KR20240071143A - 공조 시스템 및 이를 이용한 공조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 개시는 공조 시스템 및 이를 이용한 공조 방법에 관한 것이다. 일 실시예에 따른 공조 시스템은, 정제된 공기의 온도를 제어하여 배출하는 제1 배출구(201) 및 제2 배출구(202)를 포함하는 온도 제어 유닛(200); 상기 온도 제어 유닛(200)으로부터 유입되는 공기를 제1 필터 모듈(101)을 이용하여 필터링하는 제1 필터 유닛(110); 상기 온도 제어 유닛으로부터 유입되는 공기를 제2 필터 모듈(102)을 이용하여 필터링하는 제2 필터 유닛(120); 그리고 상기 제1 필터 유닛(110) 또는 상기 제2 필터 유닛(120)으로부터 필터링된 공기를 공급받는 제1 유입부(301) 및 제2 유입부(302)를 포함하는 클린 룸 설비(300);를 포함하고, 상기 제1 필터 유닛(110) 및 제2 필터 유닛(120)은 각각 독립적인 하우징으로 구성되며, 상기 제1 필터 모듈(101) 작동시에는, 상기 제2 필터 유닛(120)으로 유입되는 공기가 차단되고, 상기 제2 필터 모듈(102) 작동시에는, 상기 제1 필터 유닛(110)으로 유입되는 공기가 차단된다.

Description

공조 시스템 및 이를 이용한 공조 방법{AIR CONDITIONING SYSTEM AND AIR CONDITIONING METHOD USING THEREOF}
본 개시는 공조 시스템 및 이를 이용한 공조 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서 최적의 반도체 수율을 확보하기 위해서는 공기에 동반되는 오염물질은 저감되거나 제거되어야 한다.
이를 위하여 반도체 제조 공정의 공조 시스템에서 필터 유닛은 순환되는 공기로부터 지속적으로 먼지 및 기타 오염물질을 제거하여 클린 룸 내부로 정화된 공기를 공급하는 작용을 한다.
오염물질을 효과적으로 제거하기 위해서는 이러한 필터 유닛에 사용되는 필터를 주기적으로 교체할 필요가 있다.
그러나, 필터 유닛에 장착된 필터를 교체하기 위해서는 필터 유닛에 연결되어 공기의 온도를 제어하는 온도 제어 유닛의 전원을 모두 off 해야 한다. 또한, 필터 교환 작업 후 설비 초기화가 필요하고, 설비 가동에 필요한 온도로 회복될 때까지 안정화를 일정 시간 진행해야 하기 때문에 생산성이 저하되는 문제가 있다. 또한, 오염 및 온도가 일시적으로 제어되지 않기 때문에 클룸 내에 위치하는 설비에 오염이 생기거나 공정 데이터가 변동될 위험이 매우 높다.
실시예들은 필터 유닛의 필터 교체시 연결 설비의 전원을 off 하지 않아도 되는 공조 시스템 및 이를 이용한 공조 방법을 제공하기 위한 것이다.
일 실시예에 따른 공조 시스템은, 정제된 공기의 온도를 제어하여 배출하는 제1 배출구(201) 및 제2 배출구(202)를 포함하는 온도 제어 유닛(200); 상기 온도 제어 유닛(200)으로부터 유입되는 공기를 제1 필터 모듈(101)을 이용하여 필터링하는 제1 필터 유닛(110); 상기 온도 제어 유닛으로부터 유입되는 공기를 제2 필터 모듈(102)을 이용하여 필터링하는 제2 필터 유닛(120); 그리고 상기 제1 필터 유닛(110) 또는 상기 제2 필터 유닛(120)으로부터 필터링된 공기를 공급받는 제1 유입부(301) 및 제2 유입부(302)를 포함하는 클린 룸 설비(300);를 포함하고, 상기 제1 필터 유닛(110) 및 제2 필터 유닛(120)은 각각 독립적인 하우징으로 구성되며, 상기 제1 필터 모듈(101) 작동시에는, 상기 제2 필터 유닛(120)으로 유입되는 공기가 차단되고, 상기 제2 필터 모듈(102) 작동시에는, 상기 제1 필터 유닛(110)으로 유입되는 공기가 차단된다.
본 실시예에서, 상기 제1 배출구(201)를 통해 배출된 공기는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제1 필터 유닛 유입구(111)로 유입되거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제3 필터 유닛 유입구(121)로 유입되고, 상기 제2 배출구(202)를 통해 배출된 공기는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제2 필터 유닛 유입구(112)로 유입되거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제4 필터 유닛 유입구(122)로 유입되며, 상기 제2 필터 유닛(120) 작동시에는, 상기 제1 배출구(201) 및 제1 필터 유닛 유입구(111)를 연결하는 제1 연결관(401)내에 위치하는 제1 댐퍼(501)와 상기 제2 배출구(202) 및 제2 필터 유닛 유입구(112)를 연결하는 제2 연결관(402)내에 위치하는 제3 댐퍼(503)는 차단되고, 상기 제1 배출구(201) 및 제3 필터 유닛 유입구(121)를 연결하는 제3 연결관(403)내에 위치하는 제2 댐퍼(502)와 상기 제2 배출구(202) 및 제4 필터 유닛 유입구(122)를 연결하는 제4 연결관(404)내에 위치하는 제4 댐퍼(504)는 개방된다.
또한, 상기 제1 필터 유닛(110) 작동시에는, 상기 제1 배출구(201) 및 제1 필터 유닛 유입구(111)를 연결하는 제1 연결관(401)내에 위치하는 제1 댐퍼(501)와 상기 제2 배출구(202) 및 제2 필터 유닛 유입구(112)를 연결하는 제2 연결관(402)내에 위치하는 제3 댐퍼(503)는 개방되고, 상기 제1 배출구(201) 및 제3 필터 유닛 유입구(121)를 연결하는 제3 연결관(403)내에 위치하는 제2 댐퍼(502)와 상기 제2 배출구(202) 및 제4 필터 유닛 유입구(122)를 연결하는 제4 연결관(404)내에 위치하는 제4 댐퍼(504)는 차단된다.
본 실시예에서, 상기 제1 댐퍼(501), 제2 댐퍼(502), 제3 댐퍼(503) 및 제4 댐퍼(504)는 각각 수동 또는 전동으로 운행된다.
상기 제1 필터 모듈(101) 및 상기 제2 필터 모듈(102)은, 화학 흡착식 필터 및 물리 흡착식 필터 중 적어도 하나를 포함한다.
