CN107073467A - 空气清洁装置和尘埃检查方法 - Google Patents

空气清洁装置和尘埃检查方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107073467A
CN107073467A CN201480081768.4A CN201480081768A CN107073467A CN 107073467 A CN107073467 A CN 107073467A CN 201480081768 A CN201480081768 A CN 201480081768A CN 107073467 A CN107073467 A CN 107073467A
Authority
CN
China
Prior art keywords
air
dust
space
air cleaning
cleaning member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201480081768.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107073467B (zh
Inventor
小野惠
小野惠一
佐藤博利
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd filed Critical Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd
Publication of CN107073467A publication Critical patent/CN107073467A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107073467B publication Critical patent/CN107073467B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L1/00—Enclosures; Chambers
    • B01L1/04—Dust-free rooms or enclosures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L1/00—Enclosures; Chambers
    • B01L1/50—Enclosures; Chambers for storing hazardous materials in the laboratory, e.g. cupboards, waste containers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/08—Ergonomic or safety aspects of handling devices
    • B01L2200/082—Handling hazardous material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/14—Process control and prevention of errors
    • B01L2200/141—Preventing contamination, tampering
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/04—Closures and closing means
    • B01L2300/041—Connecting closures to device or container
    • B01L2300/045—Connecting closures to device or container whereby the whole cover is slidable
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
    • B01L2300/0627—Sensor or part of a sensor is integrated
    • B01L2300/0663—Whole sensors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
    • B01L2300/0681—Filter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/10—Means to control humidity and/or other gases

Abstract

本发明提供一种空气清洁装置和尘埃检查方法。为了提供在空气清洁装置中，在通过过滤器供给清洁空气且吹出空气是层流的操作室中，能够测定空间内的尘埃数并可靠地发现其增加的装置结构和尘埃检查方法，空气清洁装置包括：空气净化单元；配置在空气净化单元的下游侧的用于对从空气净化单元吹出的空气进行整流而生成层流的整流单元；和配置在整流单元的下游侧的操作室，在形成于空气净化单元与整流单元之间的空间的壁面上设置1个以上的将该空间内的空气取出到外部的吸气口。

Description

空气清洁装置和尘埃检查方法
技术领域
本发明涉及提供作为无菌医药品和生物医药品等的制造环境的洁净空间的装置(空气清洁装置)。
背景技术
关于无菌医药品和生物医药品等的制造环境，在一定程度的洁净度的空间中制造，减少对医药品等的污染风险。提供该空间的装置有空气清洁装置。
