JPH0938449A - 装置本体部取付け型空調装置 - Google Patents
装置本体部取付け型空調装置Info
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- JPH0938449A JPH0938449A JP7212384A JP21238495A JPH0938449A JP H0938449 A JPH0938449 A JP H0938449A JP 7212384 A JP7212384 A JP 7212384A JP 21238495 A JP21238495 A JP 21238495A JP H0938449 A JPH0938449 A JP H0938449A
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- Japan
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- filter
- unit
- main body
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置の小型化が可能で、メンテナンス性が良
好であり、化学物質除去フィルタのろ過表面積を変える
必要からフィルタの枚数や厚みを増減するような場合で
も、簡単な作業で容易に対応できる空調装置を提供す
る。 【解決手段】 箱形をなすファンユニット１２の空気吐
出面２８の形状と、箱形をなし溶剤除去フィルタ１４と
アンモニア・酸除去フィルタ１６とからなるフィルタユ
ニット２０の空気流入面３０の形状とを同じにし、その
同じ形状の面同士を接合させてファンユニットとフィル
タユニットとを着脱自在に連接した。
好であり、化学物質除去フィルタのろ過表面積を変える
必要からフィルタの枚数や厚みを増減するような場合で
も、簡単な作業で容易に対応できる空調装置を提供す
る。 【解決手段】 箱形をなすファンユニット１２の空気吐
出面２８の形状と、箱形をなし溶剤除去フィルタ１４と
アンモニア・酸除去フィルタ１６とからなるフィルタユ
ニット２０の空気流入面３０の形状とを同じにし、その
同じ形状の面同士を接合させてファンユニットとフィル
タユニットとを着脱自在に連接した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、各種装置の本体部に
取り付けられ装置本体部へ清浄な空気を供給するための
装置本体部取付け型空調装置に関し、この空調装置は、
例えばクリーンルーム内に設置された半導体製造装置の
本体上部に設置されて使用される。
取り付けられ装置本体部へ清浄な空気を供給するための
装置本体部取付け型空調装置に関し、この空調装置は、
例えばクリーンルーム内に設置された半導体製造装置の
本体上部に設置されて使用される。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体製造装置は、極めて清浄な
環境に保たれた空間において基板の各種処理を行なう必
要があるため、クリーンルーム内に設置され、しかも、
装置の本体上部に空調装置を設置して、より清浄化され
た空気が装置本体部へ供給されるようにしている。半導
体製造装置の本体上部に設置される空調装置としては、
従来、図３に示すような構成のものが使用されている。
環境に保たれた空間において基板の各種処理を行なう必
要があるため、クリーンルーム内に設置され、しかも、
装置の本体上部に空調装置を設置して、より清浄化され
た空気が装置本体部へ供給されるようにしている。半導
体製造装置の本体上部に設置される空調装置としては、
従来、図３に示すような構成のものが使用されている。
【０００３】図３に模式的正面断面図を示した空調装置
４０は、ボックス４２内にファンユニット４４、４４、
溶剤除去フィルタ４８とアンモニア・酸除去フィルタ５
０とを積層したフィルタユニット４６、及びダストフィ
ルタ５２を収納して構成されており、この空調装置４０
を装置本体部５４上に設置して半導体製造装置に一体化
するようにしている。ボックス４２には、フィルタユニ
ット４６の交換用の開口部５６が設けられており、その
開口部５６は、蓋板５８によって開閉自在に閉塞される
ようになっている。そして、この空調装置４０では、フ
ァンユニット４４、４４によってボックス４２内へ雰囲
気空気が導入され、ボックス４２内へ導入された空気
は、フィルタユニット４６を通される。空気がフィルタ
ユニット４６を通過する間に、溶剤除去フィルタ４８に
よって空気中の溶剤成分が吸着除去され、アンモニア・
酸除去フィルタ５０により空気中のアンモニアや酸性物
質等の微量の腐食性ガスが化学吸着反応で除去される。
次に、フィルタユニット４６を通過した空気は、ヘパ
（ＨＥＰＡ）フィルタ或いはウルパ（ＵＬＰＡ）フィル
タといったダストフィルタ５２に通され、このダストフ
