
Claims (3)
- 複数のローラー上に載置されたガラス基板が、前記ローラーの回転により搬送されるガラス基板の搬送方法において、
前記ガラス基板が到達する直前のローラーの表面温度と前記ガラス基板の表面温度との温度差を検出し、前記ガラス基板の表面最高温度をTmax、表面最低温度をTminとし、前記ガラス基板が到達する直前のローラーの表面最高温度をTrmax、表面最低温度をTrminとし、Tmax≠Tminとしたとき、|Trmax−Tmin|<100℃および|Tmax−Trmin|<100℃となるように、前記ガラス基板が到達する直前のローラーを加熱または冷却して前記ガラス基板を搬送することを特徴とするガラス基板の搬送方法。 - 前記ガラス基板が到達する直前のローラーの表面温度と前記ガラス基板の表面温度の中で、最高温度と最低温度との温度差が100℃より小さくなるまで前記ローラーを加熱または冷却することを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の搬送方法。
- 搬送経路に不要ガラス基板がある場合、前記不要ガラス基板が接しているローラーの表面温度と前記不要ガラス基板の表面温度との温度差を、前記不要ガラス基板の表面最高温度をTmax、表面最低温度をTminとし、前記不要ガラス基板が接しているローラーの表面最高温度をTrmax、表面最低温度をTrminとしたとき、|Trmax−Tmin|≧100℃および|Tmax−Trmin|≧100℃として、前記不要ガラス基板を破砕して搬送経路から除去することを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板の搬送方法。
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