空气清洁装置用送风单元输送空气，通过使该空气通过作为空气净化单元的HEPA过滤器(High Efficiency Particulate Air Filter)，除去空气中含有的尘埃，供给到规定的空间中。在这样的医药品等的制造环境中，需要对空间内的飘浮尘埃数进行管理。这是因为，在飘浮尘埃数达到一定程度的数量以上的情况下，存在医药品等被污染的可能性，所以会影响医药品等的制造。
本技术领域的背景技术有日本特开2012-255761号公报(专利文献1)。该公报中，记载了作为从配置有风机过滤单元(FFU)的操作室上部供给洁净空气，对操作室内的飘浮尘埃数进行监视的方法，在操作室壁面设置吸气口，在吸气口中插入采样管，在采样管的前端连接尘埃检测器的方法。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-255761号公报
发明要解决的技术问题
上述现有技术中的对飘浮尘埃数进行管理的方法是在操作室的壁面设置吸气口，用插入吸气口的采样管将操作室内的空气导入到尘埃检测器，检测尘埃数。上述现有技术中，设置比实验室的顶板面的面积更小的风机过滤单元(FFU)，吹出洁净空气，所以操作室内的空气成为不仅在上下、也在水平方向上移动的紊流(湍流，乱流)。专利文献1中记载的图中，记载了空气向横方向的移动，所以可知操作室内的气流是紊流方式。
一般而言，尘埃检测器使用光散射式气体颗粒计数器(particle counter)或相对浓度计(photometer)等。ISO中用单位体积中含有的尘埃的数量表示空气的洁净度，所以使用计测尘埃数的光散射式气体颗粒计数器(particle counter)作为测定器的情况较多。用该光散射式气体颗粒计数器(particle counter)计测操作室内的尘埃的情况下，对于操作室内的空气，用采样管在单位时间内向颗粒计数器内导入一定量的空气。然后，通过对该导入的空气中含有的尘埃进行计数，并累加至规定的空气量，能够计测单位体积中含有的尘埃数。
导入尘埃的场所是采样管的入口附近。专利文献1这样的紊流方式的操作室的情况下，操作室内的空气不规则地移动，所以插入了采样管的吸气口、和远离吸气口的场所的尘埃数，在以紊流移动的范围内是相同程度的尘埃数。
在医药品等的制造环境中，不仅要求对空间中的飘浮尘埃数的数量进行管理，还要求向操作室内吹出的洁净空气是单方向的层流。层流的情况下，空气不向相对于气流方向的直角方向移动，所以防止了操作室内某个位置的尘埃向其他位置扩散。在层流空间中尘埃向相对于气流方向的直角方向移动，只能设想为尘埃自身的布朗运动引起的扩散移动。
操作室内的尘埃数增加的主要原因有在操作室内因操作员自身操作而产生尘埃、和来自供给洁净空气的HEPA过滤器的尘埃泄漏(leak)。操作室内的气流是单方向的层流的情况下，操作中产生的尘埃从操作区域向下游流动而从操作区域吹出。与此相对，从HEPA过滤器发生尘埃泄漏的情况下，HEPA过滤器处于作为洁净空间的操作室的最上游，所以尘埃向下游的操作室流动。同样，操作室是层流的情况下，上游产生的尘埃只以扩散程度分散，向单方向流动，从操作室排出。
尘埃检测器用从采样管导入的空气计测尘埃，所以在层流空间中如果尘埃不通过采样管的入口附近，则可能忽略HEPA过滤器的尘埃泄漏(leak)。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种在包括安全柜的空气清洁装置中，在通过过滤器供给清洁空气且吹出空气是层流的操作室中，用于测定空间内的尘埃数并可靠地发现其增加的装置结构和尘埃检查方法。
用于解决问题的技术手段
为了解决上述问题，本发明的空气清洁装置的结构包括：空气净化单元；整流单元，其配置在空气净化单元的下游侧，用于对从空气净化单元吹出的空气进行整流而生成层流；和操作室，其配置在整流单元的下游，在形成于空气净化单元与整流单元之间的空间的壁面设置1个以上的将该空间内的空气取出到外部的吸气口。
发明效果
根据本发明，能够提供一种在通过过滤器供给的洁净空气是层流的操作室内，可靠地测定空间内的尘埃数并发现其增加的装置(空气清洁装置)和检查方法。
附图说明
图1A是表示本发明的实施例1的洁净操作台的侧截面结构图的例子。
图1B是表示本发明的实施例1的洁净操作台的外观正面图的例子。
图2是表示本发明的实施例1的洁净操作台的截面结构图的例子。
图3是表示本发明的实施例1的洁净操作台的截面结构图和尘埃测定方法的例子。
图4A是表示本发明的实施例2的洁净操作台的侧截面结构图的例子。
图4B是表示本发明的实施例2的洁净操作台的外观正面图的例子。
图5是表示本发明的实施例2的洁净操作台的截面结构图的例子。
图6是表示本发明的实施例3的洁净操作台的截面结构图的例子。
图7A是表示本发明的实施例4的安全柜的侧截面结构图的例子。
图7B是表示本发明的实施例4的安全柜的外观正面图的例子。
图8是表示本发明的实施例4的安全柜的截面结构图的例子。
具体实施方式
以下，作为本发明的实施方式，对实施例1～实施例4，用图1～图8顺序说明。
实施例1
图1示出了实施例1的洁净操作台100的结构，图1A是其侧截面结构图的例子，图1B是其外观正面图的例子。另外，图2是该洁净操作台100的正截面结构图的例子。
此处，空气清洁装置指的是包括图1等的洁净操作台和图7等的安全柜(II级生物安全柜)，其他级别的生物安全柜，使实验台内为洁净空气、保护其不使装置外部的杂菌进入的操作台或隔离装置或将操作台包围、从操作台的一部分向被包围的区域流入洁净空气的洁净室的概念。
另外，洁净操作台和安全柜在装置外部与装置内部的气压的相对关系方面不同。洁净操作台为了防止从装置外混入异物，使内部的气压升高(成为正压)，将空气向外挤出。另一方面，安全柜作为防护生物危害的对策，为了防止内部的标本泄漏而使内部保持负压，并且将通过过滤器而洁净化后的空气排出。