ィルタ５２によって空気中の微小なダストが吸着除去さ
れる。そして、腐食性ガスやダストが除去された空気
が、装置本体部５４へ供給される。
４０は、ボックス４２内にファンユニット４４、４４、
溶剤除去フィルタ４８とアンモニア・酸除去フィルタ５
０とを積層したフィルタユニット４６、及びダストフィ
ルタ５２を収納して構成されており、この空調装置４０
を装置本体部５４上に設置して半導体製造装置に一体化
するようにしている。ボックス４２には、フィルタユニ
ット４６の交換用の開口部５６が設けられており、その
開口部５６は、蓋板５８によって開閉自在に閉塞される
ようになっている。そして、この空調装置４０では、フ
ァンユニット４４、４４によってボックス４２内へ雰囲
気空気が導入され、ボックス４２内へ導入された空気
は、フィルタユニット４６を通される。空気がフィルタ
ユニット４６を通過する間に、溶剤除去フィルタ４８に
よって空気中の溶剤成分が吸着除去され、アンモニア・
酸除去フィルタ５０により空気中のアンモニアや酸性物
質等の微量の腐食性ガスが化学吸着反応で除去される。
次に、フィルタユニット４６を通過した空気は、ヘパ
（ＨＥＰＡ）フィルタ或いはウルパ（ＵＬＰＡ）フィル
タといったダストフィルタ５２に通され、このダストフ
ィルタ５２によって空気中の微小なダストが吸着除去さ
れる。そして、腐食性ガスやダストが除去された空気
が、装置本体部５４へ供給される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の空調装置４０
は、図３に示したように、ファンユニット４４、４４、
溶剤除去フィルタ４８とアンモニア・酸除去フィルタ５
０とを積層したフィルタユニット４６、及びダストフィ
ルタ５２をボックス４２内に収納するような構成である
ため、その全体が大型化し、装置本体部５４への取付け
性が悪い。また、フィルタユニット４６は、ボックス４
２に設けられた開口部５６を通してボックス４２内から
取り出しまたボックス４２内へ挿入するようにしなけれ
ばならずメンテナンス性（定期交換作業性）も悪い。さ
らに、半導体製造装置が設置されたクリーンルーム内の
雰囲気に応じて、溶剤除去フィルタ４８やアンモニア・
酸除去フィルタ５０といった化学物質除去フィルタのろ
過表面積を大きくする必要が生じることがあるが、従来
への空調装置４０のような構成では、ボックス４２を作
り直して、その高さ寸法或いは平面形状を大きくする必
要があった。
は、図３に示したように、ファンユニット４４、４４、
溶剤除去フィルタ４８とアンモニア・酸除去フィルタ５
０とを積層したフィルタユニット４６、及びダストフィ
ルタ５２をボックス４２内に収納するような構成である
ため、その全体が大型化し、装置本体部５４への取付け
性が悪い。また、フィルタユニット４６は、ボックス４
２に設けられた開口部５６を通してボックス４２内から
取り出しまたボックス４２内へ挿入するようにしなけれ
ばならずメンテナンス性（定期交換作業性）も悪い。さ
らに、半導体製造装置が設置されたクリーンルーム内の
雰囲気に応じて、溶剤除去フィルタ４８やアンモニア・
酸除去フィルタ５０といった化学物質除去フィルタのろ
過表面積を大きくする必要が生じることがあるが、従来
への空調装置４０のような構成では、ボックス４２を作
り直して、その高さ寸法或いは平面形状を大きくする必
要があった。
【０００５】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、装置の小型化が可能で、メンテナン
ス性が良好であり、装置本体が設置された室の雰囲気に
応じて化学物質除去フィルタのろ過表面積を変える必要
が生じ、そのフィルタの枚数や厚みを増減するような場
合でも、従来装置のようにボックス自体を作り直したり
することなく簡単な作業で容易に対応することができる
装置本体部取付け型空調装置を提供することを目的とす
る。
されたものであり、装置の小型化が可能で、メンテナン
ス性が良好であり、装置本体が設置された室の雰囲気に
応じて化学物質除去フィルタのろ過表面積を変える必要
が生じ、そのフィルタの枚数や厚みを増減するような場
合でも、従来装置のようにボックス自体を作り直したり
することなく簡単な作業で容易に対応することができる
装置本体部取付け型空調装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
雰囲気空気を装置本体部へ送り込むためのファンユニッ
トと、装置本体部へ導入された空気に含まれるダストを
除去するダスト除去フィルタと、装置本体部へ導入され
る空気に含まれる溶剤又はアンモニア、酸性物質等の微
量ガスを除去する１種類又は２種類以上の化学物質除去
フィルタからなるフィルタユニットとを備え、前記ファ
ンユニットは、箱形をなし、互いに対向する面がそれぞ
