JPWO2016079777A1 - クリーンエア装置および塵埃点検方法 - Google Patents

Abstract

クリーンエア装置において、フィルタを通して清浄空気を供給し、吹き出し空気が層流である作業室で、空間内の塵埃数を測定しその増加を確実に発見できる装置構造および塵埃点検方法を提供するために、クリーンエア装置は、空気清浄手段と、空気清浄手段から吹き出される空気を整流化して層流を生成するために空気清浄手段の下流側に配置された整流手段と、整流手段の下流側に配置された作業室とを備え、空気清浄手段と整流手段との間に形成された空間の壁面に当該空間内の空気を外部に取り出す吸引口を１つ以上設けた構造とする。

Description

本発明は、無菌医薬品や生物由来医薬品等の製造環境である清浄空間を提供する装置（クリーンエア装置）に関する。

無菌医薬品や生物由来医薬品等の製造環境は、ある程度の清浄度の空間で製造し、医薬品等への汚染リスクを低減している。その空間を提供する装置として、クリーンエア装置がある。
クリーンエア装置は、送風手段により空気を送り、その空気を空気清浄手段であるＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）を通すことにより、空気中に含まれる塵埃を除去し、所定の空間に供給する。このような医薬品等の製造環境では、空間内の浮遊塵埃数を管理する必要がある。なぜなら、浮遊塵埃数がある程度の数以上になった場合、医薬品等が汚染される可能性があるため、医薬品等の製造に支障をきたすことになるからである。

本技術分野の背景技術として、特開２０１２−２５５７６１号公報（特許文献１）がある。この公報には、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）を配置した作業室上部から清浄空気を供給し、作業室内の浮遊塵埃数を監視する方法として、作業室壁面に吸引ポートを設け、吸引ポートにサンプリングチューブを挿入し、サンプリングチューブの先に塵埃測定器を接続する方法が記載されている。

特開２０１２−２５５７６１号公報

前記従来技術における浮遊塵埃数を管理する方法は、作業室の壁面に吸引口を設け、吸引口に挿入したサンプリングチューブにより作業室内の空気を塵埃測定器に取り込むことで、塵埃数を測定している。前記従来技術では、実験室の天井面面積より小さいファンフィルタユニット（ＦＦＵ）を設置し、清浄空気を吹き出しているため、作業室内の空気は上下だけではなく、水平方向にも移動する乱流となっている。特許文献１に記載の図において、横方向への空気の移動が記載されているため、作業室内の気流は乱流方式であることが分かる。

一般に、塵埃測定器は、光散乱式気中粒子計数器（パーティクルカウンタ）や相対濃度計（フォトメーター）等が用いられる。ＩＳＯでは空気の清浄度を単位体積に含まれる塵埃の数量で表すため、測定器としては塵埃数を計数する光散乱式気中粒子計数器（パーティクルカウンタ）が用いられる場合が多い。この光散乱式気中粒子計数器（パーティクルカウンタ）により作業室内の塵埃を計測する場合、作業室内の空気をサンプリングチューブで、単位時間当たり一定量の空気をパーティクルカウンタ内に取り込む。そして、その取り込んだ空気中に含まれる塵埃を計数し、所定の空気量まで積算することで、単位体積に含まれる塵埃数を計測することができる。

塵埃を取り込んでいる場所は、サンプリングチューブの入り口付近ということになる。特許文献１のような乱流方式の作業室の場合、作業室内の空気は不規則に移動しているため、サンプリングチューブを挿入した吸引口と、吸引口から離れた場所との塵埃数は、乱流で移動する範囲で同程度の塵埃数である。

医薬品等の製造環境では、空間中の浮遊塵埃数の数量を管理するだけではなく、作業室内に吹き出す清浄空気が一方向の層流であることが要求される。層流の場合、気流方向に対して直角方向へ空気は移動しないため、作業室内のある位置の塵埃が他の位置へ広がることを防止している。層流空間で塵埃が気流方向に対して直角方向へ移動するには、塵埃自らのブラウン運動による拡散移動しか想定できないことになる。