风机102配置在洁净操作台100的内部，从洁净操作台100上形成的进气口112向洁净操作台100内导入空气。另外，风机102与加压腔室121连接并进行加压。加压腔室121与HEPA过滤器103连接，通过被风机102加压而供给洁净空气。另外，也存在风机102配置在洁净操作台100的外侧的情况。
在HEPA过滤器103的下游，配置有整流板105。整流板上游侧空间107是空气的入口侧被HEPA过滤器103包围、空气的出口侧被整流板105包围的空间，是HEPA过滤器103和整流板105以外密闭的空间。整流板上游侧空间107被从HEPA过滤器103吹出的洁净空气加压，从整流板105的整面吹出均匀风速的空气106。为了使来自整流板105的吹出空气106均匀，在整流板105的上游侧在与整流板105平行的方向上存在空气的移动，所以整流板上游侧空间107成为紊流(湍流，乱流)区域。
来自整流板105的吹出空气106被供给到操作空间104。该操作空间104被操作空间侧壁面108(图2)、操作空间前表面109(图1A)、操作空间后壁面110(图1A)包围。因该被包围的空间和来自整流板105的吹出空气106形成层流。关于为了形成层流的吹出空气106的吹出风速的均匀性，测定的各位置的风速偏差在相对于整体平均风速值±20％程度的范围内。
在操作空间104的前表面，配置有前表面挡板116。操作员从前表面挡板116的下方的开口部将手臂插入操作空间104，在通过前表面挡板116观察操作空间104内的同时进行操作。操作空间104内用照明灯117维持能够进行操作的照度。因为操作空间104内的空气从前表面挡板116下部的开口部排出，所以随时对操作空间104内供给洁净的吹出空气106。另外，也存在后述实施例4那样，不是将前表面挡板116下部的开口部的空气排出而是将其吸入的情况。
在整流板上游侧空间107的壁面上形成有吸气口119。吸气口119将整流板上游侧空间107与洁净操作台100的外部空间连接。不使用吸气口119的情况下，从洁净操作台100的外部一侧或整流板上游侧空间107一侧用盖(未图示)将其堵塞。另外，吸气口119也可以从整流板105安装到整流板上游侧空间107内。
根据图2的正截面结构图，再次对于空气流进行确认。
从HEPA过滤器103吹出的洁净空气进入到整流板上游侧空间107，被整流板105整流，作为吹出空气106被供给到操作空间104。吹出空气106以从操作空间104的右侧到左侧大致相同的吹出风速，在操作室内形成层流。另外，在整流板上游侧空间107的侧壁面上，形成了1个以上的吸气口119。
整流板上游侧空间107是以HEPA过滤器103的吹出侧为上游、以整流板105为下游的封闭空间。操作空间104是以整流板105为上游、以前表面挡板116的下部的开口部为下游的封闭空间。如果未在操作空间104中新产生尘埃，则未被HEPA过滤器103捕捉的尘埃保持原样地被供给到操作空间104。即，虽然存在一定的空气移动，但整流板上游侧空间107内的单位体积的总尘埃数，与操作空间104内的单位体积的总尘埃数相同。
于是，为了用颗粒计数器等吸引型的尘埃检测器进行更适当的评价，能否适当地导入空气成为课题。操作空间104内的尘埃123随着气流从上游向下游移动。因为操作空间104内的气流是层流，所以虽然存在一定的扩散引起的移动，但是不会在与气流方向正交的方向上移动。计测操作空间104的尘埃数的情况下，对空气采样的场所与尘埃123流动到的场所相隔较远的情况下，存在不能无遗漏地对尘埃123采样的可能性。该现象在计测结果的尘埃数较少的操作空间104的洁净度为ISO5级以下(5级、4级等)的情况下显著出现。ISO中，对洁净度用单位体积的尘埃数分级。操作空间104内是紊流的情况下，难以实现ISO5级以下的洁净度。这是因为，为了实现ISO5级以下的洁净度，要求吹出空气106是洁净的，并且，气流方式是单方向的层流。
在整流板上游侧空间107内，尘埃123在与整流板105的吹出面平行的方向上移动。这是因为，为了使来自整流板105的吹出空气106尽可能均匀，在整流板105的上游侧，空气在与整流板105平行的方向上移动。如果HEPA过滤器103的吹出面与整流板105的距离是无限的，则HEPA过滤器103的一部分发生尘埃泄漏(leak)的情况下，在空气到达整流板105之前充分扩散，从整流板105吹出的尘埃123向操作空间104均匀地吹出，但实际上该距离不可能是无限的。因为通过整流板105的风速是0.3m/s至0.6m/s程度，所以在人使用的程度的大小的装置中，空气在短时间内通过整流板上游侧空间107，因此，因尘埃泄漏(leak)而产生的尘埃123在扩散至整流板105整体前向操作空间104内吹出。但是，从HEPA过滤器103吹出的空气与整流板105碰撞而在与整流板105平行的方向上扩散，进而在紊流区域中也存在空气在整流板上游侧空间107中停滞、尘埃的运动较慢的可能性。这样，尘埃123在整流板上游侧空间107内在与整流板105平行的方向上移动。但是，从整流板105吹出的尘埃123随单方向的层流的吹出空气106移动，所以向与气流方向正交的方向的移动成为扩散程度。
关于计测空间的尘埃数的情况下遇见尘埃123的机率，在存在尘埃123的移动的紊流区域即整流板上游侧空间107对空气采样，与层流空间即操作空间104内相比压倒性地升高。评价操作空间104内的尘埃数的情况下，如果对操作空间104内的空气直接采样，则不在不同的多个位置进行采样时，存在错过尘埃的可能性。但是，在紊流区域即整流板上游侧空间107中，即使不同的采样位置较少的情况下，遇见尘埃的机率也会提高。实施例1中，在整流板上部空间107设置1个以上的吸气口119，能够从吸气口119对整流板上部空间107的紊流区域的空气进行采样。由此，能够可靠地捕捉从HEPA过滤器103泄漏的尘埃123。