れ空気取入れ面及び空気吐出面とされ、前記フィルタユ
ニットは、箱形をなし、互いに対向する面がそれぞれ空
気流入面及び空気流出面とされた装置本体部取付け型空
調装置において、前記ファンユニットの空気吐出面又は
空気取入れ面の形状と前記フィルタユニットの空気流入
面又は空気流出面の形状とを同じにして、ファンユニッ
トとフィルタユニットとを、同じ形状の面同士を接合さ
せて着脱自在に連接したことを特徴とする。
雰囲気空気を装置本体部へ送り込むためのファンユニッ
トと、装置本体部へ導入された空気に含まれるダストを
除去するダスト除去フィルタと、装置本体部へ導入され
る空気に含まれる溶剤又はアンモニア、酸性物質等の微
量ガスを除去する１種類又は２種類以上の化学物質除去
フィルタからなるフィルタユニットとを備え、前記ファ
ンユニットは、箱形をなし、互いに対向する面がそれぞ
れ空気取入れ面及び空気吐出面とされ、前記フィルタユ
ニットは、箱形をなし、互いに対向する面がそれぞれ空
気流入面及び空気流出面とされた装置本体部取付け型空
調装置において、前記ファンユニットの空気吐出面又は
空気取入れ面の形状と前記フィルタユニットの空気流入
面又は空気流出面の形状とを同じにして、ファンユニッ
トとフィルタユニットとを、同じ形状の面同士を接合さ
せて着脱自在に連接したことを特徴とする。
【０００７】請求項２に係る発明は、請求項１に係る発
明の上記空調装置において、上記ファンユニットの空気
吐出面と上記フィルタユニットの空気流入面とを接合し
たことを特徴とする。
明の上記空調装置において、上記ファンユニットの空気
吐出面と上記フィルタユニットの空気流入面とを接合し
たことを特徴とする。
【０００８】請求項３に係る発明は、請求項１又は請求
項２に係る発明の上記空調装置において、空気に含まれ
る溶剤を除去する溶剤除去フィルタと、空気に含まれる
アンモニア及び酸性物質を除去するアンモニア・酸除去
フィルタとを有し、それら両フィルタを空気の流通方向
に積層して、上記フィルタユニットを構成したことを特
徴とする。
項２に係る発明の上記空調装置において、空気に含まれ
る溶剤を除去する溶剤除去フィルタと、空気に含まれる
アンモニア及び酸性物質を除去するアンモニア・酸除去
フィルタとを有し、それら両フィルタを空気の流通方向
に積層して、上記フィルタユニットを構成したことを特
徴とする。
【０００９】
【作用】請求項１に係る発明の空調装置では、箱形のフ
ァンユニットの空気吐出面の形状と箱形のフィルタユニ
ットの空気流入面の形状とが同じで、その両面同士が接
続されているので、ファンユニットの空気取入れ面へ流
入した雰囲気空気は、ファンユニットの空気吐出面から
そのままフィルタユニットの空気流入面へ流入し、フィ
ルタユニットの空気流出面から溶剤や微量ガスが除去さ
れた空気が流出する。或いは、箱形のフィルタユニット
の空気流出面の形状と箱形のファンユニットの空気取入
れ面の形状とが同じで、その両面同士が接合されている
ので、フィルタユニットの空気流入面へ吸い込まれた雰
囲気空気は、フィルタユニットを通過する間に溶剤や微
量ガスが除去されて、フィルタユニットの空気流出面か
らそのままファンユニットの空気取入れ面へ流入し、フ
ァンユニットの空気吐出面から吐出される。従って、フ
ァンユニット及びフィルタユニットを収納するためのボ
ックスが不要になる。
ァンユニットの空気吐出面の形状と箱形のフィルタユニ
ットの空気流入面の形状とが同じで、その両面同士が接
続されているので、ファンユニットの空気取入れ面へ流
入した雰囲気空気は、ファンユニットの空気吐出面から
そのままフィルタユニットの空気流入面へ流入し、フィ
ルタユニットの空気流出面から溶剤や微量ガスが除去さ
れた空気が流出する。或いは、箱形のフィルタユニット
の空気流出面の形状と箱形のファンユニットの空気取入
れ面の形状とが同じで、その両面同士が接合されている
ので、フィルタユニットの空気流入面へ吸い込まれた雰
囲気空気は、フィルタユニットを通過する間に溶剤や微
量ガスが除去されて、フィルタユニットの空気流出面か
らそのままファンユニットの空気取入れ面へ流入し、フ
ァンユニットの空気吐出面から吐出される。従って、フ
ァンユニット及びフィルタユニットを収納するためのボ
ックスが不要になる。
【００１０】また、ファンユニットとフィルタユニット
とは着脱自在に連接されているので、フィルタユニット
のメンテナンス（定期交換作業）を行なうときは、古い
フィルタユニットをファンユニットから離脱させ、新し
いフィルタユニットをファンユニットに装着するように
するだけでよい。さらに、例えばクリーンルーム内の雰
囲気に応じて、ファンユニットを構成する化学物質除去
フィルタのろ過表面積を変えるためにフィルタの枚数を
増減したり異なる厚みのフィルタと交換したりするとき
も、フィルタユニットとファンユニットとを離脱させ、
またそれらを装着する作業を行なうだけでよい。
