JP3305094B2 - 防塵フィルターのリーク検出装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム等の空
調吹出口に設けられている防塵フィルターの破損等によ
るリークを検出するための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】米国食品薬品庁(Food and Drug Adminis
tration)制定による医薬品製造基準(Good Manufacturin
g Practice : ＧＭＰ)の適用を受ける製造作業所、保管
場所、試験・検査作業所等のクリーンルームでは、空調
装置の吹出口に９９．９９９％以上の精度で塵等の異物
を除去し得る防塵フィルターが設けられている。これら
の防塵フィルターは、設置直後及びその後１年ごとにリ
ーク検査の実施が義務付けられている。前記ＧＭＰに規
定するリーク検査法では、捕集ロートをフィルター面か
ら３０ｍｍ以内に近づけ、５０ｍｍ／秒以内の速度で、
かつ捕集ロートの走査軌跡が部分的に重なるようにして
フィルター全面を走査しなければならない。

【０００３】しかし、作業者が棒の先端等に捕集ロート
を取付けて、上記条件を満たしつつ防塵フィルターの全
面のリーク検査を行うことは事実上不可能である。その
ため、例えば特公平３−５０２１０号公報に示されてい
るように、防塵フィルターの前面に所定の方向（Ｘ方
向）にＸ方向レイルと、Ｘ方向レイル上を移動可能なＹ
方向レイルとＹ方向レイル上をＸ方向に直交するＹ方向
に移動可能な捕集ロートを設け、防塵フィルターの全面
をＸ−Ｙ方向に走査してリーク検査を行う装置が提案さ
れている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の防塵フィルター
のリーク検査装置では、Ｘ方向レイルにＹ方向レイルを
駆動するためのモーター、プーリー及びタイミングベル
ト等で構成されたＹ方向レイル駆動機構が設けられてお
り、またＹ方向レイル自体にも捕集ロートをＹ方向に駆
動するためのモーター、プーリー及びタイミングベルト
等で構成された捕集ロート駆動機構が設けられている。
さらに、防塵フィルターの全面をもれなく検査するため
には、Ｙ方向レイルのＸ方向レイル上における停止位置
の精度が必要となり、位置検出装置やサーボ機構も精度
の高いものが要求される。そのため、従来の防塵フィル
ターのリーク検出装置は、装置全体の構造が複雑とな
り、また重量が増加及び製造コストが高くなるという問
題点を有していた。

【０００５】また、従来の防塵フィルターのリーク検出
装置では、駆動機構が直接Ｘ方向レイル及びＹ方向レイ
ルに設けられているため、これらＸ方向レイル及びＹ方
向レイルの長さが限定されてしまう。ところが、防塵フ
ィルターの大きさは、小さいものでは４０ｃｍ×４０ｃ
ｍ程度のものから、大きいものでは４ｍ×４ｍ程度のも
のまで、設置される場所や目的に応じて千差万別であ
る。従って、従来の防塵フィルターのリーク検出装置で
は、防塵フィルターの大きさに合せて大きさ（レイルの
長さ）の異なる装置を何種類も用意しなければならず不
経済である。また、防塵フィルターのリーク検出装置
は、例えば年１回等、定期的に使用されるにすぎず、常
時使用されるものではない。そのため、複数の装置を保
管するために広い場所を必要とするという問題点を有し
ていた。

【０００６】一般的に、防塵フィルターはクリーンルー
ム等の天井部分に設けられているため、防塵フィルター
のリーク検査装置も天井部分に釣り下げられる場合が多
い。ところが、天井部分は床面と異なり、それほど強固
には構成されていない。そのため、防塵フィルターのリ
ーク検出装置の重量は、より軽い方が望ましい。また、
防塵フィルターのリーク検出装置は常時防塵フィルター
の前面に取り付けられているものではなく、防塵フィル
ターのリーク検出に際して、防塵フィルターの前面に取
り付けられている保護部材を撤去し、その後に取り付け
られる。従って、防塵フィルターのリーク検出に要する
手間や時間は、捕集ロートにより防塵フィルターの前面
を走査する手間や時間だけでなく、防塵フィルターのリ
ーク検出装置の取り付け及び取り外しに要する手間や時
間も加味されなければならない。そのため、防塵フィル
ターのリーク検出装置としては、軽量で、取り付け及び
取り扱い操作が簡単なものが望ましい。ところが、従来
の防塵フィルターのリーク検出装置は、捕集ロートのＸ
−Ｙ方向の走査は自動的に行うことができ、取り扱い操
作は比較的簡単であるが、装置全体の重量が重く、取り
付け操作が困難であり、取り付け及び取り外しに時間を
要するという問題点を有していた。