图3是对于图2所示的实施例1的洁净操作台的正截面结构图实施尘埃测定方法的情况的例子。
为了对整流板上游侧空间107的紊流区域的空气采样，在本体箱122的壁面上设置了将整流板上游侧空间107与洁净操作台100的装置外部连接的吸气口119。吸气口119能够设置在本体箱122的两侧的壁面或背后的壁面的任意位置，也可以设置多处(图1和2)。吸气口119的形状可以是圆形也可以是方形。
使用该吸气口119测定尘埃时，将采样管120的一端插入吸气口119，将采样管120的另一端与尘埃检测器118连接。尘埃检测器118可以使用光散射式气体颗粒计数器(particle counter)或相对浓度计(photometer)等。另外，存在多个吸气口119的情况下，也可以将采样管120插入各个吸气口119，一并与尘埃检测器118连接，将采样的空气一并导入到尘埃检测器118。尘埃检测器118为了测定而在单位时间内吸引一定量的空气，所以无论从1处采样或是从多处采样，导入尘埃检测器118的空气的量都相同。这样，在尘埃原本较少的环境下，能够通过多次进行1处采样而减少采集遗漏。另一方面，在设想为一定程度的尘埃的环境下，通过多处采样能够以较少的采集次数完成测定。
如之前所示，计测空间的尘埃数的情况下，存在尘埃移动的紊流区域遇见尘埃的机率与层流区域相比压倒性地升高，所以如图3所示，尘埃检测器118从在紊流区域即整流板上游侧空间107配置的吸气口119导入空气。由此，使用尘埃检测器118对从HEPA过滤器103泄漏的尘埃123采样的可能性非常高。
存在总是将尘埃检测器118和采样管120与洁净操作台100连接、监视使用状态下的尘埃浓度的情况，和为了定期检查HEPA过滤器103是否存在泄漏而卸下吸气口119的盖(未图示)、将尘埃检测器118和采样管120与洁净操作台100连接并测定尘埃的情况。因为整流板上游侧空间107内流过的空气中的总尘埃数与操作空间104内流过的空气中的总尘埃数相同，所以如果了解上游侧的单位体积的尘埃数的状态，则等同于了解下游侧的单位体积的尘埃数。
实施例1中，记载了操作空间104内的气流是铅垂方向的层流的情况，但水平方向的层流的情况下，HEPA过滤器与整流板的位置关系也是相同的。此处，水平方向是与铅垂的直角对应的方向，不只严密地表示水平方向。
另外，实施例1示出了洁净操作台100的结构，但也能够用作安全柜的结构。
实施例2
图4示出了实施例2的洁净操作台100的结构，图4A是其侧截面结构图的例子，图4B是其正截面结构图的例子。其中，对于与之前的图1～图3说明的附加了相同符号的结构具有相同功能的部分，省略说明。
实施例2中，对于之前的实施例1追加地在整流板上部侧空间107内配置了栅格状检测口124。图5是该栅格状检测口124的结构例，是从图4B的截面AA向下观察它的图。在栅格状检测口124配置多个吸气口119，从多个吸气口119吸引的空气在本体箱122的出口一并连通至用于向装置外部取出的吸气口119。
栅格状检测口124与HEPA过滤器103面对面地配置，所以无论尘埃从HEPA过滤器103的空气吹出面的什么场所泄漏，都能够用栅格状地配置的多个吸气口119中的某一个可靠地捕捉尘埃，因此能够更可靠地对泄漏尘埃采样。另外，吸气口119的排列不限定于栅格状，也可以是直线状或者漩涡状等。
关于栅格状检测口124的配置位置，优选如之前所示地设置在紊流区域，所以配置在整流板上部侧空间107内是有效的。具体的配置位置优选为在HEPA过滤器103的正下方且整流板105的正上方的位置，在整流板上部侧空间107的高度方向的大致中间，使吸气口朝上地配置。另外，栅格状检测口124的平面的大小具有与HEPA过滤器103大致同等的面积时，捕捉尘埃的可靠性增加。
另外，与尘埃检测器118和采样管120的连接方法等，与之前的实施例1中所示的图3相同。
另外，实施例2示出了洁净操作台100的结构，但也能够用作安全柜的结构。
实施例3
图6是实施例3的洁净操作台100的侧截面结构图的例子。其中，对于与之前的图1～图3说明的附加了相同符号的结构具有相同功能的部分，省略说明。
相对于实施例1，使HEPA过滤器103与整流板105成直角地配置。此处，直角并不严密地表示HEPA过滤器103与整流板105所成的角是90度，而是表示大约成90度地配置。这样，通过使HEPA过滤器103与整流板105相对地配置为直角形状，能够使从HEPA过滤器103到整流板105的气流的行程具有变化，更多地产生紊流。由此，从HEPA过滤器103吹出的空气在通过整流板105之前进一步扩散。即使HEPA过滤器103发生尘埃泄漏(leak)，尘埃123漏出，在整流板上部侧空间107内的空气扩散时，在吸气口119附近存在泄漏的尘埃的可能性更高。HEPA过滤器103与整流板105的位置关系不限定于直角，也可以是直角以外的角度、或虽然平行但HEPA过滤器103的吹出面与整流板105不面对而是错开的位置关系。即，就HEPA过滤器103与整流板105的相对角度而言，在0度以上且不足180度即可。
另外，与尘埃检测器118和采样管120的连接方法等，与之前的实施例1中所示的图3相同。
另外，实施例3中示出了洁净操作台100的结构，但也能够用作安全柜的结构。
实施例4
图7示出了实施例4的安全柜101的结构，图7A是其侧截面结构图的例子，图7B是其外观正面图的例子。另外，图8是该安全柜101的正截面结构图的例子。其中，对于与之前的图1～图3说明的附加了相同符号的结构具有相同功能的部分，省略说明。
一部分空气清洁装置和安全柜采用实施例4所示的结构。