とは着脱自在に連接されているので、フィルタユニット
のメンテナンス（定期交換作業）を行なうときは、古い
フィルタユニットをファンユニットから離脱させ、新し
いフィルタユニットをファンユニットに装着するように
するだけでよい。さらに、例えばクリーンルーム内の雰
囲気に応じて、ファンユニットを構成する化学物質除去
フィルタのろ過表面積を変えるためにフィルタの枚数を
増減したり異なる厚みのフィルタと交換したりするとき
も、フィルタユニットとファンユニットとを離脱させ、
またそれらを装着する作業を行なうだけでよい。
【００１１】請求項２に係る発明の空調装置では、ファ
ンユニットによって取り入れられた雰囲気空気はフィル
タユニットに押し入れられ、フィルタユニットから溶剤
や微量ガスが除去された空気が流出することとなり、フ
ィルタユニットとファンユニットとの配置を逆にした場
合のように、フィルタユニットとファンユニットとの接
合面の隙間から雰囲気空気がリークしてファンユニット
へ吸い込まれ、ファンユニットから溶剤や微量ガスが除
去されていない空気が一部吐出される、といった心配が
無い。
ンユニットによって取り入れられた雰囲気空気はフィル
タユニットに押し入れられ、フィルタユニットから溶剤
や微量ガスが除去された空気が流出することとなり、フ
ィルタユニットとファンユニットとの配置を逆にした場
合のように、フィルタユニットとファンユニットとの接
合面の隙間から雰囲気空気がリークしてファンユニット
へ吸い込まれ、ファンユニットから溶剤や微量ガスが除
去されていない空気が一部吐出される、といった心配が
無い。
【００１２】請求項３に係る発明の空調装置では、空気
がファンユニットを通過する間に、空気中に含まれる溶
剤が溶剤除去フィルタによって除去され、空気中に含ま
れるアンモニア及び酸性物質がアンモニア・酸除去フィ
ルタによって除去される。
がファンユニットを通過する間に、空気中に含まれる溶
剤が溶剤除去フィルタによって除去され、空気中に含ま
れるアンモニア及び酸性物質がアンモニア・酸除去フィ
ルタによって除去される。
【００１３】
【実施例】以下、この発明の好適な実施例について図面
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
【００１４】図１及び図２は、この発明の１実施例を示
し、空調装置を半導体製造装置等の本体上部に設置した
状態を模式的に示す正面断面図であり、図２は、空調装
置全体の外観斜視図である。
し、空調装置を半導体製造装置等の本体上部に設置した
状態を模式的に示す正面断面図であり、図２は、空調装
置全体の外観斜視図である。
【００１５】この空調装置１０は、ファンユニット１
２、１２、溶剤除去フィルタ１４、１４、アンモニア・
酸除去フィルタ１６、１６、及びダストフィルタ１８を
備え、溶剤除去フィルタ１４、１４とアンモニア・酸除
去フィルタ１６、１６とからフィルタユニット２０が構
成され、ＨＥＰＡフィルタ或いはＵＬＰＡフィルタから
なるダストフィルタ１８がボックス２２内に収納されて
いる。そして、ボックス２２が装置本体部２４上に設置
されている。
２、１２、溶剤除去フィルタ１４、１４、アンモニア・
酸除去フィルタ１６、１６、及びダストフィルタ１８を
備え、溶剤除去フィルタ１４、１４とアンモニア・酸除
去フィルタ１６、１６とからフィルタユニット２０が構
成され、ＨＥＰＡフィルタ或いはＵＬＰＡフィルタから
なるダストフィルタ１８がボックス２２内に収納されて
いる。そして、ボックス２２が装置本体部２４上に設置
されている。
【００１６】ファンユニット１２は、四角形の枠体内に
回転翼を収納して全体が箱形に形成されており、互いに
対向する上面及び下面がそれぞれ空気取入れ面２６及び
空気吐出面２８とされている。また、溶剤除去フィルタ
１４及びアンモニア・酸除去フィルタ１６はそれぞれ、
四角形の枠体内にフィルタ素材を収納して全体が箱形に
形成され、互いに対向する上面及び下面がそれぞれ空気
流入面３０、３４及び空気流出面３２、３６とされてい
る。そして、溶剤除去フィルタ１４の空気流出面３２の
形状とアンモニア・酸除去フィルタ１６の空気流入面３
４の形状とが同じにされており、その両面３２、３４同
士を接合させて両フィルタ１４、１６が空気の流通方向
に連接され、フィルタユニット２０として一体化されて
いる。また、ファンユニット１２の空気吐出面２８の形
状と溶剤除去フィルタ１４の空気流入面３０の形状とが
同じにされており、その両面２８、３０同士を接合させ
てファンユニット１２とフィルタユニット２０とが連接
され、両ユニット１２、２０が一体化されている。さら
に、ボックス２２の上面に開口部３８、３８が形成され
ており、その各開口部３８の形状とアンモニア・酸除去
フィルタ１６の空気流出面３６の形状とが同じにされて
いる。そして、ボックス２２の各開口部３８の位置にア