作業室内の塵埃数が増える要因として、作業室内で作業者自らが作業することによる塵埃発生と、清浄空気を供給するＨＥＰＡフィルタからの塵埃漏れ（リーク）がある。作業室内の気流が一方向の層流である場合、作業中に発生した塵埃は、作業域から風下に流れて作業域から排出される。これに対し、ＨＥＰＡフィルタから塵埃漏れが発生した場合、ＨＥＰＡフィルタは清浄空間である作業室の最も風上にあるため、塵埃は風下である作業室に流れてくる。同様に、作業室が層流である場合、上流で発生した塵埃は、拡散程度にしか広がらずに一方向に流れ、作業室から排出される。

塵埃測定器は、サンプリングチューブから取り込んだ空気から塵埃を計測するため、層流空間ではサンプリングチューブの入り口付近を塵埃が通らなければ、ＨＥＰＡフィルタの塵埃漏れ（リーク）を見逃す可能性がある。

本発明の目的は、安全キャビネットを含むクリーンエア装置において、フィルタを通して清浄空気を供給し、吹き出し空気が層流である作業室で、空間内の塵埃数を測定しその増加を確実に発見するための装置構造および塵埃点検方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るクリーンエア装置は、 空気清浄手段と、空気清浄手段から吹き出される空気を整流化して層流を生成するために空気清浄手段の下流側に配置された整流手段と、整流手段の下流側に配置された作業室とを備え、空気清浄手段と整流手段との間に形成された空間の壁面に当該空間内の空気を外部に取り出す吸引口を１つ以上設けた構造とする。

本発明によれば、フィルタを通して供給される清浄空気が層流である作業室内で、確実に空間内の塵埃数を測定しその増加を発見できる装置（クリーンエア装置）および点検方法を提供することができる。

本発明の実施例１を示す清浄作業台の側断面構造図の例である。 本発明の実施例１を示す清浄作業台の外観正面図の例である。 本発明の実施例１を示す清浄作業台の断面構造図の例である。 本発明の実施例１を示す清浄作業台の断面構造図と塵埃測定方法の例である。 本発明の実施例２を示す清浄作業台の側断面構造図の例である。 本発明の実施例２を示す清浄作業台の外観正面図の例である。 本発明の実施例２を示す清浄作業台の断面構造図の例である。 本発明の実施例３を示す清浄作業台の断面構造図の例である。 本発明の実施例４を示す安全キャビネットの側断面構造図の例である。 本発明の実施例４を示す安全キャビネットの外観正面図の例である。 本発明の実施例４を示す安全キャビネットの断面構造図の例である。

以下、本発明の実施形態として、実施例１〜実施例４について、図１〜図８を用いて順に説明する。

図１は、実施例１に係る清浄作業台１００の構造を示したもので、図１Ａは、その側断面構造図の例であり、図１Ｂは、その外観正面図の例である。また、図２は、その清浄作業台１００の正断面構造図の例である。

ここにおいて、クリーンエア装置とは、図１等に係る清浄作業台や図７等に係る安全キャビネット（バイオハザード対策用クラスIIキャビネット）、他のクラスのバイオハザード対策用キャビネット、実験台内を清浄空気にし、装置外部の雑菌の侵入から保護される作業台やアイソレータや作業台が囲われて作業台の一部から囲われた領域に清浄空気が流入されるクリーンルームを含む概念である。

また、清浄作業台と安全キャビネットとは、装置外部と装置内部との気圧の相対関係において相違する。清浄作業台は、装置外からの異物の混入を防ぐために、内部の気圧を高く（陽圧に）して、空気を外へ押し出している。一方、安全キャビネットは、バイオハザードを封じ込める対策として内部の試料の漏洩防止のために内部を負圧（陰圧）に保ち、またフィルタを通して清浄化した空気を排出している。

送風機１０２が、清浄作業台１００の内部に配置され、清浄作業台１００に形成した吸い込み口１１２から清浄作業台１００内に空気を取り込む。また、送風機１０２は加圧チャンバ１２１に連接し加圧をする。加圧チャンバ１２１は、ＨＥＰＡフィルタ１０３に連接し、送風機１０２により加圧されることで清浄空気を供給する。なお、送風機１０２が清浄作業台１００の外側に配置されている場合もある。