风机102、加压腔室121、HEPA过滤器103、整流板上部侧空间107和整流板105的位置关系与实施例1相同。
在与连接至加压腔室121的HEPA过滤器103不同的场所，设置有排气用的HEPA过滤器103a(图8)。从风机102吹出的空气对加压腔室121加压，从与加压腔室121连接的HEPA过滤器103和排气用HEPA过滤器103a吹出。
在前表面挡板116的下部的操作台面111上，形成有进气格栅115。到达操作空间104内的吹出空气106从进气格栅115被吸入，从操作台面111的下方通过操作空间后壁面110的背面，被吸入风机2。被吸入风机2的空气对加压腔室121加压。根据以上气流结构，从前表面挡板116的下部的进气格栅115吸入的空气量，与从排气用HEPA过滤器103a向外部吹出的空气量是相同的。
空气对于安全柜101的出入如上所述。从进入加压腔室121的一部分空气对操作空间104吹出的空气，通过进气格栅115与从安全柜101的外部吸入的空气混合，再次对操作空间104供给。这样，对操作空间104供给的空气的一部分，是相同的空气在循环。
一部分空气循环的情况下，整流板上游侧空间107也仍然是以HEPA过滤器103的吹出侧为上游、以整流板105为下游的封闭空间。操作空间104也是以整流板105的出口侧为上游、以前表面挡板116的下部的进气格栅115为下游的封闭空间。这样，如果操作空间104内未新产生尘埃，则虽然存在一定的空气移动，但整流板上游侧空间107与操作空间104内的单位体积的尘埃数相同。
无论是除去尘埃后的操作空间104内的空气循环的情况、还是实施例1这样从装置外吸入空气的情况，在洁净室内配置洁净操作台，空气的尘埃量在环境下，从HEPA过滤器103泄漏的尘埃量都减少。此时，即使HEPA过滤器103破损，发生尘埃泄漏的现象，也因为原本的尘埃数较少，所以难以用尘埃检测器118发现尘埃泄漏，其可能性减少。
即，为了在洁净室内的环境条件下发现尘埃泄漏，仅使用尘埃检测器是不充分的，需要故意注入发现尘埃泄漏所需的最小限度的相当于尘埃的物体等对策。
于是，实施例4中，在安全柜101的本体箱122上与吸气口119分别地设置了模拟尘埃接入口125。模拟尘埃接入口125的本体箱122内侧，是风机102的进气侧的负压空间(图7A中用“-”表示的空间)。使从模拟尘埃发生器126产生的尘埃与模拟尘埃接入口125连接，对HEPA过滤器103的上游侧供给模拟尘埃。该情况下，也考虑尘埃检测器的测定能力，以10～100μg/l(升)程度产生并供给模拟尘埃。HEPA过滤器103的上游的尘埃浓度与供给模拟尘埃之前相比提高，所以从HEPA过滤器103吹出后的尘埃浓度也提高。在该状态下使用尘埃检测器，如之前所示地进行测定并实施检查。由此，能够发现因HEPA过滤器103的破损等引起的泄漏。另外，使用的模拟尘埃也可以是雾状化的油或线香的烟等。
此处，关于产生模拟尘埃的时期，可以不总是产生，而是仅在监视操作空间104内的尘埃浓度的情况下产生。
另外，在实施例1～3的洁净操作台100上设置模拟尘埃接入口的情况下，在与从洁净操作台100上形成的进气口112到风机102的进气侧的空间、即负压空间对向的洁净操作台100的本体箱壁面(例如图1的实施例1中用虚线示出的模拟尘埃接入口(125)的位置)，设置通向装置外部的模拟尘埃接入口即可。
接着，对于为了从模拟尘埃发生器126供给模拟尘埃，发现因HEPA过滤器103的破损等引起的泄漏，而使用尘埃检测器118测定尘埃的方法进行说明。该情况下，将模拟尘埃发生器126与模拟尘埃接入口125、尘埃检测器118与吸气口119分别连接，大致同时进行从模拟尘埃发生器126供给模拟尘埃的操作和用尘埃检测器118测定尘埃的操作。由此，即使在原本的尘埃数较少的环境下，也能够发现尘埃泄漏。
另外，通过不大致同时进行尘埃的供给与测定，而是持续供给模拟尘埃，能够在操作空间中存在一定量的尘埃之后，用尘埃检测器118测定尘埃。
该情况下，因为操作空间中存在一定量的尘埃，所以即使尘埃检测器118在同一个测定场所进行多次测定，单位时间的尘埃量也大致固定。因此，能够确认尘埃检测器118是否示出了正确的值。
在各个测定场所进行多次尘埃的测定的情况下，能够在各个测定场所测定相近的值，所以即使存在检查的操作错误或噪声造成的影响等，也能够提高检查精度。
符号说明
100 洁净操作台
101 安全柜
102 风机
103 HEPA过滤器
103a 排气用HEPA过滤器
104 操作室内
105 整流板
106 吹出空气
107 整流板上游侧空间
108 操作室内侧壁面
109 操作室内前表面
110 操作室内后壁面
111 操作台面
112 进气口
113 吸入空气
114 排气口
115 进气格栅
116 前表面挡板
117 照明灯
118 尘埃检测器
119 吸气口
120 采样管
121 加压腔室
122 本体箱
123 尘埃
124 栅格状检测口
125 模拟尘埃接入口
126 模拟尘埃发生器
127 排放空气
128 流入气流。

Claims (10)

1.一种空气清洁装置，其特征在于，包括：
空气净化单元；
整流单元，其配置在所述空气净化单元的下游侧，用于对从所述空气净化单元吹出的空气进行整流而生成层流；和
操作室，其配置在所述整流单元的下游，
在形成于所述空气净化单元与所述整流单元之间的空间的壁面设置1个以上的将该空间内的空气取出到外部的吸气口。
2.如权利要求1所述的空气清洁装置，其特征在于：
在所述空间内设置具有呈栅格状、漩涡状或直线状地配置的1个以上的吸气口的检测口，该检测口从所述壁面内侧与设置在所述壁面的吸气口连接。
3.如权利要求1所述的空气清洁装置，其特征在于：
所述空气净化单元的吹出面与面对的所述整流单元所成的相对角度为0度以上且不足180度。
