JP2016536623A - ガス漏洩検知装置 - Google Patents

Abstract

本発明のガス漏洩検知装置によれば、空圧バルブが挿入されるように下端に開口部が形成され、一側に空圧バルブと結合されたエアー供給ラインが貫通する挿入孔が形成され、前記空圧バルブの破損によって漏洩するガスが外部に排出される貫通孔が形成された捕集部；前記空圧バルブから漏洩するカスが前記捕集部の下端に形成された開口部を通じて排出されないように開口部に結合される蓋部；一端が前記捕集部の貫通孔に連結されて前記空圧バルブから漏洩するガスが外部に排気される排気ライン；および前記排気ラインの他端に連結され、前記排気ラインに排気される排出空気に含まれたガスを検知する検知部；を含み、前記蓋部は、前記空圧バルブの外周面を囲むように溝が形成された一対の蓋部材を含む。本発明の効果は、それぞれの空圧バルブから漏洩するガスが他の空圧バルブから漏洩するガスと混合されないようにして安定性の向上と装備の損傷を防止することができると同時に、検知部がガスを検知すると、ポートソレノイドバルブが制御されてガスが検知される空圧バルブを自動で迅速に探し、リアルタイムモニタリングおよび装備の作動を迅速に進行させることができるガス漏洩検知装置を提供するためである。【選択図】図１

Description

本発明はガス漏洩検知装置に関するもので、より詳細には半導体装備のガスボックスに設置されたバルブに捕集部を設置し、バルブから漏洩するガスをそれぞれ検知して破損したバルブを探すためのガス漏洩検知装置に関するものである。

一般に、半導体製造装備はウェハーを多様な環境と工程の下で処理して加工することになるが、これらの装備はウェハーを写真、拡散、食刻、化学気相蒸着、金属蒸着などの色々な工程を繰り返し遂行して半導体チップに製造することになり、各工程は各種有毒ガスおよび溶液の下で実施することになる。

したがって、半導体を製造する各装備は多様で劣悪な環境に露出しており、各種有毒ガスによって装備が腐食されたり変形されて装備の寿命が短くなる問題点があった。このため、装備の交替周期が頻繁になり、維持管理費用が増加するだけでなく、装備の工程が中断されて製品の生産が遅延される短所があった。

ここで、バルブは空圧バルブを使用しており、空圧バルブにはポンプ(Diaphragm Valve)またはニューマチックバルブ(Pneumatic Valve)などがある。

ポンプやニューマチックバルブは、ガス流入管、ガス排出管が両側にそれぞれ連結され、エアー供給部から供給される高圧空気の空圧を利用してガス流入管からガス排出管に流れるガスの流れを制御する。

ポンプやニューマチックバルブはガス流入管から流入されるガスの流入部に位置したダイアフラム(diaphragm)に空圧または空圧による圧力を加えることによって、ダイアフラムが流入部を開閉する構造を有する。

そして、ポンプや、ニューマチックバルブに注入される高圧空気は外部に排出される。

この時、ダイアフラムが持続的なバルブの作動による疲労現象によって壊れると、ガス流入管から流入される有毒ガスが壊れたダイアフラムを通じてバルブのボンネットナットに形成された排出孔に排出されて外部に漏洩する問題点が発生した。

このような従来の短所を解決するために半導体製造装備内に有毒ガスを供給する複数個のバルブが設置された部分をガスボックスで分離させるとともに、バルブから漏洩され得る有毒ガスを排気させるための排気口が設置された。そして、排気口には有毒ガスを検知するための有毒ガス検知器が設置される。

しかし、排気口の負圧によって外部空気がガスボックスの内部に大量流入されるので、バルブから有毒ガスが漏洩するとガスボックスの内部に流入した外部空気と混合され、漏洩した有毒ガスの濃度が低くなり有毒ガス検知器が作動しなくなるという問題点があった。すなわち、有毒ガス検知器を排気口に設置したにも関わらず、外部空気の流入により低くなる有毒ガスの濃度のため、有毒ガスの漏洩を容易に検知することができず、有毒ガスの漏洩の早期発見ができなくなり、半導体工程に異常をもたらす短所があった。

また、有毒ガス検知器が有毒ガスを検知して使用者が有毒ガスの漏洩を認知したにも関わらず、一つの半導体装備に複数個が設置されたバルブをいちいち分解してバルブのダイアフラムの損傷有無を確認しなければならなかった。そのため、損傷したバルブを捜し出すのに時間が長く要されるだけでなく、作業の進行が中断されて生産量が減少する問題点があった。

さらに、従来のガスボックス内には有毒ガスの他に酸素、窒素、アルゴンガスなどの流れを制御するバルブが複数個設置されており、ガスボックスの排気口に設置された有毒ガス検知器は特定有毒ガスだけを検知することができるため、酸素、窒素、アルゴンガスなどのようなガスの漏洩と有毒ガスの漏洩を同時に検知することが難しく、検知されていない有毒ガスやその他のガスによって半導体工程に異常をもたらす問題点があった。

また、半導体のラインでポンプやニューマチックバルブは一定の間隔で離隔して設置されたりもするが、特定区域においては密に配列されるように設置される。

この時、密に配列設置されたニューマチックバルブの場合、ダイアフラムが持続的なバルブの作動による疲労現象によって壊れることになり、外部にガスが漏洩するように形成された排出孔が隣接したニューマチックバルブに対向していると、ガスを捕集するための構造を設置することが難しいだけでなく、排出孔の位置が一定とならないように設置されるニューマチックバルブにすべて適用させることができるガス捕集構造の開発が要求される。

日本公開特許公報特開２０１１−１０７０３４号 大韓民国実用新案公開公報第２００８−０００４１８４号 大韓民国登録特許公報第１３２６７６６号 大韓民国登録特許公報第０８５７２３５号

前述したような問題点を解決するために案出された本発明の目的は、ガスの流れを制御するそれぞれの空圧バルブが挿入されて空圧バルブから漏洩するガスを捕集する捕集部とガスを検知できる検知部が排気ラインに連結されることによって、それぞれの空圧バルブから漏洩するガスが他の空圧バルブから漏洩するガスと混合されないようにして安定性の向上と装備の損傷を防止することができると同時に、リアルタイムでガスの漏洩を検知部で検知してリアルタイムモニタリングのできるガス漏洩検知装置を提供するためである。

