CN207556773U - 一种气密性检测设备 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种气密性检测设备，本实用新型提供的气密性检测设备，通过密封装置与基座密封贴合形成密封空间，并通过抽真空装置对密封空间抽真空，然后通过气体检测装置检测密封空间之外气体是否进入密封空间之内，以此判定基座的气密性；本实用新型结构简单，操作方便，能实现每次更换靶材之后的基座的离线检漏，而且，能够快速实现密封空间的抽真空和破真空，大大缩短生产周期，节省时间，以及可减少防化服的使用，节省资源，减少环境污染；另外，通过滚轮可实现灵活移动，方便使用。

Description

一种气密性检测设备
技术领域
本实用新型涉及镀膜领域，尤其涉及一种气密性检测设备。
背景技术
国内外真空镀膜设备的靶材检漏技术，是基于腔室在线抽真空氦检漏。由于靶材更换周期较短，每次更换靶材之后都需要对安装靶材的基座进行检漏，以确保镀膜设备真空度达标。
目前，针对于大型的真空连续投产不间断的镀膜设备，每次抽真空和破真空所费的时间都需大约1-2小时，而基于每次更换硫化镉平面靶材后的基座的泄露概率约为30％，且每次更换硫化镉平面靶材需3人穿着防化服进行更换和保养，且为员工安全，防化服都是一次性。如在线检漏未能通过，需重新利用真空镀膜设备对基座重复抽真空、破真空及拆装靶材，如此将浪费太多的时间、人力、物力、财力。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种气密性检测设备，以解决现有技术中的问题，方便对安装靶材的基座进行气密性检测。
本实用新型提供了一种气密性检测设备，用于检测安装有靶材的基座的气密性，所述气密性检测设备包括：
支架；
用于与所述基座密封贴合的密封装置，所述密封装置与所述基座之间形成密封空间，所述密封装置设置在所述支架上；
用于对所述密封空间抽真空的抽真空装置；
用于检测所述密封空间内气体的气体检测装置。
作为优选，所述密封装置包括密封盖，所述密封盖的周缘用于与所述基座的周缘密封贴合。
作为优选，所述密封盖的周缘设置有密封圈，且所述密封圈位于所述密封盖与所述基座之间。
作为优选，所述抽真空装置包括顺次连接的机械泵、波纹管、分子泵，所述分子泵用于对所述密封空间抽真空。
作为优选，所述抽真空装置还包括气动蝶阀，所述气动蝶阀设置在所述分子泵上，且所述气动蝶阀与所述密封空间连接。
作为优选，所述密封装置上设置有与所述密封空间连接的第一阀门，所述第一阀门用于对所述密封空间破真空。
作为优选，所述密封装置上设置有与所述密封空间连接的第二阀门，所述第二阀门与所述气体检测装置连接。
作为优选，所述支架包括至少两根竖直梁，两根竖直梁之间通过横梁连接，所述横梁可沿所述竖直梁上下运动，所述密封装置设置在所述横梁上，且所述密封装置可沿所述横梁往复运动。
作为优选，所述气密性检测设备还包括设置在所述竖直梁底部的多个滚轮。
作为优选，所述气密性检测设备还包括控制器，所述控制器与所述抽真空装置连接，所述控制器上设置有操作界面。
本实用新型提供的气密性检测设备，通过密封装置与基座密封贴合形成密封空间，并通过抽真空装置对密封空间抽真空，然后通过气体检测装置检测密封空间之外气体是否进入密封空间之内，以此判定基座的气密性；本实用新型结构简单，操作方便，能实现每次更换靶材之后的基座的离线检漏，而且，能够快速实现密封空间的抽真空和破真空，大大缩短生产周期，节省时间，以及可减少防化服的使用，节省资源，减少环境污染；另外，通过滚轮可实现灵活移动，方便使用。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的气密性检测设备的结构示意图；
图2为本实用新型又一实施例提供的气密性检测设备的结构示意图。
附图标记说明：
1-支架，11-竖直梁，12-横梁，13-滚轮，2-密封装置，3-抽真空装置，
31-分子泵，32-波纹管，33-机械泵，34-气动蝶阀，4-气体检测装置，
5-第一阀门，6-控制器。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
如图1所示，也可参见图2，本实用新型实施例提供了一种气密性检测设备，用于检测安装有靶材的基座的气密性，所述气密性检测设备包括：
支架1；
用于与所述基座密封贴合的密封装置2，所述密封装置2与所述基座之间形成密封空间，所述密封装置2设置在所述支架1上；
用于对所述密封空间抽真空的抽真空装置3；
用于检测所述密封空间内气体的气体检测装置4。
其中，基座也称基座门，用来安装靶材，在具体工作时，为便于检测，一般在密封空间之外喷洒某种气体，如氦气，气体检测装置4即采用氦气检测仪，通过检测密封空间内在抽真空之后是否具有氦气，从而判断基座的气密性；一般靶材也位于该密封空间内。
