KR101377718B1 - 가스 누출 검출장치 - Google Patents

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KR101377718B1
KR101377718B1 KR1020130137155A KR20130137155A KR101377718B1 KR 101377718 B1 KR101377718 B1 KR 101377718B1 KR 1020130137155 A KR1020130137155 A KR 1020130137155A KR 20130137155 A KR20130137155 A KR 20130137155A KR 101377718 B1 KR101377718 B1 KR 101377718B1
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Abstract

본 발명의 가스 누출 검출장치에 따르면, 공압밸브가 삽입되도록 하단에 개구부가 형성되고, 일측에 공압밸브와 결합된 에어공급라인이 관통되는 끼움공이 형성되고, 상기 공압밸브에 공급된 후 배출되는 배출공기가 외부로 배출되는 관통공이 형성된 케이스; 상기 공압밸브에 공급된 후 배출되는 배출공기가 상기 케이스의 개구부를 통해 배출되지 않도록 개구부에 결합되는 덮개부; 일단이 상기 케이스의 관통공에 연결되어 상기 공압밸브에 공급된 후 배출되는 배출공기가 외부로 배기되는 배기라인; 및 상기 배기라인의 타단에 연결되어, 상기 배기라인으로 배기되는 배출공기에 포함된 가스를 검출하는 검출부;를 포함한다.
본 발명의 효과는, 가스의 흐름을 제어하는 각각의 공압밸브가 삽입되고 공압밸브에서 누출되는 가스를 포집하는 케이스와 가스를 검출할 수 있는 검출부가 배기라인으로 연결됨으로써, 각각의 공압밸브에서 누출되는 가스가 타 공압밸브에서 누출되는 가스와 혼합되지 않도록 하여 안정성 향상과 장비의 손상을 예방할 수 있는 동시에, 실시간으로 가스 누출을 검출부로 검출하여 실시간 모니터링이 가능한 가스 누출 검출장치를 제공할 수 있다.

Description

가스 누출 검출장치{Gas Leak Detector}
본 발명은 가스 누출 검출장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 장비 의 가스 박스에 설치된 밸브에 케이스를 설치하고, 밸브로부터 누출되는 가스를 각각 검출하여 파손된 밸브를 찾기 위한 가스 누출 검출장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조장비는 웨이퍼를 다양한 환경과 공정 하에서 처리하고 가공하게 되는데, 이들 장비는 웨이퍼를 사진, 확산, 식각, 화학기상증착, 금속증착 등의 여러 공정을 반복적으로 수행하여 반도체 칩으로 제조하게 되며, 각 공정은 각종 유독가스 및 용액 하에서 실시하게 된다.
따라서, 반도체를 제조하는 각 장비들은 다양하고 열악한 환경에 노출되어 있으며, 각종 유독가스로 인해 장비가 부식되거나 변형되어 장비의 수명이 짧아지는 문제점이 있었다. 그에 따라 장비의 교체주기가 잦아져 유지관리비용이 증가할 뿐만 아니라 장비의 공정이 중단되어 제품생산이 딜레이되는 단점이 있었다.
여기서, 밸브는 공압밸브를 사용하며, 공압밸브에는 다이어프램밸브(Diaphragm Valve) 또는 뉴메틱밸브(Pneumatic Valve) 등이 있다.
다이어프램밸브나 뉴메틱밸브는, 가스유입관, 가스배출관이 양쪽에 각각 연결되고, 에어공급부로부터 공급되는 고압공기의 공압을 이용하여 가스유입관에서 가스배출관으로 흐르는 가스의 흐름을 제어한다.
다이어프램밸브나, 뉴메틱밸브는 가스유입관에서 유입되는 가스의 유입부에 위치한 다이어프램(diaphragm)에 공압 또는 공압에 의한 압력을 가함에 따라, 다이어프램이 유입부가 개폐되는 구조를 갖는다.
그리고, 다이어프램밸브나, 뉴메틱밸브에 주입되는 고압공기는 외부로 배출된다.
이때, 다이어프램은 지속적인 밸브 작동에 의해 피로현상으로 깨지게 되면 가스유입관에서 유입되는 유독가스가 깨진 다이어프램을 통해 밸브의 보닛너트에 형성된 배출공으로 배출되면서 외부로 누출되는 문제점이 발생하였다.