ンモニア・酸除去フィルタ１６の空気流出面３６を適合
させ、フィルタ１６をボックス２２の上面に固着するこ
とにより、ファンユニット１２及びフィルタユニット２
０とボックス２２とを一体化して、空調装置１０が構成
されている。
回転翼を収納して全体が箱形に形成されており、互いに
対向する上面及び下面がそれぞれ空気取入れ面２６及び
空気吐出面２８とされている。また、溶剤除去フィルタ
１４及びアンモニア・酸除去フィルタ１６はそれぞれ、
四角形の枠体内にフィルタ素材を収納して全体が箱形に
形成され、互いに対向する上面及び下面がそれぞれ空気
流入面３０、３４及び空気流出面３２、３６とされてい
る。そして、溶剤除去フィルタ１４の空気流出面３２の
形状とアンモニア・酸除去フィルタ１６の空気流入面３
４の形状とが同じにされており、その両面３２、３４同
士を接合させて両フィルタ１４、１６が空気の流通方向
に連接され、フィルタユニット２０として一体化されて
いる。また、ファンユニット１２の空気吐出面２８の形
状と溶剤除去フィルタ１４の空気流入面３０の形状とが
同じにされており、その両面２８、３０同士を接合させ
てファンユニット１２とフィルタユニット２０とが連接
され、両ユニット１２、２０が一体化されている。さら
に、ボックス２２の上面に開口部３８、３８が形成され
ており、その各開口部３８の形状とアンモニア・酸除去
フィルタ１６の空気流出面３６の形状とが同じにされて
いる。そして、ボックス２２の各開口部３８の位置にア
ンモニア・酸除去フィルタ１６の空気流出面３６を適合
させ、フィルタ１６をボックス２２の上面に固着するこ
とにより、ファンユニット１２及びフィルタユニット２
０とボックス２２とを一体化して、空調装置１０が構成
されている。
【００１７】上記構成の空調装置１０では、ファンユニ
ット１２に雰囲気空気が吸い込まれ、ファンユニット１
２に吸い込まれた空気は、そのままフィルタユニット２
０へ押し入れられ、フィルタユニット１２を通過する間
に、溶剤除去フィルタ１４によって溶剤成分が除去さ
れ、アンモニア・酸除去フィルタ１６によってアンモニ
ア及び酸性物質等の腐食性ガスが除去される。フィルタ
ユニット１２によって化学物質が除去された空気は、開
口部３８を通してボックス２２内へ流入し、ボックス２
２内に設けられたダストフィルタ１８を通過する。そし
て、ダストフィルタ１８を通過することによって微小な
ダストが吸着除去された清浄な空気が、装置本体部２４
へ供給される。
ット１２に雰囲気空気が吸い込まれ、ファンユニット１
２に吸い込まれた空気は、そのままフィルタユニット２
０へ押し入れられ、フィルタユニット１２を通過する間
に、溶剤除去フィルタ１４によって溶剤成分が除去さ
れ、アンモニア・酸除去フィルタ１６によってアンモニ
ア及び酸性物質等の腐食性ガスが除去される。フィルタ
ユニット１２によって化学物質が除去された空気は、開
口部３８を通してボックス２２内へ流入し、ボックス２
２内に設けられたダストフィルタ１８を通過する。そし
て、ダストフィルタ１８を通過することによって微小な
ダストが吸着除去された清浄な空気が、装置本体部２４
へ供給される。
【００１８】この空調装置において、フィルタユニット
２０を定期交換するときは、古いフィルタユニット２０
をボックス２２及びファンユニット１２から取り外し、
新しいフィルタユニットをファンユニット１２に装着し
てボックス２２に取り付けるようにする。また、半導体
製造装置が設置されたクリーンルーム内の雰囲気に応じ
て、例えばアンモニア・酸除去フィルタ１６の枚数を増
やしたり、異なる厚みのアンモニア・酸除去フィルタと
交換したり、異なる種類の化学物質除去フィルタを追加
或いはそれと交換したりするときも、フィルタユニット
２０をボックス２２及びファンユニット１２から取り外
した後、別のフィルタを追加して組み付けたり別のフィ
ルタと交換したりするなどして、フィルタユニットを新
たに組み立て、そのフィルタユニットをファンユニット
１２に装着してボックス２２に取り付けるようにすれば
よい。
２０を定期交換するときは、古いフィルタユニット２０
をボックス２２及びファンユニット１２から取り外し、
新しいフィルタユニットをファンユニット１２に装着し
てボックス２２に取り付けるようにする。また、半導体
製造装置が設置されたクリーンルーム内の雰囲気に応じ
て、例えばアンモニア・酸除去フィルタ１６の枚数を増
やしたり、異なる厚みのアンモニア・酸除去フィルタと
交換したり、異なる種類の化学物質除去フィルタを追加
或いはそれと交換したりするときも、フィルタユニット
２０をボックス２２及びファンユニット１２から取り外
した後、別のフィルタを追加して組み付けたり別のフィ
ルタと交換したりするなどして、フィルタユニットを新
たに組み立て、そのフィルタユニットをファンユニット
１２に装着してボックス２２に取り付けるようにすれば
よい。
