JP6742424B2 - オンライン密封検知装置、多区画密封室型処理設備及びその方法 - Google Patents
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Description
オンライン密封検知装置であって、二つの部品のドッキング面に設置され、
前記二つの部品のドッキング面に取り付けられたシールリングと、
前記シールリングの内部に円周方向に設置された少なくとも一つの検出空間と、
前記検出空間の内部に連続した吸排気ユニットと、
この吸排気ユニットに設けられた少なくとも一つの検知ユニットとを含み:
該検知ユニットはプロセッサに電気的に接続されており、前記吸排気ユニット内の気体圧力値及び/またはガス濃度値の検知に用いられ、気体圧力値及び/またはガス濃度値がプロセッサに伝達される。
そして検知ユニットによって吸排気ユニット内の気体圧力値及び/またはガス濃度値を検知し、プロセッサが分析或いは判断をする。それによって素早く前記密封区画室に漏れ現象が存在するかを知り、そして、密封区画室が真空状態にあるかどうかを知ることができる。
最適な方案として、上記の吸排気ユニットに吸気制御部及び/または排気制御部を設け、それぞれをプロセッサに電気的に接続する。前記プロセッサは前記気体圧力値及び/またはガス濃度値を受信すると、前記プロセッサ中の設定値と比較し、その比較結果に応じて前記吸気制御部と排気制御部を制御する。そして前記吸排気ユニットを通じて前記検出空間にガスを充填及び/またはガスを放出させる。
これにより、密封室内の真空度の適時及び自動的な調整を実現することができる。
これによれば、ガスの通過に便利であり、密封状態の検出にも便利である。
最適な方案として、前記の吸気制御部及び排気制御部を電磁バルブ及びガスバルブとすることがある。
吸気及び排気の自動化的な制御に便利である。
前記の検知ユニットが圧力及び又は濃度を検出するセンサーを備える。
圧力及び濃度の検出を実現できる。
これにより、装置内の真空度の変化を外部に知らせることができる。
本発明の多区画密封室型処理設備は上記のオンライン密封検知装置を採用しているので、オンライン密封検知装置が発揮する技術的な効果を共有している。
これにより、オンライン密封検知装置を直接にグローブボックスに応用することができる。
1)二つの密封区画室のドッキング面にシールリングを取り付け、シールリング内に円周方向に少なくとも一つの検出空間を設ける。
2)検出空間に接続する吸排気ユニットを設置し、且つ吸排気ユニットに少なくとも一つの検知ユニットを設ける。検知ユニットの検知ユニットをプロセッサに電気的に接続する。検知ユニットは吸排気ユニット内の気体圧力値及び/またはガス濃度値を検出し、その値をプロセッサに伝達する。
これにより、密封区画室の真空度の適時及び自動的な調整を実現することができる。
本発明の目的を達するために、図1−3に示すように、本発明のオンライン密封検知装置では、二つの密封区画室11がドッキング面12を備えて真空設備1を構成している。
吸排気ユニット3に検知ユニット4が設置され、該検知ユニット4がプロセッサに電気的に接続される。例えば、検知ユニット4に圧力センサー41を採用し、該吸排気ユニット内のガス圧力値の検出に用いる。
別の実施例では、検知ユニット4が同時に圧力センサー41及び濃度センサー42を採用し、同時に吸排気ユニット内のガス濃度値及び/またはガス濃度値の検出に用いられることがある。そして検知ユニット4によって気体圧力値及び/またはガス濃度値をプロセッサ5に伝達する。
S1:二つの密封区画室11のドッキング面12にシールリング2が取り付けられる。シールリング2の内部には円周方向の検出空間21が設けられている。;
S2:検出空間21に吸排気ユニット3が接続される。吸排気ユニット3には検知ユニット4が設置され、検知ユニット4をプロセッサ5へ電気的に接続させる。検知ユニット4は吸排気ユニット3の中のガス圧力値及び/またはガス濃度値を検出し、これをプロセッサ5に伝達する。
すなわち、吸排気ユニット3に吸気制御部31及び排気制御部32を設け、それぞれプロセッサ5に電気的に接続する。該吸気制御部31及び排気制御部32には電磁バルブ及びガスバルブを設ける。
そして、前記プロセッサ5はガス圧力値及び/またはガス濃度値を受信すると、プロセッサ5に設定した値と比較する。そして、プロセッサ5は、比較した結果に応じて吸気制御部31及び排気制御部32を制御し、吸排気ユニット3を通じて検出空間21にガスを充填したり、ガスを抜いたりする。
