KR0161450B1 - 검출능력이 향상된 누설가스 검출방법 및 그의 장치 - Google Patents

검출능력이 향상된 누설가스 검출방법 및 그의 장치 Download PDF

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Abstract

반도체 장치의 누설가스 검출장치에 관한 것으로, 특히, 흡입압력을 증가시켜 누설가스의 감지능력을 향상시킨 누설가스 검출방법 및 그의 장치에 관한 것으로, 검출구를 구비한 누설가스 감지장치와, 외부공기를 흡입하는 다수의 흡입구 각각의 개폐시간을 조절하여 특정 흡입구만을 개폐시키도록 제어하는 제어장치와, 상기 제어장치에 의해 제어되며 각 흡입구와 상기 누설가스 감지장치의 검출구에 연결된 밸브를 구비한다.

Description

검출능력이 향상된 누설가스 검출방법 및 그의 장치
제1도는 본 발명에 따른 누설가스 감지장치를 나타낸다.
제2도는 제1도의 밸브의 개폐시간을 나타내는 도표이다.
제3도는 제1도의 제어장치의 구성을 나타내는 도면이다.
본 발명은 반도체 장치의 누설가스 검출장치에 관한 것으로, 특히, 흡입압력을 증가시켜 누설가스의 감지능력을 향상시킨 누설가스 검출방법 및 그의 장치에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조공정 중에는 특정반응을 위해 또는 반응의 활성을 위해 소정의 가스 등을 반응이 일어나는 확산로나 증착장치 등으로 유입한다. 그런데, 이런 대부분의 가스는 인체에 유해하며, 산소 나 수소가스가 누설될 경우 반응설비가 폭발할 가능성도 있어 상당히 위험하다.
누설가스의 검출은 외부공기(반응실 이외의 공간의 공기)를 흡입하여 외부공기 중에 소정 가스의 비율이 소정치를 넘으면, 경고장치가 작동하여 가스 누설을 알리는 신호를 반도체 제조설비로 보낸다.
이러한 원리를 이용한 종래의 누설가스의 감지는 다수의 흡입구를 동시에 개폐하여 외부공기를 검출장치내로 흡입하고, 검출장치의 검출구에서는 흡입된 외부공기 중의 반응가스 또는 반응활성화/안정화 가스 등이 소정 한계치 이상이 감지되면, 가스누설을 알리는 경고신호가 발생한다. 그런데, 누설가스 검출장치에서 사용되는 흡입펌프는 그 용량의 한계가 있어 외부공기를 흡입하는 흡입구가 다수개인 경우는 흡입구의 수 만큼 각 흡입구의 흡입압력이 급격히 저하된다. 따라서, 검출구에서의 누설가스 감지능력도 감소된다. 이로인해 가스가 누설되고 있는데도 누설가스 발생신호가 발생되지 않아 앞서 언급한 바와 같이 작업장 내의 환경이 나빠지고 작업장의 안전이 위협받게 된다. 또한 설비환경의 악화로 인해 반도체 장치의 품질이 저하되며 생산량도 감소하며, 반도체 제조장치의 설비의 부식 등의 악영향을 주어 설비수명이 단축되며, 유입되는 가스의 양이 충분히 공급되지 못하게 되면 원하는 반응이 충분히 일어나지 않으며, 충분히 일어난다 해도 필요 이상의 가스를 사용해야 하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 반도체 장치의 제조공정에서 사용되는 가스의 누설을 효과적으로 감지할 수 있는 누설가스 감지방법 및 그의 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위한 반도체장치는, 검출구를 구비한 누설가스 감지장치와, 외부공기를 흡입하는 다수의 흡입구 각각의 개폐시간을 조절하여 특정 흡입구만을 개폐시키도록 제어하는 제어장치와, 상기 제어장치에 의해 제어되며 각 흡입구와 상기 누설가스 감지장치의 검출구에 연결된 밸브를 구비한다.
상기 제어장치는 전원공급부와, 상기 특정 흡입구의 개폐시간을 제어하도록 작성된 프로그램의 구동부와, 상기 프로그램의 저장부와, 상기 전원공급부의 전원을 공급받으며 상기 프로그램의 구동부 및 상기 프로그램의 저장부와 연결된 프로그램 해석 및 처리부 및 상기 프로그램 해석 처리부와 상호연결되어 상기 프로그램 해석 및 처리부의 결과에 따라 소정 밸브의 개폐를 제어하는 밸브 제어부를 구비한다.