【００１９】尚、図１及び図２に示した実施例では、空
気の流通方向においてファンユニット１２の後側にフィ
ルタユニット１４を連接するようにしており、このよう
な配置にした場合には、その配置を逆にした場合のよう
に、フィルタユニットとファンユニットとの接合面の隙
間から雰囲気空気がリークしてファンユニットへ吸い込
まれ、ファンユニットからボックス２２内へ溶剤やアン
モニア及び酸性物質が除去されていない空気が吐出され
る、といった心配が無いが、フィルタユニットとファン
ユニットとの接合面のシールを確実に行なうようにすれ
ば、フィルタユニットの後側にファンユニットを配置す
るようにしても差し支えない。そのような配置にした場
合には、フィルタユニットのメンテナンスなどに際し
て、ファンユニットをボックス２２に取り付けたまま、
ファンユニットからフィルタユニットを取り外し、ま
た、ファンユニットへフィルタユニットを取り付けるよ
うにするだけでよく、作業性が良くなる。また、図１及
び図２に示した空調装置１０は、溶剤除去フィルタ１４
とアンモニア・酸除去フィルタ１６とによりフィルタユ
ニット２０を構成しているが、クリーンルーム内の雰囲
気によっては、そのいずれか一方のフィルタだけを設け
るようにしてもよく、また、別の種類の化学物質除去フ
ィルタを追加してフィルタユニットを構成するようにし
てもよい。
気の流通方向においてファンユニット１２の後側にフィ
ルタユニット１４を連接するようにしており、このよう
な配置にした場合には、その配置を逆にした場合のよう
に、フィルタユニットとファンユニットとの接合面の隙
間から雰囲気空気がリークしてファンユニットへ吸い込
まれ、ファンユニットからボックス２２内へ溶剤やアン
モニア及び酸性物質が除去されていない空気が吐出され
る、といった心配が無いが、フィルタユニットとファン
ユニットとの接合面のシールを確実に行なうようにすれ
ば、フィルタユニットの後側にファンユニットを配置す
るようにしても差し支えない。そのような配置にした場
合には、フィルタユニットのメンテナンスなどに際し
て、ファンユニットをボックス２２に取り付けたまま、
ファンユニットからフィルタユニットを取り外し、ま
た、ファンユニットへフィルタユニットを取り付けるよ
うにするだけでよく、作業性が良くなる。また、図１及
び図２に示した空調装置１０は、溶剤除去フィルタ１４
とアンモニア・酸除去フィルタ１６とによりフィルタユ
ニット２０を構成しているが、クリーンルーム内の雰囲
気によっては、そのいずれか一方のフィルタだけを設け
るようにしてもよく、また、別の種類の化学物質除去フ
ィルタを追加してフィルタユニットを構成するようにし
てもよい。
【００２０】
【発明の効果】請求項１に係る発明の空調装置を、半導
体製造装置等の装置本体部に取り付ける空調装置として
使用するようにすれば、ダストフィルタだけを収納する
大きさのボックスを設ければよいので、装置全体が小型
化し軽量化して、装置本体部への取付け性が良くなる。
また、従来の装置のように、定期交換作業に際してフィ
ルタユニットをボックス内から取り出したりボックス内
へ挿入したりする必要が無いので、メンテナンス性が向
上する。さらに、装置本体が設置された室の雰囲気に応
じて、フィルタユニットを構成する化学物質除去フィル
タのろ過表面積を変える必要から、フィルタの枚数を増
減させたり異なる厚みのフィルタに変更したり異なる種
類のフィルタに変更したりするような場合でも、従来の
装置のように、ボックス自体を作り直したりする必要が
無く、簡単な作業を行なうだけで容易に対応することが
できる。
体製造装置等の装置本体部に取り付ける空調装置として
使用するようにすれば、ダストフィルタだけを収納する
大きさのボックスを設ければよいので、装置全体が小型
化し軽量化して、装置本体部への取付け性が良くなる。
また、従来の装置のように、定期交換作業に際してフィ
ルタユニットをボックス内から取り出したりボックス内
へ挿入したりする必要が無いので、メンテナンス性が向
上する。さらに、装置本体が設置された室の雰囲気に応
じて、フィルタユニットを構成する化学物質除去フィル
タのろ過表面積を変える必要から、フィルタの枚数を増
減させたり異なる厚みのフィルタに変更したり異なる種
類のフィルタに変更したりするような場合でも、従来の
装置のように、ボックス自体を作り直したりする必要が
無く、簡単な作業を行なうだけで容易に対応することが
できる。
【００２１】請求項２に係る発明の空調装置では、ファ
ンユニットとフィルタユニットとの接合面に例え隙間が
あっても、フィルタユニットから流出する空気にフィル
タユニットを通っていない雰囲気空気が混入することが
ないので、清浄化された空気を装置本体部へ供給するこ
とができる。
ンユニットとフィルタユニットとの接合面に例え隙間が
あっても、フィルタユニットから流出する空気にフィル