이러한 종래의 단점들을 해결하기 위하여 반도체 제조장비 내에 유독가스를 공급하는 다수개의 밸브가 설치된 부분을 가스박스로 분리시키는 동시에 밸브에서 누출될 수 있는 유독가스를 배기시키기 위한 배기구가 설치되었다. 그리고, 배기구에는 유독가스를 검출하기 위한 유독가스검출기가 설치된다.
그러나, 배기구의 음압에 의해 외부공기가 가스박스의 내부로 대량 유입되기 때문에 밸브에서 유독가스가 누출되면 가스박스 내부로 유입된 외부공기와 혼합되고, 누출된 유독가스의 농도가 낮아져 유독가스검출기가 작동을 하지 않는 문제점이 있었다. 즉, 유독가스검출기를 배기구에 설치함에도 불구하고, 외부공기의 유입으로 낮아지는 유독가스의 농도 때문에 유독가스의 누출을 용이하게 검출하지 못하여 유독가스 누출의 조기발견을 할 수 없으며 반도체 공정에 이상을 초래하는 단점이 있었다.
또한, 유독가스검출기가 유독가스를 검출하면서 사용자가 유독가스 누출을 인지함에도 불구하고, 하나의 반도체 장비에 다수개가 설치된 밸브를 일일이 분해하여 밸브의 다이어프램 손상유무를 확인해야만 했었다. 그에 따라 손상된 밸브를 찾아내는데 시간이 오래 걸릴 뿐만 아니라, 작업의 진행이 중단되어 생산량이 감소하는 문제점이 있었다.
더불어, 종래의 가스박스 내에는 유독가스 외에 산소, 질소, 아르곤가스 등의 흐름을 제어하는 밸브가 다수개 설치되어 있기 때문에 가스박스의 배기구에 설치된 유독가스검출기는 특정 유독가스만을 검출할 수 있기 때문에, 산소, 질소, 아르곤가스 등과 같은 가스의 누출과 유독가스를 누출을 동시에 검출하기 어렵고 검출되지 않는 유독가스나 그외의 가스로 인하여 반도체 공정에 이상을 초래하는 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허공보 공개번호 제12-2006-0025445호 대한민국 실용신안공개공보 공개번호 제2008-0004184호 대한민국 등록특허공보 등록번호 제0472417호 대한민국 등록특허공보 등록번호 제0857235호
상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 가스의 흐름을 제어하는 각각의 공압밸브가 삽입되고 공압밸브에서 누출되는 가스를 포집하는 케이스와 가스를 검출할 수 있는 검출부가 배기라인으로 연결됨으로써, 각각의 공압밸브에서 누출되는 가스가 타 공압밸브에서 누출되는 가스와 혼합되지 않도록 하여 안정성 향상과 장비의 손상을 예방할 수 있는 동시에, 실시간으로 가스 누출을 검출부로 검출하여 실시간 모니터링이 가능한 가스 누출 검출장치를 제공하기 위함이다.
또한, 본 발명의 목적은, 배기라인의 중간부에 설치되어 케이스에서 검출부로 배기되는 배출공기의 배기여부를 제어하는 배기밸브가 구성됨으로써, 다수개의 공압밸브를 전체 차단한 후에, 개별적으로 배기시킴에 따라 공압밸브에서 누출되는 가스의 유무를 신속하게 판단하며, 장비의 작동을 신속하게 진행시킬 수 있으며, 장비의 유지비용을 절약할 수 있는 가스 누출 검출장치를 제공하기 위함이다.
