JPH03275150A - 清浄作業台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、作業空間内の空気を浄化する清浄作業台に係
り、特に有害物質や微生物が外部に漏れるのを防止する
のに好適なものに関する。

［従来の技術］ 従来のこの種の清浄作業台の一構成例を第１０図により
説明する。同図において、送風機１から吐き出された空
気は、給気フィルタ２を通過して浄化されることにより
作業空間Ａに送られ、その空気は、作業空間Ａに設けら
れた排気開口部３からダクトＢに吸込まれ、ダクトＢの
下流側に設置された送風機ｌに吸込まれると共に、その
一部が抵抗板４．排気フィルタ５．建家ダクトＣを通る
ことにより外部に排気されるようにしている。

作業空間Ａは上部に給気フィルタ２及びその下流側に配
置された抵抗板９を夫々設けた給気開口部６と、下部に
流れ込んだ空気を排気するために形成した前記排気開口
部３どの他、その−側部に開閉可能に取付けられた扉７
をも有し、空気が排気開口部３からダク１〜Ｂに吸込ま
れたとき、扉７の開口部から外部空気も共に吸込むよう
にしている。

また、排気開口部３はダクトＢに連絡され、該ダクトＢ
の下流側には前記送風機ｌが取付けられと共に、空気の
異常状態を検出する検出器１ｏが設けられている。該検
出器１０は差圧計からなっており、その一方の圧力検出
穴］、　Ｏｂが排気フィルタ５の人気面側に配置される
と共に、その他方の圧力検出穴１０ａが抵抗板４の人気
面側に配置され、圧力検出穴１０ａと↓ｏｂとがそれぞ
れを通過する空気の圧力を検出して、その差圧を測定す
るようにしている。そして、その差圧が限度以下に下が
ると、フィルタ２が目詰まりしたことがわかるようにな
っている。第１０図において、１１は建家ダクトに設け
られた排気用の送風機である。

なお、この種の装置として関連するものには例えば実公
昭４６−１７２６１号公報等が挙げられる。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、上記に示す従来技術の清浄作業台は、有害物
質や微生物を取扱う場合について配慮されていない問題
がある。

即ち、従来技術では、検出器１０の一方１０ａと他方１
０ｂとが抵抗板４を挾んで上流側と下流側に配置されて
いるので、作業空間Ａ内で有害物質を取扱った場合、作
業空間Ａがその有害物質で汚染され、汚染された空気が
ダクＩへＢを通過すると、検出器１０の一方の圧力検出
器１０ａのみならず、他方の圧力検出器１０ｂも汚染さ
れてしまい、そのため、これらを保守点検する際に、作
業者が有害物質に触れ、危険を招くと云う問題があった
。

また、清浄作業台が例えば、１組換えＤＮＡ実− 験指針」に示される安全キャビネットとして使用する場
合には気密度が要求されるので、検出器１０の本体及び
圧力検出器１０ａ、１０ｂの配管系統に至る気密度まで
配慮する必要がある。しかしながら、この検出器１０を
予め設置していないものに、追加して改造しようとする
と、上記に示す問題に加え、使用した部品や取付けの不
備などにより、要求された気密度を満たすることかでき
にくい問題がある。

本発明の目的は、上記事情に鑑み、検出器が有害物質な
どで汚染されるのを防止することができる清浄作業台を
提供することにあり、また他の目的は、予め設置してい
ないものに検出器を取付けても、確実に気密度を維持す
ることができる清浄作業台を提供することにあり、さら
に他の目的は作業空間のガス濃度や細菌類等が増えるの
を確実に防止し得る清浄作業台を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を遠戚するため、本発明の第一の発明では、排
気フィルタの下流側に排気の異常状態を４ 検出する検出手段を配置したことに特徴を有する。

また本発明の第二の発明では、排気フィルタの下流側に
接続したチャンバー内に検出手段を取付けている。本発
明の第三の発明では、外部の空気を吸い込みかつ給気開
口部から作業空間に送り込む送風機を有している。