다른 실시예에서, 상기 제1 유입부(301)는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제1 필터 유닛 배출구(113)로부터 필터링된 공기를 공급받거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제3 필터 유닛 배출구(123)로부터 필터링된 공기를 공급받고, 상기 제2 유입부(302)는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제2 필터 유닛 배출구(114)로부터 필터링된 공기를 공급받거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제4 필터 유닛 배출구(124)로부터 필터링된 공기를 공급받으며, 상기 제2 필터 모듈(102) 작동시에는, 상기 제1 필터 유닛 배출구(113) 및 제1 유입부(301)를 연결하는 제5 연결관(405)내에 위치하는 제5 댐퍼(505)와 상기 제2 필터 유닛 배출구(114) 및 제2 유입부(302)를 연결하는 제6 연결관(406)내에 위치하는 제7 댐퍼(507)는 차단되고, 상기 제3 필터 유닛 배출구(123) 및 제1 유입부(301)를 연결하는 제7 연결관(407)내에 위치하는 제6 댐퍼(506)와 제4 필터 유닛 배출구(124) 및 제2 유입부(302)를 연결하는 제8 연결관(408)내에 위치하는 제8 댐퍼(508)는 개방된다.
여기서, 상기 제1 필터 모듈(102) 작동시에는, 상기 제1 필터 유닛 배출구(113) 및 제1 유입부(301)를 연결하는 제5 연결관(405)내에 위치하는 제5 댐퍼(505)와 상기 제2 필터 유닛 배출구(114) 및 제2 유입부(302)를 연결하는 제6 연결관(406)내에 위치하는 제7 댐퍼(507)는 개방되고, 제3 필터 유닛 배출구(123) 및 제1 유입부(301)를 연결하는 제7 연결관(407)내에 위치하는 제6 댐퍼(506)와 제4 필터 유닛 배출구(124) 및 제2 유입부(302)를 연결하는 제8 연결관(408)내에 위치하는 제8 댐퍼(508)는 차단된다.
상기 제5 댐퍼(505), 제6 댐퍼(506), 제7 댐퍼(507) 및 제8 댐퍼(508)는 수동 또는 전동으로 운행된다.
일 실시예에 따른 공조 시스템에서, 상기 제1 필터 유닛(110) 및 상기 제2 필터 유닛(120)은, 각각, 일 면에 연결된 도어(150, 160)를 포함하며, 상기 제1 필터 유닛의 도어(150) 및 상기 제2 필터 유닛의 도어(160)는 서로 반대면에 위치한다.
다른 실시예에 따른 공조 시스템에서, 상기 제1 필터 유닛(110) 및 상기 제2 필터 유닛(120)은, 각각, 일 면에 연결된 도어(150, 160)를 포함하며, 상기 제1 필터 유닛의 도어(150) 및 상기 제2 필터 유닛의 도어(160)는 같은 방향을 바라보며 나란히 위치한다.
또 다른 실시예에 따른 공조 시스템에서, 상기 제1 필터 유닛(110) 및 상기 제2 필터 유닛(120)은, 각각, 일 면에 연결된 도어(150, 160)를 포함하며, 상기 제1 필터 유닛의 도어(150)와 상기 제2 필터 유닛의 도어(160)는 서로 반대 방향을 바라보며 나란히 위치한다.
일 실시예에 따른 공조 방법은, 정제된 공기를 설정된 온도 범위로 제어하는 단계; 상기 온도가 제어된 공기가 유입되어 제1 필터 유닛 또는 제2 필터 유닛을 통해 필터링 되는 단계; 그리고 상기 제1 필터 유닛 또는 제2 필터 유닛을 통해 필터링된 공기가 클린 룸 설비로 유입되는 단계;를 포함하고, 상기 제1 필터 유닛의 제1 필터 모듈 작동시에는, 상기 제2 필터 유닛으로 공기가 유입되는 것을 차단하고, 상기 제1 필터 유닛으로 공기가 유입되도록 개방하며, 상기 제2 필터 유닛의 제2 필터 모듈 작동시에는, 상기 제1 필터 유닛으로 공기가 유입되는 것을 차단하고, 상기 제2 필터 유닛으로 공기가 유입되도록 개방한다.
상기 제1 필터 유닛 및 제2 필터 유닛으로 공기가 유입되거나 차단되는 것은 수동 댐퍼 또는 전동 댐퍼를 이용하여 수행된다.
상기 제1 필터 모듈 및 상기 제2 필터 모듈은, 화학 흡착식 필터 및 물리 흡착식 필터 중 적어도 하나를 포함한다.
다른 실시예에 따른 공조 방법은, 상기 제2 필터 모듈 작동시에, 상기 제1 필터 유닛으로부터 상기 클린 룸 설비로 공기가 유입되는 것을 차단하는 단계를 더 포함한다.
다른 실시예에 따른 공조 방법은, 상기 제1 필터 모듈 작동시에, 상기 제2 필터 유닛으로부터 상기 클린 룸 설비로 공기가 유입되는 것을 차단하는 단계를 더 포함한다.
이때, 상기 클린 룸 설비로 유입되는 공기의 차단은 수동 댐퍼 또는 전동 댐퍼를 이용하여 수행된다.
일 실시예에 따른 공조 시스템은, 정제된 공기의 온도를 제어하여 배출하는 제1 배출구(201) 및 제2 배출구(202)를 포함하는 온도 제어 유닛(200); 상기 온도 제어 유닛(200)으로부터 유입되는 공기를 제1 필터 모듈(101)을 이용하여 필터링하는 제1 필터 유닛(110); 상기 온도 제어 유닛(200)으로부터 유입되는 공기를 제2 필터 모듈(102)을 이용하여 필터링하는 제2 필터 유닛(120); 그리고 상기 제1 필터 유닛(110) 또는 상기 제2 필터 유닛(120)으로부터 필터링된 공기를 공급받는 제1 유입부(301) 및 제2 유입부(302)를 포함하는 클린 룸 설비(300);를 포함하고, 상기 제1 필터 유닛(110) 및 제2 필터 유닛(120)은 각각 독립적인 하우징으로 구성되며, 상기 제1 필터 모듈 작동시에는, 상기 제2 필터 유닛(120)으로 유입되는 공기, 그리고 상기 제2 필터 유닛(120)으로부터 상기 제1 유입부(301) 및 제2 유입부(302)로 유입되는 공기가 차단되고, 상기 제2 필터 모듈 작동시에는, 상기 제1 필터 유닛(110)으로 유입되는 공기, 그리고 상기 제1 필터 유닛(110)으로부터 상기 제1 유입부(301) 및 제2 유입부(302)로 유입되는 공기가 차단된다.