また、本発明の目的は、半導体ラインに設置された空圧バルブに捕集部を設置する時、翼部を利用して空圧バルブの上側ないし側面で嵌合させて捕集部の捕集口と空圧バルブの排出孔を互いに一致させたり、吐出口と連通して他側面に延長された延長部の終端を、空圧バルブの破損によってガスが漏洩する排出孔に挿入結合させることによって半導体ラインを中止させないので、半導体ライン作業に影響を与えないだけでなく、半導体ライン中止による生産量の減少、それによる損害費用などが発生しないようにすることができるガス漏洩検知装置を提供するためである。

また、本発明の目的は、空圧バルブが密に配列設置される場合、空圧バルブからエアーまたはガスが漏洩する排出孔の位置に関わらず、捕集部と翼部に形成された捕集口の位置を排出孔に容易に位置移動させたり軟質の捕集部を伸ばしたり曲げて捕集口の位置を排出孔に容易に位置移動させることができ、固定部材のコイルごとに広がる隙間に挿入される捕集部を空圧バルブの外周面に容易に密着固定させることができるガス漏洩検知装置を提供するためである。

また、本発明の目的は、弾性力を有するように形成された翼によって、捕集部を空圧バルブに付着する別途の構成が不要で、単純な結合だけで捕集部を漏洩孔と対向するように設置して空圧バルブから漏洩するエアーまたはガスを容易に捕集できると同時に、弾性力によって捕集口は空圧バルブに密着結合されて空圧バルブから漏洩するエアーまたはガスだけを捕集し、信頼性を向上させることができるガス漏洩検知装置を提供するためである。

また、本発明の目的は、ポートソレノイドバルブに連結された複数個の排気ラインのうち、いずれか一つの排気ラインから排出されるガスだけが連結ラインを通じて検知部に排出されるようにポートソレノイドバルブに連結された複数個の排気ラインの排出の有無をポートソレノイドバルブで制御することによって、それぞれの空圧バルブから漏洩するガスが他の空圧バルブから漏洩するガスと混合されないようにして安定性の向上と装備の損傷を防止することができると同時に、検知部がガスを検知すると、ポートソレノイドバルブが制御されてガスが検知される空圧バルブを自動で迅速に探し、リアルタイムモニタリングおよび装備の作動を迅速に進行させることができるガス漏洩検知装置を提供するためである。

また、本発明の目的は、検知部でガスが検知されると、コントローラーがポートソレノイドバルブを制御することによって破損した空圧バルブを把握し、把握された空圧バルブの固有情報がディスプレイ部にディスプレイされることによって、管理者が破損した空圧バルブを把握することが容易であるだけでなく、把握した空圧バルブに対する管理を迅速に進めて装備の作業率を向上させることができるガス漏洩検知装置を提供するためである。

前記したような目的を達成するための本発明のガス漏洩検知装置によれば、空圧バルブが挿入されるように下端に開口部が形成され、一側に空圧バルブと結合されたエアー供給ラインが貫通する挿入孔が形成され、前記空圧バルブの破損によって漏洩するガスが外部に排出される貫通孔が形成された捕集部；前記空圧バルブから漏洩するカスが前記捕集部の下端に形成された開口部を通じて排出されないように開口部に結合される蓋部；一端が前記捕集部の貫通孔に連結されて前記空圧バルブから漏洩するガスが外部に排気される排気ライン；および前記排気ラインの他端に連結され、前記排気ラインに排気される排出空気に含まれたガスを検知する検知部；を含み、前記蓋部は、前記空圧バルブの外周面を囲むように溝が形成された一対の蓋部材を含む。

本発明のさらに他の実施例に係るガス漏洩検知装置は、空圧バルブが挿入されるように上下が貫通されて上下端に開口部が形成され、前記空圧バルブの破損によって漏洩するガスが外部に排出される貫通孔が形成された捕集部；前記空圧バルブから漏洩するカスが前記捕集部の上下端に形成された開口部を通じて排出されないように開口部に結合される蓋部；一端が前記捕集部の貫通孔に連結されて前記空圧バルブから漏洩するガスが外部に排気される排気ライン；および前記排気ラインの他端に連結され、前記排気ラインに排気される排出空気に含まれたガスを検知する検知部；を含み、前記蓋部は、前記空圧バルブの外周面を囲むように溝が形成された一対の蓋部材を含む。

本発明のさらに他の実施例に係るガス漏洩検知装置は、空圧バルブの破損によって漏洩するガスを捕集する捕集部；一端が前記捕集部の吐出口に結合されて前記捕集部の吐出口に排出される排出ガスを外部に排気させる排気ライン；前記排気ラインの他端に結合されて、前記排気ラインに排気される排出空気に含まれたガスを検知する検知部；を含み、前記捕集部は、前記空圧バルブの破損によってガスが漏洩する排出孔に付着されて前記ガスを捕集する捕集口が形成され、前記捕集部の両側にそれぞれ突出して前記空圧バルブの外周面を囲む一対の翼からなるものの、前記翼が互いに対向する方向に弾性力を有する翼部；をさらに含む。

また、前記空圧バルブは、ガスが漏洩する排出孔が上下に形成され、前記捕集部は、上部に延長形成され、上部に前記空圧バルブの破損によって漏洩するガスを捕集する捕集口がさらに形成されたことを特徴とする。

また、前記翼は、湾曲または折り曲げ形成され、前記空圧バルブに向かって有する弾性力で前記空圧バルブの外周面を弾性支持し、前記捕集口を前記排出孔に密着結合させることを特徴とする。

また、前記捕集口は、前記翼の長さ方向に長孔の形状を有するように形成されることを特徴とする。

また、前記捕集部は、前記捕集口外周面に剥離接着剤が塗布され、前記空圧バルブの外周面に着脱されるものの、密着固定されて前記ガスが漏れないようにすることを特徴とする。

本発明のさらに他の実施例に係るガス漏洩検知装置は、空圧バルブの破損によって漏洩するガスを捕集し、捕集するガスが吐出される吐出口が形成された一側面に内側に凹んだ溝が形成された捕集部；一端が前記内側に凹んだ溝に挿入結合されて、前記捕集部の吐出口に排出される排出ガスを外部に排気させる排気ライン；前記排気ラインの他端に結合されて、前記排気ラインに排気される排出空気に含まれたガスを検知する検知部；を含み、前記捕集部は、前記吐出口と連通して他側面に延長された延長部と、前記延長部の終端が前記空圧バルブの破損によってガスが漏洩する排出孔に挿入結合されて前記ガスを捕集する捕集口が形成されたことを特徴とする。

また、前記空圧バルブは、ガスが漏洩する排出孔が複数個形成され、前記捕集部は、前記排出孔ごとに挿入結合される捕集口が複数個形成され、前記空圧バルブの破損によって漏洩するガスを捕集することを特徴とする。