［作用］ 本発明では、上述の如く、検出器が排気フィルタの下流
側に配置されているので、作業空間の排気開口部から出
た空気は、排気フィルタを通過して浄化されてから検出
器側を通過することとなる。

従って、作業空間で取扱うものが有害物質であってこれ
に汚染されても、その汚染された空気を排気フィルタに
よって確実に浄化できるので、検出器が汚染されると云
うことがなくなり、保守。

点検時に作業者が検出器に触れても危険を招くことがな
い。

また、検出器が排気フィルタの下流側に接続したチャン
バー内に取付けられているので、該検出器を有するチャ
ンバーを一つのユニットとし、これを検出器のないもの
に後から追加すれば、チャンバーにおける検出器の気密
度を確実に維持することができ、作業空間を流れる空気
が外部に漏れることがない。

さらに、外部の空気を吸い込みかっ給気開口部から作業
空間に送り込む送風機を有しているので、作業空間内で
ガス或いは細菌類を取扱った場合には、作業空間内の空
気が外部に吐き出されることとなり、循環しなくなる。

そのため、作業空間内の空気を循環させるタイプのもの
に比べると、作業空間内でガス濃度或いは細菌が増える
のを防止することができ、それだけ危険度を回避するこ
とができるのに加え、ガスや細菌類を取扱うものにいっ
そう有益である。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を第工図乃至第９図により説明す
る。第１図は本発明の清浄作業台の第一の実施例を示す
説明用断面図、第２図は空気圧と検出器の差圧スイッチ
の開閉との関係を示す説明図、第３図は清浄作業台の検
出器における差圧スインチの正常立ち上げ手段の制御内
容を示すフロー図である。

この清浄作業台は、作業空間Ａと、排気フィルタ５とを
有して構成されている。

詳しく述べると、作業空間Ａは給気フィルタ２で浄化さ
れた空気が流入する給気開口部６を有している。該給気
開口部６の下流側には作業空間Ａに流入する空気を整流
するための抵抗板９が取付けられている。また、作業空
間Ａは下部に流れ込んだ空気を排気するために形成して
なる排気開口部３の他、その−側部に開閉可能に取付け
られた扉７をも有し、空気が排気開口部３からダクトＢ
に吸込まれたとき、扉７の開口部から外部空気も共に吸
込むようにしている。なお、排気開口部３が第一ダクト
Ｂ１に連絡され、該第−ダクトＢ工の下流側には前記送
風機１の吸込み部が接続され、送風機１が第一ダクトＢ
１を通る空気を吸い込むようにしている。

排気フィルタ５は送風機工の吐き出し側に設けられた第
二ダクトＢ２の下流側に接続されて、第ニダクトＢ２に
おいて前記給気フィルタ２と対向する位置に配置されて
いる。従って、送風機１により第一ダクトＢ１から吸い
込まれた空気は第二ダクトＢ２を介し給気フィルタ２側
に送り込まれる一方、排気フィルタ５にも送り込まれる
ようにしている。

そして、実施例においては、排気フィルタ５の下流側に
検出器１０が配置されている。該検出器１０は差圧計で
構成されており、またこれらに接続された二つの圧力検
出穴１０ａ、１０ｂを有している。そして一方の圧力検
出穴１０ａが排気フィルタ５の下流側に設けられたチャ
ンバー１２内において抵抗板１２１の上流側に配置され
、他方の圧力検出穴１０ｂが抵抗板］−２１の吐き出し
側に配置され、双方の圧力検出穴１０ａ、１０ｂが夫々
の位置を通る空気を取込むことによって該空気の差圧を
検出するようにしている。

その際、圧力検出口１０ａの先端は、連結部１７内にお
いて排気フィルタ５を通過した空気の流れに対向して配
置され、静圧と動圧とを検出することにより、差圧検出
精度を上げることができるようにしている。