본 실시예에서, 상기 제1 배출구(201)를 통해 배출된 공기는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제1 필터 유닛 유입구(111)로 유입되거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제3 필터 유닛 유입구(121)로 유입되고, 상기 제2 배출구(202)를 통해 배출된 공기는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제2 필터 유닛 유입구(112)로 유입되거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제4 필터 유닛 유입구(122)로 유입되며, 상기 제1 유입부(301)는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제1 필터 유닛 배출구(113)로부터 필터링된 공기를 공급받거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제3 필터 유닛 배출구(123)로부터 필터링된 공기를 공급받고, 상기 제2 유입부(302)는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제2 필터 유닛 배출구(114)로부터 필터링된 공기를 공급받거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제4 필터 유닛 배출구(124)로부터 필터링된 공기를 공급받는다.
상기 제2 필터 모듈(102) 작동시에는, 상기 제1 배출구(201) 및 제1 필터 유닛 유입구(111)를 연결하는 제1 연결관(401)내에 위치하는 제1 댐퍼(501), 상기 제2 배출구(202) 및 제3 필터 유닛 유입구(121)를 연결하는 제2 연결관(402)내에 위치하는 제3 댐퍼(503), 상기 제1 필터 유닛 배출구(113) 및 제1 유입부(301)를 연결하는 제5 연결관(405)내에 위치하는 제5 댐퍼(505), 그리고 상기 제3 필터 유닛 배출구(123) 및 제1 유입부(301)를 연결하는 제7 연결관(407)내에 위치하는 제7 댐퍼(507)는 차단되고, 상기 제1 배출구(201) 및 제2 필터 유닛 유입구(112)를 연결하는 제3 연결관(403)내에 위치하는 제2 댐퍼(502), 상기 제2 배출구(202) 및 제4 필터 유닛 유입구(124)를 연결하는 제4 연결관(404)내에 위치하는 제4 댐퍼(504), 제2 필터 유닛 배출구(114) 및 제2 유입부(302)를 연결하는 제6 연결관(406)내에 위치하는 제6 댐퍼(506), 그리고 제4 필터 유닛 배출구(124) 및 제2 유입부(302)를 연결하는 제8 연결관(408)내에 위치하는 제8 댐퍼(508)는 개방된다.
상기 제1 필터 모듈 작동시에는, 상기 제1 배출구(201) 및 제1 필터 유닛 유입구(111)를 연결하는 제1 연결관(401)내에 위치하는 제1 댐퍼(501), 상기 제2 배출구(202) 및 제3 필터 유닛 유입구(121)를 연결하는 제2 연결관(402)내에 위치하는 제3 댐퍼(503), 상기 제1 필터 유닛 배출구(113) 및 제1 유입부(301)를 연결하는 제5 연결관(405)내에 위치하는 제5 댐퍼(505), 그리고 상기 제3 필터 유닛 배출구(123) 및 제1 유입부(301)를 연결하는 제7 연결관(407)내에 위치하는 제7 댐퍼(507)는 개방되고, 상기 제1 배출구(201) 및 제2 필터 유닛 유입구(112)를 연결하는 제3 연결관(403)내에 위치하는 제2 댐퍼(502), 상기 제2 배출구(202) 및 제4 필터 유닛 유입구(124)를 연결하는 제4 연결관(404)내에 위치하는 제4 댐퍼(504), 제2 필터 유닛 배출구(114) 및 제2 유입부(302)를 연결하는 제6 연결관(406)에 위치하는 제6 댐퍼(506), 그리고 제4 필터 유닛 배출구(124) 및 제2 유입부(302)를 연결하는 제8 연결관(408)에 위치하는 제8 댐퍼(508)는 차단된다.
실시예들에 따르면, 필터 유닛의 필터 교체시 연결 설비의 전원을 off 하지 않아도 되기 때문에 온도 제어 유닛의 온도 안정화를 위한 시간이 필요하지 않아 생산성을 획기적으로 향상시킬 수 있다.
또한, 필터 교환 주기를 정확히 준수할 수 있어 필터 효율 저하로 인한 유기 및 염기성 오염을 예방할 수 있다.
아울러, 필터 교체시에도 설비 조건 및 환경 변화 없이 공정을 진행할 수 있기 때문에 클린 룸에서 생산되는 제품에 대하여 오염으로 인한 품질 변동 위험도 제거할 수 있다.
본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 일 실시예에 따른 공조 시스템을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 다른 실시예에 따른 공조 시스템을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 3은 일 실시예에 따른 공조 시스템에서 제1 필터 유닛 및 제2 필터 유닛의 배치 구조를 예시적으로 나타낸 것이다.
도 4는 도 3의 A 방향에서 본 평면도이다.
도 5는 도 3의 B 방향에서 본 측면도이다.
도 6은 다른 실시예에 따른 공조 시스템에서 제1 필터 유닛 및 제2 필터 유닛의 배치 구조를 예시적으로 나타낸 것이다.
도 7은 또 다른 실시예에 따른 공조 시스템에서 제1 필터 유닛 및 제2 필터 유닛의 배치 구조를 예시적으로 나타낸 것이다.
도 8은 일 실시예에 따른 공조 방법을 설명하기 위하여 제1 필터 유닛 작동시 공기의 흐름을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 9는 일 실시예에 따른 공조 방법을 설명하기 위하여 제2 필터 유닛 작동시 공기의 흐름을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 10은 다른 실시예에 따른 공조 방법을 설명하기 위하여 제1 필터 유닛 작동시 공기의 흐름을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 11은 다른 실시예에 따른 공조 방법을 설명하기 위하여 제2 필터 유닛 작동시 공기의 흐름을 개략적으로 나타낸 것이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.
또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.
이하에서 도 1을 참조하여, 일 실시예에 따른 공조 시스템을 설명한다.
도 1은 일 실시예에 따른 공조 시스템을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 공조 시스템은, 온도 제어 유닛(200), 제1 필터 유닛(110), 제2 필터 유닛(120), 클린 룸 설비(300)를 포함한다.
일반적으로 반도체가 제조되는 건물의 라인 구조는, 반도체 공정이 진행되는 곳으로 생산설비의 가동 및 유지보수가 이루어지는 영역인 FAB과 생산설비에 가스 및 화학물질 등 공정에 필요한 화학물질 등을 제공하고 공정 진행 후 잔여 화학물질을 제거하는 부대설비 등이 위치한 공간인 Sub FAB으로 되어 있다.