作为优选，所述密封装置2包括密封盖，所述密封盖的周缘用于与所述基座的周缘密封贴合。作为优选，所述密封盖的周缘设置有密封圈，且所述密封圈位于所述密封盖与所述基座之间。
作为优选，所述抽真空装置3包括顺次连接的机械泵33、波纹管32、分子泵31，所述分子泵31用于对所述密封空间抽真空。作为优选，所述抽真空装置3还包括气动蝶阀34，所述气动蝶阀34设置在所述分子泵31上，且所述气动蝶阀34与所述密封空间连接。其中，气动蝶阀34的作用在于与密封空间连接，同时，还起到控制分子泵31开关或者开关程度的作用；一般将分子泵31直接安装在密封装置2背面，并且通过气动蝶阀34与密封空间连通。
作为优选，所述密封装置2上设置有与所述密封空间连接的第一阀门5，所述第一阀门5用于对所述密封空间破真空。其中，第一阀门5一般采用手动阀门，当需要破真空时，则打开第一阀门5，外部气体则通过第一阀门5进入密封空间，即可取下基座进行更换。
作为优选，所述密封装置2上设置有与所述密封空间连接的第二阀门，所述第二阀门与所述气体检测装置4连接。
作为优选，所述支架1包括至少两根竖直梁11，两根竖直梁11之间通过横梁12连接，所述横梁12可沿所述竖直梁11上下运动，所述密封装置2设置在所述横梁12上，且所述密封装置2可沿所述横梁12往复运动。
其中，横梁12与竖直梁11之间、密封装置2与横梁12之间的连接均为活动连接，连接的方式有多种，如通过卡扣、螺栓等，最终实现密封装置2沿横梁12左右往复运动、以及随横梁12一起沿竖直梁11在竖直方向上下移动，大大提高本实用新型的使用便利性，可针对不同的应该环境。
作为优选，所述气密性检测设备还包括设置在所述竖直梁11底部的多个滚轮13。滚轮13的设置使得本实用新型可灵活移动。
作为优选，所述气密性检测设备还包括控制器6，所述控制器6与所述抽真空装置3连接，所述控制器6上设置有操作界面。控制器6还可与气体检测装置4连接，统一控制各个部件协调动作，使用方便。
本实用新型提供的气密性检测设备，通过密封装置2与基座密封贴合形成密封空间，并通过抽真空装置3对密封空间抽真空，然后通过气体检测装置4检测密封空间之外气体是否进入密封空间之内，以此判定基座的气密性；本实用新型结构简单，操作方便，能实现每次更换靶材之后的基座的离线检漏，而且，能够快速实现密封空间的抽真空和破真空，每次抽真空和破真空所费的时间大约为3-5分钟，大大缩短生产周期，节省时间，以及可减少防化服的使用，节省资源，减少环境污染；另外，通过滚轮13可实现灵活移动，方便使用。
以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种气密性检测设备，用于检测安装有靶材的基座的气密性，其特征在于，所述气密性检测设备包括：
支架；
用于与所述基座密封贴合的密封装置，所述密封装置与所述基座之间形成密封空间，所述密封装置设置在所述支架上；
用于对所述密封空间抽真空的抽真空装置；
用于检测所述密封空间内气体的气体检测装置。
2.根据权利要求1所述的气密性检测设备，其特征在于，所述密封装置包括密封盖，所述密封盖的周缘用于与所述基座的周缘密封贴合。
3.根据权利要求2所述的气密性检测设备，其特征在于，所述密封盖的周缘设置有密封圈，且所述密封圈位于所述密封盖与所述基座之间。
4.根据权利要求1所述的气密性检测设备，其特征在于，所述抽真空装置包括顺次连接的机械泵、波纹管、分子泵，所述分子泵用于对所述密封空间抽真空。
5.根据权利要求4所述的气密性检测设备，其特征在于，所述抽真空装置还包括气动蝶阀，所述气动蝶阀设置在所述分子泵上，且所述气动蝶阀与所述密封空间连接。
6.根据权利要求1所述的气密性检测设备，其特征在于，所述密封装置上设置有与所述密封空间连接的第一阀门，所述第一阀门用于对所述密封空间破真空。
7.根据权利要求1所述的气密性检测设备，其特征在于，所述密封装置上设置有与所述密封空间连接的第二阀门，所述第二阀门与所述气体检测装置连接。
8.根据权利要求1-7任一项所述的气密性检测设备，其特征在于，所述支架包括至少两根竖直梁，两根竖直梁之间通过横梁连接，所述横梁可沿所述竖直梁上下运动，所述密封装置设置在所述横梁上，且所述密封装置可沿所述横梁往复运动。
9.根据权利要求8所述的气密性检测设备，其特征在于，所述气密性检测设备还包括设置在所述竖直梁底部的多个滚轮。
10.根据权利要求1-7任一项所述的气密性检测设备，其特征在于，所述气密性检测设备还包括控制器，所述控制器与所述抽真空装置连接，所述控制器上设置有操作界面。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109827719A (zh) * 2019-03-21 2019-05-31 中国地震局地震研究所 一种用于低温多引线接头的漏率检测装置
CN110608855A (zh) * 2019-10-21 2019-12-24 启迪蓝光(福建)新材料有限公司 一种靶件生产过程中检测漏气的装置

