JPH0361832A - ガス配管リーク検知方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体材料ガス或いは危険有害ガス等の配管接
続継手部のリーク検知方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種のガス配管リーク検知方法は第３図に示す
ように、ボンベボックス１から配管パイプ２により製造
装置４まで配管を行う際に用いる配管継手部３より上方
の天井部分に天井付近のガスを吸入する吸入器６が設置
されており、吸入器６からのガスをガス検知器５に導入
してガス漏れを検出していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のリーク検知方法では、配管継手部３から
リークしたガスが大気により希釈されるため、高感度の
ガス検知器５が必要となる。また、リークしたガスは希
釈されているため、ガス検知器５で検知した時点では、
作業フロア−７内にリークガスが空調ダクト８により送
り込まれて全体に充満してしまう場合があり、ガスの種
類によっては危険性があるという欠点があった。

本発明の目的は前期課題を解決したガス配管リーク検知
方法を提供することにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来のガス配管リーク検知方法に対して、本発
明は配管接続継手部を外気から遮断してそのガスリーク
を検知するという相違点を有する。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するため、本発明に係るガス配管リーク
検知方法は、半導体材料ガス或いは、危険有害ガスを取
扱う配管ラインの配管接続継手部を密閉ケースで外気か
ら遮断して気密に収容し、配管接続継手部から該密閉ク
ース内にリークするガスをガス検知器により検出するも
のである。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図（ａ）
は第１図の■部拡大断面図、第２図（ｂ）は密閉ケース
を開いた状態を示す正面図、第２図（Ｃ）は密閉ケース
を閉じた状態を示す側面図である。

第１図において、１はボンベボックス、２は配管パイプ
、３は配管パイプ２の途中に設けた配管継手部、４は製
造装置、５はガス検知器、６は天井に設けた吸入器であ
る。また、本発明に係る配管継手部３は２分割の密閉ケ
ース９ａ、９ｂ内に収納してあり、密閉ケース９ａ、９
ｂの隙間はゴムパツキン１０により気密にシールされて
いる。また、一方の密閉ケース９ａにはガス吸入口９Ｃ
が設けてあり、ガス吸入口９Ｃは吸引パイプ１１を介し
てガス検知器５に連通しである。１２は２つの密閉ケー
ス９ａ、９ｂ間を締結する金具である。

本発明は図に示すように、半導体材料ガス或いは危険有
害ガスを取扱う配管パイプ２の途中に設けた配管継手部
３を密閉ケース９ａ、９ｂにて外気から遮断して気密に
収容し、密閉ケース９ａ。

９ｂ内に配管継手部３からリークしたガスを吸引パイプ
１１を介して吸引し、ガス検知器５にてガスのリークを
検知するものである。

本発明によれば、リークガスを大気に放出することなく
、密閉した状態で検知するため、リークガスが空調ダク
ト８により作業フロア−７内に送り込まれることがなく
、作業フロア−７内での作業の安全性が向上できる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は漏出ガスを大気にリークさ
せることなく、敏速に検出することで安全な処理ができ
、作業の安全性を向上できる。また、従来の方法では高
感度検知器が必要であったが、本発明の方法では一般的
な標準検知器で充分検知でき、コストダウンを図ること
ができる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図（ａ）
は第１図の■部拡大断面図、第２図（ｂ）は密閉ケース
を開いた状態を示す正面図、第２図（Ｃ）は密閉ケース
を閉じた状態を示す側面図、第３図は従来例を示す構成
図である。 １・・・ボンベボックス　　２・・・配管パイプ３・・
・配管継手部　　　　４・・・製造装置５・・・ガス検
知器　　　　６・・・吸入器７・・・作業フロア−８・
・・空調ダクト９ａ、９ｂ・・・密閉ケース

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体材料ガス或いは、危険有害ガスを取扱う配
   管ラインの配管接続継手部を密閉ケースで外気から遮断
   して気密に収容し、配管接続継手部から該密閉ケース内
   にリークするガスをガス検知器により検出することを特
   徴とするガス配管リーク検知方法。