상기 반도체 장치는 특정시간동안 상기 다수의 흡입구 중 특정한 흡입구에 연결된 밸브만이 도통되도록 구성되며, 다수의 흡입구는 3개 이상이며, 상기 특정한 흡입구는 1개로 구성한다.
본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 누설가스 검출방법은, 다수의 흡입구에 연결된 다수의 밸브, 상기 밸브에 연결된 제어장치와 상기 밸브 각각이 연결된 검출구를 가지는 누설가스 검출장치를 구비한 반도체 장치에 있어서, 특정 구간에서는 상기 다수의 흡입구 중 특정의 흡입구와 연결된 밸브만을 상기 검출구에 선택적으로 연결시킴을 특징으로 하며, 상기 흡입구 및 밸브의 수는 3개 이상으로 사용할 수 있다.
이상에서, 본 발명은 다수의 흡입구 중 상기 제어장치에 의해 특정 시간동안 특정한 한 개의 흡입구에 연결된 밸브만이 열려지게 하여 흡입압력을 상승시켜 누설가스의 검출능력을 향상시킨다.
이하, 본 발명을 도면을 참조로 상세히 설명한다.
제1도는 본 발명에 따른 누설가스 감지장치를 나타낸다.
참조번호 10은 종래의 누설가스 감지장치를, 참조번호 20은 제어장치를, 참조번호 30,40 및 50은 밸브를, A, B, 및 C는 각 흡입구를 나타낸다. 본 발명에서는 설명의 편의상 3개의 흡입구를 사용한 것을 나타냈으며, 흡입구와 그에 연결되는 밸브를 4개 이상을 사용할 수 있음은 당해 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다.
구체적으로, 외부공기를 흡입하기 위한 제 1흡입구(A), 제 2흡입구(B) 및 제 3흡입구(C), 각각에 제 1밸브(30), 제 2밸브(40), 제 3밸브(50)가 각각 연결되어 있다. 제어장치(20)는 특정 흡입구를 통한 외부공기의 유입을 위해 특정 밸브의 개폐를 제어한다. 상기 제어장치는 밸브(30, 40 및 50)에 연결되어 있으며, 상기 밸브들은 종래 사용한 누설가스 감지장치(10)에 연결된다.
제2도는 제1도의 밸브의 개폐시간을 나타내는 도표이다.
가로축은 시간을 나타내고, 제 1흡입구(A), 제 2흡입구(B) 및 제 3흡입구(C)의 개폐시간을 비교하기 위해 상기 제 1내지 제 3흡입구를 세로축에 동시에 표시하였다. 각 흡입구로의 외부공기의 유입여부는 소정의 주기를 갖는 스퀘어파형의 그래프로 표시되는데, 상기 주기는 제1도의 제어장치(20)에서 발생되는 제어신호에 의해 결정된다. 특히, 본 발명에서는 특정시간에는 오직 하나의 밸브만을 열도록 하고 설계되어 있다. 구체적으로, 제 1구간에서는 제 1흡입구만을 통해 외부공기가 유입된다. 즉, 제 1흡입구에 연결된 제 1밸브만이 열려져 있게 된다. 다음 제 2구간에서는 제 2흡입구를 통해서만 외부공기가 유입되고 제 2밸브만이 열려져있게 된다. 제 3구간에서는 제 3흡입구를 통해 외부공기가 누설가스 검출장치로 유입되며 제 3밸브만이 열려져 있게 된다.
제3도는 제1도의 제어장치의 구성을 나타내는 도면이다. 제1도의 제어장치는 전원공급부(21), 프로그램저장부(22), 상기 전원공급부와 상기 프로그램저장부와 연결된 프로그램 해석/처리부(23), 상기 프로그램 해석/처리부와 연결된 프로그램구동부(24) 및 상기 프로그램 해석/처리부에 연결된 밸브제어부(25)로 구성되어 있다. 제2도의 그래프를 나타내도록 하는 프로그램이 상기 프로그램 저장부에 내장되어 있다.
이하, 제1도 내지 제3도를 참고로 본 발명의 동작을 설명한다.