前記チャンバー１２は、排気フィルタ５及び建家ダクト
Ｃ間に接続され、その内部には上流側に設けた前記抵抗
板１２１と、下流側に設けた排気用の送風機１１とが内
蔵され、排気フィルタ５を通過した空気が、抵抗板１２
１を通って整流され、送風機１１に吸込まれることによ
り、建家ダクトＣを経て外部に排出されるようにしてい
る。

また、前記検出器１０は差圧スイッチ１００を有してい
る。該差圧スイッチ１００は検出器１０の検出結果、空
気の差圧が所望の範囲から外れたときに動作することに
より、コントローラ１３が警報器↓４を鳴らし、図示し
ない表示器によりＮＧ表示させるようにしている。なお
、本例では表示器が図示されていないが、作業台の空気
の風量が所望の範囲内であれば、ＯＫ表示し、また範囲
外であれば、ＮＧ表示するようにしている。

ところで、一般に差圧スイッチは第２図に示すようにあ
る圧力Ｐｕに達すると、閉じていたものが立上がって開
くことによりＯ→↓に変化し、またこれと異なる圧力Ｐ
ｄに達すると、立ち下がって閉じることにより１→Ｏに
変化し、従って差圧スイッチの動作圧力が安定に行うた
めに上記ＰｕとＰｄとの値を別々にする必要がある。

しかしながら、例えば清浄作業台の立ち上げ時に給気フ
ィルタ２が目詰まりしている場合、検出器上Ｏによる検
出値が圧力Ｐｕより小さくかつ圧力Ｐｄより大きくなる
と、この検出値をそのまま取り込めば、差圧スイッチ１
００は立ち上がることがないので、動作しない。そして
、そのとき、前記圧力Ｐｄを所定風量の下限値に設定し
ているとすれば、差圧スイッチ１００が立ち上がらない
ので、コントローラ１３が警報器↓４を鳴らしてＮＧ表
示させることとなり、正常な風量であるにも拘らず、差
圧スイッチが動作しなくなる。

そこで、実施例では、清浄作業台を立ち上げた時（送風
機工１の運転時）、その作業台内を流れる空気の風量が
所定風量の下限値に達すると、前記差圧スイッチ１００
が正常に立ち上げ動作するようにするために差圧スイッ
チの立ち上げ手段を有している。該手段は、検出器１０
の一方の圧力検出穴１０ａが差圧スイッチ１００に接続
されると共に、その差圧スイッチ］−〇〇にさらに圧力
検出穴１０１が接続されている。該圧力検出穴１０１は
チャンバー１２内の送風機１１の吐き出し側に配置され
、送風機↓１から吐き出される空気圧を検出するように
している。また圧力検出穴１０１と差圧スイッチ１００
との間の配管の途中位置にはこの管路を開閉するための
電磁弁１０２が取付けられ、該電磁弁１０２がコントロ
ーラ↑３の指令によって開閉するようにしている。

前記手段は、清浄作業台の立ち上げ時、コン１−ローラ
■３からの指令に従って電磁弁１０２の電磁石１０３を
励磁し、該電磁弁１０２を開けておき、その間に差圧ス
イッチ１００が一方の圧力検出穴１．０　ａと圧力検出
穴１０１とによる空気の差圧で立ち」二かり、これによ
り、所定風量の下限値に達すれば、確実に立ち上げ動作
するようにしている。なお、電磁弁１０３は差圧スイッ
チが立ち１１− ］２− 上げ動作すると、コントローラ１３の指令によって閉じ
るようになっている。

実施例の清浄作業台は、上記に如く、検出器１０が排気
フィルタ５の下流側に配置されているので、送風機１か
ら吐き出された空気が、給気フィルタ２を通過して浄化
されてから作業空間Ａに供給される一方、排気フィルタ
５を通過して浄化されてから検出器１０側に送られるこ
ととなる。