【０００７】本発明は以上のような従来例の問題点を解
決するためになされたものであり、第１に、構造が簡単
かつ軽量であり、取り付け及び取り外しが容易であり、
さらに取り扱い操作の容易な防塵フィルターのリーク検
出装置を提供することを目的としている。第２に、汎用
的に様々な大きさの防塵フィルターのリーク検出が可能
な装置を提供することを目的としている。第３に、分解
及び組立が容易であり、不使用時の保管に場所をとらな
い防塵フィルターのリーク検出装置を提供することを目
的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の防塵フィルターのリーク検出装置は、防塵
フィルターのフィルター面に平行な面上で第１の所定方
向設けられた一対の平行な第１のレイルと、前記第１の
所定方向に直交する第２の所定方向に設けられ前記第１
のレイル上を摺動する第２のレイルと、前記第２のレイ
ル上を前記第２の所定方向に自力走行可能な捕集ロート
と、前記捕集ロートと塵埃検出装置とを連結する可撓性
チューブとを具備するように構成されている。上記構成
において、前記捕集ロートはモーター及び車輪を有し、
前記第２のレイル上を所定の速度で走行するように構成
することが好ましい。また、上記構成において、前記第
１のレイルは所定の間隔で設けられた複数の位置決め機
構を有し、前記第２のレイルは前記位置決め機構と係合
することにより所定の位置に停止するように構成するこ
とが好ましい。また、上記構成において、前記第２のレ
イルは前記第１の方向に設けられた牽引ロープに連結さ
れ、前記牽引ロープを牽引することにより前記第２のレ
イルを前記第１の方向に移動させるように構成すること
が好ましい。また、上記構成において、前記第１のレイ
ル及び／又は前記第２のレイルの長さを調節可能である
ように構成することが好ましい。

【０００９】本発明の別の防塵フィルターのリーク検出
装置は、防塵フィルターのフィルター面に平行な面上で
第１の所定方向設けられた長さ調節可能な一対の平行な
第１のレイルと、前記第１の所定方向に直交する第２の
所定方向に設けられ前記第１のレイル上を摺動する長さ
調節可能な第２のレイルと、前記第２のレイル上を前記
第２の所定方向に移動可能な捕集ロートと、前記捕集ロ
ートと塵埃検出装置とを連結する可撓性チューブと、前
記第２の方向に設けられ前記捕集ロートを前記第２の方
向に牽引するための牽引ロープとを具備するように構成
されている。上記構成において、前記第２のレイルは前
記第１の方向に設けられた牽引ロープに連結され、前記
牽引ロープを牽引することにより前記第２のレイルを前
記第１の方向に移動させるように構成されていることが
好ましい。

【００１０】本発明のさらに別の防塵フィルターのリー
ク検出装置は、防塵フィルターのフィルター面と実質的
に同一の面に取り付けられ、第１のレイルと嵌合する嵌
合溝を有し、一対の第１のレイルを前記フィルター面に
平行な面上で第１の所定方向に並行に任意の間隔及び長
さで保持する保持ブロックと、前記一対の第１のレイル
にそれぞれ摺動可能に嵌合する一対の摺動ブロックと、
前記第１の所定方向に直交する第２の所定方向に前記一
対の摺動ブロックに固定された第２のレイルと、前記第
２のレイル上を前記第２の所定方向に自走する捕集ロー
トと、前記捕集ロートと塵埃検出装置とを連結する可撓
性チューブとを具備するように構成されている。上記構
成において、前記保持ブロックは前記防塵フィルターの
前面に取り付けられていた保護部材を取り外した後のネ
ジ穴に螺合するものであることが好ましい。また、上記
構成において、前記捕集ロートはモーター及び車輪を有
し、前記第２のレイル上を所定の速度で走行するように
構成されていることが好ましい。また、上記構成におい
て、前記第１のレイルは所定の間隔で設けられた複数の
位置決め機構を有し、前記第２のレイルは前記位置決め
機構と係合することにより所定の位置に停止するように
構成されていることが好ましい。また、上記構成におい
て、前記第２のレイルは前記第１の方向に設けられた牽
引ロープに連結され、前記牽引ロープを牽引することに
より前記第２のレイルを前記第１の方向に移動させるよ
うに構成されていることが好ましい。