4.如权利要求1～3中任一项所述的空气清洁装置，其特征在于：
设置在所述壁面的吸气口中的至少一个吸气口与尘埃检测器连接，用所述尘埃检测器检测所述空间内的空气中的尘埃。
5.如权利要求1～4中任一项所述的空气清洁装置，其特征在于：
在形成所述空气净化单元的上游侧的空间的所述空气清洁装置的壁面设置连接至外部的接入口，
所述接入口与模拟尘埃发生器连接，从所述模拟尘埃发生器对所述空气净化单元的上游侧的空间供给模拟尘埃。
6.一种空气清洁装置，其特征在于，包括：
具有风机、加压腔室和过滤器的空气净化装置；
整流板，其配置在所述空气净化装置的下游侧，用于对从所述空气净化装置吹出的空气进行整流而生成层流；和
操作室，其配置在所述整流板的下游侧，
在所述空气净化装置与所述整流板之间形成的空间是紊流区域，在该空间的壁面上设置1个以上的将该空间内的空气取出到外部的吸气口。
7.如权利要求1～6中任一项所述的空气清洁装置，其特征在于：
所述空气清洁装置是洁净操作台。
8.如权利要求1～6中任一项所述的空气清洁装置，其特征在于：
所述空气清洁装置是安全柜。
9.一种空气清洁装置的尘埃检查方法，所述空气清洁装置包括：空气净化单元；用于对从所述空气净化单元吹出的空气进行整流而生成层流的配置在所述空气净化单元的下游侧的整流单元；和配置在所述整流单元的下游侧的操作室，所述尘埃检查方法的特征在于：
将尘埃检测器与设置在形成于所述空气净化单元与所述整流单元之间的空间的壁面上的1个以上的吸气口中的至少1个吸气口连接，
用所述尘埃检测器吸引形成于所述空气净化单元与所述整流单元之间的空间内的空气，检测该空气中含有的尘埃。
10.如权利要求9所述的空气清洁装置的尘埃检查方法，其特征在于：
将模拟尘埃发生器与设置在形成于所述空气净化单元的上游侧的空间的壁面上的接入口连接，
执行用所述模拟尘埃发生器对形成在所述空气净化单元的上游侧的空间内供给模拟尘埃的操作、和用所述尘埃检测器检测所述尘埃的操作。
CN201480081768.4A 2014-11-17 2014-11-17 空气清洁装置和空气净化单元检查方法 Active CN107073467B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2014/080309 WO2016079777A1 (ja) 2014-11-17 2014-11-17 クリーンエア装置および塵埃点検方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107073467A true CN107073467A (zh) 2017-08-18
CN107073467B CN107073467B (zh) 2019-10-01

Family

ID=56013393

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480081768.4A Active CN107073467B (zh) 2014-11-17 2014-11-17 空气清洁装置和空气净化单元检查方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10525458B2 (zh)
JP (1) JP6266127B2 (zh)
CN (1) CN107073467B (zh)
WO (1) WO2016079777A1 (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111542392A (zh) * 2018-04-24 2020-08-14 株式会社日立产机系统 安全柜
CN112334710A (zh) * 2018-06-15 2021-02-05 三星电子株式会社 终端装置以及发送其控制命令的方法
CN114322124A (zh) * 2020-09-29 2022-04-12 芝浦机械电子装置株式会社 送风器及电子零件的安装装置
US11400404B2 (en) 2018-06-15 2022-08-02 Samsung Electronics Co., Ltd Terminal apparatus and method of transmitting control command to air cleaning apparatus using air pollution information acquired while a moving cleaning apparatus moves

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10843183B2 (en) 2016-09-09 2020-11-24 Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. Isolation device with built-in particle counter
CN108119951B (zh) * 2016-11-29 2020-07-24 宁波舜宇光电信息有限公司 无尘装置及其无尘化方法
US10365216B2 (en) * 2016-12-02 2019-07-30 Applied Materials, Inc. Advanced in-situ particle detection system for semiconductor substrate processing systems
JP6783193B2 (ja) 2017-06-14 2020-11-11 株式会社日立産機システム 安全キャビネット