従って、作業空間Ａで取扱うものが有害物質であってこ
れに汚染されても、その汚染された空気を排気フィルタ
５によって確実に浄化できるので、検出器１０の圧力検
出口１０ａ、１０ｂの双方が汚染されると云うことがな
くなり、保守９点検時に作業者が圧力検出器１０ａ、１
０ｂに触れても危険を招くことを確実に防止できる。

また、検出器１０が排気フィルタ５の下流側に接続した
チャンバー１２内に取付けられているので、該検出器１
０を有するチャンバー１２を一つのユニットとし、これ
を検出器１０のないものに後から追加すれば、チャンバ
ー５における圧力検出穴↑Ｏａ、１０ｂ周辺の気密度を
確実に維持することができ、作業空間Ａを流れる空気が
外部に漏れることがない。

さらに、清浄作業台を立ち上げた時（送風機１工の運転
時）、その作業台内を流れる空気の風量が所定風量の下
限値に達すると、前記差圧スイッチ１００が正常に立ち
上げ動作するようにするための手段を有しているので、
該手段により差圧スイッチ１００が作業台の立ち上げ時
に確実に動作することができる。その結果、コントロー
ラ１３が警報器１３にＮＧ表示させることを防止できる
。

因みにコントローラ１３の制御例を第３図により述べる
。

第３図において、清浄作業台が運転されると、コントロ
ーラ１３は電磁弁１０２の電磁石１０３をオンして電磁
弁１０２を開け（３０１）、警報器１４を鳴らしてＮＧ
表示する（３０２）と共に、正常状態である意味を示す
ＯＫ表示をオフにする（３０３）。

そして、差圧スイッチ１００がオンしたか否かを判定す
る（３０４）。該判定結果、差圧スイッチ１００がオン
すると、電磁石１０３をオフしく３０５）Ｌ、また警報
器１４のＮＧ表示をオフする（３０６）と共に、ＯＫ表
示した（３０７）後、差圧スイッチ１００がオンしてい
るか否かを判定する（３０８）。なお、３０４の判定結
果、差圧スイッチ１００がオンしないと、後述する３１
１の処理を実行する。

また３０８の判定結果、差圧スイッチ１００がオンして
いると、３０５からの処理を繰返し実行し、一方、差圧
スイッチ］−〇〇がオフすると、ＯＫ表示をオフしく３
０９）、またＮＧ表示をオンさせる（３１０）。

その後、作業台の風量を増加させることができるか否か
を判定しく３１１）、その結果、増加させることが可能
であれば、送風機土工の風量を増加させ（３↑２）た後
、３０１以降の処理を繰返し実行し、一方、風量を増加
する必要がなければ、そのままとし、以下、最終的に電
磁石１０３をオフして（３１３）作業台の運転を停止す
る。

従って、コントローラ１３によって上述の如く電磁弁１
０２の開閉及び警報器１４並びに送風機１１を制御する
ことにより、警報器１４のＮＧとＯＫの表示を的確にす
ることができる。

第４図は本発明の第二の実施例を示している。

この実施例では、基本的には空気の流れが前記第一の実
施例と同様であるので、異なる点を述べる。

即ち、この場合は、排気フィルタ５の下流側がチャンバ
ー↓２．建家ダクトＣ等を介し排気用の送風機工１に連
絡されている。チャンバー１２は排気フィルタ５と建家
ダクトＣとの間に設けられ、下流側に第一、第二の抵抗
板１６．１７を取付けた連結部１５を有している。

そして、排気フィルタ５の下流側に配置されている検出
器１０は、差圧計と差圧スイッチとが一体的しこ構成さ
れたものからなっており、その一方の圧力検出口１０ａ
が連結部１７内の第一の抵抗板１６の上流側に、他方の
圧力検出口１０ｂがその第一の抵抗板１６の下流側に夫
々配置されてい１５ １６ る。