또한, 본 발명의 목적은, 유독가스의 흐름을 제어하는 공압밸브로부터 누출되는 유독가스를 검출하는 유독가스검출기 또는 산소, 질소, 아르곤가스의 흐름을 제어하는 공압밸브에서 누출되는 가스를 검출하는 산소센서 중 어느 하나 이상으로 검출부가 구성됨으로써, 누출가스의 종류를 용이하게 파악하고, 그 종류에 해당하는 공압밸브만 체크할 수 있어 가스의 누출이 이루어지는 공압밸브를 신속하게 파악할 수 있는 가스 누출 검출장치를 제공하기 위함이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 가스 누출 검출장치에 따르면, 공압밸브가 삽입되도록 상하가 관통되어 상하단에 개구부가 형성되고, 상기 공압밸브의 파손으로 누출되는 가스가 외부로 배출되는 관통공이 형성된 케이스; 상기 공압밸브에서 누출되는 가스가 상기 케이스의 상하단에 형성된 개구부를 통해 배출되지 않도록 개구부에 결합되는 덮개부; 일단이 상기 케이스의 관통공에 연결되어 상기 공압밸브에서 누출되는 가스가 외부로 배기되는 배기라인; 및 상기 배기라인의 타단에 연결되어, 상기 배기라인으로 배기되는 배출공기에 포함된 가스를 검출하는 검출부;를 포함한다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 또 다른 본 발명의 가스 누출 검출장치에 따르면, 공압밸브가 삽입되도록 하단에 개구부가 형성되고, 일측에 공압밸브와 결합된 에어공급라인이 관통되는 끼움공이 형성되고, 상기 공압밸브의 파손으로 누출되는 가스가 외부로 배출되는 관통공이 형성된 케이스; 상기 공압밸브에서 누출되는 가스가 상기 케이스의 하단에 형성된 개구부를 통해 배출되지 않도록 개구부에 결합되는 덮개부; 일단이 상기 케이스의 관통공에 연결되어 상기 공압밸브에서 누출되는 가스가 외부로 배기되는 배기라인; 및 상기 배기라인의 타단에 연결되어, 상기 배기라인으로 배기되는 배출공기에 포함된 가스를 검출하는 검출부;를 포함한다.
또한, 상기 덮개부는, 상기 공압밸브의 외주면을 감싸도록 홈이 형성된 한쌍의 덮개부재를 포함한다.
또한, 상기 배기라인의 중간부에 설치되어 케이스에서 검출부로 배기되는 배출공기의 배기여부를 제어하는 배기밸브;를 더 포함한다.
또한, 상기 배기라인으로 배기되는 가스를 검출기로 이동시키도록 상기 배기라인의 타단에 설치되는 다이어프램밸브;을 더 포함한다.
또한, 상기 검출부는, 유독가스의 흐름을 제어하는 공압밸브로부터 누출되는 유독가스를 검출하는 유독가스검출기 또는 산소, 질소, 아르곤가스의 흐름을 제어하는 공압밸브에서 누출되는 가스를 검출하는 산소센서 중 어느 하나 이상을 포함한다.
또한, 상기 검출부는, 상기 배기라인으로 배기될 때 가스를 검출하면, 알람을 발생시키는 알람부를 포함한다.
또한, 상기 배기라인의 일단에 결합되고, 상기 관통공에 삽입되는 돌출부가 형성되며, 양단이 관통된 연결부와, 상기 관통공에 삽입되어 케이스의 내부로 돌출된 돌출부에 결합되어 상기 연결부를 케이스에 고정시키는 고정부재 및 상기 연결부의 돌출부 외주면에 삽입되어 연결부와 케이스 사이를 밀폐시키는 오링을 포함하는 실링부;를 더 포함한다.