여기서 FAB은 클린 룸이다. 통상적으로 입자, 온도, 습도, 기류, 진동, 오존, 유기물 등은 반도체 공정에 따라 제품 수율 등에 영향을 주기 때문에 클린 룸 내로 공급되는 외기 및 내부에서 순환되는 공기는 반도체 제조에 적합한 규격으로의 제어가 필요하다.
외부로부터 유입되어 입자, 오존 등이 제거된 정제된 공기가 상기 온도 제어 유닛(200)의 흡입구(210)로 유입되면 이를 클린 룸에 위치하는 설비에서 요구되는 범위에 맞게 적절한 온도 범위를 유지하도록 제어하여 제1 배출구(201) 및 제2 배출구(202)를 통해 배출한다. 예를 들면, 클린 룸의 온도는 작업자의 활동조건(쾌적성) 및 각 공정 특성변화에 영향을 미친다. 특히 포토공정은 초 항온성이 요구되는데 이것은 포토마스크, 웨이퍼 및 기타 기계부의 열팽창이 문제가 되기 때문이다. 또한 감광성 물질(PR)의 물성 변화에도 영향을 주며, 공간분포에서 온도가 불안정할 경우 열 영동 효과에 의한 클린 룸 내 기류이동을 초래함으로써 입자의 확산을 유도하는 인자로 작용한다. 따라서, 온도 제어 유닛(200)을 통해 적절한 온도 범위를 유지하도록 제어하는 것이 필요한다.
본 실시예에서 클린 룸 설비(300)는, 예를 들면, 노광 설비일 수 있다. 또한, 온도 제어 유닛(200)에서 제어된 공기의 온도는 20 내지 25℃ 범위일 수 있으며, 구체적으로 22℃로 제어될 수 있다.
한편, 제1 필터 유닛(110) 및 제2 필터 유닛(120)은 상기 온도 제어 유닛(200)으로부터 유입되는 공기를 제1 필터 모듈(101) 및 제2 필터 모듈(102)을 이용하여 각각 필터링한다.
상기 제1 필터 유닛(110) 또는 상기 제2 필터 유닛(120)으로부터 필터링된 공기는 제1 유입부(301) 및 제2 유입부(302)를 통해 클린 룸 내부에 위치하는 클린 룸 설비(300)로 유입된다.
클린 룸은 공기에 포함된 먼지의 개수가 규정된 한도 내에서 관리되는 일정영역이나 공간, 또는 먼지를 비롯한 제반 환경 조건인 온도, 습도, 풍속, 차압, 각종 오염 등이 일정 규격에 맞게 유지, 관리되는 깨끗한 영역이다. 반도체 제조 공정에서 중대한 방해를 초래하는 공기 중 입자(먼지) 및 세균을 제거하기 위해서는 클린 룸이 필요하며, 상기 클린 룸 설비(300)는 클린 룸에 위치하는 반도체 제조를 위한 장비들을 의미하는 것으로, 예를 들면, 포토 공정의 노광 설비일 수 있다.
오염물질이 필터에 포집될수록 필터의 효율은 저하된다. 따라서, 클린 룸 설비로 유입되는 공기를 원하는 수준으로 유지하기 위해서는, 필터의 효율이 저하되기 전에 필터를 교체할 필요가 있다.
본 실시예에서는 각각 독립적인 하우징으로 구성된 제1 필터 유닛(110) 및 제2 필터 유닛(120)을 포함한다. 이에 따라, 상기 제1 필터 모듈(101) 작동시에는, 상기 제2 필터 유닛(120)으로 유입되는 공기를 차단되고, 상기 제2 필터 모듈(102) 작동시에는, 상기 제1 필터 유닛(110)으로 유입되는 공기가 차단된다.
즉, 제1 필터 유닛(110) 및 제2 필터 유닛(120)은 동시에 가동되지는 않고, 어느 일방이 작동되는 중에는 다른 일방의 필터 유닛는 사용하지 않고 예비적으로 필터 모듈에 필터를 장착해 둔다.
따라서, 제1 필터 모듈(101) 또는 제2 필터 모듈(102) 교체시에도 온도 제어 유닛(200)의 전원을 off 할 필요 없이 지속적으로 클린 룸 설비에 필터링된 공기를 제공할 수 있고, 필터 교환 주기를 정확히 준수할 수 있다. 이에 따라 필터 효율 저하로 인한 유기 및 염기성 오염을 예방할 수 있는 이점이 있다.
아울러, 필터 교체시에도 설비 조건 및 환경 변화 없이 공정을 진행할 수 있기 때문에 클린 룸에서 생산되는 제품에 대하여 오염으로 인한 품질 변동 위험도 제거할 수 있기 때문에 매우 유리한 효과를 갖는다.
구체적으로, 상기 제1 배출구(201)를 통해 배출된 공기는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제1 필터 유닛 유입구(111)로 유입되거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제3 필터 유닛 유입구(121)로 유입된다. 또한, 상기 제2 배출구(202)를 통해 배출된 공기는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제2 필터 유닛 유입구(112)로 유입되거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제4 필터 유닛 유입구(122)로 유입된다.
제1 배출구(201) 및 제1 필터 유닛 유입구(111)는 제1 연결관(401)을 통해 연결되고, 제2 배출구(202) 및 제2 필터 유닛 유입구(112)는 제2 연결관(402)을 통해 연결된다. 이때, 제1 연결관(401) 내에는 제1 댐퍼(501)가 위치하고, 제2 연결관(402) 내에는 제3 댐퍼(503)가 위치한다.
또한, 제1 배출구(201) 및 제3 필터 유닛 유입구(121)는 제3 연결관(403)을 통해 연결되고, 제2 배출구(202) 및 제4 필터 유닛 유입구(122)는 제4 연결관(404)을 통해 연결된다. 제3 연결관(403) 내에는 제2 댐퍼(502)가 위치하고, 제4 연결관(404) 내에는 제4 댐퍼(504)가 위치한다.
제1 댐퍼 내지 제4 댐퍼(501, 502, 503, 504)는 공기의 흐름을 차단할 수 있는 부재로 각 연결관 내에 위치하고, 이들 댐퍼를 조작하는 조작부는 각 연결관 외부에 위치한다.
