JPH08266831A - イオン交換繊維メディアを交換するエアフィルタ及び交換方法 - Google Patents

イオン交換繊維メディアを交換するエアフィルタ及び交換方法

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JPH08266831A
JPH08266831A JP7071225A JP7122595A JPH08266831A JP H08266831 A JPH08266831 A JP H08266831A JP 7071225 A JP7071225 A JP 7071225A JP 7122595 A JP7122595 A JP 7122595A JP H08266831 A JPH08266831 A JP H08266831A
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JP
Japan
Prior art keywords
medium
frame
exchanging
air filter
type
Prior art date
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Pending
Application number
JP7071225A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Yamaguchi
誠 山口
Hiroyuki Shima
弘之 嶋
Nobuyori Bessho
信頼 別所
Naotoshi Endo
直利 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
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Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
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Pending legal-status Critical Current

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  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 メディアだけを交換して枠の再利用を図ると
共に、有害なガス状物質を放出しにくくする。 【構成】 枠本体(3)に押え枠(9)と締結具(1
0)とにより、メディアユニット(20)を着脱自在に
収め、メディア(23)の外側を、有害ガス発生が少な
い可撓性発泡体でガスシールし、また、メディア(2
3)の一部に、センサ部(24)を着脱自在に設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、イオン交換繊維及び又
は高分子樹脂を主成分とするメディアを交換するエアフ
ィルタ及び交換方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、例えばクリーンルーム内で空気清
浄用に用いられている微粒子除去用のHEPAフィル
タ、ULPAフィルタは、通常、頻繁に交換することが
なく、パーティクルの除去性能を低下することはなかっ
た。
【0003】しかし、ケミカルフィルタでは、化学吸着
のために寿命が決っており、1年または数年で交換する
必要がある。
【0004】このため実開平4−45515号公報に
は、HEPAフィルタ、ULPAフィルタを組合せたケ
ミカルフィルタを枠ごと交換できるクリーンルーム用エ
アフィルタが示されている。したがって、枠の再利用が
できなく不経済である。
【0005】また、特開平6−269624号公報に
は、HEPAフィルタ、ULPAフィルタとして使用さ
れているメディアのエアフィルタにおいて、メディアだ
けを交換するフィルタが示されている。
【0006】ケミカルフィルタではメディア寿命が判断
しにくい不具合がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、性能低下の
判断が容易で、メディアだけを交換して枠の再利用を図
った主成分がイオン交換繊維及び又は高分子樹脂である
メディアを交換するエアフィルタ及び交換方法を提供す
ることを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、枠と、
該枠内に着脱手段を介して着脱自在に収められたイオン
交換繊維及び又は高分子樹脂で構成されたメディアとか
らなっている。
【0009】そのメディアの外側は、可撓性発泡体でガ
スシールされている。
【0010】そのメディアは、直交流型式又は並行流型
式である。
【0011】その着脱手段は、枠の一部と該枠の一部に
設けられたプッシュ式、ねじ式又はクランプ式の締結具
とからなり、枠の上流側に設けられている。
【0012】そのメディアの上流側又は下流側の一部
が、寿命確認用メディアとして構成されている。
【0013】また本発明によれば、イオン交換繊維及び
高分子樹脂で構成されたメディアを着脱手段により交換
するに際し、該メディアだけを交換して枠を再利用する
ことを特徴としている。
【0014】更に本発明によれば、外側を可撓性発泡体
でガスシールしたメディアだけを交換することを特徴と
している。
【0015】更に本発明によれば、直交流型式又は並行
流型式のメディアだけを交換することを特徴としてい
る。
【0016】更に本発明によれば、着脱手段が、枠の一
部と該枠の一部に設けられたプッシュ式、ねじ式又はク
ランプ式の締結具とからなり枠の上流側からメディアを
取り外すことを特徴としている。
【0017】更に本発明によれば、メディアの上流側又
は下流側の一部を寿命試験用メディアとして取り外すこ
とを特徴としている。
【0018】
【作用】上記のように構成された本発明においては、寿
命確認用メディアを取り外してメディアの寿命を確認
し、メディアを交換する際は、締結具の締結を解き、メ
ディアだけを取り外す。
【0019】また、メディアの外側を、可撓性発泡体で
ガスシールしている。
【0020】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
【0021】図1には、直交流型のエアフィルタが示さ
れている。その全体を符号1で示すエアフィルタは、外
枠2と、この外枠2の中に収められたメディアユニット
20とから概略構成されている。
【0022】前記外枠2は、図示の例では正方形の本体
3と、その本体3の矢印で示す上流側の開口部4に取付
けられた押え枠9とから構成されている。この本体3の
上流側の開口部4には、外フランジ部5が突設され、下
流側の開口部6には、外フランジ部7及び内フランジ部
8が突設されている。そして、押え枠9と本体とは図2
に示すような複数(図示の例では12個)のワンタッチ
クリップ式の締結具10で締結されており、押え枠9と
締結具10とにより着脱手段が構成されている。その締
結具10は、ボール軸11とクリップ12とからなり、
ボール軸11は押え枠9に取付けられ、クリップ12
は、本体の外フランジ部5に取付けられている。なお、
締結具は図3に示す締結具13のように、ねじ14とナ
ット部15とから構成することができる。
【0023】前記メディアユニット20は、高集積度の
回路の製造時に有害なガスの発生の少ない例えばEPD
Mゴム等の可撓性発泡体であるスポンジ21と、そのス
ポンジ21の内部にセパレータ22により流れ方向に対
して平行に配置された波状のメディア23と、このメデ
ィア23の上流側の一部にセンサ枠25により着脱自在
に設けられたメディア23の一部をなす寿命確認用のセ
ンサ部24とからなっている。
【0024】そのメディア23は、イオン交換繊維及び
又は高分子樹脂で構成されている。次に作用を説明す
る。
【0025】センサ部24を取り外してメディア26の
消費率を確認し、消費率が交換時期に達していたら、メ
ディア23を交換する。
【0026】メディア23の交換は、押え枠9を持ち上
げてボール軸11をクリップ12から引き抜き、押え枠
9を本体3から取り外す。そこで本体3からメディアユ
ニット20だけを取り外し、外枠2すなわち本体3及び
押え枠9は再利用する。
【0027】図4には、本発明の別の実施例である直行
流型のエアフィルタ1Aが示されている。このエアフィ
ルタ1Aの外枠2Aは矢印で示す上流側が欠かれたコ字
状の本体3Aと、上流側部分9Aとからなっており、そ
の上流側部分9Aには、長孔状の開口部4Aが形成され
ている。その上流側部分9Aと複数(図示の例で4個)
の締結具10とから着脱手段が構成されている。この締
結具10のボール軸11は、上流側部分9Aに取付けら
れ、クリップ12は、本体3Aに取付けられている。そ
して、メディアユニット20Aは、実質的に前記メディ
アユニット20と同様に構成されている。この実施例で
は、メディアユニット20Aを交換する際は、上流側部
分9Aを取り外したのち、メディアユニット20Aを上
流側に引き出す。図4にも示すように、メディアの中央
部に、メディアの小片Sを一枚余計に取付けて置き、必
要な時に取り出して寿命を確認することができる。
【0028】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、センサ部でメディアの性能低下を確認し、
メディア交換時はメディアだけを交換して枠を残し、枠
を再利用してランニングコストを低減することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す分解斜視図。
【図2】図1の締結具を示す側面図。
【図3】締結具の他の例を示す側断面図。
【図4】本発明の他の実施例を示す分解斜視図。
【符号の説明】
1、1A・・・エアフィルタ 2・・・外枠 3、3A・・・本体 4、4A、6・・・開口部 5、7・・・外フランジ部 8・・・内フランジ部 9・・・押え枠 9A・・・上流側部分 10、13・・・締結具 11・・・ボール軸 12・・・クリップ 14・・・ねじ 15・・・ナット部 20、20A・・・メディアユニット 21・・・スポンジ 22・・・セパレータ 23・・・メディア 24・・・センサ部 25・・・センサ枠
フロントページの続き (72)発明者 遠藤 直利 東京都大田区羽田旭町11番1号 株式会社 荏原製作所内