また、前記空圧バルブの外周面を囲んで両端が結合され、コイルごとに広がる隙間に挿入される前記捕集部を前記空圧バルブで密着固定させる固定部材；をさらに含む。

また、前記捕集口の入口が前記空圧バルブの排出孔に挿入可能に突出されて前記排出孔の内部に挿入される針部；を含む。

また、複数個からなる空圧バルブにそれぞれ備えられてガスを捕集する捕集部ごとに結合される排気ラインの中間部に備えられ、コントローラーの制御によってそれぞれの排気ラインに排気される漏洩ガスをそれぞれ排出させるか一体で排出させるポートソレノイドバルブ；および前記検知部で漏洩ガスが検知されると、複数個の排気ラインの排出の有無を前記ソレノイドバルブを通じて制御するコントローラー；をさらに含む。

また、前記コントローラーは、前記検知部で検知される漏洩ガスの種類と、漏洩ガスの検知量を含むデータをリアルタイムで管理サーバーに送信し、前記管理サーバーは、前記コントローラーからデータを受信してグラフで出力して管理者に提供することを特徴とする。

また、前記検知部でガスが検知され、前記コントローラーが前記ポートソレノイドバルブを制御することによって破損した空圧バルブを把握すると、把握された空圧バルブの固有情報をディスプレイするディスプレイ部；をさらに含み、前記固有情報は、複数個の空圧バルブごとにそれぞれ既設定されたことを特徴とする。

また、前記検知部は、有毒ガスの流れを制御する空圧バルブから漏洩する有毒ガスを検知する有毒ガス検知器と、酸素、窒素、アルゴンガスの流れを制御する空圧バルブから漏洩するガスを検知する酸素センサーを含む。

また、前記検知部は、前記有毒ガス検知器を通じて有毒ガスが検知されると、アラームを発生させる第１アラーム部と、前記酸素センサーを通じてガスが検知されると、アラームを発生させる第２アラーム部を含むアラーム部；を含む。

以上で詳察した通り、本発明の効果は、それぞれの空圧バルブから漏洩するガスが他の空圧バルブから漏洩するガスと混合されないようにして安定性の向上と装備の損傷を防止することができると同時に、検知部がガスを検知すると、ポートソレノイドバルブが制御されてガスが検知される空圧バルブを自動で迅速に探し、リアルタイムモニタリングおよび装備の作動を迅速に進行させることができるガス漏洩検知装置を提供することができる。

また、本発明の効果は、半導体ラインを中止させないので半導体ライン作業に影響を与えないだけでなく、半導体ライン中止による生産量減少、それによる損害費用などが発生しないようにすることができるガス漏洩検知装置を提供することができる。

また、本発明の効果は、空圧バルブが密に配列設置される場合、空圧バルブからエアーまたはガスが漏洩する排出孔の位置に関わらず、捕集口の位置を排出孔に容易に位置移動させることができ、固定部材のコイルごとに広がる隙間に挿入される捕集部を空圧バルブの外周面に容易に密着固定させることができるガス漏洩検知装置を提供することができる。

また、本発明の効果は、弾性力を有するように形成された翼によって、捕集部を空圧バルブに付着する別途の構成が不要で、単純な結合だけで捕集部を漏洩孔と対向するように設置して空圧バルブから漏洩するエアーまたはガスを容易に捕集できると同時に、弾性力によって捕集口は空圧バルブに密着結合されて空圧バルブから漏洩するエアーまたはガスだけを捕集して信頼性を向上させることができるガス漏洩検知装置を提供することができる。

また、本発明の効果は、それぞれの空圧バルブから漏洩するガスが他の空圧バルブから漏洩するガスと混合されないようにして安定性の向上と装備の損傷を防止することができると同時に、検知部がガスを検知すると、ポートソレノイドバルブが制御されてガスが検知される空圧バルブを自動で迅速に探し、リアルタイムモニタリングおよび装備の作動を迅速に進行させることができるガス漏洩検知装置を提供することができる。

本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置を示した斜視図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置を示した分解斜視図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置を示した断面図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置にポートソレノイドバルブが備えられた状態を示した図面。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置にポートソレノイドバルブが備えられた状態を示した断面図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置を通じてガスが捕集される状態を示した断面図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置を示した構成図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集部に対する他の実施例を示した分解斜視図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集部に対する他の実施例を示した斜視図。 図９の捕集部を示した分解斜視図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集部に対する他の実施例を示しているもので、空圧バルブに結合される状態を示した斜視図。 図９の捕集口が多様に空圧バルブに結合される状態を示した斜視図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集口に針部が結合された状態を示した斜視図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集部に対する他の実施例を示した斜視図。 図１４の捕集部を示した分解斜視図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集部が固定部材に固定された状態を示した斜視図。 本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集部が固定部材に固定された状態を示した斜視図。

以下、本発明の実施例によってガス漏洩検知装置を説明するための図面を参照して本発明を説明する。

図１は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置を示した斜視図である。図２は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置を示した分解斜視図である。図３は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置を示した断面図である。

図１〜図３を参照すれば、本発明に係るガス漏洩検知装置は、捕集部１０、蓋部２０、排気ライン３０および検知部４０を、含む。

先ず、捕集部１０は、内部が空いており、円柱状に形成され、空圧バルブ１が挿入されるように下端に開口部１１が形成される。

また、捕集部１０は、円柱の他に多角柱状などの多様な形状に形成され得る。

ここで、捕集部１０は、後述する空圧バルブ１が破損すると、ガスが外部に排出されるように空圧バルブ１に形成された排出孔４が捕集部１０の内部に位置するように一定高さを有することが好ましい。

また、捕集部１０は、一側に挿入孔１２と貫通孔１３が形成される。

好ましくは、捕集部１０の上部に内部と貫通する挿入孔１２と貫通孔１３が形成される。

挿入孔１２は空圧バルブ１と結合されたエアー供給ライン６が貫通するように形成される。

また、貫通孔１３は空圧バルブ１に供給された後、空圧バルブ１の破損によって漏洩するガスが捕集部１０の外部に排出されるように貫通形成される。

すなわち、本発明に係るガス漏洩検知装置の捕集部１０は、それぞれの空圧バルブ１に設置されて空圧バルブ１を通過するガスが空圧バルブ１の破損によって漏洩する場合、その漏洩するガスが外部に漏洩して他の空圧バルブ１から漏洩するガスと混合されないようにガスを個別的に捕集するためのものである。

蓋部２０は、空圧バルブ１の破損によって漏洩するガスが捕集部１０の開口部１１を通じて排出されないように開口部１１に結合される。

この時、蓋部２０は、空圧バルブ１に形成された排出孔４が捕集部１０の内部に位置した状態で、排出孔４の下側である空圧バルブ１の外周面を囲むように捕集部１０の開口部１１に結合されることが好ましい。