제1 댐퍼 내지 제4 댐퍼(501, 502, 503, 504)는 공기의 흐름을 차단하거나 개방하는 수단이다. 즉, 제2 필터 유닛(120) 작동시에는 제1 필터 유닛(110)으로 유입되는 공기를 차단해야 하므로 제1 댐퍼(501) 및 제3 댐퍼(503)는 차단된다. 이때, 제2 댐퍼(502) 및 제4 댐퍼(504)는 개방되어 있으므로 제1 필터 모듈(101)의 필터를 교체하는 경우에도 온도 제어 유닛(200)의 전원을 off 할 필요 없이 제2 필터 모듈(102)을 통해 필터링된 공기가 클린 룸 설비(300)로 유입된다.
한편, 상기 제1 필터 유닛(110) 작동시에는 제2 필터 유닛(120)으로 유입되는 공기를 차단해야 하므로 제2 댐퍼(502) 및 제4 댐퍼(504)는 차단된다. 이때, 제1 댐퍼(501) 및 제3 댐퍼(503)는 개방되어 있으므로 제2 필터 모듈(102)의 필터를 교체하는 경우에도 온도 제어 유닛(200)의 전원을 off할 필요 없이 제1 필터 모듈(101)을 통해 필터링된 공기가 클린 룸 설비(300)로 유입된다.
본 실시예에서 제1 댐퍼(501), 제2 댐퍼(502), 제3 댐퍼(503) 및 제4 댐퍼(504)는 각각 수동 또는 전동으로 운행될 수 있다. 제1, 제2, 제3 및 제4 댐퍼(501, 502, 503, 504)가 전동으로 운행되는 경우에는 사람이 직접 조작하지 않아도 되기 때문에 댐퍼 조작의 편의성이 향상된다.
한편, 제1 필터 모듈(101) 및 제2 필터 모듈(102)은 각각 화학 흡착식 필터 및 물리 흡착식 필터 중 하나를 포함할 수 있다.
화학 흡착식 필터는, 작용기와 반응물을 반응시킬 수 있는 산성 작용기를 갖는 공중합체로 형성되는 다공성 화학 흡착 매체를 포함할 수 있다. 물리 흡착식 필터는 미처리 활성탄과 같은 물리 흡착 매체를 포함한다. 본 명세서에 사용되는 "미처리"라는 용어는 화학 흡착을 행할 수 있도록 하기 위한 화학 처리에 의해서 개질되지 않은 활성탄을 의미하는 것으로서, 이때 미처리 활성 탄은 물리적 혹은 무극성 흡착제로서 형성된다. 물리 흡착식 필터는 일반적으로 비등점이 150℃ 이상인 응축가능한 유기 및 무기 오염물을 물리 흡착법을 통해 제거하며, 화학 흡착식 필터는 화학 흡착법을 통해 기본 증기(basic vapor)를 제거한다.
"물리 흡착법"이라는 용어는 약한 물리력에 의해 피흡착물이 유지되는 가역 흡착법을 말한다. 반면에, "화학 흡착법"이라는 용어는 가스 혹은 액체 분자와 고체 표면 간에 화학 결합이 형성되는 비가역 화학 반응법을 말한다. 화학 흡착식 필터와 물리 흡착식 필터의 상대적인 두께는 두 필터 부재의 유효 수명이 소정의 환경에서 거의 동시에 종료되도록 형성될 수 있다.
필요에 따라, 제1 필터 모듈(101) 및 제2 필터 모듈(102)에는 화학 흡착식 필터 또는 물리 흡착식 필터와 함께 먼지나 화분과 같은 비화학성 미립자 물질의 농도를 저감시키기 위해서 HEPA 필터가 함께 포함될 수도 있다.
다음, 상기 제1 연결관(401), 제2 연결관(402), 제3 연결관(403) 및 제4 연결관(404)은, 예를 들면, SUS 재질로 이루어질 수 있다. 그러나, 이는 예시적인 것으로 본 실시예의 공조 시스템이 적용되는 공간이나 환경에 따라 플렉서블한 소재를 이용하여 제1 연결관(401), 제2 연결관(402), 제3 연결관(403) 및 제4 연결관(404)을 구성할 수도 있다.
상기 제1 필터 유닛(110) 또는 상기 제2 필터 유닛(120)으로부터 필터링된 공기는 제1 유입부(301) 및 제2 유입부(302)를 통해 클린 룸 설비(300)로 유입된다. 즉, 제1 유입부(301) 및 제2 유입부(302)는 클린 룸 설비(300)와 연결되어 있다. 예를 들어, 클린 룸 설비(300)가 노광 설비인 경우, 제1 유입부(301) 및 제2 유입부(302)는 노광 설비로 온도가 20℃ 내지 25℃, 21℃ 내지 23℃, 22℃ 정도로 제어된 공기가 유입된다. 노광 설비의 온도가 이러한 범위로 제어되는 경우, 노광 설비에 포함된 포토마스크, 웨이퍼 및 기타 기계부의 열팽창을 방지할 수 있다.
이하, 다른 실시예들을 도면과 함께 설명한다. 이하 설명하는 실시예에서는 앞서 설명한 실시예와 동일한 내용은 생략하고 차이점을 중심으로 설명한다. 또한, 앞선 실시예와 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.
도 2는 다른 실시예에 따른 공조 시스템을 개략적으로 나타낸 것이다. 본 실시예에서는 추가 댐퍼를 포함하는 점에서 앞선 실시예와 상이하다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에서는 제1 필터 유닛(110) 또는 제2 필터 유닛(120)과 상기 제1 또는 제2 필터 유닛(110, 120)으로부터 필터링된 공기가 공급되는 제1 유입부(301) 및 제2 유입부(302) 사이에 추가 댐퍼가 위치한다.
구체적으로, 상기 제1 유입부(301)는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제1 필터 유닛 배출구(113)로부터 필터링된 공기를 공급받거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제3 필터 유닛 배출구(123)로부터 필터링된 공기를 공급받는다.
또한, 상기 제2 유입부(302)는, 상기 제1 필터 유닛(110)의 제2 필터 유닛 배출구(114)로부터 필터링된 공기를 공급받거나 상기 제2 필터 유닛(120)의 제4 필터 유닛 배출구(124)로부터 필터링된 공기를 공급받는다.
이때, 제1 필터 유닛 배출구(113) 및 제1 유입부(301)는 제5 연결관(405)를 통해 연결되고, 제2 필터 유닛 배출구(114) 및 제2 유입부(302)는 제6 연결관(406)을 통해 연결된다. 제5 연결관(405) 내에는 제5 댐퍼(505)가 위치하고, 제6 연결관(406) 내에는 제7 댐퍼(507)가 위치한다.