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 枠と、該枠内に着脱手段を介して着脱自
    在に収められた主成分をイオン交換繊維及び又は高分子
    樹脂で構成されたメディアとからなることを特徴とする
    メディアを交換するエアフィルタ。
  2. 【請求項2】 メディアの外側は、可撓性発泡体でガス
    シールされていることを特徴とする請求項1記載のメデ
    ィアを交換するエアフィルタ。
  3. 【請求項3】 メディアは、直交流型式又は並行流型式
    であることを特徴とする請求項1又は2記載のメディア
    を交換するエアフィルタ。
  4. 【請求項4】 着脱手段は、枠の一部と該枠の一部に設
    けられたプッシュ式、ねじ式又はクランプ式の締結具と
    からなり、枠の上流側に設けられていることを特徴とす
    る請求項1ないし3のいずれかに記載のメディアを交換
    するエアフィルタ。
  5. 【請求項5】 メディアの上流側又は下流側の一部が、
    寿命確認用メディアとして着脱自在に構成されているこ
    とを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のメ
    ディアを交換するエアフィルタ。
  6. 【請求項6】 主成分をイオン交換繊維及び又は高分子
    樹脂で構成されたメディアを着脱手段により交換するに
    際し、該メディアだけを交換して枠を再利用することを
    特徴とするメディアの交換方法。
  7. 【請求項7】 外側を可撓性発泡体でガスシールしたメ
    ディアだけを交換することを特徴とする請求項1記載の
    メディアの交換方法。
  8. 【請求項8】 直交流型式又は並行流型式のメディアだ
    けを交換することを特徴とする請求項6又は7記載のメ
    ディアの交換方法。
  9. 【請求項9】 着脱手段が、枠の一部と該枠の一部に設
    けられたプッシュ式、ねじ式又はクランプ式の締結具と
    からなり枠の上流側からメディアを取り外すことを特徴
    とする請求項6ないし8のいずれかに記載のメディアの
    交換方法。
  10. 【請求項10】 メディアの上流側又は下流側の一部を
    寿命試験用メディアとして取り外すことを特徴とする請
    求項6ないし9のいずれかに記載のメディアの交換方
    法。
JP7071225A 1995-03-29 1995-03-29 イオン交換繊維メディアを交換するエアフィルタ及び交換方法 Pending JPH08266831A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003088720A (ja) * 2001-09-17 2003-03-25 Akushii:Kk エアフィルタ
JP2019514677A (ja) * 2016-04-28 2019-06-06 インテグリス・インコーポレーテッド 可燃性のフィルタカートリッジおよび再利用可能なフレームを備えた浮遊分子状汚染フィルタカートリッジシステム

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003088720A (ja) * 2001-09-17 2003-03-25 Akushii:Kk エアフィルタ
JP2019514677A (ja) * 2016-04-28 2019-06-06 インテグリス・インコーポレーテッド 可燃性のフィルタカートリッジおよび再利用可能なフレームを備えた浮遊分子状汚染フィルタカートリッジシステム
US10987612B2 (en) 2016-04-28 2021-04-27 Entegris, Inc. Airborne molecular contamination filter cartridge system with combustible filter cartridge and reusable frame

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