ＨＥＰＡフィルタ１０３の風下には、整流板１０５を配置している。整流板上流側空間１０７は、空気の入り口側がＨＥＰＡフィルタ１０３、空気の出口側が整流板１０５で囲われた空間で、ＨＥＰＡフィルタ１０３および整流板１０５以外は密閉された空間である。整流板上流側空間１０７は、ＨＥＰＡフィルタ１０３から吹き出す清浄空気で加圧され、整流板１０５の全面から均一な風速の空気１０６を吹き出している。整流板１０５からの吹き出し空気１０６を均一にするために、整流板１０５の風上側では整流板１０５と平行方向に空気の移動があることから、整流板上流側空間１０７は、乱流域となる。

整流板１０５からの吹き出し空気１０６は、作業空間１０４に供給される。この作業空間１０４は、作業空間側壁面１０８（図２）、作業空間前面１０９（図１Ａ）、作業空間後壁面１１０（図１Ａ）で囲われている。この囲われた空間と整流板１０５からの吹き出し空気１０６により、層流が形成される。層流を形成するための吹き出し空気１０６の吹き出し風速の均一性について、測定した各位置の風速のバラつきは、全体平均風速値に対して±２０％程度の範囲である。

作業空間１０４の前面には、前面シャッター１１６が配置されている。作業者は、前面シャッター１１６下方の開口部から作業空間１０４へ腕を挿入し、前面シャッター１１６を通して作業空間１０４内を見ながら作業を行う。作業空間１０４内は、照明灯１１７により作業可能な照度が維持されている。作業空間１０４内の空気は、前面シャッター１１６下部の開口部から排出されるため、清浄な吹き出し空気１０６は、随時作業空間１０４内に供給される。なお、後述する実施例４のように、前面シャッター１１６下部の開口部の空気が、排出ではなく吸い込まれる場合もある。

整流板上流側空間１０７の壁面には、吸引口１１９が形成されている。吸引口１１９は、整流板上流側空間１０７と清浄作業台１００の外部空間をつなげている。吸引口１１９を使用しない場合は、清浄作業台１００の外部側から、または、整流板上流側空間１０７側から蓋（図示せず）でふさいでいる。また、吸引口１１９は整流板１０５から整流板上流側空間１０７内に取り付けられてもよい。

図２の正断面構造図から、再度空気の流れについて確認する。
ＨＥＰＡフィルタ１０３から吹き出した清浄空気は、整流板上流側空間１０７に入り、整流板１０５により整流化され、吹き出し空気１０６として作業空間１０４に供給される。吹き出し空気１０６は、作業空間１０４の右から左までほぼ同じ吹き出し風速で、作業室内において層流を形成する。また、整流板上流側空間１０７の側壁面には、１以上の吸引口１１９が形成されている。

整流板上流側空間１０７は、ＨＥＰＡフィルタ１０３の吹き出し側を上流、整流板１０５を下流とした閉鎖空間である。作業空間１０４も、整流板１０５を上流、前面シャッター１１６の下部の開口部を下流とした閉鎖空間である。作業空間１０４で新たに塵埃が発生しなければ、ＨＥＰＡフィルタ１０３で捕えられなかった塵埃は、そのまま、作業空間１０４に供給されることになる。つまり、一定の空気の移動があるが、整流板上流側空間１０７内の単位体積当たりの総塵埃数と、作業空間１０４内の単位体積当たりの総塵埃数は同じである。

そこで、パーティクルカウンタ等の吸引型の塵埃測定器により適切な評価を行うために、空気を適切に取り込めるかが課題となる。作業空間１０４内の塵埃１２３は、気流に乗って風上から風下に移動する。作業空間１０４内の気流は層流であるため、多少の拡散による移動はあるが、気流の方向と直交する方向に移動することはない。作業空間１０４の塵埃数を計測する場合、空気をサンプリングする場所と塵埃１２３が流れてくる場所が離れている場合、塵埃１２３を漏れなくサンプリングできない可能性がある。この現象は、計測結果として塵埃数が少ない作業空間１０４の清浄度が、ＩＳＯクラス５以下（クラス５、クラス４など）の場合に顕著に表れる。ＩＳＯでは、清浄度を単位体積当たりの塵埃数でクラスをランク分けしている。作業空間１０４内が乱流の場合、ＩＳＯクラス５以下の清浄度は実現困難である。なぜなら、ＩＳＯクラス５以下の清浄度を実現するには、吹き出し空気１０６が清浄であること、および、気流方式として一方向の層流であること、が要求されるからである。