또한, 상기 제3 필터 유닛 배출구(123) 및 제1 유입부(301)는 제7 연결관(407)을 통해 연결되고, 제4 필터 유닛 배출구(124) 및 제2 유입부(302)는 제8 연결관(408)을 통해 연결된다. 제7 연결관(407) 내에는 제6 댐퍼(506)가 위치하고, 제8 연결관(408) 내에는 제8 댐퍼(508)가 위치한다.
제5 댐퍼 내지 제8 댐퍼(505, 506, 507, 508)는 공기의 흐름을 차단할 수 있는 부재로 각 연결관 내에 위치하고, 이들 댐퍼를 조작하는 조작부는 각 연결관 외부에 위치한다.
본 실시예에서, 제2 필터 유닛(120) 작동시에는 전술한 제1 댐퍼(501) 및 제3 댐퍼(503)를 차단하고, 추가로 제5 댐퍼(505) 및 제7 댐퍼(507)를 함께 차단한다. 이와 같이 제1 필터 모듈(101) 교체시에 제5 댐퍼(505) 및 제7 댐퍼(507)를 추가로 설치하여 차단하는 경우, 제2 필터 모듈(102)로 유입되고 필터링되어 배출되는 공기가 제1 필터 유닛(110)으로 유입되거나 통과되지 않도록 차폐력을 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 제1 필터 유닛(110) 작동시에는 전술한 제2 댐퍼(502) 및 제4 댐퍼(504)를 차단하고, 추가로 제6 댐퍼(506) 및 제8 댐퍼(508)를 함께 차단한다. 이와 같이 제2 필터 모듈(102) 교체시에 제6 댐퍼(506) 및 제8 댐퍼(508)를 추가로 설치하여 차단하는 경우, 제1 필터 모듈(101)로 유입되고 필터링되어 배출되는 공기가 제2 필터 유닛(120)으로 유입되거나 통과되지 않도록 차폐력을 보다 향상시킬 수 있다.
본 실시예에서 제5 댐퍼(505), 제6 댐퍼(506), 제7 댐퍼(507) 및 제8 댐퍼(508)는 역시 각각 수동 또는 전동으로 운행될 수 있다. 제5, 제6, 제7, 제8 댐퍼(505, 506, 507, 508)가 전동으로 운행되는 경우에는 전술한 바와 같이 댐퍼 조작의 편의성이 향상된다.
또한, 상기 제5 연결관(405), 제6 연결관(406), 제7 연결관(407) 및 제8 연결관(408)은, 예를 들면, SUS 재질로 이루어질 수 있다. 그러나, 이는 예시적인 것으로 본 실시예의 공조 시스템이 적용되는 공간이나 환경에 따라 플렉서블한 소재를 이용하여 제5 연결관(405), 제6 연결관(406), 제7 연결관(407) 및 제8 연결관(408)을 구성할 수도 있다.
도 3은 일 실시예에 따른 공조 시스템에서 제1 필터 유닛 및 제2 필터 유닛의 배치 구조를 예시적으로 나타낸 것이다. 도 4는 도 3의 A 방향에서 본 평면도이고, 도 5는 도 3의 B 방향에서 본 측면도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 일 실시예에 따른 공조 시스템(1100)에서 제1 필터 유닛(110) 및 제2 필터 유닛(120)은, 각각, 일 면에 연결된 도어(150, 160)를 포함한다.
이때, 상기 제1 필터 유닛의 도어(150) 및 상기 제2 필터 유닛의 도어(160)는 서로 반대면에 위치한다. 즉, 제1 필터 유닛(110)과 제2 필터 유닛(120)의 하우징은 서로 등을 맞대고 위치한다.
이때, 제1 필터 유닛(110) 내부에는 제1 필터 모듈(101)이 장착되고, 제2 필터 유닛(120) 내부에는 제2 필터 모듈(102)이 장착된다.
제1 필터 모듈(101) 및 제2 필터 모듈(102)은 내부에 배치된 다수의 평행 필터 수용부를 포함할 수 있다.
상기 필터 수용부는 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 평행하게 2층으로 배치될 수도 있고, 필요에 따라 3층으로 배치(미도시)될 수도 있다. 한 층에는 2개 내지 5개의 필터를 나란히 배치할 수 있으나, 필터의 개수가 특별히 한정되는 것은 아니다.
도 6은 다른 실시예에 따른 공조 시스템에서 제1 필터 유닛 및 제2 필터 유닛의 배치 구조를 예시적으로 나타낸 것이다.
도 6을 참조하면, 본 실시예(1200)에서 제1 필터 유닛(110) 및 제2 필터 유닛(120)은 제1 필터 유닛의 도어(150) 및 제2 필터 유닛의 도어(160)가 같은 방향을 보며 나란히 위치할 수 있다.
도 7은 또 다른 실시예에 따른 공조 시스템에서 제1 필터 유닛 및 제2 필터 유닛의 배치 구조를 예시적으로 나타낸 것이다.
도 7을 참조하면, 본 실시예(1300)에서 제1 필터 유닛(110) 및 제2 필터 유닛(120)은 제1 필터 유닛의 도어(150)와 제2 필터 유닛의 도어(160)가 서로 반대 방향을 바라보며 나란히 위치할 수 있다.
도 3, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 필터 유닛(110) 및 제2 필터 유닛은 각각 독립적인 하우징으로 구성되고, 제1 필터 모듈(101) 및 제2 필터 모듈(102)의 교체가 용이하도록 도어가 위치한다면 그 배치 구조는 특별히 한정되지 않는다.
이하에서는 도 8 내지 도 11을 참조하여 실시예들에 따른 공조 방법을 설명한다.
도 8은 일 실시예에 따른 공조 방법을 설명하기 위하여 제1 필터 유닛 작동시 공기의 흐름을 개략적으로 나타낸 것이고, 도 9는 제2 필터 유닛 작동시 공기의 흐름을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 일 실시예에 따른 공조 방법은, 정제된 공기를 설정된 온도 범위 제어하는 단계, 상기 온도가 제어된 공기가 유입되어 제1 필터 모듈(101) 또는 제2 필터 모듈(102)을 통해 필터링 되는 단계, 그리고 상기 제1 필터 모듈(101) 또는 제2 필터 모듈(102)을 통해 필터링된 공기가 클린 룸 설비(300)로 유입되는 단계를 포함한다.