이상 살펴본 바와 같은 본 발명의 효과는, 가스의 흐름을 제어하는 각각의 공압밸브가 삽입되고 공압밸브에서 누출되는 가스를 포집하는 케이스와 가스를 검출할 수 있는 검출부가 배기라인으로 연결됨으로써, 각각의 공압밸브에서 누출되는 가스가 타 공압밸브에서 누출되는 가스와 혼합되지 않도록 하여 안정성 향상과 장비의 손상을 예방할 수 있는 동시에, 실시간으로 가스 누출을 검출부로 검출하여 실시간 모니터링이 가능한 가스 누출 검출장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 효과는, 배기라인의 중간부에 설치되어 케이스에서 검출부로 배기되는 배출공기의 배기여부를 제어하는 배기밸브가 구성됨으로써, 다수개의 공압밸브를 전체 차단한 후에, 개별적으로 배기시킴에 따라 공압밸브에서 누출되는 가스의 유무를 신속하게 판단하며, 장비의 작동을 신속하게 진행시킬 수 있으며, 장비의 유지비용을 절약할 수 있는 가스 누출 검출장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 효과는, 유독가스의 흐름을 제어하는 공압밸브로부터 누출되는 유독가스를 검출하는 유독가스검출기 또는 산소, 질소, 아르곤가스의 흐름을 제어하는 공압밸브에서 누출되는 가스를 검출하는 산소센서 중 어느 하나 이상으로 검출부가 구성됨으로써, 누출가스의 종류를 용이하게 파악하고, 그 종류에 해당하는 공압밸브만 체크할 수 있어 가스의 누출이 이루어지는 공압밸브를 신속하게 파악할 수 있는 가스 누출 검출장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 누출 검출장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 누출 검출장치를 나타낸 분해도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 누출 검출장치가 공압밸브가 설치된 장비에 적용된 상태를 상태도이다.
도 4 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 누출 검출장치와 공압밸브의 작동 중 공기 및 가스의 흐름을 나타낸 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 누출 검출장치와 공압밸브의 작동 중 공압밸브의 파손으로 인한 공기 및 가스의 흐름을 나타낸 흐름도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 가스 누출 검출장치를 나타낸 분해사시도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 가스 누출 검출장치가 공압밸브가 설치된 장비에 적용된 상태를 상태도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 가스 누출 검출장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 누출 검출장치를 나타낸 사시도이다. 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 누출 검출장치를 나타낸 분해도이다. 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 누출 검출장치가 공압밸브가 설치된 장비에 적용된 상태를 상태도이다. 도 4 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 누출 검출장치와 공압밸브의 작동 중 공기 및 가스의 흐름을 나타낸 흐름도이다. 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 누출 검출장치와 공압밸브의 작동 중 공압밸브의 파손으로 인한 공기 및 가스의 흐름을 나타낸 흐름도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는, 케이스(10), 덮개부(20), 배기라인(30) 및 검출부(40)를 포함한다.
먼저, 케이스(10)는, 내부가 비어 있으며, 원기둥으로 형성되고, 공압밸브(1)가 삽입되도록 하단에 개구부(11)가 형성된다.
또한, 케이스(10)는, 원기둥 외에 다각기둥형상 등 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
여기서, 케이스(10)는, 후술할 공압밸브(1)가 파손된며, 가스가 외부로 배출되도록 공압밸브(1)에 형성된 배출공(4)이 케이스(10)의 내부에 위치되도록 일정높이를 갖는 것이 바람직하다.
또한, 케이스(10)는, 일측에 끼움공(12)과 관통공(13)이 형성된다.
바람직하게는, 케이스(10)의 상부에 내부와 관통되는 끼움공(12)과 관통공(13)이 형성된다.
끼움공(12)은 공압밸브(1)와 결합된 에어공급라인(6)이 관통되도록 형성된다.
또한, 관통공(13)은 공압밸브(1)에 공급된 후 공압밸브(1)의 파손으로 누출되는 가스가 케이스(10)의 외부로 배출되도록 관통형성된다.
여기서, 공압밸브(1)는 가스유입관(2), 가스배출관(3)이 양쪽에 각각 연결되고, 에어공급부(5)로부터 공급되는 고압공기의 공압을 이용하여 가스유입관(2)에서 가스배출관(3)으로 흐르는 가스의 흐름을 제어하는 밸브이다. 바람직하게는, 가스유입관(2)의 유입부를 다이어프램으로 개폐하되, 그 개폐 유무는 고압공기의 공압에 의해 이루어진다.
예를 들어, 공압밸브(1)는, 다이어프램밸브(Diaphragm Valve) 또는 뉴메틱밸브(Pneumatic Valve) 등으로 이루어질 수 있다.
즉, 공압밸브(1)는 가스유입관(2)에서 가스배출관(3)으로 이동되는 가스가 통과되도록 가스유입관(2)과 가스배출관(3) 사이에 설치되고, 가스가 통과하는 통로를 고압공기의 공압으로 다이어프램을 이용해 개폐하는 것이다. 또한, 고압공기가 가해지면 상하이동하며 다이어프램(9)을 가압하는 마개(8)가 구비된다.