整流板上流側空間１０７内で、塵埃１２３は整流板１０５の吹き出し面と平行方向に移動している。これは、整流板１０５からの吹き出し空気１０６をできるだけ均一にするために、整流板１０５の風上側では整流板１０５と平行方向に空気が移動するからである。ＨＥＰＡフィルタ１０３の吹き出し面と整流板１０５の距離が無限であれば、ＨＥＰＡフィルタ１０３の一部に塵埃漏れ（リーク）が発生した場合、整流板１０５に空気が届くまでに十分に拡散し、整流板１０５から出る塵埃１２３は作業空間１０４に均一に吹き出されるが、実際にその距離が無限ということは不可能である。整流板１０５を通過する風速は０．３ｍ／ｓから０．６ｍ／ｓ程度のため、人が取り扱う程度の大きさの装置では、時間がかからずに空気は整流板上流側空間１０７を通過するので、塵埃漏れ（リーク）による塵埃１２３は整流板１０５全体に拡散する前に作業空間１０４に吹き出される。しかし、ＨＥＰＡフィルタ１０３から吹き出した空気は、整流板１０５に衝突して整流板１０５と平行方向に広がり、さらに乱流域では整流板上流側空間１０７内で空気が淀み塵埃の動きが遅い可能性もある。このように、塵埃１２３は整流板上流側空間１０７内で整流板１０５と平行方向に移動する。しかし、一旦整流板１０５から出た塵埃１２３は、一方向の層流の吹き出し空気１０６に乗って移動するため、気流の方向に対して直交する方向への移動は拡散程度になる。

空間の塵埃数を計測する場合に塵埃１２３に出会う確率は、塵埃１２３の移動を伴う乱流域である整流板上流側空間１０７で空気をサンプリングした方が、層流空間の作業空間１０４内より圧倒的に高くなる。作業空間１０４内の塵埃数を評価する場合、作業空間１０４内の空気を直接サンプリングするのであれば、異なる多数の位置でサンプリングを行わないと塵埃を見逃す可能性がある。しかし、乱流域である整流板上流側空間１０７では、異なるサンプリング位置が少ない場合でも、塵埃に出会う確率が高くなる。実施例１では、整流板上部空間１０７に、１個以上の吸引口１１９を設け、吸引口１１９から整流板上部空間１０７の乱流域の空気をサンプリング可能としている。これにより、確実にＨＥＰＡフィリタ１０３から漏れ出た塵埃１２３を捕えることが可能となる。

図３は、図２に示す実施例１に係る清浄作業台の正断面構造図に対して塵埃測定方法を実施する場合の例である。

整流板上流側空間１０７の乱流域の空気をサンプリングするために、整流板上流側空間１０７と清浄作業台１００の装置外部とをつなぐ吸引口１１９を本体ケース１２２の壁面に設けている。吸引口１１９は、本体ケース１２２の両側の壁面または背後の壁面の任意の位置に設けることができ、複数設けてもよい（図１および２）。吸引口１１９の形状としては、円型でも角型でもよい。

この吸引口１１９を使用して塵埃を測定する際には、サンプリングチューブ１２０の一方を吸引口１１９に挿入、サンプリングチューブ１２０の他方を塵埃測定器１１８に接続する。塵埃測定器１１８としては、光散乱式気中粒子計数器（パーティクルカウンタ）や相対濃度計（フォトメーター）等が用いられる。また、吸引口１１９が複数ある場合は、それぞれの吸引口１１９にサンプリングチューブ１２０を挿入し、纏めて塵埃測定器１１８に接続し、サンプリングした空気を纏めて塵埃測定器１１８に取り込むようにしてもよい。塵埃測定器１１８は、測定のために時間当たり一定量の空気を吸引しているため、１か所からサンプリングしても複数か所からサンプリングしても、塵埃測定器１１８に取り込まれる空気の量は同じである。そうすると、元より塵埃の少ない環境下では、１か所サンプリングを複数回行うなどにより採取漏れを低減させることが可能となる。他方、ある程度の塵埃が想定される環境下では、複数か所サンプリングにより少ない採取回数で測定を完了させることが可能となる。

