JP2003035622A - ワークの漏れ検査装置、漏れ検査装置用チャンバおよび漏れ検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置が小型で構造も簡単になり、ガス漏れ箇
所の特定ができるとともにガス漏れ量の定量測定が可能
な正確で精度のよいガス漏れ検出ができる配管の漏れ検
査装置、漏れ検査装置用チャンバおよび漏れ検査方法を
提供すること。 【解決手段】 チャンバ１２で被検査用配管１１の接合
部分の周囲に密閉空間部部１９ａ，１９ｂを形成できる
ようにした。そして、被検査用配管１１または密閉空間
部１９ａ，１９ｂにヘリウムガスを供給するヘリウムボ
ンベ１３と、被検査用配管１１から密閉空間部１９ａ，
１９ｂに漏れてくるトレースガス、または密閉空間部１
９ａ，１９ｂから被検査用配管１１に漏れてくるトレー
スガスを検出するヘリウムリークディテクター１４とを
備えた構成にした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、トレースガス（検
査用ガス）を利用して、配管の接合部分や加工部等、ワ
ークの被検査部分における漏れを検出するワークの漏れ
検査装置、漏れ検査装置用チャンバおよび漏れ検査方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】エアコンや冷蔵庫で使用される冷媒ガス
用の配管や、自動車で使用される排気ガスや燃料用の配
管等、各種の気体供給用の配管や、液体供給用の配管等
の中には、気密性が要求されるものがある。そして、従
来から、このような気密性を要する配管等における接合
部分からの漏れを検出するための検査が行われており、
このような検査に、トレースガスとしてヘリウムガスを
用いた装置や方法がある。例えば、スニファー方式と呼
ばれる検査方法やチャンバ方式と呼ばれる検査方法であ
る。

【０００３】前記スニファー方式による検査方法は、被
検査用配管の一端の開口部にヘリウムガスを供給するた
めのヘリウムガス供給装置を接続するとともに、他の開
口部を全て栓を用いて閉塞する。そして、ヘリウムガス
供給装置から被検査用配管内にヘリウムガスを供給しな
がら、被検査用配管の接合部分に、ヘリウムガス漏れ検
出装置のスニファープローブを近づけて接合部分から外
部へのヘリウムガスの漏れを検出するものである。

【０００４】また、チャンバ方式による検査方法は、被
検査用配管の一端開口部にヘリウムガス供給装置を接続
して、他の全ての開口部を栓を用いて閉塞し、その状態
の被検査用配管を、ヘリウムガス漏れ検出装置が接続さ
れた密閉箱型のチャンバ内に配置する。そして、ヘリウ
ムガス供給装置から被検査用配管内にヘリウムガスを供
給したときに、被検査用配管からチャンバ内に漏れるヘ
リウムガスの有無をヘリウムガス漏れ検出装置で検出す
るというものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スニフ
ァー方式による検査方法では、ガス漏れの有無といった
大まかな検査ができるだけで、例えば、気流のある環境
で検査を行う場合には、その気流の影響を受けるため漏
れ量の定量化は難しく、正確な検査ができないという問
題がある。また、ガス漏れ検出の際に、スニファープロ
ーブの先端で各接合部の周囲を辿るようにして作業を行
うため、検出作業が面倒で長時間を要するという問題も
ある。

【０００６】一方、チャンバ方式による検査方法では、
被検査用配管全体をチャンバ内に入れるため、大きなチ
ャンバが必要になり、装置が大型化しコストが高くなる
という問題がある。さらに、被検査用配管に複数の接合
部分がある場合には、どの接合部分からガス漏れが生じ
ているかの特定ができず、この特定を行う場合には、再
度別の方法による検査を行う必要が生じるという問題も
ある。

【０００７】

【発明の概要】本発明は、上記した問題に対処するため
になされたもので、その目的は、装置が小型でその構造
が簡単になり、また、ガス漏れを検出した場合そのガス
漏れ箇所の特定ができるとともに、ガス漏れ量の定量化
ができて、正確で精度のよい漏れ検出ができるワークの
漏れ検査装置、漏れ検査装置用チャンバおよび漏れ検査
方法を提供することである。

【０００８】上記の目的を達成するため、本発明に係る
ワークの漏れ検査装置の特徴は、内部側を密閉空間部に
したワークの外面における被検査部分の周囲にシール部
を密着させた状態で被検査部分を被覆し、被検査部分の
周囲に密閉空間部を形成するチャンバと、ワークおよび
チャンバの一方に接続手段を介して接続されて同一方に
トレースガスを供給するトレースガス供給装置と、ワー
クおよびチャンバの他方に接続手段を介して接続されて
同他方に漏れてくるトレースガスを検出する検出装置と
を備えたことにある。