이러한 공압밸브(1)는 반도체 장비에 다수개가 설치되고, 각각의 공압밸브(1)마다 상술한 케이스(10)로 덮여진다.
그리고, 다이어프램(9)이 설치되는 보닛너트(14)에는 다이어프램(9)이 파손되었을 때 공압밸브(1)의 외부로 배출될 수 있도록 배출공(4)이 형성된다.
또한, 공압밸브(1)의 내부에 구비된 실린더(15)의 파손에 의해 고압공기가 외부로 배출되는 보조배출공(7)이 형성된다.
공압밸브(1)에서 사용되는 에어는 cleandryair 나 General N2 이며, General N2 를 사용할 때, 공압밸브(1)의 실린더(15) 파손이 이루어지면 General N2 가 누출되고 그 누출된 General N2 를 케이스(10)가 포집할 수도 있으며, 검출기가 General N2 를 검출할 수도 있다. 이에 따라, 본 발명은 공압밸브(1)의 다이어프램(9)과 실린더(15)의 파손을 통해 누출되는 가스를 검출기(40)로 검출하고, 공압밸브(1)의 어느부위 파손인지도 검출할 수 있다.
그리고, 공압밸브(1)에 결합된 에어공급라인(6)은 에어공급부(5)로부터 공급되는 고압공기를 공압밸브(1)로 가이드한다.
이때, 에어공급라인(6)은 끼움공(12)을 관통하여 공압밸브(1)의 상부에 결합된다. 그리고 에어공급라인(6)은 끼움공(12)을 관통되어 결합될 때 공압밸브(1)의 파손에 따라 누출되는 가스가 새지 않도록 끼움공(12)과 실링처리되는 것이 바람직하다.
즉, 본 발명에 따른 가스 누출 검출장치의 케이스(10)는, 각각의 공압밸브(1)에 설치되어 공압밸브(1)를 통과하는 가스가 공압밸브(1)의 파손에 의해 누출될 경우, 그 누출되는 가스가 외부로 누출되어 다른 공압밸브(1)에서 누출되는 가스와 혼합되지 않도록 가스를 개별적으로 포집하기 위한 것이다.
덮개부(20)는, 공압밸브(1)의 파손으로 누출되는 가스가 케이스(10)의 개구부(11)를 통해 배출되지 않도록 개구부(11)에 결합된다.
이때, 덮개부(20)는, 공압밸브(1)에 형성된 배출공(4)이 케이스(10)의 내부에 위치한 상태에서, 배출공(4)의 하측인 공압밸브(1)의 외주면을 감싸도록 케이스(10)의 개구부(11)에 결합되는 것이 바람직하다.
한편, 덮개부(20)는, 케이스(10)가 공압밸브(1) 및 공압밸브(1)의 양단에 결합된 가스유입관(2)과 가스배출관(3) 모두를 감싸도록 형성될 수 있으므로, 그 케이스(10)에 개구된 개구부(11)를 개폐할 수 있도록 형성되는 것이 더욱 바람직하다.
또한, 덮개부(20)는, 공압밸브(1)의 외주면을 감싸도록 홈(22)이 형성된 한쌍의 덮개부재(21)를 포함한다.
여기서, 덮개부재(21)는, 중앙이 관통된 원판을 2등분한 반원형상으로 형성되어, 지름부분에 홈(22)이 형성된다.
즉, 한 쌍의 덮개부재(21)는, 일측면, 홈(22)부분에 접착제가 도포되어 케이스(10)의 하단면에 일측면을 부착시키는 동시에 지름부분이 서로 맞닿도록 하여 케이스(10)의 개구부(11)에 결합한다. 이에 따라 덮개부재(21)는 케이스(10)의 개구부(11)를 폐쇄하게 된다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 배기라인(30)은, 일단이 케이스(10)의 관통공(13)에 연결되고 타단이 후술할 검출부(40)에 연결된다.
또한, 배기라인(30)은 관통공(13)으로 배기되는 가스를 검출부(40)로 배기될 수 있도록 가이드한다.