一方、蓋部２０は、捕集部１０が空圧バルブ１および空圧バルブ１の両端に結合されたガス流入管２とガス排出管３のすべてを囲むように形成され得るので、その捕集部１０に開口された開口部１１を開閉することができるように形成されることがさらに好ましい。

また、蓋部２０は、空圧バルブ１の外周面を囲むように溝２２が形成された一対の蓋部材２１を含む。

ここで、蓋部材２１は、中央が貫通された原版を２等分した半円形状に形成され、直径の部分に溝２２が形成される。

すなわち、一対の蓋部材２１は、一側面、溝２２部分に接着剤を塗布して捕集部１０の下断面に一側面を付着させると同時に直径の部分が互いに当接するようにして捕集部１０の開口部１１に結合される。これによって、蓋部材２１は捕集部１０の開口部１１を閉鎖することになる。

ここで、空圧バルブ１はガス流入管２、ガス排出管３が両側にそれぞれ連結され、エアー供給部５から供給される高圧空気の空圧を利用してガス流入管２からガス排出管３に流れるガスの流れを制御するバルブである。好ましくは、ガス流入管２の流入部をダイアフラムで開閉するものの、その開閉有無は高圧空気の空圧によりなされる。

例えば、空圧バルブ１は、ダイアフラムバルブ(Diaphragm Valve)またはニューマチックバルブ(Pneumatic Valve)などから構成され得る。

すなわち、空圧バルブ１はガス流入管２からガス排出管３に移動するガスが通過するようにガス流入管２とガス排出管３の間に設置され、ガスが通過する通路を高圧空気の空圧でダイアフラムを利用して開閉するものである。また、高圧空気が加えられると上下に移動しながらダイアフラム９を加圧する栓８が備えられる。

このような空圧バルブ１は半導体装備に複数個が設置され、それぞれの空圧バルブ１のエアーまたはガスが漏洩する排出孔４ごとに前述した捕集部１０または後述する他の実施例の捕集部１０が設置される。

これは、空圧バルブ１を通過するガスが空圧バルブ１の破損によって漏洩する場合、その漏洩するガスが外部に漏洩して他の空圧バルブ１から漏洩するガスと混合されないようにガスを個別的に捕集するためである。

そして、ダイアフラム９が設置されるボンネットナット１４にはダイアフラム９が破損した時に空圧バルブ１の外部に排出されるように排出孔４が形成される。

また、空圧バルブ１は、ガスが漏洩する排出孔４が上下に形成される。この時、排出孔４は、ダイアフラム９が設置されるボンネットナット１４にダイアフラム９が破損した時に空圧バルブ１の外部に漏洩するように形成されたガス排出孔４と空圧バルブ１の内部に備えられたシリンダー１５の破損によってダイアフラム９の開閉を制御する高圧空気が外部に漏洩するように形成されたエアー排出孔４を含み、以下、排出孔４はガス排出孔４とエアー排出孔４のいずれか一つ以上を示す。

また空圧バルブ１で使われるエアーはcleandryair(CDA)やGeneral N２(GN２)であり、General N２を使う時、空圧バルブ１のシリンダー１５の破損がなされるとGeneral N２が漏洩し、その漏洩したGeneral N２をケース１０が捕集することによって、ケースの中の酸素濃度が低くなり、これによって検知部４０が酸素を検知することができる。したがって、本発明は空圧バルブ１のダイアフラム９とシリンダー１５の破損を通じて漏洩するガスを検知部４０で検知し、空圧バルブ１のいずれの部位の破損であるかも検知することができる。

そして、空圧バルブ１に結合されたエアー供給ライン６はエアー供給部５から供給される高圧空気を空圧バルブ１でガイドする。

この時、エアー供給ライン６は挿入孔１２を貫通して空圧バルブ１の上部に結合される。そして、エアー供給ライン６は挿入孔１２を貫通して結合される時に空圧バルブ１の破損により漏洩するガスが漏れないように挿入孔１２とシーリング処理されることが好ましい。

排気ライン３０は、一端が捕集部１０の貫通孔１３に連結され他端が後述する検知部４０に連結される。

また、排気ライン３０は貫通孔１３に排気されるガスを検知部４０に排気されるようにガイドする。

ここで、排気ライン３０を通じて貫通孔１３から検知部４０に排気されるガスは、空圧バルブ１に供給された後、シリンダー１５の破損によって排出される空気が混合されていることもあり得る。

検知部４０は、排気ライン３０の他端に結合されて、排気ライン３０に排気される排出空気に含まれたガスを検知する。

すなわち、検知部４０は、ガスの漏洩をモニタリングするためのもので、有毒ガスの流れを制御する空圧バルブ１から漏洩する有毒ガスを検知する有毒ガス検知器４１または酸素、窒素、アルゴンガスの流れを制御する空圧バルブ１から漏洩するガスを検知する酸素センサー４２のいずれか一つ以上を含み、好ましくは有毒ガス検知器４１と酸素センサー４２をすべて含む。

ここで、有毒ガス検知器４１はToxic Gas Detectorを用い、酸素センサー４２はO２ Sensorを用いる。

また、排気ライン３０は有毒ガス検知器４１と有毒ガスの流れを制御する空圧バルブ１と連結され、酸素センサー４２と酸素、窒素、アルゴンガスの流れを制御する空圧バルブ１と連結されることが好ましい。

そして、空圧バルブ１の排気ライン３０の他方は一つのラインで統合されて検知部４０の有毒ガス検知器４１または酸素センサー４２に連結されることが好ましい。

酸素センサー４２は酸素、窒素、アルゴンガスを酸素の濃度を大気中の空気の中に含まれた酸素の濃度約２０.９%以上であるか以下である時を通じてガスを検知する。

例えば、空圧バルブ１で酸素ガスが漏洩していると、検知する酸素の濃度が大気中の空気の中に含まれた酸素の濃度(２０.９%)以上であることを酸素センサー４２が感知することになる。これによって酸素ガスの流れを制御する空圧バルブ１の破損が分かる。

また、空圧バルブ１から窒素またはアルゴンガスが漏洩していると、酸素センサー４２が検知する酸素の濃度が大気中の空気の中に含まれた酸素の濃度(２０.９%)以下であることを酸素センサー４２が感知することになる。これによって窒素またはアルゴンガスの流れを制御する空圧バルブ１の破損が分かる。