先に示したように、空間の塵埃数を計測する場合に、塵埃の移動を伴う乱流域の方が塵埃に出会う確率は層流域より圧倒的に高くなるので、図３に示すように、塵埃測定器１１８は、乱流域である整流板上流側空間１０７に配置した吸引口１１９から空気を取り込む。これにより、塵埃測定器１１８を使用してＨＥＰＡフィルタ１０３から漏れ出た塵埃１２３をサンプリングする可能性が非常に高くなる。

塵埃測定器１１８とサンプリングチューブ１２０を常時清浄作業台１００に接続し、使用状態での塵埃濃度を監視する場合と、定期的にＨＥＰＡフィルタ１０３に漏れがないかを点検するために、吸引口１１９の蓋（図示せず）を外して塵埃測定器１１８とサンプリングチューブ１２０を清浄作業台１００に接続して塵埃を測定する場合がある。整流板上流側空間１０７内を流れる空気中の総塵埃数と、作業空間１０４内を流れる空気中の総塵埃数は同じため、上流側で単位体積当たりの塵埃数の状態を把握すれば、下流側の単位体積当たりの塵埃数を把握することと同じである。

実施例１では、作業空間１０４内の気流が、鉛直方向の層流である場合について記載したが、水平方向の層流である場合でも、ＨＥＰＡフィルタと整流板との位置関係は同じである。ここで、水平方向とは鉛直の直角に対応する方向であるが、厳密に水平方向のみを示すものではない。
また、実施例１として、清浄作業台１００の構造を示したが、安全キャビネットの構造としても採用できることは云うに及ばない。

図４は、実施例２に係る清浄作業台１００の構造を示したもので、図４Ａは、その側断面構造図の例であり、図４Ｂは、その正断面構造図の例である。なお、先の図１〜図３で説明した同一の符号を付した構成と同一の機能を有する部分については、説明を省略する。

実施例２では、先の実施例１に追加して、整流板上部側空間１０７内に格子状測定口１２４を配置している。図５は、この格子状測定口１２４の構造例であり、図４Ｂの断面ＡＡから下向きにそれを見た図である。格子状測定口１２４には、複数の吸引口１１９が配置され、これら複数の吸引口１１９から吸引した空気は、本体ケース１２２の出口で纏められ装置外部への取り出す吸引口１１９につながる。

格子状測定口１２４は、ＨＥＰＡフィルタ１０３と対面して配置されているため、ＨＥＰＡフィルタ１０３の空気吹き出し面の如何なる場所から塵埃が漏れたとしても、格子状に配置した複数の吸引口１１９のどれかにより塵埃を確実に捕捉することが可能となるので、塵埃リークをより確実にサンプリングすることが可能となる。また、吸引口１１９の配列は、格子状に限定されるものではなく、直線状や渦巻き状などでもよい。

格子状測定口１２４の配置位置については、先に示したように乱流域に設けることが好ましいから、整流板上部側空間１０７内に配置することが効果的である。具体的の配置位置としては、ＨＥＰＡフィルタ１０３の直下で整流板１０５の直上の位置にあって、整流板上部側空間１０７の高さ方向のほぼ中間辺りに、吸引口を上向きにして配置することが望ましい。また、格子状測定口１２４の平面としての大きさは、ＨＥＰＡフィルタ１０３とほぼ同等の広がりを持たせると塵埃捕捉の確実性が増す。

また、塵埃測定器１１８およびサンプリングチューブ１２０との接続方法等は、先の実施例１で示した図３と同じである。
そしてまた、実施例２として、清浄作業台１００の構造を示したが、安全キャビネットの構造としても採用できることは云うに及ばない。

図６は、実施例３に係る清浄作業台１００の側断面構造図の例である。なお、先の図１〜図３で説明した同一の符号を付した構成と同一の機能を有する部分については、説明を省略する。