도 8을 참조하면, 상기 제1 필터 유닛의 제1 필터 모듈 작동시에는, 제2 필터 유닛(120)으로 공기가 유입되는 것을 차단하고, 제1 필터 유닛(110)으로 공기가 유입되도록 개방한다.
구체적으로, 온도 제어 유닛(200)의 흡입구(210)로 유입된 정제된 공기는 규격에 맞게 온도가 제어된 후 제1 배출구(201) 및 제2 배출구(202)를 통해 배출된다.
제1 배출구(201)로 배출된 공기는 제1 배출구(201) 및 제1 필터 유닛 유입구(111)와 연결된 제1 연결관(401)을 통해 제1 필터 유닛(110)으로 유입된다. 이어서, 제1 필터 유닛(110)의 제1 필터 모듈(101)을 통해 필터링된 공기는 제1 필터 유닛 배출구(113)를 통해 배출되어 제1 필터 유닛 배출구(113)및 제1 유입부(301)를 연결하는 제5 연결관(405)을 통해 클린 룸 설비(300)로 유입된다.
제2 배출구(202)로 배출된 공기는 제2 배출구(202) 및 제2 필터 유닛 유입구(112)와 연결된 제2 연결관(402)을 통해 제1 필터 유닛(110)으로 유입된다. 이후, 제1 필터 유닛(110)의 제1 필터 모듈(101)을 통해 필터링된 공기는 제2 필터 유닛 배출구(114)를 통해 배출되어 제2 필터 유닛 배출구(114)및 제2 유입부(302)를 연결하는 제6 연결관(406)을 통해 클린 룸 설비(300)로 유입된다.
도 9를 참조하면, 제2 필터 유닛(120)의 제2 필터 모듈(102) 작동시에는, 제1 필터 유닛(110)으로 공기가 유입되는 것을 차단하고, 제2 필터 유닛(120)으로 공기가 유입되도록 개방한다.
구체적으로, 온도 제어 유닛(200)의 흡입구(210)로 유입된 정제된 공기는 규격에 맞게 온도가 제어된 후 제1 배출구(201) 및 제2 배출구(202)를 통해 배출된다.
제1 배출구(201)로 배출된 공기는 제1 배출구(201) 및 제3 필터 유닛 유입구(121)와 연결된 제3 연결관(403)을 통해 제2 필터 유닛(120)으로 유입된다. 이어서, 제2 필터 유닛(120)의 제2 필터 모듈(102)을 통해 필터링된 공기는 제3 필터 유닛 배출구(123)를 통해 배출되어 제3 필터 유닛 배출구(123)및 제1 유입부(301)를 연결하는 제7 연결관(407)을 통해 클린 룸 설비(300)로 유입된다.
제2 배출구(202)로 배출된 공기는 제2 배출구(202) 및 제4 필터 유닛 유입구(122)와 연결된 제4 연결관(404)을 통해 제2 필터 유닛(120)으로 유입된다. 이후, 제2 필터 유닛(120)의 제2 필터 모듈(102)을 통해 필터링된 공기는 제4 필터 유닛 배출구(124)를 통해 배출되어 제4 필터 유닛 배출구(124)및 제2 유입부(302)를 연결하는 제8 연결관(408)을 통해 클린 룸 설비(300)로 유입된다.
이때, 제1 필터 유닛(110) 및 제2 필터 유닛(120)으로 공기가 유입되거나 차단되는 것은 수동 댐퍼 또는 전동 댐퍼를 이용하여 수행된다.
또한, 상기 제1 필터 모듈(101) 및 상기 제2 필터 모듈(102)은, 화학 흡착식 필터 및 물리 흡착식 필터 중 적어도 하나를 포함한다. 이에 대해서는 전술한 것과 동일한 바, 여기서는 생략하기로 한다.
도 10은 다른 실시예에 따른 공조 방법을 설명하기 위하여 제1 필터 유닛 작동시 공기의 흐름을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 10을 참조하면, 다른 실시예에 따른 공조 방법은, 제2 필터 유닛 작동시에 제1 필터 유닛(110)으로부터 클린 룸 설비(300)로 공기가 유입되는 것을 차단하는 단계를 더 포함한다.
이때, 제1 필터 유닛(110)으로부터 클린 룸 설비(300)로 유입되는 공기의 차단은 수동 댐퍼 또는 전동 댐퍼를 이용하여 수행된다. 도 10에서는 제5 댐퍼(505) 및 제7 댐퍼(507)를 이용하여 공기를 차단하는 것을 도시하였다.
도 11은 다른 실시예에 따른 공조 방법을 설명하기 위하여 제2 필터 유닛 작동시 공기의 흐름을 개략적으로 나타낸 것이다.
도 11을 참조하면, 다른 실시예에 따른 공조 방법은, 제1 필터 유닛(110) 작동시에 제2 필터 유닛(120)으로부터 클린 룸 설비(300)로 공기가 유입되는 것을 차단하는 단계를 더 포함한다.