タユニットを通っていない雰囲気空気が混入することが
ないので、清浄化された空気を装置本体部へ供給するこ
とができる。
【００２２】請求項３に係る発明の空調装置では、溶剤
並びにアンモニア及び酸性物質が除去された空気を装置
本体部へ供給することができる。
並びにアンモニア及び酸性物質が除去された空気を装置
本体部へ供給することができる。
【図１】この発明の１実施例に係る空調装置を装置本体
部に設置した状態を模式的に示す正面断面図である。
部に設置した状態を模式的に示す正面断面図である。
【図２】図１に示した空調装置の外観斜視図である。
【図３】従来の空調装置を装置本体部に設置した状態を
模式的に示す正面断面図である。
模式的に示す正面断面図である。
１０ 空調装置 １２ ファンユニット １４ 溶剤除去フィルタ １６ アンモニア・酸除去フィルタ １８ ダストフィルタ ２０ フィルタユニット ２２ ボックス ２４ 装置本体部 ２６ ファンユニットの空気取入れ面 ２８ ファンユニットの空気吐出面 ３０ 溶剤除去フィルタの空気流入面 ３２ 溶剤除去フィルタの空気流出面 ３４ アンモニア・酸除去フィルタの空気流入面 ３６ アンモニア・酸除去フィルタの空気流出面 ３８ ボックスの開口部
Claims (3)
- 【請求項１】 箱形をなし、互いに対向する面がそれぞ
れ空気取入れ面及び空気吐出面とされ、雰囲気空気を装
置本体部へ送り込むためのファンユニットと、 装置本体部へ導入される空気に含まれるダストを除去す
るダスト除去フィルタと、 箱型をなし、互いに対向する面がそれぞれ空気流入面及
び空気流出面とされ、装置本体部へ導入される空気に含
まれる溶剤又は微量ガスを除去する１種類又は２種類以
上の化学物質除去フィルタからなるフィルタユニットと
を備え、 装置本体部に取り付けられて、装置本体部へ導入される
空気を清浄化する装置本体部取付け型空調装置におい
て、 前記ファンユニットの空気吐出面又は空気取入れ面の形
状と前記フィルタユニットの空気流入面又は空気流出面
の形状とを同じにして、ファンユニットとフィルタユニ
ットとを、同じ形状の面同士を接合させて着脱自在に連
接したことを特徴とする装置本体部取付け用空調装置。 - 【請求項２】 ファンユニットの空気吐出面とフィルタ
ユニットの空気流入面とが接合された請求項１記載の装
置本体部取付け型空調装置。 - 【請求項３】 フィルタユニットが、 空気に含まれる溶剤を除去する溶剤除去フィルタと、 空気に含まれるアンモニア及び酸性物質を除去するアン
モニア・酸除去フィルタとを有し、 それら溶剤除去フィルタとアンモニア・酸除去フィルタ
とを空気の流通方向に積層して構成された請求項１又は
請求項２記載の装置本体部取付け型空調装置。
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|---|---|---|---|
| JP21238495A JP3519513B2 (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 装置本体部取付け型空調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21238495A JP3519513B2 (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 装置本体部取付け型空調装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0938449A true JPH0938449A (ja) | 1997-02-10 |
| JP3519513B2 JP3519513B2 (ja) | 2004-04-19 |
Family
ID=16621694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21238495A Expired - Fee Related JP3519513B2 (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 装置本体部取付け型空調装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3519513B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11114340A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-27 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体装備の空気流入装置及びこれを用いた化学物汚染除去方法 |