実施例１に対し、ＨＥＰＡフィルタ１０３と整流板１０５を直角に配置している。ここで、直角とは、厳密にＨＥＰＡフィルタ１０３と整流板１０５のなす角が９０度であることを意味するのではなく、約９０度となるように配置することを意味する。このようにＨＥＰＡフィルタ１０３と整流板１０５とを相対的に直角形状に配置することにより、ＨＥＰＡフィルタ１０３から整流板１０５に至る気流の行程に変化を持たせることができ、乱流をより発生させることが可能となる。これによって、ＨＥＰＡフィルタ１０３から吹き出した空気は、整流板１０５を通過するまでにより拡散することとなる。ＨＥＰＡフィルタ１０３に塵埃漏れ（リーク）があり、塵埃１２３が漏れ出たとしても、整流板上部側空間１０７内の空気が拡散している方が、吸引口１１９付近に漏れ出た塵埃が存在する可能性は高くなる。ＨＥＰＡフィルタ１０３と整流板１０５の位置関係は、直角に限定されるものではなく、直角以外の角度や、平行であるがＨＥＰＡフィルタ１０３の吹き出し面と整流板１０５が対面せずにずれている位置関係でもよい。すなわち、ＨＥＰＡフィルタ１０３と整流板１０５との相対的角度でいえば、０度以上１８０度未満であればよいことになる。

また、塵埃測定器１１８およびサンプリングチューブ１２０との接続方法等は、先の実施例１で示した図３と同じである。
そしてまた、実施例３として、清浄作業台１００の構造を示したが、安全キャビネットの構造としても採用できることは云うに及ばない。

図７は、実施例４に係る安全キャビネット１０１の構造を示したもので、図７Ａは、その側断面構造図の例であり、図７Ｂは、その外観正面図の例である。また、図８は、その安全キャビネット１０１の正断面構造図の例である。なお、先の図１〜図３で説明した同一の符号を付した構成と同一の機能を有する部分については、説明を省略する。

一部のクリーンエア装置および安全キャビネットを、実施例４で示すような構成とする。
送風機１０２、加圧チャンバ１２１、ＨＥＰＡフィルタ１０３、整流板上部側空間１０７および整流板１０５の位置関係は、実施例１と同じである。
加圧チャンバ１２１に連接するＨＥＰＡフィルタ１０３と異なる場所に、排気用のＨＥＰＡフィルタ１０３ａを設けている（図８）。送風機１０２から吹き出した空気は、加圧チャンバ１２１を加圧し、加圧チャンバ１２１に連接するＨＥＰＡフィルタ１０３と、排気用ＨＥＰＡフィルタ１０３ａとから吹き出す。

前面シャッター１１６の下部の作業台面１１１には、吸い込みグリル１１５が形成されている。作業空間１０４内への吹き出し空気１０６は、吸い込みグリル１１５から吸い込まれ、作業台面１１１の下から作業空間後壁面１１０の裏を通り、送風機２に吸い込まれる。送風機２に吸い込まれた空気は、加圧チャンバ１２１を加圧する。以上の気流構成から、前面シャッター１１６の下部の吸い込みグリル１１５から吸い込まれる空気量と、排気用ＨＥＰＡフィルタ１０３ａから外部へ吹き出される空気量は同じである。

安全キャビネット１０１への空気の出入りは前述の通りである。加圧チャンバ１２１に入った一部の空気から作業空間１０４に吹き出す空気は、吸い込みグリル１１５で安全キャビネット１０１の外から吸い込まれる空気と混ざり合い、再び、作業空間１０４に供給される。このように作業空間１０４に供給される空気の一部は、同じ空気が循環していることとなる。

一部の空気が循環している場合でも、整流板上流側空間１０７は、ＨＥＰＡフィルタ１０３の吹き出し側を上流、整流板１０５を下流とした閉鎖空間に変わりはない。作業空間１０４も、整流板１０５の出口側を上流、前面シャッター１１６の下部の吸い込みグリル１１５を下流とした閉鎖空間である。そうすると、作業空間１０４内で新たな塵埃発生がなければ、一定の空気の移動はあるが、整流板上流側空間１０７と作業空間１０４内の単位体積当たりの塵埃数は同じである。

