CN110608855A - 一种靶件生产过程中检测漏气的装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种靶件生产过程中检测漏气的装置，包括呈空心圆台状的检测罩、与检测罩相连通的压缩气罐、气体压力检测传感器、报警器和控制器，检测罩与靶件密封连接且两者之间形成环形空腔，空腔内设有沿检测罩圆周方向均布有若干气体压力检测传感器，气体压力检测传感器、报警器与控制器电连接；检测罩为若干个，相互并列设置在靶件上用于将靶件焊接点完全包覆；检压缩气罐包括储气罐和压缩机，储气罐的出口依次与压缩机、磁阀与检测罩内的空腔相连通；检测罩通过负压吸附部件与靶件密封连接；本发明具有结构简单，设计合理，能够精确测量生产装置是否存在漏点、漏点的位置，以及漏率的大小，操作方便，性能稳定，灵敏度高。
Description
技术领域
本发明属于漏气检测技术领域，尤其涉及一种靶件生产过程中检测漏气的装置。
背景技术
在半导体工业中，靶件是由符合溅射性能的靶材和与靶材结合、具有一定强度的背板构成。背板可以在所述靶材组件装配至溅射机台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。靶材组件是通过将靶材和背板材料焊接在一起形成的，需使其既可以可靠地安装在溅射机台上，同时又可以在磁场、电场作用下有效控制进行溅射。在溅射过程中，由于靶材的工作环境比较恶劣，如果靶材与背板之间的结合度较差，将导致靶材在受热条件下变形、开裂、并与结合的背板相脱落，使得溅射无法达到溅射均匀的效果，同时还可能会对溅射机台造成损伤。因此，靶件在抽真空之前，需要对靶件的气密性进行检漏很必要的。传统的密封检测工艺仅针对焊缝进行，例如渗透检测像生产装置内注入水，通过检测密封处(焊缝处)是否有水滴渗出，以确定漏点位置；再例如气密性实验为在其作业时，向靶件内通入检测气体进行检漏。虽然上述两种检漏方法存在一定程度上减少了靶件破损，但仍存在不足：1.采用第一种检漏方法，若漏点尺寸较小，则渗出的水滴很小，这样就很难发现水滴，进而造成遗漏，而且形成水滴需要较长的时间或很难形成水滴，也容易造成遗漏，最终在生产过程时出现漏水，影响产品质量，或者导致需要对靶件二次开腔维护，增加成本延误生产周期，存在密封性检测精度不高、检测时间长、易漏检和不易批量化检测的局限性；采用第二种方法检漏时，若有漏点，需要对靶件破真空维护，增加维护费用。
有鉴于此，特提出本发明。
发明内容
针对现有技术中存在的问题，本发明的目的是提供一种靶件生产过程中检测漏气的装置，结构简单，设计合理，能够精确测量生产装置是否存在漏点、漏点的位置，以及漏率的大小，操作方便，性能稳定，灵敏度高。
为了实现上述目的，本发明提供的一种靶件生产过程中检测漏气的装置，包括呈空心圆台状的检测罩、与检测罩相连通的压缩气罐、气体压力检测传感器、报警器和控制器，所述检测罩与靶件密封连接且两者之间形成环形空腔，所述空腔内设有沿检测罩圆周方向均布有若干气体压力检测传感器，所述气体压力检测传感器、报警器与控制器电连接。
优选地，所述检测罩为若干个，相互并列设置在靶件上用于将靶件焊接点完全包覆；
优选地，所述检测罩与压缩气罐相连通的管路上设有与控制器电连接的电磁阀；
优选地，所述压缩气罐包括储气罐和压缩机，储气罐的出口依次与压缩机、电磁阀与检测罩内的空腔相连通；
优选地，所述检测罩通过负压吸附部件与靶件密封连接，所述负压吸附部件通过负压产生机构使检测罩的空腔内产生负压吸附住靶件；
优选地，所述负压吸附部件与储气罐相连通。
本发明提供的一种靶件生产过程中检测漏气的装置，具有如下有益效果：
本发明有效避免了现有技术存在仅在抽真空之间对靶件进行漏气检测，而忽略生产过程中存在漏点导致产品合格率低，工作效率低的技术问题。各部件那本申请特定的连接关系和作用关系组合在一起形成靶件生产过程中检测漏气的装置，结构简单，设计合理，能够精确测量生产装置是否存在漏点、漏点的位置，同时不会对靶件生产产生影响，提高了生产质量和生产效率，操作方便，性能稳定，灵敏度高。
附图说明
图1为本发明提供的一种靶件生产过程中检测漏气的装置的结构示意图。
图中：
1.靶件 2.检测罩 3.气体压力检测传感器 4.控制器 5.储气罐 6.压缩机 7.电磁阀 8.负压吸附部件。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本发明做进一步说明，以助于理解本发明的内容。
如图1所示，为本发明提供的一种靶件生产过程中检测漏气的装置，包括呈空心圆台状的检测罩2、与检测罩2相连通的压缩气罐、气体压力检测传感器3、报警器和控制器4，检测罩2与靶件1密封连接且两者之间形成环形空腔，检测罩2可以根据需求设计为一整体或由两个1/2半圆结构拼接而成，空腔内设有沿检测罩圆周方向均布有若干气体压力检测传感器3，气体压力检测传感器3、报警器与控制器4电连接。检测罩2可跟靶件焊接点的需求设置若干个，相互并列设置在靶件1上用于将靶件焊接点完全包覆。检测罩2与压缩气罐相连通的管路上设有与控制器4电连接的电磁阀7。压缩气罐包括储气罐5和压缩机6，储气罐5的出口依次与压缩机6、电磁阀7与检测罩2内的空腔相连通。检测罩2通过负压吸附部件8与靶件1密封连接，负压吸附部件8通过负压产生机构使检测罩2的空腔内产生负压吸附住靶件1，负压吸附部件8可以与储气罐5相连通。
本发明的工作原理：首先，将检测罩2套设在靶件1的焊接点位置密封连接，例如通过负压吸附部件8与靶件1密封连接，负压吸附部件8通过负压产生机构使检测罩2的空腔内产生负压吸附住靶件1，或者通过密封圈与靶件1密封连接。通过然后在生产过程中对处于真空状态的靶件1检漏时，通过检测罩2内的气体压力检测传感器3实时检测环形空腔的气压变化状况，当气体压力检测传感器3所检测的气压出现浮动时，说明靶件1存在漏点，气体压力传感器3将参数信息传递给控制器4，控制器4通过电磁阀7打开压缩气罐向检测罩2内通入一定压力气体，以增大靶件1内的压强，使靶件1还原至工作状态，即靶件1内的压强达到工作状态压强，以使靶件1处于工作压强状态下进行检漏，这样能够提高检漏的精准度，防止漏检的现象，同时控制器4与显示器和报警器连接，显示具体漏点位置提醒工作人员方便后期对漏点进行修复，气体压力检测传感器3性能稳定，灵敏度高，能够较准确的检测靶管的漏点位置及相对应的漏率大小，同时，不会因为漏点的存在使靶件生产质量降低，极大程度提高产品质量和工作效率。
本文中应用了具体个例对发明构思进行了详细阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离该发明构思的前提下，所做的任何显而易见的修改、等同替换或其他改进，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种靶件生产过程中检测漏气的装置，其特征在于，包括呈空心圆台状的检测罩、与检测罩相连通的压缩气罐、气体压力检测传感器、报警器和控制器，所述检测罩与靶件密封连接且两者之间形成环形空腔，所述空腔内设有沿检测罩圆周方向均布有若干气体压力检测传感器，所述气体压力检测传感器、报警器与控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的一种靶件生产过程中检测漏气的装置，其特征在于，所述检测罩为若干个，相互并列设置在靶件上用于将靶件焊接点完全包覆。
3.根据权利要求2所述的一种靶件生产过程中检测漏气的装置，其特征在于，所述检测罩与压缩气罐相连通的管路上设有与控制器电连接的电磁阀。
4.根据权利要求3所述的一种靶件生产过程中检测漏气的装置，其特征在于，所述压缩气罐包括储气罐和压缩机，储气罐的出口依次与压缩机、电磁阀与检测罩内的空腔相连通。
5.根据权利要求4所述的一种靶件生产过程中检测漏气的装置，其特征在于，所述检测罩通过负压吸附部件与靶件密封连接，所述负压吸附部件通过负压产生机构使检测罩的空腔内产生负压吸附住靶件。
6.根据权利要求5所述的一种靶件生产过程中检测漏气的装置，其特征在于，所述负压吸附部件与储气罐相连通。
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