したがって、本発明のガス漏洩検知装置は、捕集部１０と蓋部２０がそれぞれの空圧バルブ１に設置され、空圧バルブ１の破損によって漏洩するガスを捕集して排気ライン３０を通じて検知部４０に排気させることによって、複数の空圧バルブ１のいずれの空圧バルブ１からガスが漏洩しているかの有無を容易に把握できるだけでなく、漏洩ガスの種類を容易に把握でき、その種類に該当する空圧バルブ１だけをチェックすることができ、ガスの漏洩がなされている空圧バルブ１を迅速に捜し出すことができる。

一方、検知部４０は、排気ライン３０または連結ライン９０に排気される排出空気に含まれたガスが検知すなわち、有毒ガス検知器４１または酸素センサー４２でガスが検知されると、アラームを発生させるアラーム部４３を含む。

また、アラーム部４３は、有毒ガス検知部４１を通じて有毒ガスが検知されると、アラームを発生させる第１アラーム部４４と、前記酸素センサー４２を通じてガスが検知されると、アラームを発生させる第２アラーム部４５を含む。

これによって、使用者はアラーム部４３のアラームを通じて工場設備の作動を中止させることができる。

一方、本発明に係るガス漏洩検知装置は、排気バルブ５０とポンプ６０およびシーリング部７０をさらに含む。

排気バルブ５０は排気ライン３０の中間部に設置されて捕集部１０から検知部４０に排気されるガスの排気の有無を制御する。

この排気バルブ５０は、検知部４０にガスが検知された場合、ガスが漏洩する空圧バルブ１を容易に探すためのものである。

例えば、検知部４０でガスが検知されると、排気ライン３０にそれぞれ設置された排気バルブ５０をすべて閉鎖した後、いずれか一つの排気バルブ５０を個別的に開閉することによってガスが漏洩する空圧バルブ１を探すことができる。すなわち、いずれか一つの排気バルブ５０を開けた時、検知部４０でガスを検知すると、その排気バルブ５０からガスが漏洩するものであるので、早期に空圧バルブ１から漏洩するガスの有無を迅速に判断し、装備の作動を迅速に進行させることができ、装備の維持費用を節約することができる。

ポンプ６０は、排気ライン３０に排気される排出空気を検知部４０に移動させるように排気ライン３０の他端に設置される。

ポンプ６０は、捕集部１０に捕集されるガスを速やかに検知部４０に移動させて検知部４０がガスの漏洩を迅速に検知するようにするためのものである。

また、ポンプ６０は検知部４０と一体で形成することもでき、分離して形成することもできる。

シーリング部７０は、連結部７１、固定部材７２およびオーリング７３を含む。

シーリング部７０は、捕集部１０に捕集される排出空気が排気ライン３０に排出することができるように、排気ライン３０と捕集部１０間のシーリングのためのものである。

このような、シーリング部７０の連結部７１は、排気ライン３０の一端に結合され、下部に貫通孔１３に挿入される突出部が形成される。

そして連結部７１は、捕集部１０に捕集される排出ガスが排気ライン３０と連通するように貫通形成されることが好ましい。

固定部材７２は、貫通孔１３に挿入されて捕集部１０の内部に突出された突出部に結合されるものの捕集部１０の内部で結合される。これによって、固定部材７２は連結部７１を捕集部１０に固定させる。また、固定部材７２と捕集部１０の内側面間にはワッシャーをさらに含むことができるが、これに限定するものではない。

この時、突出部の外周面に螺子山が形成され、その螺子山に結合され得るように、固定部材７２はナットであってもよいが、これに限定するものではない。

オーリング７３は連結部７１の突出部に挿入されて連結部７１と捕集部１０の間を密閉させる。

したがって、本発明に係るガス漏洩検知装置は、それぞれの空圧バルブ１から漏洩するガスが他の空圧バルブ１から漏洩するガスと混合されないようにして安定性の向上と装備の損傷を防止することができると同時に、リアルタイムでガスの漏洩を検知部４０で検知してリアルタイムモニタリングが可能である。

図４は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置にポートソレノイドバルブが備えられた状態を示した図面である。図５は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置にポートソレノイドバルブが備えられた状態を示した断面図である。図６は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置を通じてガスが捕集される状態を示した断面図である。図７は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置を示した構成図である。

図４〜図７を参照すれば、本発明に係るガス漏洩検知装置は、ポートソレノイドバルブ５１、コントローラー８０およびディスプレイ部８２をさらに含む。

ポートソレノイドバルブ５１は、複数個からなる空圧バルブ１にそれぞれ備えられてガスを捕集する捕集部１０ごとに結合される排気ライン３０の中間部に備えられ、コントローラー８０の制御によってそれぞれの排気ライン３０に排気される漏洩ガスをそれぞれ排出させるか一体で排出させる。

ここで、排気ライン３０は、捕集部１０とポートソレノイドバルブ５１は空圧バルブ１ごとにそれぞれ備えられ、ポートソレノイドバルブ５１と検知部４０の間は、一つの連結ライン９０で形成される。換言すると、連結ライン９０はポートソレノイドバルブ５１と検知部４０を連結し、ポートソレノイドバルブ５１から排出されるガスが検知部４０に移動するようにガイドする。

すなわち、ポートソレノイドバルブ５１は、複数個の排気ライン３０に排気されるガスが流入され、それらのガスを一つの連結ライン９０に排出させる。ここで、後述する検知部４０がガスを検知すると、コントローラー８０により複数個の排気ライン３０中のいずれか一つの排気ライン３０でのみガスが流入および連結ライン９０に排出されるように制御される。このように、それぞれの排気ライン３０で排気されるガスのみを連結ライン９０に排出させることによって検知部４０がいずれの排気ライン３０からガスが排出されたものであるか、順次的かつ正確に確認することができる。

一方、ポートソレノイドバルブ５１の作動関係および制御はすでに公知された事項であるので詳細な作動関係および制御の説明は省略する。

したがって、本発明のガス漏洩検知装置は捕集部１０がそれぞれの空圧バルブ１に設置され、空圧バルブ１の破損によって漏洩するガスを捕集して排気ライン３０、ポートソレノイドバルブ５１および連結ライン９０を通じて検知部４０に排気させることによって、複数の空圧バルブ１中のいずれの空圧バルブ１からガスが漏洩しているのかの有無を容易に把握するだけでなく漏洩ガスの種類を容易に把握し、その種類に該当する空圧バルブ１だけをチェックすることができるので、ガスが漏洩している空圧バルブ１を迅速に捜し出すことができる。

コントローラー８０は検知部４０でガスが検知されると、ポートソレノイドバルブ５１に連結された複数個の排気ライン３０中のいずれか一つの排気ライン３０から排出されるガスだけを連結ライン９０を通じて検知部４０に排出させることができるようにポートソレノイドバルブ５１に連結された複数個の排気ライン３０の排出の有無をそれぞれ制御する。