여기서, 배기라인(30)을 통해 관통공(13)에서 검출부(40)로 배기되는 가스는, 공압밸브(1)에 공급된 후 실린더(15)의 파손에 의한 배출되는 공기가 혼합되어 있을 수도 있다.
검출부(40)는 배기라인(30)의 타단에 연결되어, 배기라인(30)으로 배기되는 가스를 검출한다.
즉, 검출부(40)는, 가스의 누출을 모니터링하기 위한 것으로, 유독가스의 흐름을 제어하는 공압밸브(1)로부터 누출되는 유독가스를 검출하는 유독가스검출기(41) 또는 산소, 질소, 아르곤가스의 흐름을 제어하는 공압밸브(1)에서 누출되는 가스를 검출하는 산소센서(42) 중 어느 하나 이상을 포함하고, 바람직하게는 유독가스검출기(41)와 산소센서(42) 둘을 포함한다.
여기서, 유독가스검출기(41)는 Toxic Gas Detector을 사용하고, 산소센서(42)는 O2 Sensor를 사용한다.
또한, 배기라인(30)은 유독가스검출기(41)와 유독가스의 흐름을 제어하는 공압밸브(1)들과 연결되고, 산소센서(42)와 산소, 질소, 아르곤가스의 흐름을 제어하는 공압밸브(1)들과 연결되는 것이 바람직하다.
그리고, 공압밸브(1)들의 관통공(13)에 연결되는 배기라인(30)들의 타측은 하나의 라인으로 통합되어 검출부(40)의 유독가스검출기(41) 또는 산소센서(42)에 연결되는 것이 바람직하다.
산소센서(42)는 산소, 질소, 아르곤가스를 산소의 농도를 대기중의 공기속에 포함된 산소의 농도 약 20.9% 이상이거나 이하일 때를 통해 가스를 검출한다.
예를 들어, 공압밸브(1)에서 산소가스가 누출되고 있으면, 검출하는 산소의 농도가 대기중의 공기속에 포함된 산소의 농도(20.9%)이상임을 산소센서(42)가 감지하게 된다. 이로 인해 산소가스의 흐름을 제어하는 공압밸브(1)의 파손을 알 수 있다.
또한, 공압밸브(1)에서 질소 또는 아르곤가스가 누출되고 있으면, 산소센서(42)가 검출하는 산소의 농도가 대기중의 공기속에 포함된 산소의 농도(20.9%)이하임을 산소센서(42)가 감지하게 된다. 이로 인해 질소 또는 아르곤가스의 흐름을 제어하는 공압밸브(1)의 파손을 알 수 있다.
따라서, 본 발명의 가스 누출 검출장치는 케이스(10)와 덮개부(20)가 각각의 공압밸브(1)에 설치되고, 공압밸브(1)의 파손되어 누출되는 가스를 포집하여 배기라인(30)를 통해 검출부(40)로 배기시킴으로써, 다수의 공압밸브(1) 중 어느 공압밸브(1)에서 가스가 누출되는지의 유무를 용이하게 파악할 뿐만 아니라 누출가스의 종류를 용이하게 파악하고, 그 종류에 해당하는 공압밸브(1)만 체크할 수 있어 가스의 누출이 이루어지는 공압밸브(1)를 신속하게 찾아낼 수 있다.
한편, 도 5를 참조하면, 검출부(40)는, 배기라인(30)으로 배기되는 배출공기에 포함된 가스가 검출 즉, 유독가스검출기(41) 또는 산소센서(42)에서 가스가 검출되면, 알람을 발생시키는 알람부(43)를 포함한다.
이에 따라, 사용자는 알람부(43)의 알람을 통해 공장설비의 작동을 중지시킬 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는, 배기밸브(50)와 다이어프램밸브(60) 및 실링부(70)를 더 포함한다.
배기밸브(50)는 배기라인(30)의 중간부에 설치되어 케이스(10)에서 검출부(40)로 배기되는 가스의 배기여부를 제어한다.
이 배기밸브(50)는, 검출부(40)에 가스가 검출되었을 경우, 가스가 누출되는 공압밸브(1)를 용이하게 찾기 위한 것이다.