また検出器１０には、これによって検出された差圧状態
が異常か否かを知らせる表示器１８が接続されている。

該表示器１８は、検出器１０による検出値が適正な範囲
より下がったときと上がった場合に異常状態を知らせる
ＮＧ用のランプが点灯し、適正な範囲内にある場合のみ
正常状態を知らせるＯＫ用のランプが点灯するようにな
っており、しかも異常状態のときにはこれに接続された
警報器１４が警報を発することによって周囲の作業者に
確実に報知できるようにしている。検出器１０にはコン
１−ローラ１３が接続され、検出器ｔ○の検出値に基づ
いて送風機１及び排気用の送風機１王のオン・オフやそ
の送風量を制御するようにしている。

さらに、この検出器１０は前記空気の差圧を検出する他
、ガス濃度や塵埃等を夫々検出するためのセンサ１０ｃ
を有し、該センサ１０ｃがガス濃度や塵埃等を検出する
と、これらのガス濃度や塵埃量に応じ検出器１０が表示
器１４にＮＧやＯＫの表示することができるようになっ
ている。そのため、この実施例の検出器↓Ｏはセンサ１
０ｃの検出に基づいて表示器１４にその旨を表示する構
成にもなっている。

またさらに、チャンバー１２の連結部１５にはその通路
を開閉するための仕切り弁１９が設けられている。この
仕切り弁↓９は作業空間Ａが細菌等で汚染されたことに
よる滅菌時に連結部工５の通路を閉じることができるよ
う、連結部上５内において圧力検出穴１０ａより上流側
の位置に移動可能に取付けられている。

この実施例によれば、排気フィルタ５の下流側に検出器
１０が配置され、またその検出器１０がチャンバー１２
の連結部１５に配置されているので、第一の実施例と同
様の作用効果を得ることができる。

これに加え、滅菌に際し、仕切り弁１９でチャンバー１
２の連結部１５の通路を閉じると共に、扉７を閉めるだ
けで、作業空間Ａを外部と遮断することができるので、
滅菌に際しての前作業を容易に行うことができる。また
滅菌時には、作業空間Ａを含む空間内に消毒剤を入れる
ことによって滅菌を行うが、その際、仕切り弁１９を移
動可能に取付けると、仕切り弁１９の操作を極めて簡単
に操作することができる。しかも、センサ１０ｃによっ
てガス濃度や塵埃を検出するので、作業時間が長くなる
ことによってガス濃度や塵埃等が増えた場合にも有効で
ある。

第５図は本発明の第三の実施例を示している。

この場合は、ダクトＢの下流側に送風機１及び排気フィ
ルタ５を夫々設置し、ダクトＢ内の空気が送風機１に吸
込まれると共に、１排気フイルタ５を通過するようにし
たものに適用している。従って、基本的には前述の実施
例と同様の作用効果が得られるので、ここでは詳細な説
明を省略する。

第６図は本発明の第四の実施例を示している。

この場合は、送風機１が外部の空気を吸込むものに適用
したものである。

即ち、この実施入側では、作業台本体の上部に第二ダク
トＢ２が形成され、該ダクトＢ２の上部に外部と連絡す
る吸込み口３↓が形成されると共に、ダクトＢ２内に送
風機工の吸込み側が配置され、送風機１が吸込み口３１
から外部の空気を吸込んで作業空間Ａに送り込むように
している。吸込み口３↓には外部空気に混在している塵
埃等を除去するフィルタが設けられている。

また、第一ダクトＢ１の下流側が排気フィルタ５のみに
連絡され、作業空間Ａから排出された空気がダクトＢｌ
、排気フィルタ５等を経て外部に排気されるようにして
いる。

この実施例によれば、送風機１が外部からの空気を取込
んで作業空間Ａに供給するので、作業空間Ａ内でガス或
いは細菌類を取扱った場合には、作業空間Ａ内の空気が
第一ダクトＢ１を経て送風機１１により外部に吐き出さ
れることとなり、循環しなくなる。そのため、前述の実
施例のように作業空間Ａ内の空気を循環させるタイプの
ものに比べると、作業空間Ａ内でガス濃度或いは細菌が
増えるのを防止することができ、それだけ危険度を回避
することができるのに加え、ガスや細菌類１９ を取扱うものにいっそう有益である。