すなわち、前述した通り、コントローラー８０はポートソレノイドバルブ５１を自動で制御することができるので、使用者がいちいち排気ライン３０の排気の有無を制御せずとも、迅速に、いずれの排気ライン３０を通じてガスが検知されたかを分かることができる。これによって、半導体装備の作動を迅速に再進行させることができ、装備の維持費用を節約することができる。

また、コントローラー８０は検知部４０で検知されるガスの種類と、ガスの検知量を含むデータをリアルタイムで管理サーバー１００に送信する。

そして、管理サーバー１００は、コントローラー８０からデータを受信してグラフで出力する。

すなわち、管理者は出力されるグラフを通じてガスの種類、検知量を一目で容易に把握することによって、ガスの漏洩の有無を予測することができ、前述したアラーム部４３のアラームが鳴らなかったり、鳴る前であってもガスの漏洩による事前準備および事前に維持管理ができる。

ディスプレイ部８２は検知部４０でガスが検知されてコントローラー８０がポートソレノイドバルブ５１を制御することによって破損した空圧バルブ１を把握すると、把握された空圧バルブ１の固有情報をディスプレイする。

例えば、ポートソレノイドバルブ５１で最初から最後まで排気ライン３０を制御する順番と対応づけて排気ライン３０が連結された捕集部１０または空圧バルブ１に表示し、コントローラー８０がポートソレノイドバルブ５１を制御する間、ガスが検知部４０で検知される時に該当する排気ライン３０の制御順番をディスプレイ部８２に表示すれば、使用者はディスプレイ部８２に表示された順番とマッチングされる空圧バルブ１すなわち、破損した空圧バルブ１を迅速に探すことができる。

また、ディスプレイ部８２には、空圧バルブ１の固有情報の他に、検知されたガスの種類と検知されたガス量も表示することができる。

図８は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集部に対する他の実施例を示した分解斜視図である。

図８を参照すれば、本発明に係るガス漏洩検知装置の捕集部１０は空圧バルブ１を全体的に囲まず、ボンネットナット１４だけを囲むようにして、ボンネットナット１４で漏洩するガスを捕集することができる。

ここで、ガス漏洩検知装置の構成要素の中で、前述したガス漏洩検知装置の構成と同一であるものの、捕集部１０の上端に開口部１１がさらに形成され、その開口部１１を覆って捕集部１０の内部を密閉させる蓋部２０がさらに備えられる。

そして、捕集部１０の貫通孔１３は側面に形成してもよい。

換言すれば、捕集部１０は空圧バルブ１の挿入ができるように、上下が貫通されて上下端に開口部１１が形成され、空圧バルブ１の破損によって漏洩するガスが外部に排出される貫通孔１３が形成される。

捕集部１０で捕集されるガスは貫通孔１３に連結された排気ライン３０を通じて検知部４０に排気され、検知部４０がガスを検知することになる。

図９は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集部に対する他の実施例を示した斜視図である。図１０は図９の捕集部を示した分解斜視図である。図１１は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集部に対する他の実施例を表して、空圧バルブに結合される状態を示した斜視図である。

図１２は図９の捕集口が多様に空圧バルブに結合される状態を示した斜視図である。図１３は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集口に針部が結合された状態を示した斜視図である。

図９および図１０を参照すれば、捕集部１０は、空圧バルブ１の破損によって漏洩するガスを捕集する。

すなわち、捕集部１０は、空圧バルブ１の破損によってガスが漏洩する排出孔４に付着されてガスを捕集する捕集口１１２が形成される。

ここで、前述した排気ライン３０は一端が捕集部１０の吐出口１１１に結合されて捕集部１０の吐出口１１１に排出される排出ガスを外部に排気させる。

そして、捕集部１０の内部は中空状であり、外側に捕集口１１２と連通するように開口されて後述する排気ライン３０の一端が結合される。

そして、捕集部１０は、捕集口１１２外周面に剥離接着剤が塗布される。これは、捕集部１０が空圧バルブ１の外周面に着脱されるものの、密着固定されてガスが空圧バルブ１と捕集部１０の間で漏洩しないようにするためである。

また、捕集部１０は、捕集口１１２の入口外側にオーリング１１３が備えられる。これは、空圧バルブ１の外周面と捕集部１０の間を密閉させて、ガスが空圧バルブ１と捕集部１０の間で漏洩しないようにするためである。

図１１を参照すれば、捕集部１０は、上部に延長形成され、上部に空圧バルブ１の破損で漏洩する排出孔４すなわち、エアー排出孔４に漏洩するエアーを捕集する捕集口１１２がさらに形成される。

一方、本発明に係るガス漏洩検知装置は、翼部１２０をさらに含む。

翼部１２０は、捕集部１０の両側にそれぞれ突出されて空圧バルブ１の外周面を囲む一対の翼１２１で構成される。

また、翼部１２０は、一対からなる翼１２１が空圧バルブ１を囲みながら互いに結合することができるように、多様な結合方式を利用することができる。

例えば、翼１２１の両端を締め括る締め括り結合方式、ボタンの着脱を利用したボタン結合方式の他にベルト結合方式、クランプ結合方式またはベルクロテープ結合方式のうち、いずれか一つの結合方式を利用することができる。

また、翼部１２０は、伸縮力を有する弾性バンドからなっており、空圧バルブ１の厚さに関わらず、捕集部１０の捕集口１１２を排出孔４に密着させて固定させることができ、前述した結合方式でより密着力を高めることができる。

また、翼１２１は、互いに対向する方向に弾性力を有することが好ましく、これは空圧バルブ１の外周面を弾性支持し、捕集部１０を空圧バルブ１に密着固定させるためである。

そして、翼１２１は、捕集部１０の捕集口１１２の両側に配置されて形成され、上下に形成された捕集口１１２の上下に配置されて形成されることが好ましい。

一方、翼１２１は、湾曲または折り曲げ形成される。これは、空圧バルブ１に向かって有する弾性力で空圧バルブ１の外周面を弾性支持するためである。これによって、翼１２１は、捕集口１１２を排出孔４に密着結合させることができる。

この時、翼１２１は空圧バルブ１の外周面の１/４弧の長さより長く形成され、翼部１２０は、翼１２１が空圧バルブ１の外周面の半分以上を囲んでいるので、外力によって簡単には脱落しない。