JP6323859B1 (ja) * 2017-11-07 2018-05-16 株式会社セフテック 陰陽圧両用作業フード
JP7182523B2 (ja) * 2019-07-10 2022-12-02 株式会社日立産機システム 安全キャビネット

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1338318A (en) * 1971-11-18 1973-11-21 Cross Co Leak detector unit
EP1147826A2 (en) * 2000-04-17 2001-10-24 Heto-Holten A/S A working station for laminar air flow
CN1576738A (zh) * 2003-07-29 2005-02-09 阿尔卑斯电气株式会社 无尘台
JP2005279575A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Sanyo Electric Co Ltd クリーンベンチ
CN201783501U (zh) * 2010-08-31 2011-04-06 苏州安泰空气技术有限公司 洁净设备用微风速均匀流气流形成装置
CN102090979A (zh) * 2010-12-28 2011-06-15 上海东富龙科技股份有限公司 一种与无菌冻干制剂生产线配套的净化隔离装置
CN102946970A (zh) * 2010-06-18 2013-02-27 株式会社爱瑞思 隔离装置
CN203075964U (zh) * 2013-01-18 2013-07-24 杭州泰林生物技术设备有限公司 无菌层流隔离器

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5348199U (zh) 1976-09-29 1978-04-24
JPH01107851A (ja) 1987-10-20 1989-04-25 Oriental Giken Kogyo Kk ドラフトチャンバーにおける送風排気方法及びその装置
US4927438A (en) * 1987-12-01 1990-05-22 Varian Associates, Inc. Horizontal laminar air flow work station
JP2986834B2 (ja) 1990-03-26 1999-12-06 株式会社日立製作所 清浄作業台
JPH05283510A (ja) * 1992-03-31 1993-10-29 Nippon Seiko Kk 位置決めテーブル装置
JP2586866B2 (ja) 1992-10-09 1997-03-05 鹿島建設株式会社 空調一体型ウェルバランスドラフトチャンバー
JP3305094B2 (ja) * 1994-03-01 2002-07-22 塩野義製薬株式会社 防塵フィルターのリーク検出装置
US5665128A (en) * 1995-12-05 1997-09-09 Nuaire, Inc. Clean air cabinet with valved exhaust
JP3423144B2 (ja) * 1996-03-15 2003-07-07 日本ピュアテック株式会社 エアダクト構造およびエアフィルタ装置
JP2002542450A (ja) * 1999-04-28 2002-12-10 ストラトテック コーポレーション 調節可能なクリーンエアフロー環境
JP4423627B2 (ja) * 1999-10-07 2010-03-03 ニッタ株式会社 クリーンルーム用エアーフィルターのリーク検査装置
EP1754552B1 (en) * 2002-12-06 2010-11-24 Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. Safety cabinet for antibiohazard
US7204751B2 (en) * 2003-07-07 2007-04-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method and apparatus for filtering contaminants
JP4096886B2 (ja) * 2004-02-04 2008-06-04 日本エアーテック株式会社 バイオハザード対策用キャビネット及びキャビネットフィルター交換時期検知方法
JP5127292B2 (ja) 2007-05-01 2013-01-23 興研株式会社 局所空気清浄化装置
JP5543940B2 (ja) * 2011-04-01 2014-07-09 興研株式会社 開放型クリーンベンチ
JP2012255761A (ja) 2011-06-10 2012-12-27 Olympus Corp 塵埃監視方法および生産装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1338318A (en) * 1971-11-18 1973-11-21 Cross Co Leak detector unit
EP1147826A2 (en) * 2000-04-17 2001-10-24 Heto-Holten A/S A working station for laminar air flow
CN1576738A (zh) * 2003-07-29 2005-02-09 阿尔卑斯电气株式会社 无尘台