第７図及び第８図は第五の実施例を示している。

この場合は、前記第二乃至□第四の実施例の変形例であ
って、滅菌作業を自動化できるようにしたものである。

即ち、チャンバー１２に取付けられた仕切り弁１９を移
動させるためのローラ２０，２０’　が設けられ、その
ローラ２０，２０’　を回転開動させるための操作部２
１が設けられ、さらには該操作部２１の操作によって滅
菌ガスを作業空間Ａに噴射させるガス発生装置２２が設
けられている。ローラ２０，２０’　は第８図に示すよ
うに、両者で仕切り弁１９を挾みつけるように配置され
、図示しない駆動手段によって回転すると、仕切り弁１
９が移動し、チャンバー１２の連結部１５に設けられた
パツキン２３の内部を仕切るようになっている。そのた
め、この実施例の検出器１０は操作部２１の操作により
駆動手段を介し仕切り弁上９を駆動する機能をも具えて
いる。

従って、検出器１０に基づいて表示器１８及び２０ 警報器１４が異常を報知したとき、作業者が作業空間Ａ
内で取扱っていた被検体を隔離し、かつ扉７を閉めた後
、操作部２０のスイッチを押すと、ローラ２０，２０’
　が回転し、仕切り弁２０が移動して連結部１５の通路
を遮断し、該遮断した時点でガス発生装置２２から作業
空間Ａに滅菌ガスが噴射されるようにしている。

このように、異常の場合には、操作によって滅菌作業を
自動化できるので、前述の実施例に比べ、滅菌作業をス
ムースに行うことができる。

第９図は本発明の他の実施例を示している。

前述の実施例では、滅菌後、排気用の送風機１１によっ
て作業空間Ａ内の滅菌ガスを外部に排出させたとき、そ
の滅菌ガスが検出器１０に入り込み、悪影響を与えるお
それがある。

この実施例では、滅菌ガスが検出器１０内に入っても、
ガス除去手段により確実に除去するようにしたものであ
る。即ち、該除去手段としては、検出器１０と圧力検出
穴↓Ｏａとの間の通路に例えば三方弁からなる電磁弁２
４が設けられと共に、圧力検出穴１０ｂと検出器１ｏと
の間の通路に同様に電磁弁２５が設けられ、これら電磁
弁２５及び２４がバイパス管３１により共に接続されて
いる。また前記電磁弁２５ど圧力検出穴１０ａとの間に
設けられた接続部に対して電磁弁２６が接続され、該電
磁弁２６に対しフィルタ２７を介し送風機２８が接続さ
れると共に、ガス濃度や塵埃量等を分析するための分析
装置２９が接続されている。３０は制御部であって、前
述した実施例のコントローラとほぼ同様の機能を有して
いる。

そして、滅菌後に排気用の送風機工↑が作業空間Ａ内の
滅菌ガスを外部に排出しているとき、分析装置２９によ
って電磁弁２４〜２６を閉じておくと、圧力検出穴１０
ａ、１０ｂから内部に滅菌ガス等が入り込んでも、その
滅菌ガス等が検出器１０の本体側である差圧計や差圧ス
イッチ１００゜また分析装置２９まで入り込むのを防ぐ
。

また滅菌ガスが外部に排出された頃、電磁弁２４〜２６
を開け、送風機２８を駆動し、フィルタ２７を通過した
清浄空気を送り込むことにより、圧力検出穴１０ａ、１
０ｂど電磁弁２４〜２６間の管路に入り込んだ残留ガス
を、圧力検出穴１゜ａ、↑ｏｂを経て連結部１５に排気
させるようにする。