예를 들어, 검출부(40)에서 가스가 검출되면, 배기라인(30)에 각각 설치된 배기밸브(50)를 모두 잠근 후, 어느 하나의 배기밸브(50)를 개별적으로 개폐함에 따라 가스가 누출되는 공압밸브(1)를 찾을 수 있다. 즉, 어느 하나의 배기밸브(50)를 열었을 때 검출부(40)에서 가스를 검출하면 그 배기밸브(50)에서 가스가 누출되는 것이므로, 빠른 시간 내에 공압밸브(1)에서 누출되는 가스의 유무를 신속하게 판단하며, 장비의 작동을 신속하게 진행시킬 수 있으며, 장비의 유지비용을 절약할 수 있다.
다이어프램밸브(60)는, 배기라인(30)으로 배기되는 배출공기를 검출부(40)로 이동시키도록 배기라인(30)의 타단에 설치된다.
다이어프램밸브(60)은, 케이스(10)의 내부에 포집되는 가스를 빠르게 검출부(40)로 이동시켜 검출부(40)가 가스의 누출을 빠르게 검출하도록 하기 위한 것이다.
또한, 다이어프램밸브(60)는 검출부(40)와 일체로 형성될 수도 있으며, 분리되어 형성될 수도 있다.
실링부(70)는, 연결부(71), 고정부재(72) 및 오링(73)을 포함한다.
실링부(70)는 케이스(10)에 포집되는 배출공기가 배기라인(30)으로 배출될 수 있도록 배기라인(30)과 케이스(10) 간의 실링을 위한 것이다.
이러한, 실링부(70)의 연결부(71)는, 배기라인(30)의 일단에 결합되고, 하부에 관통공(13)에 삽입되는 돌출부가 형성된다.
그리고 연결부(71)는, 케이스(10)에 포집되는 배출가스가 배기라인(30)과 연통되도록 관통형성되는 것이 바람직하다.
고정부재(72)는 관통공(13)에 삽입되어 케이스(10)의 내부로 돌출된 돌출부에 결합되되 케이스(10)의 내부에서 결합된다. 이에 따라, 고정부재(72)는 연결부(71)를 케이스(10)에 고정시킨다. 또한, 고정부재(72)와 케이스(10)의 내측면 사이에는 와셔가 더 포함될 수 있으나 이에 한정하는 것은 아니다.
이때, 돌출부의 외주면에 나사산이 형성되고, 그 나사산에 결합될 수 있도록 고정부재(72)는 너트일 수도 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.
오링(73)은 연결부(71)의 돌출부에 삽입되어 연결부(71)와 케이스(10) 사이를 밀폐시킨다.
따라서, 본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는, 각각의 공압밸브(1)에서 누출되는 가스가 타 공압밸브(1)에서 누출되는 가스와 혼합되지 않도록 하여 안정성 향상과 장비의 손상을 예방할 수 있는 동시에, 실시간으로 가스 누출을 검출부(40)로 검출하여 실시간 모니터링이 가능하다.
도 6은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 가스 누출 검출장치를 나타낸 분해사시도이다. 도 7은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 가스 누출 검출장치가 공압밸브가 설치된 장비에 적용된 상태를 상태도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 가스 누출 검출장치는 공압밸브(1)를 전체적으로 감싸지 못하고, 보닛너트(14)만을 감싸도록 하여, 보닛너트(14)에서 누출되는 가스를 포집할 수 있는 장치이다.
여기서, 가스 누출 검출장치의 구성요소 중에, 상술한 가스 누출 검출장치의 구성과 동일하되, 케이스(10)의 상단에 개구부(11)가 더 형성되고, 그 개구부(11)를 덮어 케이스(10)의 내부를 밀폐시키는 덮개부(20)가 더 구비된다.
그리고, 케이스(10)의 관통공(13)은 측면에 형성될 수 있다.
다시 말해, 케이스(10)는 공압밸브(1)가 삽입되도록 상하가 관통되어 상하단에 개구부(11)가 형성되고, 공압밸브(1)의 파손으로 누출되는 가스가 외부로 배출되는 관통공(13)이 형성된다.