【００１１】

【作用】以上のように、本発明の防塵フィルターのリー
ク検出装置によれば、第２のレイルは第１のレイル上を
第１の所定方向に摺動可能であり、また捕集ロートは第
２のレイル上で第２の所定方向に走行可能である。その
ため、捕集ロートは第１及び第２のレイルで構成される
いわゆるＸ−Ｙテーブル上で任意の位置を走査すること
が可能である。その結果、本装置を防塵フィルターの前
面に装着することにより、防塵フィルターの全面を漏れ
なく走査することが可能である。

【００１２】一対の第１のレイルは、防塵フィルターの
フィルター面（例えば、クリーンルームの天井面）に対
して所定距離を隔てた平行な面上において、第１の所定
方向（例えば、防塵フィルターの一辺に平行な方向）に
平行に固定されている。第１のレイルは単なるレイルで
あり、それ自体には第２のレイルを駆動するための駆動
機構は設けられていない。第２のレイルも単なるレイル
であり、例えば第１の所定方向に設けられた牽引ロープ
に連結され、例えば手動等により第１の所定方向に所定
距離だけ平行移動される。第１のレイル上における第２
のレイルの位置決めは、第１のレイルに所定の間隔で設
けられた複数の位置決め機構（例えば所定形状の切り欠
き）と第２のレイル側に設けられたラッチとが係合する
ことにより行われる。第２のレイルにも捕集ロートを駆
動するための駆動機構は設けられていない。一方、捕集
ロートは、それ自体にモーター及び車輪が設けられてお
り、モーターの駆動力により自力走行する。そのため、
第１及び第２のレイルは構造がひじょうに簡単であり、
かつ軽量である。さらに、捕集ロートは自力走行可能で
あるため、第１及び第２のレイルを所定の位置に取り付
けた後、捕集ロートを第２のレイルの上に載せることが
可能である。従って、本発明の防塵フィルターのリーク
検出装置全体としても構造が簡単かつ軽量であり、取り
付け及び取り外しもいたって容易である。

【００１３】捕集ロートの走行速度制御は、モーターに
印加する電圧を制御することにより行う。また、走行方
向の切り替えは、モーターに印加する電流の向きを切り
替えることにより行う。一般に、防塵フィルターのリー
ク検出装置はクリーンルームの天井部分に取り付けられ
ることが多いため、捕集ロートの走行制御はリモートコ
ントロールにより行う。捕集ロートの底部に可撓性のチ
ューブを取り付け、このチューブの一端を例えば可動台
車の上に載置された塵埃検出装置に接続する。実際に塵
埃の存否を検出する部分は捕集ロートとは切り離されて
いるため、第２のレイル上を走行するのは捕集ロートの
部分だけである。捕集ロートそのものの重量はさほど重
くはないため、捕集ロートを駆動するためのモーターも
それほど強力なものでなくてよい。捕集ロートを駆動す
るための電源は、捕集ロート本体にバッテリーを搭載し
てもよいし、外部から第２のレイル及び車輪等あるいは
可撓電線等を介して供給してもよい。後者の場合、捕集
ロート本体の重量はさらに軽くなる。

【００１４】第１のレイルを、第１のレイルと嵌合する
嵌合溝を有する保持ブロックと、防塵フィルターの一辺
の長さよりも長いレイルとで構成する。保持ブロック
は、防塵フィルターの前面に設けられていた保護部材を
除去した後のネジ穴などに螺合させて取り付ける。同様
に、第２のレイルを、第１のレイルに摺動可能に嵌合す
る一対の摺動ブロックと、一対の摺動ブロック間に長さ
調節可能なように固定されたレイルとで構成する。この
ような構成により、大きさの異なる複数種類の防塵フィ
ルターに対応してリーク検出を行うことができる。同時
に、本発明の防塵フィルターのリーク検出装置を使用し
ない場合、第１のレイルを保持ブロックとレイルに分解
し、また第２のレイルを摺動ブロックとレイルに分解す
ることができ、保管に場所をとらない。

【００１５】また、本発明の別の防塵フィルターのリー
ク検出装置においては、捕集ロート自体にモーター等の
駆動源を設けず、捕集ロートを第２の方向に設けられた
牽引ロープに連結し、例えば手動により捕集ロートを一
定の速度で第２の方向に移動させる。このような構成に
より、装置全体の構成がさらに簡単になり、また重量も
さらに軽量になる。

【００１６】

【実施例】本発明の防塵フィルターのリーク検出装置
の、その好適な第１の実施例を図１を参照しつつ説明す
る。図１は第１の実施例の構成を示す斜視図である。図
１において、防塵フィルター１は、例えばクリーンルー
ム等の天井部２に設けられた開口部３の部分に設けられ
ているものとする。一般に、防塵フィルターは紙等で作
成されているため、清掃用具等の接触による破損を防止
するため、防塵フィルターの前面には保護部材が設けら
れている。図１では、当該保護部材を取り外し、その後
に防塵フィルターのリーク検出装置を取り付けた状態を
示している。

【００１７】保持ブロック５０は、前記保護部材を取り
付けていたネジ穴にネジ部１２を螺合することにより、
天井部２に固定されている。この実施例では、矩形状の
防塵フィルター１の四隅にそれぞれ保持ブロック５０が
取り付けられている。保持ブロック５０はそれぞれ２個
１組として、一対の第１のレイル６１及び６２を互いに
平行に、図中矢印Ｘで示す第１の所定方向、例えば防塵
フィルター１の一辺に平行な方向に保持する。各保持ブ
ロック５０はそれぞれと第１のレイル６１及び６２と嵌
合可能な嵌合溝を有しており、一対の第１のレイル６１
及び６２を任意の位置で保持することが可能である。一
方、第１のレイル６１及び６２の長さはそれぞれ、図中
６１ａ及び６２ａで示すように、防塵フィルター１の最
長の辺よりも長い。そのため、この実施例の装置はこの
防塵フィルター１よりも大きな他の防塵フィルターのリ
ーク検出にも使用可能である。

【００１８】第１のレイル６１及び６２にはそれぞれ、
第１のレイル６１及び６２と摺動可能な一対の摺動ブロ
ック６０が嵌合されている。また、一方の第１のレイ
ル、例えば６１には所定間隔で設けられた複数の位置決
め用の切り欠き６３が設けられている。切り欠き６３を
有する第１のレイル６１を保持する保持ブロック５０に
は、第１の所定方向Ｘに貫通穴５１が設けられている。
また、貫通穴５１を貫通するように牽引ロープ５１が第
１の所定方向に設けられており、第１のレイル６１と嵌
合する摺動ブロック６０に牽引ロープ５２が接続されて
いる。作業者は、手動により牽引ロープ５２を所定の方
向に牽引する。一方、摺動ブロック６０にも切り欠き６
３と係合するためのラッチ機構（図示せず）等が設けら
れており、摺動ブロック６０のラッチ機構が第１のレイ
ル６１に設けられた切り欠き６３に対向する位置に到達
したとき、ラッチ機構と切り欠き６３とが係合し、摺動
ブロック６０に設けられた第２のレイル６４が所定の位
置に停止する。

【００１９】各摺動ブロック６０の間には、前記第１の
所定方向Ｘに直交する第２の所定方向Ｙに第２のレイル
６４が設けられている。なお、特に図示していないが、
第２のレイル６４は摺動ブロック６０に対して摺動可能
に保持されており、防塵フィルター１の大きさに対応し
てその長さが調節可能なように構成されている。第２の
レイル６４上には、自力走行可能なキャリヤー７０が載
せられており、第２のレイル６４上を第２の所定方向Ｙ
に所定速度（例えば、５ｃｍ／秒以下の速度）で往復す
る。キャリヤー７０の上部には、所定の吸引力で防塵フ
ィルター１の表面からリークしてきた塵を吸引するため
の捕集ロート７１が設けられている。捕集ロート７１の
下部には可撓性の樹脂チューブ３２が接続されている。
また、樹脂チューブ３２の他端部は、床面を走行可能な
台車４１上に載置された塵埃検出装置４０に接続されて
いる。

【００２０】例えば、捕集ロート７１の幅を５０ｍｍと
すると、第１のレイル６１に設けられた切り欠き６３の
間隔を４０ｍｍとする。これによって、第２のレイル６
４は４０ｍｍずつ移動され、捕集ロート７１の両端から
５ｍｍずつがそれぞれオーバーラップして吸引測定され
ることになる。その結果、防塵フィルター１の全面を漏
れなくリーク測定することができる。一方、捕集ロート
７１の開口部上端は、常に防塵フィルター１のフィルタ
ー面から３０ｍｍ以内になければならない。そのため、
第２のレイル６４からキャリヤー７０の捕集ロート７１
の開口部上端までの高さを考慮して、第１のレイル６１
及び６２を保持する保持ブロック５０の高さを調節す
る。例えば、保持ブロック５０にはネジ部１２が設けら
れているため、このネジ部１２を保持ブロック５０の高
さ調節に用いてもよい。

【００２１】なお、第１のレイル６１及び６２及び第２
のレイル６４はそれぞれ、重力の作用により中央部分が
下向きに湾曲する。そのため、捕集ロート７１が第１の
レイル６１及び６２及び／又は第２のレイル６４の中央
部にあるときと端部にあるときとでは、捕集ロート７１
の開口部上端と防塵フィルター１のフィルター面との距
離が異なる。しかし、捕集ロート７１の開口部上端と防
塵フィルター１のフィルター面との距離が最も離れた場
合でも３０ｍｍ以下でなければならない。そのため、第
１のレイル６１及び６２及び第２のレイル６４がそれぞ
れ最大限に撓んだ場合でも、捕集ロート７１の開口部上
端と防塵フィルター１のフィルター面との距離が３０ｍ
ｍ以下となるような剛性を有していなければならない。
または、最初から撓むことを考慮に入れて、第１のレイ
ル６１及び６２及び第２のレイル６４をそれぞれ上向き
に湾曲させておいてもよい。

【００２２】キャリヤー７０は、第２のレイル６４上を
自力走行するように、モーター及び車輪を有している
（モーター等の駆動機構は自明につき図示せず）。キャ
リヤー７０の走行速度が所定の速度となるように、あら
かじめモーターの回転数（又はモーターに印加する電
圧）、減速比及び車輪の直径等を決定しておく。モータ
ーを駆動するための電源としては、バッテリーをキャリ
ヤー７０自体に搭載してもよいし、外部から電力を供給
してもよい。外部から電力を供給する場合、第２のレイ
ル６４及び車輪を導電性のものとし、これら第２のレイ
ル６４及び車輪などを介してモーターに電力を供給する
方法が考えられる。または、捕集ロート７１の底部に接
続されている可撓性チューブ３２に可撓電線を併設し、
当該可撓電線を介してモーターに電力を供給するように
構成してもよい。防塵フィルターのリーク検出装置の重
量を軽くするという本発明の目的及び第１及び第２のレ
イル６１、６２、６４の湾曲を小さくすること等を考慮
すれば、キャリヤー７０自体の重量が軽くなる、外部か
らモーターに電力を供給する方式の方が好ましいといえ
る。また、キャリヤー７０の走行方向の切り替えは、モ
ーターに印加する直流電流の方向を切り替えることによ
り行う。キャリヤー７０の発進及び停止及び走行方向の
切り替え等は、リモートコントロールにより制御する。

【００２３】以上のように構成された本発明の第１の実
施例の防塵フィルターのリーク検出装置は、４個の保持
ブロック５０と、２本の第１のレイル６１及び６２と、
２個の摺動ブロック６０と、１本又は２本の第２のレイ
ル６４と、キャリヤー７０と、塵埃検出装置４０と、牽
引ロープ５１と、可撓性チューブ３２とに分解すること
ができる。従って、本発明の防塵フィルターのリーク検
出装置の取り付け及び取り外しに際しても、各部品又は
ブロックごとに組立及び分解を行えばよい。さらに、本
発明の防塵フィルターのリーク検出装置を保管する場合
でも、各部品又はブロックに分解して保管することがで
き、保管のためのスペースをあまり必要としない。

【００２４】次に、本発明の防塵フィルターのリーク検
出装置の、その好適な第２の実施例を図２を参照しつつ
説明する。図２は第２の実施例の構成を示す斜視図であ
る。なお、上記第１の実施例における符号と同一の符号
を付した部材は実質的に同一のものであるため、その説
明を省略する。

【００２５】図２において、保持ブロック１０は、それ
ぞれ２個１組として、一対の第１のレイル１１を互いに
平行に第１の所定方向Ｘに保持する。各保持ブロック１
０はそれぞれと第１のレイル１１と嵌合可能な嵌合溝を
有しており、一対の第１のレイル１１を任意の位置で保
持することが可能である。第１のレイル１１にはそれぞ
れ、第１のレイル１１と摺動可能な一対の摺動ブロック
２０が嵌合されている。各保持ブロック１０にはそれぞ
れ、第１の所定方向Ｘに貫通穴１４が設けられている。
貫通穴１４を貫通するように牽引ロープ１３が第１の所
定方向に設けられており、各摺動ブロック２０にはそれ
ぞれ牽引ロープ１３が接続されている。作業者は、手動
により牽引ロープ１３を所定の方向に牽引する。

【００２６】各摺動ブロック２０の間には、第２の所定
方向Ｙに第２のレイル２１が設けられている。なお、特
に図示していないが、第２のレイル２１は摺動ブロック
２０に対して摺動可能に保持されており、防塵フィルタ
ー１の大きさに対応してその長さが調節可能なように構
成されている。第２のレイル２１上には、捕集ロート３
０が摺動可能に載置されている。各摺動ブロック２０に
は第２の所定方向Ｙに溝２２が設けられており、この溝
２２を貫通するように牽引ロープ２３が設けられてい
る。牽引ロープ２３は捕集ロート３０に接続されてお
り、作業者が牽引ロープ２３を所定の速度で牽引するこ
とにより、捕集ロート３０は第２のレイル２１上を第２
の所定方向Ｙに所定速度（例えば、５ｃｍ／秒以下の速
度）で移動する。捕集ロート３０の下部には可撓性の樹
脂チューブ３２が接続されている。

【００２７】第２の実施例では、作業性を若干犠牲にし
ても、防塵フィルターのリーク検出装置の構成をさらに
簡単にし、かつ重量をさらに軽くするようにしたもので
ある。すなわち、第２の実施例では、捕集ロート３０は
自力走行できず、作業者が時計を見ながら一定の速度で
牽引ロープ２３を牽引することにより捕集ロート３０を
移動させる。そのかわり、第１の実施例では必要であっ
たキャリヤー７０のモーターや駆動機構が不要となり、
構造がきわめて簡単になる。また、第２の実施例の捕集
ロート３０の重量は、第１の実施例のキャリヤー７０の
重量と比較してきわめて軽量であり、それに対応して第
１及び第２のレイル１１及び２１の剛性も小さくてす
み、また重量も軽くなる。

【００２８】以上のように構成された本発明の第２の実
施例の防塵フィルターのリーク検出装置は、４個の保持
ブロック１０と、２本の第１のレイル１１と、２個の摺
動ブロック２０と、２本の第２のレイル２１と、捕集ロ
ート３０と、塵埃検出装置４０と、牽引ロープ１３及び
２３と、可撓性チューブ３２とに分解することができ
る。従って、本発明の防塵フィルターのリーク検出装置
の取り付け及び取り外しに際しても、各部品又はブロッ
クごとに組立及び分解を行えばよい。さらに、本発明の
防塵フィルターのリーク検出装置を保管する場合でも、
各部品又はブロックに分解して保管することができ、保
管のためのスペースをあまり必要としない。

【００２９】

【発明の効果】以上のように、本発明の防塵フィルター
のリーク検出装置は、防塵フィルターのフィルター面に
平行な面上で第１の所定方向に設けられた一対の平行な
第１のレイルと、第１の所定方向に直交する第２の所定
方向に設けられ第１のレイル上を摺動する第２のレイル
と、第２のレイル上を第２の所定方向に自力走行可能な
捕集ロートと、捕集ロートと塵埃検出装置とを連結する
可撓性チューブとを具備するように構成したので、捕集
ロートは第１及び第２のレイルで構成されるいわゆるＸ
−Ｙテーブル上で任意の位置を走査することが可能であ
る。その結果、本装置を防塵フィルターの前面に装着す
ることにより、防塵フィルターの全面を漏れなく走査す
ることができる。また、捕集ロートは自力走行可能であ
るため、第２のレイルに捕集ロートを駆動するための機
構を設ける必要がなくなり、第２のレイルの構造が簡単
になり、重量も軽くなる。また、捕集ロートはモーター
及び車輪を有し、前記第２のレイル上を所定の速度で走
行するように構成したので、リモートコントロールによ
り捕集ロートを任意の位置に走査させることができ、作
業性が向上する。また、第１のレイルは所定の間隔で設
けられた複数の位置決め機構を有し、第２のレイルは前
記位置決め機構と係合することにより所定の位置に停止
するように構成したので、第２のレイルの第１の所定方
向における位置決めがきわめて容易になる。また、第２
のレイルは第１の方向に設けられた牽引ロープに連結さ
れ、牽引ロープを牽引することにより第２のレイルを第
１の方向に移動させるように構成したので、第１のレイ
ルに第２のレイルを駆動するための駆動機構を設ける必
要がなくなり、第１のレイルの構造が簡単になり、重量
も軽くなる。また、第１のレイル及び／又は第２のレイ
ルの長さを調節可能であるように構成したので、大きさ
の異なる複数種類の防塵フィルターに対応してリーク検
出を行うことができる。

【００３０】本発明の別の防塵フィルターのリーク検出
装置によれば、防塵フィルターのフィルター面に平行な
面上で第１の所定方向に設けられた長さ調節可能な一対
の平行な第１のレイルと、第１の所定方向に直交する第
２の所定方向に設けられ第１のレイル上を摺動する長さ
調節可能な第２のレイルと、第２のレイル上を第２の所
定方向に移動可能な捕集ロートと、捕集ロートと塵埃検
出装置とを連結する可撓性チューブと、第２の方向に設
けられ捕集ロートを第２の方向に牽引するための牽引ロ
ープとを具備するように構成したので、捕集ロートを自
力走行させるためのモーターや駆動機構が不要となり、
防塵フィルターのリーク検出装置の構成をさらに簡単に
することができ、かつ重量もさらに軽くすることができ
る。また、捕集ロートの重量はきわめて軽量であり、そ
れに対応して第１及び第２のレイルの剛性も小さくてす
み、重量を軽くすることができる。また、第２のレイル
は第１の方向に設けられた牽引ロープに連結され、牽引
ロープを牽引することにより第２のレイルを第１の方向
に移動させるように構成したので、第１のレイルに第２
のレイルを駆動するための駆動機構を設ける必要がなく
なり、第１のレイルの構造が簡単になり、重量も軽くな
る。また、第１のレイル及び／又は第２のレイルの長さ
を調節可能であるので、大きさの異なる複数種類の防塵
フィルターに対応してリーク検出を行うことができる。

【００３１】本発明のさらに別の防塵フィルターのリー
ク検出装置によれば、防塵フィルターのフィルター面と
実質的に同一の面に取り付けられ、第１のレイルと嵌合
する嵌合溝を有し、一対の第１のレイルをフィルター面
に平行な面上で第１の所定方向に並行に任意の間隔及び
長さで保持する保持ブロックと、一対の第１のレイルに
それぞれ摺動可能に嵌合する一対の摺動ブロックと、第
１の所定方向に直交する第２の所定方向に一対の摺動ブ
ロックに固定された第２のレイルと、第２のレイル上を
第２の所定方向に自走する捕集ロートと、捕集ロートと
塵埃検出装置とを連結する可撓性チューブとを具備する
ように構成したので、各構成部品又はブロックに分解す
ることができる。従って、本発明の防塵フィルターのリ
ーク検出装置の取り付け及び取り外しに際しても、各部
品又はブロックごとに組立及び分解を行うことができ
る。さらに、本発明の防塵フィルターのリーク検出装置
を保管する場合でも、各部品又はブロックに分解して保
管することができ、保管のためのスペースを小さくする
ことができる。また、保持ブロックは防塵フィルターの
前面に取り付けられていた保護部材を取り外した後のネ
ジ穴に螺合することにより、特別な取り付け構造等が不
要となり、構造がきわめて簡単になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の防塵フィルターのリーク検出装置の、
好適な第１の実施例の構成を示す斜視図

【図２】本発明の防塵フィルターのリーク検出装置の、
好適な第２の実施例の構成を示す斜視図

【符号の説明】

１ ：防塵フィルター ２ ：天井部 ３ ：開口部 １０ ：保持ブロック １１ ：第１のレイル １２ ：ネジ部 １３ ：牽引ロープ １４ ：貫通穴 ２０ ：摺動ブロック ２１ ：第２のレイル ２２ ：溝 ２３ ：牽引ロープ ３０ ：捕集ロート ３２ ：可撓性チューブ ４０ ：塵埃検出装置 ４１ ：台車 ５０ ：保持ブロック ５１ ：貫通穴 ５２ ：牽引ロープ ６０ ：摺動ブロック ６１ ：第１のレイル ６２ ：第１のレイル ６３ ：切り欠き ６４ ：第２のレイル ７０ ：キャリヤー ７１ ：捕集ロート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−10831（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−77646（ＪＰ，Ａ) 実開 昭64−44017（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F24F 13/28 B01D 46/42 G01M 3/00

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 防塵フィルターのフィルター面に平行な
   面上で第１の所定方向に設けられた一対の平行な第１の
   レイルと、前記第１の所定方向に直交する第２の所定方
   向に設けられ前記第１のレイル上を摺動する第２のレイ
   ルと、前記第２のレイル上を前記第２の所定方向に自力
   走行可能な捕集ロートと、前記捕集ロートと塵埃検出装
   置とを連結する可撓性チューブとを具備し、 前記第１のレイルは所定の間隔で設けられた複数の位置
   決め機構を有し、前記第２のレイルは前記位置決め機構
   と係合することにより所定の位置に停止する防塵フィル
   ターのリーク検出装置。
2. 【請求項２】 防塵フィルターのフィルター面に平行な
   面上で第１の所定方向に設けられた一対の平行な第１の
   レイルと、前記第１の所定方向に直交する第２の所定方
   向に設けられ前記第１のレイル上を摺動する第２のレイ
   ルと、前記第２のレイル上を前記第２の所定方向に自力
   走行可能な捕集ロートと、前記捕集ロートと塵埃検出装
   置とを連結する可撓性チューブとを具備し、 前記第１のレイル及び／又は前記第２のレイルの長さが
   調節可能である防塵フィルターのリーク検出装置。
3. 【請求項３】 前記捕集ロートはモーター及び車輪を有
   し、前記第２のレイル上を所定の速度で走行する請求項
   １又は２記載の防塵フィルターのリーク検出装置。
4. 【請求項４】 前記第２のレイルは前記第１の方向に設
   けられた牽引ロープに連結され、前記牽引ロープを牽引
   することにより前記第２のレイルを前記第１の方向に移
   動させる請求項１から３のいずれかに記載の防塵フィル
   ターのリーク検出装置。
5. 【請求項５】 防塵フィルターのフィルター面に平行な
   面上で第１の所定方向に設けられた長さ調節可能な一対
   の平行な第１のレイルと、前記第１の所定方向に直交す
   る第２の所定方向に設けられ前記第１のレイル上を摺動
   する長さ調節可能な第２のレイルと、前記第２のレイル
   上を前記第２の所定方向に移動可能な捕集ロートと、前
   記捕集ロートと塵埃検出装置とを連結する可撓性チュー
   ブと、前記第２の方向に設けられ前記捕集ロートを前記
   第２の方向に牽引するための牽引ロープとを具備する防
   塵フィルターのリーク検出装置。
6. 【請求項６】 前記第２のレイルは前記第１の方向に設
   けられた牽引ロープに連結され、前記牽引ロープを牽引
   することにより前記第２のレイルを前記第１の方向に移
   動させる請求項５記載の防塵フィルターのリーク検出装
   置。
7. 【請求項７】 防塵フィルターのフィルター面と実質的
   に同一の面に取り付けられ、第１のレイルと嵌合する嵌
   合溝を有し、一対の第１のレイルを前記フィルター面に
   平行な面上で第１の所定方向に平行に任意の間隔及び長
   さで保持する保持ブロックと、前記一対の第１のレイル
   にそれぞれ摺動可能に嵌合する一対の摺動ブロックと、
   前記第１の所定方向に直交する第２の所定方向に前記一
   対の摺動ブロックに固定された第２のレイルと、前記第
   ２のレイル上を前記第２の所定方向に自走する捕集ロー
   トと、前記捕集ロートと塵埃検出装置とを連結する可撓
   性チューブとを具備し、 前記保持ブロックは前記防塵フィルターの前面に取り付
   けられていた保護部材を取り外した後のネジ穴に螺合す
   ることにより固定され、 前記第１のレイルは所定の間隔で設けられた複数の位置
   決め機構を有し、前記摺動ブロックが前記位置決め機構
   と係合することにより、前記第２のレイルが所定の位置
   に停止する 防塵フィルターのリーク検出装置。
8. 【請求項８】 前記捕集ロートはモーター及び車輪を有
   し、前記第２のレイル上を所定の速度で走行する請求項
   ７記載の防塵フィルターのリーク検出装置。
9. 【請求項９】 前記第２のレイルは前記第１の方向に設
   けられた牽引ロープに連結され、前記牽引ロープを牽引
   することにより前記第２のレイルを前記第１の方向に移
   動させる請求項７又は８に記載の防塵フィルターのリー
   ク検出装置。