また、翼１２１は、内部が捕集部１０の内部と連通され、内側面が開口された捕集口１１２が形成される。

この時、捕集部１０に形成された捕集口と翼１２１に形成された捕集口の中、いずれか一つだけを選択的に形成することもでき、それぞれ形成することもできる。

図１２を参照すれば、空圧バルブ１が密に配列設置される場合、空圧バルブ１からエアーまたはガスが漏洩する排出孔４の位置に関わらず、捕集部１０と翼部１２０に形成された捕集口１１２の位置を排出孔４に容易に位置移動させることができる。換言すれば、排出孔４の位置が隣接した他の空圧バルブ１に向かって捕集部１０を排出孔４に連結する空間が狭い場合、翼部１２０を利用して排出孔４に連結することができるのである。

これによって、空圧バルブ１の排出孔４には、複数個の捕集口１１２中のいずれか一つが場合によって密着結合される。

そして、翼１２１に形成される捕集口１１２は、弾性力の方向を有する翼１２１の内側面に形成されるものの、翼１２１と空圧バルブ１が互いに接触する翼１２１の接触部位に形成されることが好ましい。

ここで、捕集口１１２は、翼１２１が空圧バルブ１の外周面を弾性支持する内側面に形成されることが好ましい。これは前述した通り、翼１２１に捕集口１１２が形成された状態で翼１２１に形成された捕集口１１２と空圧バルブ１の排出孔４を互いに密着させるためである。

合わせて、捕集口１１２は、翼１２１の長さ方向に長孔の形状を有するように形成され得る。そして、捕集口１１２は、排出孔４と直径が同じであるか広く開口が形成される。

すなわち、捕集口１１２が長孔の形状で形成されることによって、捕集部１０および翼部１２０を左右に移動させる時に容易に捕集口１１２と排出孔４が互いに連通するように調節することができるため、本発明に係るガス漏洩検知装置の設置が容易となり、排出孔４から漏洩するエアーないしガスを容易に捕集することができる。

図１３を参照すれば、捕集部１０は、捕集口１１２の入口が空圧バルブ１の排出孔４に挿入可能に突出され、ガス排出孔４の内部に挿入される針部１１４を含む。
この時、針部１１４は内部が中空であり、突出した終端が開口されて捕集口１１２と連通するように形成されることが好ましい。

また、針部１１４の外側の直径は排出孔４の内側の直径と同一に形成され、針部１１４が排出孔４にごり締まり嵌めされることが好ましい。

また、針部１１４は、外側面が軟性の材質または剛性の材質からなり、排出孔４に挿入される時、針部１１４の外側面と排出孔４の内側面間が密閉されることが好ましいが、これに限定されない。

図１４は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集部に対する他の実施例を示した斜視図である。図１５は図１４の捕集部を示した分解斜視図である。図１６および図１７は本発明の好ましい実施例に係るガス漏洩検知装置の捕集部が固定部材に固定された状態を示した斜視図である。

図１４〜図１７を参照すれば、捕集部１０は、空圧バルブ１の破損によって漏洩するガスを捕集する。

また、捕集部１０は、空圧バルブ１の破損によってガスが漏洩する排出孔４に付着されてガスを捕集する捕集口１１２が形成される。

そして、捕集部１０は、捕集口１１２に捕集されたガスが吐出される吐出口１１１が形成される。

すなわち、捕集部１０の一側面には吐出口１１１が形成され、他方面には捕集口１１２が形成される。

この時、捕集部１０の一側面には後述する排気ライン３０が挿入結合される内側に凹んだ溝１１７が形成される。

そして、捕集部１０の他側面には、吐出口１１１と連通して延長された延長部１１６が形成される。また、延長部１１６の終端が空圧バルブ１の破損によってガスが漏洩する排出孔４に挿入結合される。

合わせて、延長部１１６の終端にガスを捕集する捕集口１１２が形成され、延長部１１６は中空の形態で形成され、捕集口１１２と吐出口１１１が互いに連通する。

また、延長部１１６の終端部が折り曲げ形成され、延長部１１６の終端部は排出孔４の長さ方向と一直線の状態となる。これは、延長部１１６の終端部を排出孔４に容易に挿入結合して、安定的に固定させるためである。

また、空圧バルブ１はガスが漏洩する排出孔４が複数個形成される。

この時、捕集部１０は、排出孔４ごとに挿入結合される捕集口１１２が複数個延長部１１６の中間部に形成され得る。

また、捕集部１０は軟質の材質から構成され、長さが伸縮および撓むことが可能であり、空圧バルブ１への設置が容易である。

ここで、針部１１４は、捕集口１１２の入口が空圧バルブ１の排出孔４に挿入可能に突出されて排出孔４の内部に挿入される。

これは、軟質の材質からなる捕集部１０の延長部１１６の終端を排出孔４に挿入させる時、容易に挿入するためである。また、針部１１４の直径サイズを変更することによって、大きさの異なる排出孔４に捕集部１０を適用することが可能である。

図１６および図１７を参照すれば、本発明に係るガス漏洩検知装置は、固定部材１３０をさらに含む。

固定部材１３０は、空圧バルブ１の外周面を囲んで両端が結合され、コイル１３１ごとに広がる隙間１３２に挿入される捕集部１０を空圧バルブ１で密着固定させる。

また、針部１１４の外側の直径は排出孔４の内側の直径と同一に形成され、針部１１４が排出孔４に締まり嵌めされることが好ましい。

合わせて、針部１１４は、外側面が軟性の材質を有するように形成され、排出孔４に挿入される時、針部１１４の外側面と排出孔４の内側面間が密閉されることが好ましいが、これに限定されない。

１：空圧バルブ
２：ガス流入管
３：ガス排出管
４：排出孔
５：エアー供給部
６：エアー供給ライン
８：栓
９：ダイアフラム
１０：ケース
１１：開口部
１２：挿入孔
１３：貫通孔
１４：ボンネットナット
１５：シリンダー
２０：蓋部
２１：蓋部材
２２：溝
３０：排気ライン
４０：検知部
４１：有毒ガス検知器
４２：酸素センサー
４３：アラーム部
４４：第１アラーム部
４５：第２アラーム部
５０：排気バルブ
５１：ポートソレノイドバルブ
６０：ポンプ
７０：シーリング部
７１：連結部
７２：固定部材
７３：オーリング
８０：コントローラー
８２：ディスプレイ部
９０：連結ライン
１００：管理サーバー
１１１：吐出口
１１２：捕集口
１１３：オーリング
１１４：針部
１１６：延長部
１１７：挿入溝
１２０：翼部
１２１：翼
１３０：固定部材
１３１：コイル
１３２：隙間

Claims (16)