そして検知ユニットによって吸排気ユニット内の気体圧力値及び/あるいはガス濃度値を検出してから、プロセッサが分析と判断を始め、それによって素早く密封区画室に漏れ現象が存在するかどうかを知り、密封区画室が真空の状態にあるかどうかを知ることができる。
上記の内容を基礎にして、前記吸排気ユニットに吸気制御部31及び排気制御部32を設け、これらをそれぞれプロセッサ5に電気的に接続させる。該吸気制御部31及び排気制御部32は具体的には電磁バルブ及びガスバルブである。該プロセッサ5がガス圧力値及び/またはガス濃度値を受信すると、プロセッサ5は設定値と比べ、その結果によって吸気制御部31及び排気制御部32を制御して吸排気ユニット3を通じ検出空間21にガスを充填あるいはガスの放出を行う。
上記の内容を基礎にして、上記のプロセッサ5を警報ユニット6に電気的に接続し、プロセッサ5がガス圧力値及び/またはガス濃度値を受信すると、設定によって警報ユニット6を制御して外部に警報を出すようにする。該警報ユニット6は具体的に音響光学警報器であっても良い。この実施例では、多区画密封室型処理設備の真空度の変化を外部へ提示することができる。
11 密封区画室
12 ドッキング面
2 シールリング
21 検出空間
3 吸排気ユニット
31 吸気制御部
32 排気制御部
4 検知ユニット
41 圧力センサー
42 濃度センサー
5 プロセッサ
6 警報ユニット
Claims (8)
- オンライン密封検知装置であって、二つの部品のドッキング面に設置され、
前記二つの部品のドッキング面に取り付けられたシールリングと、
前記シールリングの内部に円周方向に設置された少なくとも一つの検出空間と、
前記検出空間の内部に接続した吸排気ユニットと、
この吸排気ユニットに設けられた少なくとも一つの検知ユニットとを含み:
該検知ユニットはプロセッサに電気的に接続されており、前記吸排気ユニット内の気体圧力値及び/またはガス濃度値の検知に用いられ、気体圧力値及び/またはガス濃度値がプロセッサに伝達され、
前記吸排気ユニットに吸気制御部及び/または排気制御部が設置され、これらのそれぞれが前記プロセッサに電気的に接続され、前記プロセッサが前記気体圧力値及び/またはガス濃度値を受信すると、前記プロセッサ中の設定値と比較し、そして前記プロセッサが、前記の比較結果によって前記ドッキング面の漏れ現象の存在を検知し、前記吸気制御部と前記排気制御部を制御して、前記吸排気ユニットを通じて前記検出空間にガスを充填及び/またはガスを放出する
ことを特徴とするオンライン密封検知装置。 - 前記吸排気ユニットが管路であることを特徴とする請求項1に記載したオンライン密封検知装置。
- 前記吸気制御部及び前記排気制御部が電磁弁或いは空気弁であることを特徴とする請求項1に記載したオンライン密封検知装置。
- 前記検知ユニットが圧力センサー及び/または濃度センサーを含むことを特徴とする請求項1に記載したオンライン密封検知装置。
- 前記プロセッサは警報ユニットに電気的に接続され、前記プロセッサは前記気体圧力値及び/またはガス濃度値を受信すると、設定値に基づいて前記警報ユニットを制御して外部に通報を出すことを特徴とする請求項1に記載したオンライン密封検知装置。
- 多区画密封室型処理設備であって、少なくとも二つの相互に接続された真空装置を含み、前記真空装置は密封区画室を有し、前記少なくとも二つの真空装置の部品のドッキング面に請求項1〜5のいずれか一つに記載するオンライン密封検知装置が設置されていることを特徴とする多区画密封室型処理設備。
- 前記真空装置がグローブボックスであることを特徴とする請求項6に記載した多区画密封室型処理設備。
- オンライン密封検知方法であって、以下のステップを含む:
1)二つの部品のドッキング面にシールリングを取り付け、そして前記シールリングの中に円周方向で少なくとも一つの検出空間を設ける。
2)前記検出空間に接続する吸排気ユニットを設置し、且つ前記吸排気ユニットに少なくとも一つの検知ユニットを設け、前記検知ユニットをプロセッサに電気的に接続させ、前記検知ユニットが前記吸排気ユニット内の気体圧力値及び/またはガス濃度値を検出し、その値を前記プロセッサに伝達させる。
3)前記吸排気ユニットに吸気制御部及び/または排気制御部を設け、これらはそれぞれに前記プロセッサに電気的に接続され、前記プロセッサは前記気体圧力値及び/またはガス濃度値を受信すると、プロセッサ内の設定値と比較し、そして前記プロセッサが、比較結果によって前記ドッキング面の漏れ現象の存在を検知し、前記吸気制御部と前記排気制御部を制御して、前記吸排気ユニットを通じて前記検出空間にガスを充填及び/またはガスを放出する。
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