塵埃を除去された作業空間１０４内の空気が循環する場合や、実施例１のように装置外から空気を吸い込む場合でも、クリーンルーム内に清浄作業台が配置されて空気の塵埃量が環境下では、ＨＥＰＡフィルタ１０３から漏れ出る塵埃量は少なくなる。このとき、ＨＥＰＡフィルタ１０３が破損し塵埃が漏れ出る現象が発生しても、元々の塵埃数が少ないため、塵埃測定器１１８で塵埃リークを発見することが困難でありその可能性は少なくなる。
すなわち、クレーンルーム内の環境条件下で塵埃リークを発見するためには、単に塵埃測定器を用いるのみでは不十分といえ、塵埃リークの発見に必要な最小限の塵埃相当物を意図的に注入するなどの対策が必要となる。

そこで、実施例４では、安全キャビネット１０１の本体ケース１２２に模擬塵埃投入口１２５を吸引口１１９とは別に設けている。模擬塵埃投入口１２５の本体ケース１２２内側は、送風機１０２の吸い込み側のマイナス圧（負圧または陰圧）の空間である（図７Ａで「（−）」で示す空間）。模擬塵埃発生器１２６から発生する塵埃を模擬塵埃投入口１２５に接続し、ＨＥＰＡフィルタ１０３の上流側に模擬塵埃を供給する。この場合に、模擬塵埃としては、塵埃測定器の測定能力も考慮に入れて、１０〜１００μｇ／ｌ（リットル）程度発生させて供給する。ＨＥＰＡフィルタ１０３の上流の塵埃濃度が模擬塵埃を供給する前よりも高くなるので、ＨＥＰＡフィルタ１０３から吹き出し後の塵埃濃度も高くなる。この状態で塵埃測定器を用いて、先に示したように測定を行って検査を実施する。これにより、ＨＥＰＡフィルタ１０３の破損などによる漏れを発見することが可能となる。なお、使用する模擬塵埃としては、霧状にした油や線香煙などでもよい。
ここで、模擬塵埃の発生させる時期としては、常時ではなく、作業空間１０４内の塵埃濃度を監視する場合にのみ発生させてもよい。

また、実施例１〜３の清浄作業台１００に模擬塵埃投入口を設ける場合には、清浄作業台１００に形成した吸い込み口１１２から送風機１０２の吸い込み側に至る空間、すなわちマイナス圧（負圧または陰圧）となる空間、に対向する清浄作業台１００の本体ケース壁面（例えば、図１の実施例１では、点線で示した模擬塵埃投入口（１２５）の位置）に、装置外部に通じる模擬塵埃投入口を設けるとよい。

次に、模擬塵埃発生器１２６から模擬塵埃を供給してＨＥＰＡフィルタ１０３の破損などによる漏れを発見するために、塵埃測定器１１８を使って塵埃を測定する方法について説明する。この場合、模擬塵埃発生器１２６を模擬塵埃投入口１２５に、塵埃測定器１１８を吸引口１１９にそれぞれ接続し、模擬塵埃発生器１２６から模擬塵埃を供給する操作と塵埃測定器１１８により塵埃を測定する操作をほぼ同時に行う。これにより、元々の塵埃数が少ない環境下にあっても、塵埃リークを発見することが可能になる。

また、塵埃の供給と測定がほぼ同時でなくとも、模擬塵埃を供給し続けることで、一定量の塵埃が作業空間に存在するようになってから、塵埃測定器１１８によって塵埃を測定することができる。
この場合は、作業空間に一定量の塵埃が存在するため、塵埃測定器１１８が同一の測定箇所で複数回の測定を行っても時間当たりの塵埃量がほぼ一定となる。そのため、塵埃測定器１１８が正しい値を示しているかを確認することができる。

測定箇所それぞれで複数回の塵埃の測定を行った場合には、測定箇所それぞれで近い値を測定できるため、検査の操作ミスやノイズによる影響等があっても、検査精度を向上させることが可能となる。