누설가스 검출장치(10)이 온상태에서, 제어장치(20)이 구동하여 제 1구간에서는 제 1밸브(30)만이 도통되고 제 2밸브(40) 및 제 3밸브(50)는 비도통상태가 된다. 즉, 제어장치내에서, 프로그램구동부(24)의 구동신호와 전원전압부(21)의 전원을 공급받아, 제2도의 그래프를 나타내도록 작성된 프로그램이 작동하여 밸브제어부(25)를 구동시킨다. 제 1구간임을 프로그램 해석/처리부(23)가 인식하고 제 1밸브(30)를 도통시키고 나머지는 비도통상태로 둔다. 제 1구간 중에는 제 1흡입구(A)를 통해 외부공기가 누설가스 검출장치(10) 내로 유입된다. 외부공기중 소정 가스의 양이 한계치 이상인지 아닌지를 검사한다. 이와는 별도로, 상기 제어장치(20)는 계속 동작하여 상기 프로그램 해석/처리부(23)에서 제 1구간이 끝나고 제 2구간이 시작됨을 인식하면, 밸브제어부(25)를 제어하여 제 1밸브(30)는 비도통상태, 제 2밸브(40)는 도통상태로 전환시키며, 제 3밸브(50)는 전 상태를 유지시킨다. 따라서, 제 2흡입구(B)를 통해 외부공기가 상기 누설가스 검출장치(10)내로 유입되며, 이 공기를 받아 작업장 환경의 위험성 등을 진단하는 작업을 계속 수행한다. 위와 마찬가지로, 제어장치(20)의 프로그램 해석/처리부(23)에서 제 2구간이 끝나고 제 3구간이 시작됨을 인식하면, 제 1밸브(30)는 전상태를 유지시키고, 제 2밸브(40)는 비도통상태로 제 3밸브(50)는 도통상태로 전환시켜, 제 3흡입구(C)를 통해 외부공기가 유입되고, 제 1 및 제 2구간에서와 같이 누설가스 검출장치가 외부공기 중의 소정 가스의 포함 비율을 검사한다. 여기서, 3개의 밸브 중 동시에 3개의 밸브가 도통되지 않고 특정시간에는 하나의 밸브만이 유입되는 공기의 흡입압력이 7배 내지 10배 정도 증가한다. 따라서, 누설가스의 검출능력이 상당히 향상된다.
본 발명의 효과를 보다 객관적으로 명확하게 나타내기 위해, 3개의 흡입구를 사용하는 경우, 3개의 흡입구를 동시에 도통시켜 누설가스를 감지하는 종래의 누설가스 감지장치에서 감지되는 흡입압력과 본 발명의 것에서 감지되는 흡입압력을 비교한 것이 아래의 표 1에 나타나 있다.
상기 표에 나타난 바와 같이 제 1흡입구의 흡입압력은 종래의 것에 비해 약 7배 정도 증가하였고, 제 1 및 제 3흡입구를 통한 흡입압력은 약 10배 정도 증가하였다. 따라서, 이에 해당하는 만큼의 누설가스검지능력도 향상된다.
보다 구체적으로, 누설가스의 존재여부를 검사하는 능력을 동일조건에서 비교한 것이 표 2에 나타나 있다.
상기 표 2의 제 1조건은 펌프의 배출압력 -25mmHO에서 HCl이 10cc, N가 18리터인 경우이고, 제 2조건은 펌프의 배출압력 -25mmHO에서 HCl이 15c, N가 18리터인 경우이다. 상기 표 2에 나타난 바와 같이 조건 1에서 종래의 누설가스 검출장치(10)는 누설가스를 전혀 감지하지 못하나 본 발명의 것은 1분후에 감지하며, 조건 2에서는 종래의 누설가스 검출장치에서는 5분 또는 9분후에 누설가스가 있음을 감지하나 본 발명의 것은 누설가스가 포함된 외부공기의 흡입 즉시 누설가스의 존재를 감지한다.
본원 발명에 따른 제어장치 유기적으로 결합된 누설가스 검출장치에 사용되는 밸브는 MTV-2를, 제어장치는 PLC(Programable logic Controller)를 사용할 수 있으며, 이러한 감지장치를 확산로의 가스투입부위와 수증기의 생성장치의 박스, 유틸리티박스 부근에서의 염소가스의 누설을 감지하는데 사용될 수 있다.
또한, 확산로에서 수소가스 누설을 검출하기 위해 솔레노이드밸브와 에어밸브를 조합하여 사용하며, 상기 에어밸브를 사용하는 이유는 에어밸브는 공기로 구동되기 때문에 제어정치에서 전송되는 신호에 의해 솔레노이드밸브를 제어하고 솔레노이드밸브를 에어밸브 구동용 에어를 제어하여 외부공기의 흐름을 조절한다. 한편 제어장치는 마이컴을 이용할 수 있다.
이상에서 본 발명을 흡입구가 3개인 경우에 한정하여 설명하였으나, 본 발명은 한정되지 않고 4개 이상 사용하는 경우에도 종래기술의 검출능력에 비해 뛰어난 감지 능력을 나타낼 수 있음은 당해 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다.