케이스(10)에서 포집되는 가스는 관통공(13)에 연결된 배기라인(30)을 통해 검출부(40)로 배기되고, 검출부(40)가 가스를 검출하게 된다.
이에 대한 상세한 설명은 상술한 바와 같으므로 생략하기도 한다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 공압밸브 2: 가스유입관
3: 가스배출관 4: 배출공
5: 에어공급부 6: 에어공급라인
7: 보조배출공 8: 마개
9: 다이어프램 10: 케이스
11: 개구부 12: 끼움공
13: 관통공 14: 보닛너트
15: 실린더
20: 덮개부 21: 덮개부재
22: 홈 30: 배기라인
40: 검출부 41: 유독가스검출기
42: 산소센서 43: 알람부
50: 배기밸브 60: 다이어프램밸브
70: 실링부 71: 연결부
72: 고정부재 73: 오링

Claims (8)

  1. 공압밸브가 삽입되도록 하단에 개구부가 형성되고, 일측에 공압밸브와 결합된 에어공급라인이 관통되는 끼움공이 형성되고, 상기 공압밸브의 파손으로 누출되는 가스가 외부로 배출되는 관통공이 형성된 케이스;
    상기 공압밸브에서 누출되는 가스가 상기 케이스의 하단에 형성된 개구부를 통해 배출되지 않도록 개구부에 결합되는 덮개부;
    일단이 상기 케이스의 관통공에 연결되어 상기 공압밸브에서 누출되는 가스가 외부로 배기되는 배기라인; 및
    상기 배기라인의 타단에 연결되어, 상기 배기라인으로 배기되는 배출공기에 포함된 가스를 검출하는 검출부;를 포함하고,
    상기 덮개부는,
    상기 공압밸브의 외주면을 감싸도록 홈이 형성된 한쌍의 덮개부재를 포함하는 가스 누출 검출장치.
  2. 공압밸브가 삽입되도록 상하가 관통되어 상하단에 개구부가 형성되고, 상기 공압밸브의 파손으로 누출되는 가스가 외부로 배출되는 관통공이 형성된 케이스;
    상기 공압밸브에서 누출되는 가스가 상기 케이스의 상하단에 형성된 개구부를 통해 배출되지 않도록 개구부에 결합되는 덮개부;
    일단이 상기 케이스의 관통공에 연결되어 상기 공압밸브에서 누출되는 가스가 외부로 배기되는 배기라인; 및
    상기 배기라인의 타단에 연결되어, 상기 배기라인으로 배기되는 배출공기에 포함된 가스를 검출하는 검출부;를 포함하고,
    상기 덮개부는,
    상기 공압밸브의 외주면을 감싸도록 홈이 형성된 한쌍의 덮개부재를 포함하는 가스 누출 검출장치.
  3. 삭제
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 배기라인의 중간부에 설치되어 케이스에서 검출부로 배기되는 배출공기의 배기여부를 제어하는 배기밸브;를 더 포함하는 가스 누출 검출장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 배기라인으로 배기되는 가스를 검출기로 이동시키도록 상기 배기라인의 타단에 설치되는 다이어프램밸브;을 더 포함하는 가스 누출 검출장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검출부는,
    유독가스의 흐름을 제어하는 공압밸브로부터 누출되는 유독가스를 검출하는 유독가스검출기 또는 산소, 질소, 아르곤가스의 흐름을 제어하는 공압밸브에서 누출되는 가스를 검출하는 산소센서 중 어느 하나 이상을 포함하는 가스 누출 검출장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검출부는,
    상기 배기라인으로 배기될 때 가스를 검출하면, 알람을 발생시키는 알람부를 포함하는 가스 누출 검출장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 배기라인의 일단에 결합되고, 상기 관통공에 삽입되는 돌출부가 형성되며, 양단이 관통된 연결부와,
    상기 관통공에 삽입되어 케이스의 내부로 돌출된 돌출부에 결합되어 상기 연결부를 케이스에 고정시키는 고정부재 및
    상기 연결부의 돌출부 외주면에 삽입되어 연결부와 케이스 사이를 밀폐시키는 오링을 포함하는 실링부;를 더 포함하는 가스 누출 검출장치.

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