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112763144A (zh) * 2021-01-28 2021-05-07 苏州中正工程检测有限公司 一种全自动门窗检测设备
CN115127739A (zh) * 2022-08-31 2022-09-30 扬州君兴车业有限公司 冰箱油缸压缩机气缸体的气密性检测装置
CN115979540B (zh) * 2023-03-22 2023-05-23 江苏上田民防设备有限公司 一种人防门气密性测试装置
CN116164895B (zh) * 2023-04-26 2023-07-07 合肥通用机械研究院有限公司 一种真空泵气密性检测装置
CN116858442B (zh) * 2023-09-05 2023-11-14 山西阳煤千军汽车部件有限责任公司 一种汽车缸盖气密性检测装置及其使用方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3762212A (en) * 1971-07-15 1973-10-02 Advanced Technologies Inc Leak testing apparatus and methods
US4813268A (en) * 1987-03-23 1989-03-21 Superior Industries International, Inc. Leakage detection apparatus for drum wheels and method therefore
US6450515B1 (en) * 2000-10-10 2002-09-17 James F. Guth Clip-on wheels for pallets or other structures with runners
US8074491B2 (en) * 2009-02-11 2011-12-13 Seagate Technology Llc Monitoring gas leakage rates from hermetically sealed devices
JP5386319B2 (ja) * 2009-11-19 2014-01-15 株式会社アルバック 漏洩検知システム
CN201583388U (zh) * 2009-11-27 2010-09-15 无锡市四方制桶有限公司 钢桶氦气检漏设备
JP4815538B2 (ja) * 2010-01-15 2011-11-16 シーケーディ株式会社 真空制御システムおよび真空制御方法
US9097609B1 (en) * 2013-04-30 2015-08-04 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Hermetic seal leak detection apparatus with variable size test chamber
EP2994736B1 (de) * 2013-05-07 2019-07-10 Lüdolph Management GmbH Dichtheitsprüfanordnung und dichtheitsprüfverfahren
CN107543661B (zh) * 2016-07-22 2019-11-26 北京卫星环境工程研究所 灵敏度可调的真空检漏自动化系统

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109827719A (zh) * 2019-03-21 2019-05-31 中国地震局地震研究所 一种用于低温多引线接头的漏率检测装置
CN110608855A (zh) * 2019-10-21 2019-12-24 启迪蓝光(福建)新材料有限公司 一种靶件生产过程中检测漏气的装置

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