従って、この実施例によれば、滅菌ガスが送風機１１に
よって排気されたときに検出器１ｏに入り込んでも、そ
れを確実に取り出すことができるので、検出器１０ばか
りでなく分析装置２９も滅菌ガスによって悪影響を受け
ることがなくなり、特にガス等に悪影響を受けやすい装
置を用いた場合には極めて有効であるい。

［発明の効果コ 述べたように、本発明の請求項１によれば、作業空間で
取扱うものが有害物質であってこれに汚染されても、そ
の汚染された空気を排気フィルタによって確実に浄化で
きるので、検出器が汚染されると云うことがなくなり、
保守２点検時に作業者が検出器に触れても危険を招くこ
とがない効果がある。

また、請求項２によれば、作業空間内の空気が２３ 外部に吐き出され、循環しなくなるので、作業空間内の
空気を循環させるタイプのものに比べると、作業空間内
でガス或いは細菌類を取扱った場合には、作業空間内で
ガス濃度或いは細菌が増えるのを防止することができ、
それだけ危険度を回避することができるのに加え、ガス
や細菌類を取扱うものにいっそう有益である。

請求項３によれば、検出器が排気フィルタの下流側に接
続したチャンバー内に取付けられているので、該検出器
を有するチャンバーを一つのユニットとし、これを検出
器のないものに後から追加すれば、チャンバーにおける
検出器の気密度を確実に維持することができ、作業空間
を流れる空気が外部に漏れることがない。

請求項４によれば、仕切り弁を閉じることによって作業
空間を外部と遮断することができるので、滅菌に際して
の作業を簡便化できる効果がある。

そして、請求項５によれば、ガス発生装置によって作業
空間に滅菌ガスを注入するので、滅菌作業の自動化でき
る効果がある。

２４

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の清浄作業台の第一の実施例を示す説明
用断面図、第２図は空気圧と検出器の差圧スイッチの開
閉との関係を示す説明図、第３図は清浄作業台の検出器
における差圧スイッチの正常立ち上げ手段の制御内容を
示すフロー図、第４図は本発明の第二の実施例を示す説
明用断面図、第５図は本発明の第三の実施例を示す説明
用断面図、第６図は本発明の第四の実施例を示す説明用
断面図、第７図は本発明の第五の実施例を示す説明用断
面図、第８図は仕切り弁とチャンバーとを示す要部の斜
視図、第９図は圧力検出器内に入り込んだガスの除去手
段を示す要部の配管図、第二０図は従来の清浄作業台の
一構成例を示す説明用断面図である。 １・・送風機、２・・・給気フィルタ、Ａ・・・作業空
間、口部、１０・・・検出器、１０ａ・・・圧力検出穴
、１０ｂ・・・圧力検出穴、１２・チャンバー、１３・
・・コントローラ、 １９・・仕切り弁、 ２２・・ガス発生装置。 ７ ；Ｗ’　　２ 符開平 ？１５１’）υ（田 雪

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、空気の給気開口部及び排気開口部を夫々設けた作業
   空間と、該作業空間の排気開口部に連通した設けた排気
   フィルタとを有し、作業空間内の空気を排気開口部から
   前記排気フィルタを介し作業外部に排気する清浄作業台
   において 前記排気フィルタの下流側に、作業空間を経た空気の異
   常状態を検出する検出手段を配置したことを特徴とする
   清浄作業台。 ２、請求項１において、外部の空気を吸い込みかつ給気
   開口部から作業空間に送り込む送風機を有することを特
   徴する清浄作業台。 ３、請求項１において、前記検出手段は、排気フィルタ
   の下流側に接続したチャンバー内に取付けたことを特徴
   とする清浄作業台。 ４、請求項３において、前記チャンバーには検出手段よ
   り上流側の位置にそのチャンバーの通路を遮断する仕切
   り弁を取付けたことを特徴とする清浄作業台。 ５、請求項４において、前記仕切り弁がチャンバーの通
   路を閉じた時点で作業空間内に滅菌ガスを注入するガス
   発生装置を有することを特徴とする清浄作業台。