| EP2346594A1 (en) * | 2008-09-19 | 2011-07-27 | Francois Hauville | Method and apparatus for purging unwanted substances from air |
| US9114338B2 (en) | 2008-09-19 | 2015-08-25 | Fipak Research And Development Company | Method and apparatus for purging unwanted substances from air |
| JP2016524687A (ja) * | 2013-05-18 | 2016-08-18 | フィパック・リサーチ・アンド・ディベロップメント・カンパニー | 建造物内の空気品質を監視及び確保するための方法及び装置 |
| WO2016136431A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 搬送室 |
| US10478517B2 (en) | 2008-09-19 | 2019-11-19 | Fipak Research And Development Company | Method and apparatus for purging unwanted substances from air |
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-
1995
- 1995-07-26 JP JP21238495A patent/JP3519513B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US9108141B2 (en) | 2008-09-19 | 2015-08-18 | Fipak Research And Development Company | Method and apparatus for purging unwanted substances from air |
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| US10528014B2 (en) | 2013-05-18 | 2020-01-07 | Fipak Research And Development Company | Method and apparatus for ensuring air quality in a building, including method and apparatus for controlling a working device using a handheld unit having scanning, networking, display and input capability |
| JP2016524687A (ja) * | 2013-05-18 | 2016-08-18 | フィパック・リサーチ・アンド・ディベロップメント・カンパニー | 建造物内の空気品質を監視及び確保するための方法及び装置 |
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| US11119460B2 (en) | 2013-05-18 | 2021-09-14 | Fipak Research And Development Company | Method and apparatus for ensuring air quality in a building, including method and apparatus for controlling a working device using a handheld unit having scanning, networking, display and input capability |
| TWI677653B (zh) * | 2015-02-27 | 2019-11-21 | 日商昕芙旎雅股份有限公司 | 搬送室 |
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| US11424145B2 (en) | 2015-02-27 | 2022-08-23 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Transfer chamber |
| WO2016136431A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 搬送室 |
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| JP3519513B2 (ja) | 2004-04-19 |
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