【０００９】前記の場合、トレースガスの検出が行われ
るチャンバの密閉空間部またはワークの密閉空間部を減
圧するための減圧装置を設けることが好ましい。

【００１０】前記のように構成した本発明の特徴によれ
ば、チャンバに設けられたシール部がワークの被検査部
分の周囲に密着し、それによってワークの一部である被
検査部分の周囲だけに密閉空間部を形成することができ
る。そして、トレースガス供給装置によって、ワークの
密閉空間部か、またはチャンバの密閉空間部にトレース
ガスを供給するようになっている。ワークの密閉空間部
にトレースガスを供給する場合には、ワークの密閉空間
部からチャンバの密閉空間部に漏れてくるトレースガス
を、チャンバの密閉空間部に連通する接続手段を介して
検出装置で検出する。

【００１１】また、チャンバの密閉空間部にトレースガ
スを供給する場合には、ワークの密閉空間部に連結され
る接続手段を介して、チャンバの密閉空間部からワーク
の密閉空間部に漏れてくるトレースガスを検出装置で検
出するようになっている。したがって、チャンバの大き
さは、ワークの被検査部分の周囲に密閉空間部を形成し
てその被検査部分を被覆できるだけの大きさでよいた
め、チャンバの大幅な小型化が図れる。また、チャンバ
をワークの周囲を被覆できるだけの小型に設定できるた
め、被検査部分を複数有するワークの場合、それぞれの
被検査部分にチャンバを取り付け、個別に検査をするこ
とができる。このため、欠陥のある被検査部分を特定す
ることができ、かつ、その際のガス漏れ量の定量化もで
きる。

【００１２】また、ワークの密閉空間部からチャンバの
密閉空間部に漏れてくるトレースガスを検出する場合に
は、減圧装置を、接続手段を介してチャンバの密閉空間
部に連結することにより、より精度のよい検査が行える
ようになる。すなわち、この場合には、ワークの密閉空
間部にはトレースガスが圧入され、チャンバの密閉空間
部は減圧されるため、ガス漏れの欠陥を生じさせる被検
査部分の穴や亀裂の大きさが小さい場合でもトレースガ
スは被検査部分を通過してチャンバの密閉空間部側に移
動する。

【００１３】また、チャンバの密閉空間部からワークの
密閉空間部に漏れるトレースガスを検出する場合には、
減圧装置を、ワークの密閉空間部に接続することによ
り、同様にして、精度のよい検査が行える。

【００１４】また、本発明のワークの漏れ検査装置用チ
ャンバの構成上の特徴は、ワークの外面における被検査
部分の周囲に着脱自在に取り付け可能で、被検査部分の
周囲に空間部を形成するための被覆部と、被検査部分の
周囲に形成される空間部を密閉するために、被覆部にお
けるワークとの接触部側に設けられ、ワークの外面に密
着可能なシール部と、被覆部の内部と外部を連通させる
気体流通路とを備えたことにある。

【００１５】前記の場合、シール部に空気注入部を設
け、この空気注入部に空気を注入することにより、空気
圧を利用して、ワークの外面と被覆部との間の空間部を
密閉するようにすることができる。また、被覆部を略円
筒状体で構成するとともに、その円筒状体を軸線方向に
沿って複数個に分割し、かつ、そのそれぞれの分割面に
ガス漏れ防止用のシール部を設けることもできる。

【００１６】前記のように構成した本発明の特徴によれ
ば、ワークの漏れ検査装置用チャンバは小型にできると
ともに、密閉性のよいものになる。また、気体流通路を
介して被覆部内の密閉空間部にトレースガスを供給した
り、密閉空間部内を減圧したりすることができる。さら
に、シール部に空気注入部を設けることにより、ワーク
の大きさに多少の大小があっても、密閉空間部の密閉状
態を良好にすることができる。また、被覆部を、中心軸
に沿って複数個に分割することにより、着脱が容易にな
るとともに、ワークの形状が複雑なもの、例えば、Ｔ形
になった配管や、直径の異なる配管を連結したもの等の
場合でも、被検査部分の被覆ができるためガス漏れ検査
を行うことができるようになる。

【００１７】また、本発明のワークの漏れ検査方法の特
徴は、内部側を密閉空間部にしたワークの外面における
被検査部分の周囲に、シール部を備えたチャンバを密着
させて密閉空間部を形成する工程と、ワークの密閉空間
部およびチャンバの密閉空間部の一方にトレースガスを
供給する工程と、ワークの密閉空間部およびチャンバの
密閉空間部の他方に被検査部分を通過して漏れてくるト
レースガスを検出する工程とからなることにある。この
場合、ワークの密閉空間部およびチャンバの密閉空間部
の他方に漏れてくるトレースガスを検出する際に、トレ
ースガスを検出するワークの密閉空間部およびチャンバ
の密閉空間部の他方を減圧することが好ましい。

【００１８】前記のように構成した本発明の特徴によれ
ば、チャンバの密閉空間部の容積を必要最小限なものに
設定することができるため、検査精度が向上するととも
に、迅速な作業が可能になる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
を用いて説明する。図１は同実施形態に係る漏れ検査装
置１０を示している。この漏れ検査装置１０は、被検査
用配管１１の外周面における接合部分を密閉状態で被覆
するチャンバ１２と、被検査用配管１１内に検査用のト
レースガスであるヘリウムガスを供給するヘリウムボン
ベ１３と、ヘリウムガスの漏れを検出するヘリウムリー
クディテクター１４を備えている。被検査用配管１１
は、Ｔ字形の配管１１ａと、３個の直線状の短い配管１
１ｂ，１１ｃ，１１ｄの計４個の配管からなり、配管１
１ａの３箇所の端部にそれぞれ配管１１ｂ，１１ｃ，１
１ｄを溶接によって連結して構成されている。そして、
被検査用配管１１における接合部にチャンバ１２がそれ
ぞれ取り付けられている。

【００２０】チャンバ１２は、図２に示すように、蝶番
１５によって互いに開閉自在に連結された２個の樋状の
被覆部１６ａ，１６ｂを備えており、その合わせ面１７
ａ，１７ｂを接面させて組み付けることにより円筒形の
被覆部１６が形成される。なお、図２は、被覆部１６ａ
と蝶番１５の一片１５ａが取り外された状態を示してお
り、もう一方の他片は、被覆部１６ｂに固定されている
（図示せず）。一片１５ａは他片に対して回動自在にな
っており、一片１５ａと被覆部１６ａをねじによって固
定することにより、蝶番１５を中心として、被覆部１６
ａと被覆部１６ｂは互いに開閉するようになる。

【００２１】被覆部１６ａ，１６ｂには、それぞれ合わ
せ面１７ａ，１７ｂに中心軸に沿って延びる半円柱状の
凹部１８ａ，１８ｂが設けられており、その凹部１８
ａ，１８ｂは、被覆部１６ａ，１６ｂを合わせて閉じる
と、被検査用配管１１を内嵌できる形状および大きさに
設定されている。また、その凹部１８ａ，１８ｂの中心
軸に沿った中心側には、凹部１８ａ，１８ｂの直径より
も大きな直径を有する半円柱状の空間部１９ａ，１９ｂ
が設けられている。この空間部１９ａ，１９ｂは、被覆
部１６ａ，１６ｂの内部に被検査用配管１１を入れて、
被覆部１６ａ，１６ｂを合わせて閉じると、被検査用配
管１１の外周面に形成される円筒状の空間部になる。

【００２２】また、合わせ面１７ａ，１７ｂおよび凹部
１８ａ，１８ｂの表面には、それぞれ断面形状が半円状
の無端状の溝２０ａ，２０ｂが設けられており、この溝
２０ａ，２０ｂ内に、断面形状が円形状に形成された無
端状の密閉用のシールゴム２１ａ，２１ｂが固定されて
いる。シールゴム２１ａ，２１ｂは、その円形状に形成
された断面形状における円形の半分の部分を合わせ面１
７ａ，１７ｂから突出させた状態で、かつ互いに対称に
なる位置に固定されている。

【００２３】したがって、被検査用配管１１の外周面に
被覆部１６ａ，１６ｂを組み付けると、合わせ面１７
ａ，１７ｂのように被検査用配管１１に接触しない位置
では、シールゴム２１ａ，２１ｂは互いに圧接される。
また、凹部１８ａ，１８ｂのように被検査用配管１１に
接触する位置では、それぞれのシールゴム２１ａ，２１
ｂが被検査用配管１１と密着することによって、空間部
１９ａ，１９ｂで形成される密閉空間部は完全に外部か
ら密閉された状態になる。

【００２４】すなわち、凹部１８ａ，１８ｂを構成する
壁面と被検査用配管１１の外周面との間は、凹部１８
ａ，１８ｂに位置するシールゴム２１ａ，２１ｂによっ
て密閉され、被覆部１６ａと被覆部１６ｂの間は、合わ
せ面１７ａ，１７ｂに位置するシールゴム２１ａ，２１
ｂ同士の圧接によって密閉される。このように、シール
ゴム２１ａ，２１ｂと被検査用配管１１が圧接すること
によって、被検査用配管１１の一部分である接合部とそ
の周囲部分のみで密閉空間部を形成し、この密閉空間部
で漏れを検査できる。

【００２５】また、被覆部１６ｂにおける空間部１９ｂ
を形成する内周面と被覆部１６ｂの外周面との間には気
体流通路２２が設けられて、その気体流通路２２の外部
側の開口部には気体流通用の配管２２ａが連結されてい
る。また、被覆部１６ａにおける蝶番１５が固定された
部分と反対の部分には被係合用の突起２３ａが設けら
れ、被覆部１６ｂにおける突起２３ａと相対峙する部分
には、突起２３ａと着脱自在に係合可能な係合部２３ｂ
が設けられている。

【００２６】そして、被覆部１６ａと被覆部１６ｂを閉
じた状態で、係合部２３ｂを突起２３ａに係合させる
と、内部の空間部１９ａ，１９ｂを密閉して被覆部１６
が閉成した状態が維持され、係合部２３ｂと突起２３ａ
の係合を解除すると、被覆部１６ａと被覆部１６ｂを開
くことのできる状態になる。なお、係合部２３ｂは、突
起２３ａに係合可能な四角形の枠体２３ｃと、被覆部１
６ｂに固定され、枠体２３ｃを回転可能に支持するとと
もに、枠体２３ｃを突起２３ａに軽く係合させた状態で
突起２３ａから遠ざかるように回転することにより前記
係合をより強固にすることにできる回転支持体２３ｄと
で構成されている。

【００２７】したがって、枠体２３ｃを突起２３ａに引
っ掛けて回転支持体２３ｄを突起２３ａから遠ざかるよ
うに回転することにより突起２３ａと係合部２３ｂの係
合ができて、被覆部１６ａと被覆部１６ｂを閉じた状態
にできる。また、回転支持体２３ｄを突起２３ａ側に回
転させて枠体２３ｃを突起２３ａから離すことにより、
突起２３ａと係合部２３ｂの係合を解除して被覆部１６
ａと被覆部１６ｂを開き、被覆部１６を被検査用配管１
１から取り外すことができる。

【００２８】ヘリウムボンベ１３は、開閉バルブ２４を
介して、被検査用配管１１の配管１１ｄに接続されてお
り、検査時には、開閉バルブ２４を開けて、内部に蓄積
しているヘリウムガスを被検査用配管１１内に供給す
る。また、ヘリウムボンベ１３には圧力計１３ａが取り
付けられて、内部のヘリウム量が分かるようになってい
る。

【００２９】ヘリウムリークディテクター１４は、それ
ぞれ開閉バルブ２５ａ，２５ｂ，２５ｃを備えた３個の
接続配管２６ａ，２６ｂ，２６ｃを介して、３個のチャ
ンバ１２に接続されており、チャンバ１２内の空間部１
９ａ，１９ｂで形成される密閉空間部内におけるヘリウ
ムガスの有無およびその量を検出する。また、このヘリ
ウムリークディテクター１４は、吸引機能も備えてお
り、ヘリウムガス検出の際、密閉空間部内を排気するこ
とによって減圧し、より精度の高い検出が行えるように
する。

【００３０】このように構成された漏れ検査装置１０を
用いて、被検査用配管１１のガス漏れ検査を行う場合、
まず、配管１１ｄに、開閉バルブ２４を連結して、被検
査用配管１１とヘリウムボンベ１３を接続するととも
に、配管１１ｂ，１１ｃの開口部をキャップ２７ａ，２
７ｂで閉塞する。ついで、３個のチャンバ１２をそれぞ
れ、配管１１ａと配管１１ｂの接合部分、配管１１ａと
配管１１ｃの接合部分および配管１１ａと配管１１ｄの
接合部分に取り付ける。つぎに、接続配管２６ａ，２６
ｂ，２６ｃをそれぞれチャンバ１２の配管２２ａに接続
して、チャンバ１２内の空間部１９ａ，１９ｂとヘリウ
ムリークディテクター１４を連通させる。

【００３１】その状態で、開閉バルブ２４，２５ａ，２
５ｂ，２５ｃを全て開いた状態にし、ヘリウムボンベ１
３から被検査用配管１１内にヘリウムガスを供給すると
ともに、チャンバ１２の空間部１９ａ，１９ｂ内を減圧
しながら空間部１９ａ，１９ｂ内のヘリウムガスを検出
する。この結果、ヘリウムガスが検出されなかった場合
は、この被検査用配管１１の接合部分には欠陥はないと
判断して、つぎの被検査用配管の検査を行う。

【００３２】前記検査でヘリウムガスが検出された場合
には、開閉バルブ２５ａ，２５ｂ，２５ｃのうち検査す
るチャンバ１２が接続された接続配管の開閉バルブだけ
を開けて、他の２個の開閉バルブは閉じた状態にして、
そのチャンバ１２に被覆された接合部分の検査を行う。
この操作を順次各開閉バルブ２５ａ，２５ｂ，２５ｃを
開閉しながら繰り返すことにより、ガス漏れが生じる接
合部分の特定および漏れるガス量を測定する。

【００３３】このように、本実施形態による漏れ検査装
置１０によれば、チャンバ１２が、被検査用配管１１の
接合部分およびその周囲だけを被覆する大きさにされて
いるため、小さなものですむ。また、被検査用配管１１
に接合部分が複数有れば、そのそれぞれにチャンバ１２
を取り付け、個別に検査をすることができるため、欠陥
のある接合部分を特定することができ、さらに、ヘリウ
ムリークディテクター１４は、ヘリウムガスの有無だけ
でなく、量も測定できるためガス漏れ量の定量化もでき
る。

【００３４】また、空間部１９ａ，１９ｂを減圧して、
接合部分から漏れてくるトレースガスを検出するため、
より精度のよい検査が行えるようになる。さらに、チャ
ンバ１２の被検査用配管１１への取り付けが、被覆部１
６ａと被覆部１６ｂで接合部分を挟むようにして接合部
分とその周辺部の周面、すなわち、被検査用配管１１の
検査部分とその周辺部という被検査用配管１１全体から
見て一部分のみを被覆し、突起２３ａに係合部２３ｂを
係合させるだけであるため極めて容易である。また、そ
の取り外しも、突起２３ａと係合部２３ｂの係合を解除
するだけであるため簡単である。

【００３５】なお、前記実施形態では、被検査用配管１
１にヘリウムボンベ１３を連結し、チャンバ１２の空間
部１９ａ，１９ｂとヘリウムリークディテクター１４を
連通しているが、これを逆にして、被検査用配管１１に
ヘリウムリークディテクター１４を連結し、チャンバ１
２の空間部１９ａ，１９ｂとヘリウムボンベ１３を連通
することもできる。この場合も、前記実施形態による漏
れ検査装置１０と同様の作用効果を奏することができ
る。

【００３６】また、気体流通路２２および配管２２ａ
を、チャンバ１２内を減圧する際の流通路と、チャンバ
１２内にヘリウムガスを供給する際の流通路とで共用し
てもよいし、別途、気体流通路および配管を設けて、チ
ャンバ１２内の減圧と、チャンバ１２内へのヘリウムガ
スの供給を別々に行うようにしてもよい。さらに、チャ
ンバ１２を被検査用配管１１に取り付ける際、シールゴ
ム２１ａ，２１ｂが当接する被検査用配管１１の外周面
に、ゴムテープ等からなるシールを巻いておくこともで
きる。これによって、チャンバ１２の空間部１９ａ，１
９ｂの密閉がさらに確実なものになる。

【００３７】また、被検査用配管１１内にヘリウムガス
を供給する際、被検査用配管１１内を排気したのちヘリ
ウムガスの供給をしたり、キャップ２７ａ，２７ｂを外
した状態で、被検査用配管１１内にヘリウムガスを供給
し、被検査用配管１１内にヘリウムガスが充満したの
ち、キャップ２７ａ，２７ｂで被検査用配管１１内を閉
塞したりすることもできる。これによって、被検査用配
管１１内に供給されるヘリウムガスの量が増え、より精
度のよい検査が行えるようになる。

【００３８】図３は、本発明の他の実施形態によるチャ
ンバ３０を示している。チャンバ３０は、一体からなる
円筒状の被覆部３１を備えており、被覆部３１の内周面
における両端側に、それぞれ円周に沿ったリング状の空
気注入凹部３２ａ，３２ｂが設けられている。この空気
注入凹部３２ａ，３２ｂは、被覆部３１の内周面側のリ
ング状の開口部が幅狭に形成され、奥側が広くなった凹
部に形成されている。

【００３９】そして、この空気注入凹部３２ａ，３２ｂ
に、断面形状が略Ω形で弾性を有して伸縮可能なシール
材３３ａ，３３ｂが、その開口側の縁部を、空気注入凹
部３２ａ，３２ｂの幅狭の開口部の内側壁部に係合させ
て抜け止めされた状態で取り付けられている。被覆部３
１の内径は、チャンバ３０が取り付けられる被検査用配
管１１が挿通できる大きさに設定されており、空気注入
凹部３２ａ，３２ｂ内に空気を注入するとシール材３３
ａ，３３ｂが膨張して被検査用配管１１の外周面に密着
するようになっている。したがって、空気注入凹部３２
ａ，３２ｂとシール材３３ａ，３３ｂとで、本発明のシ
ール部が構成される。

【００４０】また、空気注入凹部３２ａ，３２ｂは、被
覆部３１の壁部に設けられた空気注入孔３４によって互
いに連通しており、さらに、空気注入孔３４は外部に延
びる空気注入用配管３５に連通している。したがって、
空気供給装置（図示せず）から供給される空気を、空気
注入用配管３５を介して空気注入凹部３２ａ，３２ｂに
圧入すると、シール材３３ａ，３３ｂは膨張して、シー
ル材３３ａ，３３ｂの内周側の直径が小さくなる。この
チャンバ３０では、被覆部３１内におけるシール材３３
ａ，３３ｂの間の空間部３６が密閉空間部となる。

【００４１】また、被覆部３１における空間部３６を形
成する内周面とその外周面との間には気体流通路３７が
設けられて、その気体流通路３７の外部側の開口部には
気体流通用の配管３７ａが連結されている。

【００４２】このように構成されたチャンバ３０を用い
て、被検査用配管１１の接合部におけるガス漏れ検査を
行う場合、まず、チャンバ３０を３個準備し、その空気
注入凹部３２ａ，３２ｂから空気を抜いた状態にしてお
く。ついで、各チャンバ３０の中心穴にそれぞれ被検査
用配管１１を差込み、その接合部にチャンバ３０を位置
決めする。つぎに、空気供給装置から空気注入凹部３２
ａ，３２ｂに空気を供給して、シール材３３ａ，３３ｂ
を膨張させ、空間部３６を外部から密閉された密閉空間
部にする。

【００４３】そして、図１のように、配管１１ｄとヘリ
ウムボンベ１３を連結するとともに、配管１１ｂ，１１
ｃの開口部をキャップ２７ａ，２７ｂで閉塞し、つい
で、３個のチャンバ３０の配管３７ａにそれぞれ、接続
配管２６ａ，２６ｂ，２６ｃを接続して、チャンバ３０
内の空間部３６とヘリウムリークディテクター１４を連
通させる。そして、前記実施形態と同様の操作をして被
検査用配管１１の漏れ検査を行う。

【００４４】このチャンバ３０では、被検査用配管１１
への取り付けが、チャンバ３０の中心穴に被検査用配管
１１を差込み、空気注入凹部３２ａ，３２ｂに空気を供
給するだけであるため、さらに簡単になるとともに、空
間部３６の密閉も確実になる。それ以外の作用効果につ
いては、前記実施形態で用いられるチャンバ１２と同様
である。

【００４５】なお、本発明による漏れ検査装置は、前記
実施形態で示した被検査用配管１１のような被検査用配
管だけでなく、種々の形状の被検査用配管にも使用可能
である。例えば、図４に示したように、太さの異なるゴ
ムホース３８と配管３９を金具によってかしめて接合し
た接合部分４０や、Ｔ形の交差部分が接合部分４１にな
った被検査用配管４２にも用いることができる。

【００４６】この場合、チャンバの被覆部４３を、両端
部の中心穴の直径が異なるものにしたり、Ｔ形の密閉空
間部を有する被覆部４４を使用したりする等、被検査用
配管４２等の形状に合った被覆部４３，４４等を数種類
予め用意しておくことにより、どのような被検査用配管
であっても検査が可能になる。また、被検査用配管とし
ては、溶接、かしめにより複数の配管が連結された配管
の他、ろう付け、くい込み継手、フランジ継手等によっ
て複数の配管が連結された配管等、種々の接合部分を有
する配管があるがどのような方法による接合部分を有す
る配管でも本発明は使用可能である。

【００４７】また、前記実施形態では、被検査用配管１
１，４２に対するガス漏れ検査の例を示しているが、検
査に使用されるワークは、配管に限定されず、ワークの
一部に当接し、その部分を覆うことでチャンバが形成で
きるものであれば適用できる。例えば、下記に記載した
もの等である。

【００４８】図５は、本発明のさらに他の実施形態によ
るチャンバ４５およびチャンバ４５を用いて検査する被
検査用缶４６を示している。チャンバ４５は、全体形状
がリング状に形成され、図６に示すように、断面形状
は、縦片４７と横片４８からなる略Ｌ字状になってい
る。縦片４７の上端内周側と横片４８の内周側上面に
は、それぞれ円周に沿って突条４７ａ，４８ａが突設さ
れ、その突条４７ａ，４８ａの頂部にそれぞれ係合溝４
７ｂ，４８ｂが設けられている。そして、係合溝４７
ｂ，４８ｂにそれぞれリング状のシールゴム４７ｃ，４
８ｃが先端部を外部に突出させた状態で嵌合している。

【００４９】また、縦片４７の下部側における内周面と
外周面との間には、気体流通路４９が設けられて、その
気体流通路４９の外部側の開口部には、ヘリウムリーク
ディテクター１４に接続された配管４９ａが連結されて
いる。被検査用缶４６はペール缶からなっており、筒状
の本体４６ａの下端縁部に底部４６ｂの周縁部を重ねて
巻き込むようにして接合部分４６ｃが形成されている。
なお、本体４６ａの上端には、本体４６ａの開口を密閉
可能な蓋部（図示せず）が着脱自在に取り付けられてい
る。また、この蓋部には配管を介してヘリウムボンベ１
３に連通可能な通気孔が設けられている。

【００５０】このように構成されたチャンバ４５を用い
て被検査用缶４６のガス漏れ検査を行う場合、まず、被
検査用缶４６の底部側をチャンバ４５内に挿入し、被検
査用缶４６の底部４６ｂをシールゴム４８ｃに接触さ
せ、本体４６ａの外周面をシールゴム４７ｃに接触させ
る。ついで、配管４９ａを介して、チャンバ４５の内面
と被検査用缶４６における接合部分４６ｃの周囲の面と
で囲まれる空間部内を排気して減圧する。

【００５１】これによって、被検査用缶４６はチャンバ
４５内に吸引されるようになり、被検査用缶４６とチャ
ンバ４５の組み付けがより強固になって、前記空間部が
密閉状態になる。その状態で、被検査用缶４６内にヘリ
ウムガスを供給することによりガス漏れの検査を行うこ
とができる。このチャンバ４５では、缶のように、円筒
状の周面と、底部や蓋部との間に被検査部分があるもの
の漏れ検査ができる。それ以外の作用効果については、
前述した実施形態によるチャンバ１２，３０と同様であ
る。また、ヘリウムボンベ１３とヘリウムリークディテ
クター１４に接続する配管を適宜変更可能にできること
も前記実施形態と同様である。

【００５２】図７は、チャンバ４５の変形例によるチャ
ンバ５０を示している。チャンバ５０は、有底筒状の皿
形形状をしており、底部５０ａの中央には多孔物質から
なる円板状の支持台５１が設けられている。それ以外の
部分の構成については、チャンバ４５と同様である。し
たがって、同一部分に同一符号を記している。このチャ
ンバ５０も被検査用缶４６のような缶状のワークの検査
を行うことができ、この場合、底部５０ａに支持台５１
が設けられているため、被検査用缶４６の設置が安定し
たものになる。また、被検査部分の密閉は、被検査用缶
４６の周面とチャンバ５０のシールゴム４７ｃとの接触
および被検査用缶４６とチャンバ５０の間の空間部の減
圧によって行われる。それ以外の作用効果については、
チャンバ４５と同様である。

【００５３】なお、図２に示したチャンバ１２および上
記チャンバ４６，５０では、シール部にシールゴム２１
ａ，２１ｂ，４７ｃ，４８ｃを用いているが、このシー
ルゴム２１ａ，２１ｂ，４７ｃ，４８ｃに代えて、図３
に示したチャンバ３０のシール材３３ａ，３３ｂを使用
することもできる。これによって、エア等を注入するこ
とによって伸縮可能なシール部が構成されより密着性を
高める構造にすることができる。

【００５４】また、本発明でワークとして使用されるも
のは、配管、缶以外のものでもよく、被検査部分の対象
も、接合部分に限らず、薄肉になった部分や曲げ加工に
よって割れが生じ易くなった部分、および、射出成形品
でヒケが生じそうな部分や「す」が生じそうな部分への
適用が可能である。さらに、排気の通路とトレースガス
の通路を共用したり別にする等、種々の構成を適宜変更
可能にできることは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態に係る漏れ検査装置の概
略図である。

【図２】 チャンバを示す分解斜視図である。

【図３】 他の実施形態によるチャンバを示す一部切欠
き斜視図である。

【図４】 被検査用配管の変形例を示す概略図である。

【図５】 さらに他の実施形態によるチャンバと被検査
用缶を示す斜視図である。

【図６】 図５のチャンバの内周側を示す一部切欠き斜
視図である。

【図７】 図５のチャンバの変形例を示す一部切欠き斜
視図である。

【符号の説明】

１０…漏れ検査装置、１１，４２…被検査用配管、１１
ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，２２ａ，３７ａ，３９，
４９ａ…配管、１２，３０，４５，５０…チャンバ、１
３…ヘリウムボンベ、１４…ヘリウムリークディテクタ
ー、１６，１６ａ，１６ｂ，３１，４３，４４…被覆
部、１９ａ，１９ｂ，３６…空間部、２１ａ，２１ｂ，
４７ｃ，４８ｃ…シールゴム、２２，３７，４９…気体
流通路、２４，２５ａ，２５ｂ，２５ｃ…開閉バルブ、
２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…接続配管、３２ａ，３２ｂ…
空気注入凹部、３３ａ，３３ｂ…シール材、３４…空気
注入孔、３５…空気注入用配管、３８…ゴムホース、４
０，４１，４６ｃ…接合部分、４６…被検査用缶。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】内部側を密閉空間部にしたワークの外面に
   おける被検査部分の周囲にシール部を密着させた状態で
   前記被検査部分を被覆し、前記被検査部分の周囲に密閉
   空間部を形成するチャンバと、 前記ワークおよび前記チャンバの一方に接続手段を介し
   て接続されて同一方にトレースガスを供給するトレース
   ガス供給装置と、 前記ワークおよび前記チャンバの他方に接続手段を介し
   て接続されて同他方に漏れてくるトレースガスを検出す
   る検出装置とを備えたことを特徴とするワークの漏れ検
   査装置。
2. 【請求項２】前記トレースガスの検出が行われるチャン
   バの密閉空間部またはワークの密閉空間部を減圧するた
   めの減圧装置を設けた請求項１に記載のワークの漏れ検
   査装置。
3. 【請求項３】ワークの外面における被検査部分の周囲に
   着脱自在に取り付け可能で、前記被検査部分の周囲に空
   間部を形成するための被覆部と、 前記被検査部分の周囲に形成される空間部を密閉するた
   めに、前記被覆部における前記ワークとの接触部側に設
   けられ、前記ワークの外面に密着可能なシール部と、 前記被覆部の内部と外部を連通させる気体流通路とを備
   えたワークの漏れ検査装置用チャンバ。
4. 【請求項４】前記シール部に空気注入部を設け、この空
   気注入部に空気を注入することにより、空気圧を利用し
   て、前記ワークの外面と前記被覆部との間の空間部を密
   閉するようにした請求項３に記載のワークの漏れ検査装
   置用チャンバ。
5. 【請求項５】前記被覆部を略円筒状体で構成するととも
   に、その円筒状体を軸線方向に沿って複数個に分割し、
   かつ、そのそれぞれの分割面にガス漏れ防止用のシール
   部を設けた請求項３または４に記載のワークの漏れ検査
   装置用チャンバ。
6. 【請求項６】内部側を密閉空間部にしたワークの外面に
   おける被検査部分の周囲に、シール部を備えたチャンバ
   を密着させて密閉空間部を形成する工程と前記ワークの
   密閉空間部および前記チャンバの密閉空間部の一方にト
   レースガスを供給する工程と、 前記ワークの密閉空間部および前記チャンバの密閉空間
   部の他方に前記被検査部分を通過して漏れてくるトレー
   スガスを検出する工程とからなるワークの漏れ検査方
   法。
7. 【請求項７】前記ワークの密閉空間部および前記チャン
   バの密閉空間部の他方に漏れてくるトレースガスを検出
   する際に、前記トレースガスを検出する前記ワークの密
   閉空間部および前記チャンバの密閉空間部の他方を減圧
   する請求項６に記載のワークの漏れ検査方法。