1. 空圧バルブが挿入されるように下端に開口部が形成され、一側に空圧バルブと結合されたエアー供給ラインが貫通する挿入孔が形成され、前記空圧バルブの破損によって漏洩するガスが外部に排出される貫通孔が形成された捕集部；
   前記空圧バルブから漏洩するカスが前記捕集部の下端に形成された開口部を通じて排出されないように開口部に結合される蓋部；
   一端が前記捕集部の貫通孔に連結されて前記空圧バルブから漏洩するガスが外部に排気される排気ライン；および
   前記排気ラインの他端に連結され、前記排気ラインに排気される排出空気に含まれたガスを検知する検知部；を含み、
   前記蓋部は、
   前記空圧バルブの外周面を囲むように溝が形成された一対の蓋部材を含む、ガス漏洩検知装置。
2. 空圧バルブが挿入されるように上下が貫通されて上下端に開口部が形成され、前記空圧バルブの破損によって漏洩するガスが外部に排出される貫通孔が形成された捕集部；
   前記空圧バルブから漏洩するカスが前記捕集部の上下端に形成された開口部を通じて排出されないように開口部に結合される蓋部；
   一端が前記捕集部の貫通孔に連結されて前記空圧バルブから漏洩するガスが外部に排気される排気ライン；および
   前記排気ラインの他端に連結され、前記排気ラインに排気される排出空気に含まれたガスを検知する検知部；を含み、
   前記蓋部は、
   前記空圧バルブの外周面を囲むように溝が形成された一対の蓋部材を含む、ガス漏洩検知装置。
3. 空圧バルブの破損によって漏洩するガスを捕集する捕集部；
   一端が前記捕集部の吐出口に結合されて前記捕集部の吐出口に排出される排出ガスを外部に排気させる排気ライン；
   前記排気ラインの他端に結合されて、前記排気ラインに排気される排出空気に含まれたガスを検知する検知部；を含み、
   前記捕集部は、前記空圧バルブの破損によってガスが漏洩する排出孔に付着されて前記ガスを捕集する捕集口が形成され、
   前記捕集部の両側にそれぞれ突出して前記空圧バルブの外周面を囲む一対の翼からなるものの、前記翼が互いに対向する方向に弾性力を有する翼部；をさらに含む、ガス漏洩検知装置。
4. 前記空圧バルブは、ガスが漏洩する排出孔が上下に形成され、
   前記捕集部は、
   上部に延長形成され、上部に前記空圧バルブの破損によって漏洩するガスを捕集する捕集口がさらに形成されたことを特徴とする、請求項３に記載のガス漏洩検知装置。
5. 前記翼は、湾曲または折り曲げ形成され、前記空圧バルブに向かって有する弾性力で前記空圧バルブの外周面を弾性支持し、前記捕集口を前記排出孔に密着結合させることを特徴とする、請求項３に記載のガス漏洩検知装置。
6. 前記捕集口は、前記翼の長さ方向に長孔の形状を有するように形成されることを特徴とする、請求項３に記載のガス漏洩検知装置。
7. 前記捕集部は、前記捕集口の外周面に剥離接着剤が塗布され、前記空圧バルブの外周面に着脱されるものの、密着固定されて前記ガスが漏洩しないようにすることを特徴とする、請求項３に記載のガス漏洩検知装置。
8. 空圧バルブの破損によって漏洩するガスを捕集し、捕集するガスが吐出される吐出口が形成された一側面に内側に凹んだ溝が形成された捕集部；
   一端が前記内側に凹んだ溝に挿入結合されて、前記捕集部の吐出口に排出される排出ガスを外部に排気させる排気ライン；
   前記排気ラインの他端に結合されて、前記排気ラインに排気される排出空気に含まれたガスを検知する検知部；を含み、
   前記捕集部は、前記吐出口と連通して他側面に延長された延長部と、前記延長部の終端が前記空圧バルブの破損によってガスが漏洩する排出孔に挿入結合されて前記ガスを捕集する捕集口が形成されたことを特徴とする、ガス漏洩検知装置。
9. 前記空圧バルブは、ガスが漏洩する排出孔が複数個形成され、
   前記捕集部は、
   前記排出孔ごとに挿入結合される捕集口が複数個形成され、前記空圧バルブの破損によって漏洩するガスを捕集することを特徴とする、請求項８に記載のガス漏洩検知装置。
10. 前記空圧バルブの外周面を囲んで両端が結合され、コイルごとに広がる隙間に挿入される前記捕集部を前記空圧バルブで密着固定させる固定部材；をさらに含む、請求項８に記載のガス漏洩検知装置。
11. 前記捕集口の入口が前記空圧バルブの排出孔に挿入可能に突出されて前記排出孔の内部に挿入される針部；を含む、請求項３または請求項８に記載のガス漏洩検知装置。
12. 複数個からなる空圧バルブにそれぞれ備えられてガスを捕集する捕集部ごとに結合される排気ラインの中間部に備えられ、コントローラーの制御によってそれぞれの排気ラインに排気される漏洩ガスをそれぞれ排出させるか一体で排出させるポートソレノイドバルブ；および
    前記検知部で漏洩ガスが検知されると、複数個の排気ラインの排出の有無を前記ソレノイドバルブを通じて制御するコントローラー；をさらに含む、請求項１〜３および請求項８のいずれか一項に記載のガス漏洩検知装置。
13. 前記コントローラーは、前記検知部で検知される漏洩ガスの種類と、漏洩ガスの検知量を含むデータをリアルタイムで管理サーバーに送信し、
    前記管理サーバーは、前記コントローラーからデータを受信してグラフで出力して管理者に提供することを特徴とする、請求項１２に記載のガス漏洩検知装置。
14. 前記検知部でガスが検知されて、前記コントローラーが前記ポートソレノイドバルブを制御することによって破損した空圧バルブを把握すると、把握された空圧バルブの固有情報をディスプレイするディスプレイ部；をさらに含み、
    前記固有情報は、複数個の空圧バルブごとにそれぞれ既設定されたことを特徴とする、請求項１２に記載のガス漏洩検知装置。
15. 前記検知部は、
    有毒ガスの流れを制御する空圧バルブから漏洩する有毒ガスを検知する有毒ガス検知器と、
    酸素、窒素、アルゴンガスの流れを制御する空圧バルブから漏洩するガスを検知する酸素センサーを含む、請求項１〜３および請求項８のいずれか一項に記載のガス漏洩検知装置 。
16. 前記検知部は、
    前記有毒ガス検知器を通じて有毒ガスが検知されると、アラームを発生させる第１アラーム部と、前記酸素センサーを通じてガスが検知されると、アラームを発生させる第２アラーム部を含むアラーム部；を含む、請求項１５に記載のガス漏洩検知装置 。

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