JP2005279575A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Sanyo Electric Co Ltd クリーンベンチ
CN102946970A (zh) * 2010-06-18 2013-02-27 株式会社爱瑞思 隔离装置
CN201783501U (zh) * 2010-08-31 2011-04-06 苏州安泰空气技术有限公司 洁净设备用微风速均匀流气流形成装置
CN102090979A (zh) * 2010-12-28 2011-06-15 上海东富龙科技股份有限公司 一种与无菌冻干制剂生产线配套的净化隔离装置
CN203075964U (zh) * 2013-01-18 2013-07-24 杭州泰林生物技术设备有限公司 无菌层流隔离器

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111542392A (zh) * 2018-04-24 2020-08-14 株式会社日立产机系统 安全柜
CN111542392B (zh) * 2018-04-24 2021-11-26 株式会社日立产机系统 安全柜
US11543139B2 (en) 2018-04-24 2023-01-03 Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. Safety cabinet
CN112334710A (zh) * 2018-06-15 2021-02-05 三星电子株式会社 终端装置以及发送其控制命令的方法
US11400404B2 (en) 2018-06-15 2022-08-02 Samsung Electronics Co., Ltd Terminal apparatus and method of transmitting control command to air cleaning apparatus using air pollution information acquired while a moving cleaning apparatus moves
CN112334710B (zh) * 2018-06-15 2023-04-14 三星电子株式会社 终端装置以及发送其控制命令的方法
CN114322124A (zh) * 2020-09-29 2022-04-12 芝浦机械电子装置株式会社 送风器及电子零件的安装装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN107073467B (zh) 2019-10-01
US20180214861A1 (en) 2018-08-02
JPWO2016079777A1 (ja) 2017-04-27
JP6266127B2 (ja) 2018-01-24
US10525458B2 (en) 2020-01-07
WO2016079777A1 (ja) 2016-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107073467B (zh) 空气清洁装置和空气净化单元检查方法
Küpper et al. Testing of an indoor air cleaner for particulate pollutants under realistic conditions in an office room
MY190730A (en) Air cleaner
JP6783193B2 (ja) 安全キャビネット
Zoon et al. On the applicability of the laminar flow index when selecting surgical lighting
CN202136987U (zh) 气帘式生物柜
US10184686B2 (en) System for maintaining a pollutant controlled workspace
CN205200062U (zh) 一种风淋室
US10067046B2 (en) Containment workstation for hazardous fine particles
DE50208294D1 (de) Vorrichtung zum wirkungsvollen abscheiden von schwebeteilchen aus einem luftstrom
KR20080055958A (ko) 항원 폭로실 시스템
US8281809B1 (en) Aerosol inlet flow modulator
CN101644470A (zh) 一种洁净室通风系统
CN206412646U (zh) 防尘电力柜
CN207317120U (zh) 一种除霾空气净化器
CN206772769U (zh) 粉尘浓度检测装置及设有粉尘浓度检测装置空气净化设备
CN206094407U (zh) 一种新风机
JP2001033072A (ja) 換気システム
CN101131395B (zh) 生物安全试验柜
CN210399298U (zh) 一种无尘车间
CN201589716U (zh) 高效及超高效过滤器的检测线
JP6427209B2 (ja) 微生物抑制用空気調和システム
CN108119951A (zh) 无尘装置及其无尘化方法
JP2011208872A (ja) クリーンルーム
CN209417008U (zh) 一种新型空气质量检测装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant