JPH09250802A - エアダクト構造およびエアフィルタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エアフイルタ装置を構成するフィルタの劣化
に伴なう当該フィルタの交換を、安全かつ計画的に行う
ことが可能なエアダクト構造およびエアフィルタ装置の
提供。 【解決手段】 一方側がエアの流入側１０ａとなり、か
つ、他方側がエアの流出側１０ｂとなるように、通気路
Ｄ’に設置されるフィルタ枠１０と、このフィルタ枠１
０に流入されるエアを濾過するように、フィルタ枠１０
内に所定の間隔Ｔを開けて組み込まれる第一のフィルタ
Ｃ１および、第一のフィルタＣ１の二次側に位置される
第二のフィルタＣ２と、第一のフィルタＣ１と第二のフ
ィルタＣ２との間にあるエアの測定分流路Ｎとを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、エアフィルタ装
置を備えたエアダクトの構造およびエアフィルタ装置の
改良に関し、より具体的には、エアフイルタ装置を構成
するフィルタの劣化に伴なう当該フィルタの交換を、安
全かつ計画的に行うことが可能な、エアダクト構造およ
びエアフィルタ装置の提供に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、大気中には様々な化学物質、例え
ば、アンモニアガス・アミンガスなどのアルカリ性物
質、塩化水素・フッ化水素・硝酸・ギ酸・酢酸などの酸
性ガス、塩素・フッ素・臭素・ヨウ素などのハロゲンガ
ス、ＤＯＰ・シロキサンなどの有機物、硫黄酸化物、窒
素酸化物、オキシダント、ボロン化合物などが含まれる
に至っており、人の居室空間にあっては健康保持の観点
から、また、シリコンウエハー、半導体、各種電子部
品、精密機械、精密部品などを製造などするクリーンル
ームにあってはこれらの材料、部品、機械にこれらの化
学物質が吸着することに起因した不良を防止する観点か
ら、あるいはまた、美術館、博物館の展示室などにあっ
ては展示される絵画等の保護等の観点から、大気中に含
まれているこれら化学物質を取り除いたエアの供給が求
められている。

【０００３】こうしたことから、現在、大気中に含まれ
る化学物質を取り除く機能を備えた各種濾材からなるフ
ィルタが組み込まれたエアフィルタ装置が用いられてお
り、こうしたエアフィルタ装置が清浄化したエアの供給
が求められる各種空間にエアを供給するエアダクトに設
置されている。

【０００４】また、半導体などの電子部品を製造するた
めに用いられる各種製造装置内の空間にクリーンルーム
内のエアを供給する当該製造装置に設けられるエアダク
トにも、こうしたエアフィルタ装置が設置されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、これらのエ
アフィルタ装置を構成するフィルタが劣化した場合、化
学物質の含まれたエアが前記居室空間、クリーンルーム
等に流入されることになるため、これらのエアフィルタ
装置により濾過されたエア中の化学物質の濃度の測定が
各種の分析装置を用いて適宜行なわれ、当該エアフィル
タ装置を構成するフィルタの交換がなされているが、こ
うした手法では当該化学物質の濃度が要求される濃度以
上となっていることが測定された段階では、既に要求さ
れる濃度以上の化学物質の含まれたエアがエアフィルタ
装置より送り出されてしまっているという不都合があっ
た。

【０００６】また、かかるエアフィルタ装置により濾過
されたエアに含まれる化学物質の濃度が要求される濃度
以上となっていることが測定された段階でエアフィルタ
装置を構成するフィルタを交換する手法では、大気中に
含まれる化学物質の濃度が経時的に一定でないことも手
伝ってフィルタの交換時期の正確な予測が困難であるた
め、当該フィルタの交換時期が前記測定により突然到来
してしまうことが少なくなく、当該フィルタの計画的な
交換を困難なものとしていた。特に、微量の化学物質が
含まれたエアの流入をも嫌う各種のクリーンルームなど
にあっては、当該フィルタの交換が済むまでの間、当該
クリーンルームなどにおける前記半導体などの電子部品
等の製造を中断しなければならないため、こうしたフィ
ルタの交換時期が突然到来されると連続的かつ計画的に
なされる当該電子部品等の製造に様々な支障を生じさせ
る不都合があった。

【０００７】また、こうしたことから、特に微量の化学
物質が含まれたエアの流入をも嫌う各種のクリーンルー
ムなどに清浄エアを提供するエアフィルタ装置にあって
は、エアフィルタ装置に流入されるエアに含まれる化学
物質の濃度を測定し、この測定結果に基づいて当該エア
フィルタ装置を構成するフィルタの耐用時間を推定する
と共に、安全上の観点からこの耐用時間を比較的多く残
した状態で当該フィルタの交換を行うことが余儀なくさ
れていた。

【０００８】そこでこの発明は、かかる従来の技術の不
都合を解消することを目的としている。

【０００９】また、エアフイルタ装置を構成するフィル
タの劣化に伴なう当該フィルタの交換を、安全かつ計画
的に行うことが可能な、エアダクト構造およびエアフィ
ルタ装置の提供を目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明では、エアダクト構造を、通気
路Ｄ’に案内されるエアを濾過するように、当該通気路
Ｄ’に所定の間隔を開けて組み込まれる第一のエアフィ
ルタ装置Ｆａおよび、当該第一のエアフィルタ装置Ｆａ
の二次側に位置される第二のエアフィルタ装置Ｆｂと、
この第一のエアフィルタ装置Ｆａと第二のエアフィルタ
装置Ｆｂ間にあるエアの測定分流路Ｎとを少なくとも備
える構成のものとした。

【００１１】また、請求項２記載の発明では、請求項１
記載のエアダクト構造における少なくとも第二のエアフ
ィルタ装置Ｆｂを構成するフィルタＣが、当該エアフィ
ルタ装置Ｆｂにおけるエアの流入側から流出側に亙って
連通される複数のエアの通し孔を持った濾材を備えた構
成のものとした。

【００１２】また、請求項３記載の発明では、エアフィ
ルタ装置Ｆｃを、一方側がエアの流入側１０ａとなり、
かつ、他方側がエアの流出側１０ｂとなるように、通気
路Ｄ’に設置されるフィルタ枠１０と、このフィルタ枠
１０に流入される前記エアを濾過するように、当該フィ
ルタ枠１０内に所定の間隔Ｔを開けて組み込まれる第一
のフィルタＣ１および、当該第一のフィルタＣ１の二次
側に位置される第二のフィルタＣ２と、この第一のフィ
ルタＣ１と第二のフィルタＣ２との間にあるエアの測定
分流路Ｎとを備える構成とした。

【００１３】さらに、請求項４記載の発明では、請求項
３記載のエアフィルタ装置Ｆｃにおける少なくとも第二
のフィルタＣ２を構成する濾材１６ａが、エアフィルタ
装置Ｆｃにおけるエアの流入側１０ａから流出側１０ｂ
に亙って連通される複数のエアの通し孔Ｈ、Ｈ…を持っ
た濾材１６ａとしてある構成とした。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図１ないし図６に基づい
て、この発明の典型的な実施の形態について説明する。

【００１５】先ず、この発明にかかるエアダクト構造の
実施の形態について、図１に基づいて説明する。

【００１６】ここで図１は、この発明にかかるエアダク
ト構造の構成例を理解し易いように、エアダクトＤｉお
よび当該エアダクトＤｉを通じてエアが送り込まれる清
浄化されたエアの供給が求められる空間Ｓ並びに当該空
間Ｓから送り出されるエアを案内するエアダクトＤｅ、
当該エアダクトＤｅに案内されるエアの一部を前記エア
ダクトＤｉに循環させるためのエアダクトＤｒを、それ
ぞれ示している。

【００１７】なお、本明細書においてエアダクトＤｉを
通じて清浄化したエアが送り込まれる空間Ｓとは、居住
空間、クリーンルーム、博物館、美術館の展示室や、ク
リーンルーム内に設置される半導体などの製造装置内の
空間など、清浄化したエアの供給が求められる各種の空
間を意味する。したがってまた、本明細書においてエア
ダクトＤは、これらの各種空間にエアを案内する各種の
エアの案内路を意味する。

【００１８】この実施の形態にかかるエアダクト構造
は、エアダクトＤを構成する通気路Ｄ’に案内されるエ
アを濾過するように、当該通気路Ｄ’に所定の間隔Ｔを
開けて組み込まれる第一のエアフィルタ装置Ｆａおよ
び、当該第一のエアフィルタ装置Ｆａの二次側に位置さ
れる第二のエアフィルタ装置Ｆｂと、この第一のエアフ
ィルタ装置Ｆａと第二のエアフィルタ装置Ｆｂ間にある
エアの測定分流路Ｎとを少なくとも備える構成としてあ
る。

【００１９】したがって、この実施の形態にかかるエア
ダクト構造によれば、前記測定分流路Ｎから流れ出させ
ることができる前記第一のエアフィルタ装置Ｆａと第二
のエアフィルタ装置Ｆｂ間にあるエア中に含まれる化学
物質の濃度を適宜の測定装置により随時に、あるいは、
断続的または連続的に測定して、第一のエアフィルタ装
置Ｆａの耐用時間の到来、すなわち、当該第一のエアフ
ィルタ装置Ｆａの破過を判定することができる。

【００２０】そして、かかる第一のエアフィルタ装置Ｆ
ａの破過が判定された場合にあっても、当該第一のエア
フィルタ装置Ｆａの二次側に前記第二のエアフィルタ装
置Ｆｂを備えることから、第一のエアフィルタ装置Ｆａ
により除去されなかった化学物質を当該第二のエアフィ
ルタ装置Ｆｂにより除去することができる。

【００２１】したがって、この実施の形態にかかるエア
ダクト構造によれば、前記第一のエアフィルタ装置Ｆａ
が破過した場合であっても、当該第一のエアフィルタ装
置Ｆａを構成するフィルタＣを直ちに交換しなくても前
記通気路Ｄ’を通じて要求される濃度以上の化学物質を
含んだエアが前記エアダクトＤに連絡されたクリーンル
ーム等の清浄化したエアの供給が求められる空間Ｓに流
入されることがない。

【００２２】したがってまた、第二のエアフィルタ装置
Ｆｂを構成するフィルタＣの耐用時間内に第一のエアフ
ィルタ装置Ｆａを構成するフィルタＣの交換を行えば良
く、当該交換を計画的に行うことができる。例えば、こ
の第二のエアフィルタ装置Ｆｂを構成するフィルタＣを
第一のエアフィルタ装置Ｆａを構成するフィルタＣと同
じものとすれば、第一のエアフィルタ装置Ｆａのフィル
タＣの破過までの期間と略同一の期間内に当該交換を行
えば良いこととなる。

【００２３】したがってまた、第一のエアフィルタ装置
ＦａのフィルタＣを耐用時間を残すことなく無駄なく使
い切ることができる特長を有する。

【００２４】また、第一のエアフィルタ装置Ｆａを構成
するフィルタＣの交換の間、前記清浄化したエアの供給
が求められる空間Ｓへのエアの供給を停止する必要を生
じさせない特長を有する。

【００２５】また、前記清浄化したエアの供給が求めら
れる空間Ｓへのエアの供給を停止した上で、第二のエア
フィルタ装置ＦｂのフィルタＣを取り出し、第一のエア
フィルタ装置ＦａにかかるフィルタＣを組み込むと共
に、第二のエアフィルタ装置Ｆｂに新たなフィルタＣを
組み込む交換を行うことにより、第一のエアフィルタ装
置Ｆａの破過後かかる交換までに一定の期間を要した場
合であってもかかる期間中化学物質の除去をなしてきて
ある程度劣化の進んだ第二のエアフィルタ装置Ｆｂのフ
ィルタを第一のエアフィルタ装置ＦａのフィルタＣとし
てその耐用時間を残すことなく無駄なく使い切ることが
できる。

【００２６】なお、かかる実施の形態における前記測定
分流路Ｎは、前記第一のエアフィルタ装置Ｆａと第二の
エアフィルタ装置Ｆｂ間にあるエアを取り出し、当該エ
アに含まれる化学物質の濃度を適宜の前記測定装置によ
り測定できるようにする構成のものであれば良く、例え
ば、当該第一のエアフィルタ装置Ｆａと第二のエアフィ
ルタ装置Ｆｂ間にある通気路Ｄ’空間に一端側を連通さ
せると共に他端側から当該エアを取り出すことができる
ように構成された適宜の太さの管を設けて前記測定分流
路Ｎを構成することができる。

【００２７】また、かかる測定分流路Ｎから取り出され
るエア中の化学物質の濃度の測定は、イオンクロマトグ
ラフ、ガスクロマトグラフなど、適宜の手法、装置を用
いて測定すれば良く、例えば、ＳＯ₂ 自動分析計、ＮＯ
_x 自動分析計などを用いることにより、当該濃度変化を
連続的に測定することができる。

【００２８】なお、この実施の形態にかかるエアダクト
構造は、図１に示される構成例に限定されるものでな
く、前記空間Ｓから送りだされるエアの一部を循環させ
るための前記エアダクトＤｒに適用しても良い。

【００２９】また、前記実施の形態にかかるエアダクト
構造における少なくとも第二のエアフィルタ装置Ｆｂを
構成するフィルタＣが、当該エアフィルタ装置Ｆｂにお
けるエアの流入側から流出側に亙って連通される複数の
エアの通し孔を持った濾材を備えた構成のものとするこ
とが、この発明の最良の実施の形態の一つととされる。

【００３０】かかる構成によれば、前記エアダクトＤを
構成する通気路Ｄ’に前記第一のエアフィルタ装置Ｆａ
および第二のエアフィルタ装置Ｆｂを設けた場合におけ
る圧力損失を、できる限り少なくすることができる。

【００３１】かかるエアの流入側から流出側に亙って連
通される複数のエアの通し孔を持った濾材としては、繊
維状とした活性炭に熱可塑性プラスチックを混ぜ、過熱
圧着して、平板状に成形したシートと波形状に成形した
シートとを用意し、この平板状シートの一面に波形状シ
ートを接着して構成した複数の濾材構成材を、隣り合う
平板状シート間に波形状シートがそれぞれ位置されるよ
うに積層状態に接着し合わせてなる濾材や、六角形状の
孔を厚さ方向に向けて複数個備えるようにプラスチック
材料を用いて一体成形により構成した濾材構成材を、活
性炭などの化学物質の吸着材を含んだ接着剤に漬け込ん
で表面に備えた濾材や、活性炭、ゼオライト、アルミナ
などと熱可塑性プラスチックなどのバインダ材とを混ぜ
たものを、厚さ方向に向けて複数のエアの通し孔を備え
るように成形した後焼成して構成された濾材など、通称
ハニカムフィルタと称される濾材を用いることができ
る。

【００３２】かかるハニカムフィルタと称される濾材
は、その使用に伴って、エアの流入側から流出側に向け
て経時的に漸次劣化していくものであり、厚さ寸法と耐
用時間とが略比例し、濾過すべきエアに含まれる化学物
質の濃度からその耐用時間すなわち当該ハニカムフィル
タの厚さが比較的容易に設定できることから、このハニ
カムフィルタを第二のエアフィルタ装置Ｆｂのフィルタ
を構成する濾材とした場合、第一のエアフィルタ装置Ｆ
ａのフィルタの破過後当該フィルタの交換までに必要と
される期間がある程度定まっている条件下にあっては、
当該期間に応じた必要最小限の厚さに当該濾材を構成し
易く、第二のエアフィルタ装置Ｆｂを必要最小限の大き
さに構成すべき要請がある場合に当該第二のエアフィル
タ装置Ｆｂに用いるのに適している。

【００３３】次いで、この発明にかかるエアフィルタ装
置Ｆｃの実施の形態について、図２に基づいて説明す
る。

【００３４】ここで図２は、この発明にかかるエアフィ
ルタ装置Ｆｃの適用例を理解し易いように、当該エアフ
ィルタ装置Ｆｃおよび当該エアフィルタ装置Ｆｃが設置
されるエアダクトＤｉ並びに当該エアダクトＤｉを通じ
てエアが送り込まれる清浄化されたエアの供給が求めら
れる空間Ｓ、当該空間Ｓから送り出されるエアを案内す
るエアダクトＤｅ、当該エアダクトＤｅに案内されるエ
アの一部を前記エアダクトＤに循環させるためのエアダ
クトＤｒを、それぞれ示している。

【００３５】この実施の形態にかかるエアフィルタ装置
Ｆｃは、一方側がエアの流入側１０ａとなり、かつ、他
方側がエアの流出側１０ｂとなるように、通気路Ｄ’に
設置されるフィルタ枠１０と、このフィルタ枠１０に流
入される前記エアを濾過するように、当該フィルタ枠１
０内に所定の間隔Ｔを開けて組み込まれる第一のフィル
タＣ１および第二のフィルタＣ２と、この第一のフィル
タＣ１と第二のフィルタＣ２との間にあるエアの測定分
流路Ｎとを備える構成としてある。

【００３６】したがって、この実施の形態にかかるエア
フィルタ装置Ｆｃによれば、前記測定分流路Ｎから流れ
出させることができる前記第一のフィルタＣ１と第二の
フィルタＣ２間にあるエア中に含まれる化学物質の濃度
を適宜の測定装置により随時に、あるいは、断続的また
は連続的に測定して、第一のフィルタＣ１の耐用時間の
到来、すなわち、当該第一のフィルタＣ１の破過を判定
することができる。

【００３７】そして、かかる第一のフィルタＣ１の破過
が判定された場合にあっても、当該第一のフィルタＣ１
の二次側に前記第二のフィルタＣ２を備えることから、
第一のフィルタＣ１により除去されなかった化学物質を
当該第二のフィルタＣ２により除去することができる。

【００３８】したがって、この実施の形態にかかるエア
フィルタ装置Ｆｃによれば、前記第一のフィルタＣ１が
破過した場合であっても、当該第一のフィルタＣ１を構
成するフィルタを直ちに交換しなくても前記通気路Ｄ’
を通じて要求される濃度以上の化学物質を含んだエアが
当該エアフィルタ装置Ｆｃの設置される通気路Ｄ’に連
絡されたクリーンルーム等の清浄化したエアの供給が求
められる空間Ｓに流入されることがない。

【００３９】したがってまた、第二のフィルタＣ２の耐
用時間内に第一のフィルタＣ１の交換を行えば良く、当
該交換を計画的に行うことができる。例えば、この第二
のフィルタＣ２を第一のフィルタＣ１と同じものとすれ
ば、第一のフィルタＣ１の破過までの期間と略同一の期
間内に当該交換を行えば良いこととなる。

【００４０】したがってまた、第一のフィルタＣ１の耐
用時間を残すことなく無駄なく使い切ることができる特
長を有する。

【００４１】また、前記清浄化したエアの供給が求めら
れる空間Ｓへのエアの供給を停止した上で、前記エアフ
ィルタ装置Ｆｃにおける第一のフィルタＣ１および第二
のフィルタＣ２を取り出し、取り出された第二のフィル
タＣ２を第一のフィルタＣ１として組み込み直すと共
に、第二のフィルタＣ２として新たなフィルタを組み込
むことにより、第一のフィルタＣ１の破過後かかる交換
までに一定の期間を要した場合であってもかかる期間中
化学物質の除去をなしてきてある程度劣化の進んだ第二
のフィルタＣ２を第一のフィルタＣ１としてその耐用時
間を残すことなく無駄なく使い切ることができる。

【００４２】なお、この実施の形態にかかるエアフィル
タ装置Ｆｃおける前記測定分流路Ｎも、前記第一のフィ
ルタＣ１と第二のフィルタＣ２間にあるエアを取り出
し、当該エアに含まれる化学物質の濃度を適宜の前記測
定装置により測定できるようにする構成のものであれば
良く、例えば、当該第一のフィルタＣ１と第二のフィル
タＣ２間にある通気路Ｄ’空間に一端側を連通させると
共に他端側から当該エアを取り出すことができるように
構成された適宜の太さの管などを設けて前記測定分流路
Ｎを構成することができる。

【００４３】また、かかる測定分流路Ｎから取り出され
るエア中の化学物質の濃度の測定は、イオンクロマトグ
ラフ、ガスクロマトグラフなど、適宜の手法、装置を用
いて測定すれば良く、例えば、ＳＯ₂ 自動分析計、ＮＯ
_x 自動分析計などを用いることにより、当該濃度変化を
連続的に測定することができる。

【００４４】なお、この実施の形態にかかるエアフィル
タ装置Ｆｃは、図２に示される適用例に限定されるもの
でなく、前記空間Ｓから送りだされるエアの一部を循環
させるための前記エアダクトＤｒに当該エアフィルタ装
置Ｆｃを設けて用いても良い。

【００４５】また、前記実施の形態にかかるエアフィル
タ装置Ｆｃにおける少なくとも第二のフィルタＣ２を構
成する濾材を、当該エアフィルタ装置Ｆｃにおけるエア
の流入側１０ａから流出側１０ｂに亙って連通される複
数のエアの通し孔Ｈ、Ｈ…を持った濾材１６ｂとするこ
とが、この発明の最良の実施の形態の更に他の一つとと
される。

【００４６】かかる構成によれば、前記エアフィルタ装
置Ｆｃを構成する通気路Ｄ’に前記第一のフィルタＣ１
および第二のフィルタＣ２を設けた場合における圧力損
失を、できる限り少なくすることができる。

【００４７】この実施の形態にかかるエアフィルタ装置
Ｆｃにあっても、通称ハニカムフィルタと称される濾材
を用いることができる。そして、このハニカムフィルタ
を第二のフィルタＣ２を構成する濾材１６ｂとした場
合、第一のフィルタＣ１の破過後当該フィルタの交換ま
でに必要とされる期間がある程度定まっている条件下に
あっては、当該期間に応じた必要最小限の厚さに当該濾
材１６ｂを構成し易く、第二のフィルタＣ２を必要最小
限の厚さに構成してエアフィルタ装置Ｆｃをコンパクト
に構成することができる利点がある。

【００４８】次いで、図３ないし図６に示されるこの発
明のより具体的な実施の形態にかかるエアフィルタ装置
Ｆｃについて、詳細に説明する。

【００４９】ここで図３は、この実施の形態にかかるエ
アフィルタ装置Ｆｃの特徴が理解し易いように、当該エ
アフィルタ装置Ｆｃをエアの流入側１０ａから流出側１
０ｂに向けて断面にして示しており、また、図４は、当
該エアフィルタ装置Ｆｃをエアの流入側１０ａから見
て、また、図５は側方から見て、それぞれ示している。

【００５０】また、図６は、図３ないし図５に示される
エアフィルタ装置Ｆｃの構成の一部を変更したエアフィ
ルタ装置Ｆｃの例を理解し易いように、当該エアフィル
タ装置Ｆｃをエアの流入側１０ａから流出側１０ｂに向
けて断面にして示している。

【００５１】この実施の形態にかかるエアフィルタ装置
Ｆｃは、略正方形状をなす開口を備えるように形成され
たフィルタ枠１０と、このフィルタ枠１０内に所定の間
隔Ｔを開けて組み込まれる第一のフィルタＣ１および第
二のフィルタＣ２とを備えている。

【００５２】かかる第一のフィルタＣ１および第二のフ
ィルタＣ２は、いずれも横断面形状を略正方形状とする
ように成形してあり、この実施の形態にあっては、両フ
ィルタ共に前記フィルタ枠１０内に組み込まれた際に、
該フィルタ枠１０の前記開口全体を覆う大きさに構成し
てある。

【００５３】そしてこの実施の形態にあっては、前記フ
ィルタ枠１０がその一方の開口側をエアの流入側１０ａ
とし、かつ、他方の開口側をエアの流出側１０ｂとする
ように、エアダクトＤ、ここでは外部から前記空間Ｓに
エアを送り込むエアダクトＤｉを構成する通気路Ｄ’に
設置される構成としてあり、このように設置される当該
フィルタ枠１０の前記エアの流入側１０ａに前記第一の
フィルタＣ１が組み込まれると共に、前記エアの流出側
１０ｂに第二のフィルタＣ２が組み込まれる構成として
ある。

【００５４】すなわち、この実施の形態にかかるエアフ
ィルタ装置Ｆｃは、特に図３に示されるように、例え
ば、前記エアダクトＤを構成する通気路Ｄ’における幅
広部と幅狭部との間に形成される段差部Ｄ”に前記フィ
ルタ枠１０のエア流出側の開口縁部を接しさせるように
して、当該通気路Ｄ’に設置される。なお、図３におい
て符号１３で示されるのは、シール材である。

【００５５】また、この実施の形態にあっては、前記フ
ィルタ枠１０内に組み込まれた前記第一のフィルタＣ１
と前記第二のフィルタＣ２との間に所定の間隔Ｔが形成
されるように、当該フィルタ枠１０内にあって当該第一
のフィルタＣ１と第二のフィルタＣ２とを位置付けるス
ペーサ部材１４が、当該フィルタ枠１０に設けてある。

【００５６】かかるスペーサ部材１４は、前記フィルタ
枠１０における前記当該フィルタ枠１０を構成する側板
１０ｄ内面に固定される基板１４ａと、この基板１４ａ
の両側部に一対の立ち上がり部１４ｂ、１４ｂとを備え
たチャンネル材状の部材であり、当該フィルタ枠１０の
エアの流入側の開口に向けられた一方の立ち上がり部１
４ｂを前記第一のフィルタＣ１における前記第二のフィ
ルタＣ２に向き合った側にある側縁部に接しさせると共
に、当該フィルタ枠１０のエアの流出側の開口に向けら
れた他方の立ち上がり部１４ｂを前記第二のフィルタＣ
２における前記第一のフィルタＣ１に向き合った側にあ
る側縁部に接しさせて、両フィルタ間にかかる一対の立
ち上がり部１４ｂ、１４ｂ外面間の間隔相当分の間隔Ｔ
を形成させる構成としてある。

【００５７】なお、前記フィルタ枠１０の前記エアの流
入側１０ａの開口縁部と、前記エアの流出側１０ｂの開
口縁部とにはそれぞれ、当該フィルタ枠１０内に組み込
まれた前記両フィルタＣ１、Ｃ２における互いに向き合
わない側の側縁部に接して当該両フィルタＣ１、Ｃ２を
当該フィルタ枠１０内に安定的に位置付ける、当該フィ
ルタ枠１０の内側に向けて突き出される鍔部１１が形成
してある。

【００５８】また、この実施の形態にあっては、前記フ
ィルタ枠１０における前記両開口に金網１２が張り込ま
れていると共に、図４における上側に位置される前記フ
ィルタ枠１０の側板１０ｃをビス１０ｃ’などを用いて
取り外し可能に組み付けてある構成としてあり、この側
板１０ｃを取り外すことにより、前記両フィルタＣ１、
Ｃ２の取り替えを行うことができる構成としてある。

【００５９】また、この実施の形態にあっては、前記第
一のフィルタＣ１を、前記ハニカムフィルタと称される
複数の通し孔Ｈ、Ｈ…をエアの流入側１０ａから流出側
１０ｂに向けて備えた主たる濾材１５ａと、この濾材１
５ａにおける前記第二のフィルタＣ２に向き合わない側
の面に備えられる塵芥を取り除くための不織布を主体と
した従たる濾材１５ｂとから構成すると共に、前記第二
のフィルタＣ２を、前記ハニカムフィルタと称される複
数の通し孔Ｈ、Ｈ…をエアの流入側１０ａから流出側１
０ｂに向けて備えた主たる濾材１６ａと、この濾材１６
ａにおける前記第一のフィルタＣ１に向き合わない側の
面に備えられる塵芥を取り除くための不織布を主体とし
た従たる濾材１６ｂとから構成してある。

【００６０】また、この実施の形態にあっては、前記ス
ペーサ部材１４により形成される前記第一のフィルタＣ
１と前記第二のフィルタＣ２との間に設けられた間隔Ｔ
内にあるエア、すなわち、当該第一のフィルタＣ１によ
り濾過されたエアの測定分流路Ｎが、前記フィルタ枠１
０を構成する一つの側板１０ｄに形成してある。

【００６１】すなわち、この実施の形態にあっては、前
記フィルタ枠１０における一つの側板１０ｄに、前記第
一のフィルタＣ１と第二のフィルタＣ２との間に形成さ
れた前記間隔Ｔ内の空間に連通する取付穴１０ｄ’を設
けておくと共に、この取付穴１０ｄ’に一端２０ａ側を
当該空間内に位置させると共に他端２０ｂ側を前記フィ
ルタ枠１０の外側に位置させるように分流管２０を差し
入れ、かつ、この分流管２０を当該フィルタ枠１０に気
密状態に組み付けて、前記エアの測定分流路Ｎを形成し
ている。

【００６２】この実施の形態にあっては、かかる分流管
２０は、前記両端２０ａ、２０ｂ間にある外周部の一部
に雄ネジ部２１を有しており、前記取付穴１０ｄ’に前
記分流管２０を差し入れた後、前記フィルタ枠１０の内
側と外側とからそれぞれ当該雌ネジ部２１にナット２２
をネジ付けて、当該フィルタ枠１０に組み付けられる構
成としてある。

【００６３】したがって、この実施の形態にかかるエア
フィルタ装置Ｆｃによれば、前記フィルタ枠１０から突
き出されている前記分流管２０の他端２０ｂ部に、ゴム
チューブ、パイプなどの適宜の管状体を気密状態に連結
させることにより、前記第一のフィルタＣ１と第二のフ
ィルタＣ２との間にあるエアを取り出すことができ、こ
のように取り出したエア中に含まれる化学物質の濃度を
適宜の分析装置により測定することができる。

【００６４】図３ないし図５に示される例では、前記第
一のフィルタＣ１を構成する主たる濾材１５ａ（ハニカ
ムフィルタ）に比し、前記第二のフィルタＣ２を構成す
る主たる濾材１６ａ（ハニカムフィルタ）を薄く構成し
てあり、このように構成した場合、エアフィルタ装置Ｆ
ｃをできる限りコンパクトに構成することができる。

【００６５】また、図６に示される例では、前記第一の
フィルタＣ１を構成する主たる濾材１５ａ（ハニカムフ
ィルタ）と、前記第二のフィルタＣ２を構成する主たる
濾材１６ａ（ハニカムフィルタ）とを略同じ厚さに構成
してあり、このように構成した場合、第一のフィルタＣ
１の破過までの期間と略同一の期間が経過するまで第二
のフィルタＣ２が破過することはないので、かかる期間
が経過するまでに第一のフィルタＣ１の交換を行えば良
く、第一のフィルタＣ１の交換に余裕と、計画性とを持
たせることができる。

【００６６】また、かかる交換にあたり、前記エアフィ
ルタ装置Ｆｃにおける第一のフィルタＣ１および第二の
フィルタＣ２を前記フィルタ枠１０の前記ビス１０ｃ’
によって止め付けられた側板１０ｄを取り外すことによ
り当該フィルタ枠１０内から取り出し、このように取り
出された第二のフィルタＣ２を第一のフィルタＣ１とし
て前記フィルタ枠１０のエアの流入側１０ａに組み込み
直すと共に、第二のフィルタＣ２として前記フィルタ枠
１０のエアの流出側１０ｂに新たなフィルタを組み込む
ことにより、第一のフィルタＣ１の破過後かかる交換ま
でに一定の期間を要した場合であってもかかる期間中化
学物質の除去をなしてきてある程度劣化の進んだ第二の
フィルタＣ２を第一のフィルタＣ１としてその耐用時間
を残すことなく無駄なく使い切ることができる。

【００６７】

【発明の効果】この発明にかかるエアダクト構造によれ
ば、前記測定分流路Ｎから流れ出させることができる前
記第一のエアフィルタ装置Ｆａと第二のエアフィルタ装
置Ｆｂ間にあるエア中に含まれる化学物質の濃度を適宜
の測定装置により随時に、あるいは、断続的または連続
的に測定して、第一のエアフィルタ装置Ｆａの耐用時間
の到来、すなわち、当該第一のエアフィルタ装置Ｆａの
破過を判定することができる。そして、かかる第一のエ
アフィルタ装置Ｆａの破過が判定された場合にあって
も、当該第一のエアフィルタ装置Ｆａの二次側に前記第
二のエアフィルタ装置Ｆｂを備えることから、第一のエ
アフィルタ装置Ｆａにより除去されなかった化学物質を
当該第二のエアフィルタ装置Ｆｂにより除去することが
できる。したがって、この発明にかかるエアダクト構造
によれば、前記第一のエアフィルタ装置Ｆａが破過した
場合であっても、当該第一のエアフィルタ装置Ｆａを構
成するフィルタＣを直ちに交換しなくても前記通気路
Ｄ’を通じて要求される濃度以上の化学物質を含んだエ
アがエアダクトＤに連絡されたクリーンルーム等の清浄
化したエアの供給が求められる空間Ｓに流入されること
がない。

【００６８】したがってまた、第二のエアフィルタ装置
Ｆｂを構成するフィルタの耐用時間内に第一のエアフィ
ルタ装置Ｆａを構成するフィルタＣの交換を行えば良
く、当該交換を計画的に行うことができる。また、第一
のエアフィルタ装置ＦａのフィルタＣを耐用時間を残す
ことなく無駄なく使い切ることができる特長を有する。
さらに、第一のエアフィルタ装置Ｆａを構成するフィル
タＣの交換の間、前記清浄化したエアの供給が求められ
る空間Ｓへのエアの供給を停止する必要を生じさせない
特長を有する。

【００６９】また、前記清浄化したエアの供給が求めら
れる空間Ｓへのエアの供給を停止した上で、第二のエア
フィルタ装置Ｆｂのフィルタを取り出し、第一のエアフ
ィルタ装置ＦａにかかるフィルタＣを組み込むと共に、
第二のエアフィルタ装置Ｆｂに新たなフィルタＣを組み
込む交換を行うことにより、第一のエアフィルタ装置Ｆ
ａの破過後かかる交換までに一定の期間を要した場合で
あってもかかる期間中化学物質の除去をなしてきてある
程度劣化の進んだ第二のエアフィルタ装置Ｆｂのフィル
タＣを第一のエアフィルタ装置ＦａのフィルタＣとして
その耐用時間を残すことなく無駄なく使い切ることがで
きる。

【００７０】また、この発明にかかるエアフィルタ装置
Ｆｃによれば、前記測定分流路Ｎから流れ出させること
ができる前記第一のフィルタＣ１と第二のフィルタＣ２
間にあるエア中に含まれる化学物質の濃度を適宜の測定
装置により随時に、あるいは、断続的または連続的に測
定して、第一のフィルタＣ１の耐用時間の到来、すなわ
ち、当該第一のフィルタＣ１の破過を判定することがで
きる。そして、かかる第一のフィルタＣ１の破過が判定
された場合にあっても、当該第一のフィルタＣ１の二次
側に前記第二のフィルタＣ２を備えることから、第一の
フィルタＣ１により除去されなかった化学物質を当該第
二のフィルタＣ２により除去することができる。

【００７１】したがって、この発明にかかるエアフィル
タ装置Ｆｃによれば、前記第一のフィルタＣ１が破過し
た場合であっても、当該第一のフィルタＣ１を構成する
フィルタを直ちに交換しなくても前記通気路Ｄ’を通じ
て要求される濃度以上の化学物質を含んだエアが当該エ
アフィルタ装置Ｆｃの設置される通気路Ｄ’に連絡され
たクリーンルーム等の清浄化したエアの供給が求められ
る空間Ｓに流入されることがない。また、第二のフィル
タＣ２の耐用時間内に第一のフィルタＣ１の交換を行え
ば良く、当該交換を計画的に行うことができる。例え
ば、この第二のフィルタＣ２を第一のフィルタＣ１と同
じものとすれば、第一のフィルタＣ１の破過までの期間
と略同一の期間内に当該交換を行えば良いこととなる。
さらに、第一のフィルタＣ１の耐用時間を残すことなく
無駄なく使い切ることができる特長を有する。

【００７２】また、前記清浄化したエアの供給が求めら
れる空間Ｓへのエアの供給を停止した上で、前記エアフ
ィルタ装置Ｆｃにおける第一のフィルタＣ１および第二
のフィルタＣ２を取り出し、取り出された第二のフィル
タＣ２を第一のフィルタＣ１として組み込み直すと共
に、第二のフィルタＣ２として新たなフィルタを組み込
むことにより、第一のフィルタＣ１の破過後かかる交換
までに一定の期間を要した場合であってもかかる期間中
化学物質の除去をなしてきてある程度劣化の進んだ第二
のフィルタＣ２を第一のフィルタＣ１としてその耐用時
間を残すことなく無駄なく使い切ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】エアダクト構造の構成図

【図２】エアフィルタ装置Ｆｃの適用されたエアダクト
Ｄの一例を示す構成図

【図３】エアフィルタ装置Ｆｃの断面図

【図４】エアフィルタ装置Ｆｃの側面図

【図５】エアフィルタ装置Ｆｃの側面図

【図６】エアフィルタ装置Ｆｃの断面図

【符号の説明】

Ｄ’ 通気路 Ｆａ 第一のエアフィルタ装置 Ｆｂ 第二のエアフィルタ装置 Ｎ 測定分流路 Ｆｃ エアフィルタ装置 １０ フィルタ枠 １０ａ 流入側 １０ｂ 流出側 Ｔ 間隔 Ｃ１ 第一のフィルタ Ｃ２ 第二のフィルタＣ２

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 通気路に案内されるエアを濾過するよう
   に、当該通気路に所定の間隔を開けて組み込まれる第一
   のエアフィルタ装置および、当該第一のエアフィルタ装
   置の二次側に位置される第二のエアフィルタ装置と、 この第一のエアフィルタ装置と第二のエアフィルタ装置
   間にあるエアの測定分流路とを少なくとも備えることを
   特徴とするエアダクト構造。
2. 【請求項２】 少なくとも第二のエアフィルタ装置を構
   成するフィルタが、当該エアフィルタ装置におけるエア
   の流入側から流出側に亙って連通される複数のエアの通
   し孔を持った濾材を備えた構成としてあることを特徴と
   する請求項１記載のエアダクト構造。
3. 【請求項３】 一方側がエアの流入側となり、かつ、他
   方側がエアの流出側となるように、通気路に設置される
   フィルタ枠と、 このフィルタ枠に流入される前記エアを濾過するよう
   に、当該フィルタ枠内に所定の間隔を開けて組み込まれ
   る第一のフィルタおよび、当該第一のフィルタの二次側
   に位置される第二のフィルタと、 この第一のフィルタと第二のフィルタとの間にあるエア
   の測定分流路とを備えることを特徴とするエアフィルタ
   装置。
4. 【請求項４】 少なくとも第二のフィルタを構成する濾
   材が、エアフィルタ装置におけるエアの流入側から流出
   側に亙って連通される複数のエアの通し孔を持った濾材
   としてあることを特徴とする請求項３記載のエアフィル
   タ装置。