Claims (6)

  1. 검출구를 구비한 누설가스 감지장치와, 외부공기를 흡입하는 다수의 흡입구 각각의 개폐시간을 조절하여 특정 흡입구만을 개폐시키도록 제어하는 제어장치와, 상기 제어장치에 의해 제어되며 각 흡입구와 상기 누설가스 감지장치의 검출구에 연결된 밸브를 구비함을 특징으로 하는 반도체 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제어장치는, 전원공급부와, 상기 특정 흡입구의 개폐시간을 제어하도록 작성된 프로그램의 구동부와, 상기 프로그램의 저장부와, 상기 전원공급부의 전원을 공급받으며 상기 프로그램의 구동부 및 상기 프로그램의 저장부와 상호연결된 프로그램 해석 및 처리부 및 상기 처리부의 결과신호에 따라 소정 밸브의 개폐를 제어하는 밸브 제어부를 구비함을 특징으로 하는 반도체 장치.
  3. 제 1항에 있어서, 특정시간동안 상기 다수의 흡입구 중 특정한 흡입구에 연결된 밸브만이 도통됨을 특징으로 하는 반도체 장치.
  4. 상기 제 3항에 있어서, 상기 다수의 흡입구는 3개 이상이며, 상기 특정합 흡입구는 1개임을 특징으로 하는 반도체 장치.
  5. 다수의 흡입구에 각각 연결된 다수의 밸브, 상기 밸브에 연결된 제어장치와 상기 밸브 각각이 연결된 검출구를 가지는 누설가스 검출장치를 구비한 반도체 장치에 있어서, 특정 구간에서는 상기 다수의 흡입구 중 특정의 흡입구와 연결된 밸브만을 상기 검출구에 선택적으로 연결시킴을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 흡입구 및 밸브의 수는 3개 이상임을 특징으로 하는 반도체장치의 제조방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100849399B1 (ko) * 2008-04-29 2008-07-31 오희범 단일 가스감지기를 이용한 복수 구역 가스 누출 감지시스템

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19627922A1 (de) * 1996-07-11 1998-01-15 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Rückgewinnung des bei der Heliumlecksuche verwendeten Heliums
EP0786654A3 (de) * 1997-05-07 1997-12-10 Martin Lehmann Behälter-Dichtheitsprüfanlage
GB9825128D0 (en) * 1998-11-18 1999-01-13 Fox Alan Water leahage detection device
JP4374156B2 (ja) * 2000-09-01 2009-12-02 日本碍子株式会社 Ｉｉｉ−ｖ族窒化物膜の製造装置及び製造方法
US20040163445A1 (en) * 2002-10-17 2004-08-26 Dimeo Frank Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems
US7080545B2 (en) * 2002-10-17 2006-07-25 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems
US20060211253A1 (en) * 2005-03-16 2006-09-21 Ing-Shin Chen Method and apparatus for monitoring plasma conditions in an etching plasma processing facility
JP2016536623A (ja) * 2013-11-12 2016-11-24 ユン、ジュン ホYUN, Jung Ho ガス漏洩検知装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3094862A (en) * 1958-12-03 1963-06-25 Phillips Petroleum Co Chromatographic analyzer peak reader
US3069898A (en) * 1959-02-20 1962-12-25 Phillips Petroleum Co Analyzer and fluid sampling system
US3500028A (en) * 1965-03-10 1970-03-10 Foster Grant Co Inc Automatic chromatography system
US3533218A (en) * 1967-09-30 1970-10-13 Pye Ltd Gas chromatography apparatus
US3733474A (en) * 1971-09-01 1973-05-15 Texaco Inc Apparatus and method for providing corrected normalized signals corresponding to the composition of a material
US4063310A (en) * 1973-07-25 1977-12-13 Pye Limited Sampler control system for chromatograph analytical apparatus
US3942331A (en) * 1974-07-08 1976-03-09 The Dow Chemical Company Cryogenic tank
US4184362A (en) * 1978-07-24 1980-01-22 Abbott Laboratories Bottle leak tester
JPS5612530A (en) * 1979-07-12 1981-02-06 Hitachi Ltd Detecting system for sodium leakage
US4364261A (en) * 1981-03-25 1982-12-21 N.E.R.G. Enterprises, Inc. Multi-media leak test apparatus
US5384714A (en) * 1993-03-12 1995-01-24 Emerson Electric Co. Pump controller program

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100849399B1 (ko) * 2008-04-29 2008-07-31 오희범 단일 가스감지기를 이용한 복수 구역 가스 누출 감지시스템

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09145520A (ja) 1997-06-06
TW317608B (ko) 1997-10-11
US5728940A (en) 1998-03-17
JP3522984B2 (ja) 2004-04-26
KR970030551A (ko) 1997-06-26

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