１００ 清浄作業台
１０１ 安全キャビネット
１０２ 送風機
１０３ ＨＥＰＡフィルタ
１０３ａ 排気用ＨＥＰＡフィルタ
１０４ 作業室内
１０５ 整流板
１０６ 吹き出し空気
１０７ 整流板上流側空間
１０８ 作業室内側壁面
１０９ 作業室内前面
１１０ 作業室内後壁面
１１１ 作業台面
１１２ 吸い込み口
１１３ 吸い込み空気
１１４ 排気口
１１５ 吸い込みグリル
１１６ 前面シャッター
１１７ 照明灯
１１８ 塵埃測定器
１１９ 吸引口
１２０ サンプリングチューブ
１２１ 加圧チャンバ
１２２ 本体ケース
１２３ 塵埃
１２４ 格子状測定口
１２５ 模擬塵埃投入口
１２６ 模擬塵埃発生器
１２７ 排気空気
１２８ 流入気流

Claims (10)

1. 空気清浄手段と、
   前記空気清浄手段から吹き出される空気を整流化して層流を生成するために前記空気清浄手段の下流側に配置された整流手段と、
   前記整流手段の下流に配置された作業室と
   を備え、
   前記空気清浄手段と前記整流手段との間に形成された空間の壁面に当該空間内の空気を外部に取り出す吸引口を１つ以上設けた
   ことを特徴とするクリーンエア装置。
2. 請求項１に記載のクリーンエア装置であって、
   格子状、渦巻き状または直線状に配置した１個以上の吸引口を有する測定口を前記空間内に設け、前記壁面に設けた吸引口に前記壁面内側から当該測定口を接続する
   ことを特徴とするクリーンエア装置。
3. 請求項１に記載のクリーンエア装置であって、
   前記空気清浄手段の吹き出し面と対面する前記整流手段とが成す相対角度が０度以上１８０度未満である
   ことを特徴とするクリーンエア装置。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載のクリーンエア装置であって、
   塵埃測定器により前記空間内の空気中の塵埃を測定するために、前記壁面に設けた吸引口の少なくとも１つは前記塵埃測定器に接続される
   ことを特徴とするクリーンエア装置。
5. 請求項１から請求項４のいずれかに記載のクリーンエア装置であって、
   前記空気清浄手段の上流側となる空間を形成する前記クリーンエア装置の壁面に外部とつながる投入口を設け、
   模擬塵埃発生器から模擬塵埃を前記空気清浄手段の上流側となる空間に供給するために、前記投入口は前記模擬塵埃発生器に接続される
   ことを特徴とするクリーンエア装置。
6. 送風機、加圧チャンバおよびフィルタを有する空気清浄装置と、
   前記空気清浄装置から吹き出される空気を整流化して層流を生成するために前記空気清浄装置の下流側に配置された整流板と、
   前記整流板の下流側に配置された作業室と
   を備え、
   前記空気清浄装置と前記整流板との間に形成された空間は乱流域であり、当該空間の壁面に当該空間内の空気を外部に取り出す吸引口を１つ以上設けた
   ことを特徴とするクリーンエア装置。
7. 請求項１から請求項６のいずれかに記載のクリーンエア装置であって、
   前記クリーンエア装置は、清浄作業台である
   ことを特徴とするクリーンエア装置。
8. 請求項１から請求項６のいずれかに記載のクリーンエア装置であって、
   前記クリーンエア装置は、安全キャビネットである
   ことを特徴とするクリーンエア装置。
9. 空気清浄手段と、前記空気清浄手段から吹き出される空気を整流化して層流を生成するために前記空気清浄手段の下流側に配置された整流手段と、前記整流手段の下流側に配置された作業室とを備えたクリーンエア装置の塵埃点検方法であって、
   前記空気清浄手段と前記整流手段との間に形成された空間の壁面に１つ以上設けた吸引口の少なくとも１つに塵埃測定器を接続し、
   前記塵埃測定器により前記空気清浄手段と前記整流手段との間に形成された空間内の空気を吸引して当該空気に含まれる塵埃を測定する
   ことを特徴とする塵埃点検方法。
10. 請求項９に記載のクリーンエア装置の塵埃点検方法であって、
    前記空気清浄手段の上流側に形成された空間の壁面に設けた投入口に模擬塵埃発生器を接続し、
    前記模擬塵埃発生器により前記空気清浄手段の上流側に形成された空間内に模擬塵埃を供給する操作と前記塵埃測定器により前記塵埃を測定する操作とを実行する
    ことを特徴とする塵埃点検方法。

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