이때, 제2 필터 유닛(120)으로부터 클린 룸 설비(300)로 유입되는 공기의 차단은 수동 댐퍼 또는 전동 댐퍼를 이용하여 수행된다. 도 11에서는 제6 댐퍼(506) 및 제8 댐퍼(508)를 이용하여 공기를 차단하는 것을 도시하였다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
110: 제1 필터 유닛
120: 제2 필터 유닛
200: 온도 제어 유닛
300: 클린 룸 설비
101: 제1 필터 모듈
102: 제2 필터 모듈
111: 제1 필터 유닛 유입구
112: 제2 필터 유닛 유입구
121: 제3 필터 유닛 유입구
122: 제4 필터 유닛 유입구
201: 제1 배출구
202: 제2 배출구
401: 제1 연결관
402: 제2 연결관
403: 제3 연결관
404: 제4 연결관
405: 제5 연결관
406: 제6 연결관
407: 제7 연결관
408: 제8 연결관
501: 제1 댐퍼
502: 제2 댐퍼
503: 제3 댐퍼
504: 제4 댐퍼
505: 제5 댐퍼
506: 제6 댐퍼
507: 제7 댐퍼
508: 제8 댐퍼

Claims (10)

  1. 정제된 공기의 온도를 제어하여 배출하는 제1 배출구 및 제2 배출구를 포함하는 온도 제어 유닛;
    상기 온도 제어 유닛으로부터 유입되는 공기를 제1 필터 모듈을 이용하여 필터링하는 제1 필터 유닛;
    상기 온도 제어 유닛으로부터 유입되는 공기를 제2 필터 모듈을 이용하여 필터링하는 제2 필터 유닛;
    상기 제1 필터 유닛 또는 상기 제2 필터 유닛으로부터 필터링된 공기를 공급받는 제1 유입부 및 제2 유입부를 포함하는 클린 룸 설비;를 포함하고,
    상기 제1 필터 유닛 및 제2 필터 유닛은 각각 독립적인 하우징으로 구성되며,
    상기 제1 필터 모듈 작동시에는, 상기 제2 필터 유닛으로 유입되는 공기가 차단되고,
    상기 제2 필터 모듈 작동시에는, 상기 제1 필터 유닛으로 유입되는 공기가 차단되는, 공조 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 배출구를 통해 배출된 공기는, 상기 제1 필터 유닛의 제1 필터 유닛 유입구로 유입되거나 상기 제2 필터 유닛의 제3 필터 유닛 유입구로 유입되고,
    상기 제2 배출구를 통해 배출된 공기는, 상기 제1 필터 유닛의 제2 필터 유닛 유입구로 유입되거나 상기 제2 필터 유닛의 제4 필터 유닛 유입구로 유입되며,
    상기 제2 필터 유닛 작동시에는,
    상기 제1 배출구 및 제1 필터 유닛 유입구를 연결하는 제1 연결관내에 위치하는 제1 댐퍼와 상기 제2 배출구 및 제2 필터 유닛 유입구를 연결하는 제2 연결관내에 위치하는 제3 댐퍼는 차단되고,
    상기 제1 배출구 및 제3 필터 유닛 유입구를 연결하는 제3 연결관내에 위치하는 제2 댐퍼와 상기 제2 배출구 및 제4 필터 유닛 유입구를 연결하는 제4 연결관내에 위치하는 제4 댐퍼는 개방되는, 공조 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 배출구를 통해 배출된 공기는, 상기 제1 필터 유닛의 제1 필터 유닛 유입구로 유입되거나 상기 제2 필터 유닛의 제3 필터 유닛 유입구로 유입되고,
    상기 제2 배출구를 통해 배출된 공기는, 상기 제1 필터 유닛의 제2 필터 유닛 유입구로 유입되거나 상기 제2 필터 유닛의 제4 필터 유닛 유입구로 유입되며,
    상기 제1 필터 유닛 작동시에는,
    상기 제1 배출구 및 제1 필터 유닛 유입구를 연결하는 제1 연결관내에 위치하는 제1 댐퍼와 상기 제2 배출구 및 제2 필터 유닛 유입구를 연결하는 제2 연결관내에 위치하는 제3 댐퍼는 개방되고,
    상기 제1 배출구 및 제3 필터 유닛 유입구를 연결하는 제3 연결관내에 위치하는 제2 댐퍼와 상기 제2 배출구 및 제4 필터 유닛 유입구를 연결하는 제4 연결관내에 위치하는 제4 댐퍼는 차단되는, 공조 시스템.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 제1 댐퍼, 제2 댐퍼, 제3 댐퍼 및 제4 댐퍼는 각각 수동 또는 전동으로 운행되는 공조 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 필터 모듈 및 상기 제2 필터 모듈은, 화학 흡착식 필터 및 물리 흡착식 필터 중 적어도 하나를 포함하는 공조 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 유입부는, 상기 제1 필터 유닛의 제1 필터 유닛 배출구로부터 필터링된 공기를 공급받거나 상기 제2 필터 유닛의 제3 필터 유닛 배출구로부터 필터링된 공기를 공급받고,
    상기 제2 유입부는, 상기 제1 필터 유닛의 제2 필터 유닛 배출구로부터 필터링된 공기를 공급받거나 상기 제2 필터 유닛의 제4 필터 유닛 배출구로부터 필터링된 공기를 공급받으며,
    상기 제2 필터 모듈 작동시에는,
    상기 제1 필터 유닛 배출구 및 제1 유입부를 연결하는 제5 연결관내에 위치하는 제5 댐퍼와 상기 제2 필터 유닛 배출구 및 제2 유입부를 연결하는 제6 연결관내에 위치하는 제7 댐퍼는 차단되고,
    상기 제3 필터 유닛 배출구 및 제1 유입부를 연결하는 제7 연결관내에 위치하는 제6 댐퍼와 제4 필터 유닛 배출구 및 제2 유입부를 연결하는 제8 연결관내에 위치하는 제8 댐퍼는 개방되는, 공조 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 유입부는, 상기 제1 필터 유닛의 제1 필터 유닛 배출구로부터 필터링된 공기를 공급받거나 상기 제2 필터 유닛의 제3 필터 유닛 배출구로부터 필터링된 공기를 공급받고,
    상기 제2 유입부는, 상기 제1 필터 유닛의 제2 필터 유닛 배출구로부터 필터링된 공기를 공급받거나 상기 제2 필터 유닛의 제4 필터 유닛 배출구로부터 필터링된 공기를 공급받으며,
    상기 제1 필터 모듈 작동시에는,
    상기 제1 필터 유닛 배출구 및 제1 유입부를 연결하는 제5 연결관내에 위치하는 제5 댐퍼와 상기 제2 필터 유닛 배출구 및 제2 유입부를 연결하는 제6 연결관내에 위치하는 제7 댐퍼는 개방되고,
    제3 필터 유닛 배출구 및 제1 유입부를 연결하는 제7 연결관내에 위치하는 제6 댐퍼와 제4 필터 유닛 배출구 및 제2 유입부를 연결하는 제8 연결관내에 위치하는 제8 댐퍼는 차단되는, 공조 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 필터 유닛 및 상기 제2 필터 유닛은, 각각, 일 면에 연결된 도어(150, 160)를 포함하며,
    상기 제1 필터 유닛의 도어 및 상기 제2 필터 유닛의 도어는 서로 반대면에 위치하는 공조 시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 필터 유닛 및 상기 제2 필터 유닛은, 각각, 일 면에 연결된 도어(150, 160)를 포함하며,
    상기 제1 필터 유닛의 도어 및 상기 제2 필터 유닛의 도어는 같은 방향을 바라보며 나란히 위치하는 공조 시스템.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제1 필터 유닛 및 상기 제2 필터 유닛은, 각각, 일 면에 연결된 도어(150, 160)를 포함하며,
    상기 제1 필터 유닛의 도어와 상기 제2 필터 유닛의 도어는 서로 반대 방향을 바라보며 나란히 위치하는 공조 시스템.
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