JPH03117800A - 危険ガス容器保管庫 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は危険ガス容器保管庫に関し、具体的には半導体
製造用ガスのごとき危険ガス容器保管庫に関するもので
、特に安全対策（対爆発・火災・毒性ガス漏えい等）の
向上を目指したものである。

（ロ）従来の技術 従来方式のシリンダーキャビネット（危険ガス容器）を
第３図に示す。３がシリンダーキャビネットである。シ
リンダ−５の中に危険ガスが充填されている。そのガス
はガス配管１により半導体製造装置へと導かれる。実際
のシリンダーキャビネットでは、シリンダーキャビネッ
ト内に多数の部品（例：空気作動弁、配管継手、手動弁
、逆上弁、圧力計、ガスフィルター、その池）が入って
おり、それらの部品１個１個が全てガス漏えいの危険性
を持っている。もちろんシリンダーの口金部６らその危
険性を持っている。従来の方式ではシリンダーキャビネ
ット３の外壁（第３図ではシリンダーキャビネットの上
部壁）に排気口２を設け、シリンダーキャビネット内の
気体（空気もしくは窒素ガスのごとき安全な不活性ガス
など）を軽く排気する程度である。吸気口４からは、外
気（空気）を吸う。あるいは、吸気口４のかわりに配管
を接続し、安全な不活性ガスなどを供給する場合らある
。シリンダーキャビネット３内部でガス漏えいが発生し
た場合、その漏えいガスを検出する為に排気口２の所に
専用の漏えいガス検出装置７を設ける場合が多い。

（ハ）発明が解決しようとする課題 危険を回避、あるいは最小限に止めるためには、ガス漏
えいが発生した場合、漏えいガスを高精度で早く検出し
、人間及び装置に警報（音や光や電気信号）を発して素
早く対処する必要がある。漏えいガスの検出には、専用
の検出装置が市販されている。

従来の方式の第３図シリンダーキャビネット３では、シ
リンダーキャビネット３内でガス漏えいが発生した場合
、排気されているとはいえ、軽い排気であること、また
吸気口４等により気体が供給されていることより、シリ
ンダーキャビネット３内に通常存在している気体（空気
らしくは安全な不活性ガスなど）により漏れた危険ガス
が大幅に希釈されてしまう。希釈されると、当然漏えい
ガス検出装置７による漏えいガスの検出がしにくくなる
。つまり、ガス漏えい発生の発見・対処がそれだけ遅く
なる。

本発明は、この危険ガスのガス漏えい検出を、従来方式
に比べて高精度・高速で行い、ガス漏えい発生の発見・
対処をより素早く行って、危険状態（爆発・火災・毒性
ガス漏えい等）をより早くなくせる状況を作り出すこと
を目的としたものである。

（ニ）課題を解決するための手段及び作用本発明は、危
険ガスの容器を保管する密閉保管庫本体と、容器のガス
漏れを検出する漏えいガス検出手段と、保管庫本体内の
気体を排気するための真空ポンプと、この真空ポンプと
保管庫本体との間に接続され、真空ポンプの排気作動中
は開閉され、排気終了後は閉塞され、保管庫内を真空状
態に保つバルブとにより構成されることを特徴とする危
険ガス容器保管庫である。

すななわち、本発明は保管庫本体にバルブを介して真空
ポンプを接続することによって、保管庫本体内を真空状
態にして漏えいガスが空気や窒素ガスなどにより希釈さ
れるのを防ぐことによって漏えいガス検出手段による漏
えいガスの検出を、従来より高精度・高速で行えるよう
にするものである。

この発明において、真空ポンプ及びバルブは、通常この
分野で使用されているものが採用できるが、前者につい
ては、０．１〜１０ｘ′Ｔ程度の保管庫内を約０．０１
気圧程度の真空度（減圧度）にできるものが好ましく、
後者については、１！磁開閉バルブ、手動開閉バルブな
どが好ましいものとして挙げられる。

この発明に係る危険ガス容器保管庫で適用できる危険ガ
スとしては、モノシラン（ＳｉＨ，）　、アンモニア（
ＮＨｌ）、フォスフイン（ＰＨ，）、ジボラン（Ｂ、Ｉ
（、）のごときらのが挙げられる。なお、これらのガス
は半導体製造における薄膜形成工程のゲート絶縁膜形成
、眉間絶縁膜形成、保護膜形成などに使用されている。

これらの危険ガスの漏えいを検出する漏えいガス検出手
段としては、特に限定されるものではなく、各危険ガス
の検出手段として通常用いられているものが適用できる
。

（ホ）実施例 以下図に示す実施例に基づいてこの発明を詳述する。な
お、これによってこの発明が限定されろものではない。

漏えいガスが希釈されるのを防ぐことを実現する危険ガ
ス容器保管庫としてのシリンダーキャビネット３を第１
図に示す。ここでは第３図の様な排気口２及び吸気口４
は存在せず、漏えいガスが希釈されるのを防止するため
にシリンダーキャビネット３に、配管１０によりバルブ
８及び真空ポンプ９が接続されており、シリンダーキャ
ビネット３の内部を真空に保つ様にする。即ち、シリン
ダーキャビネット３の内部に、ガス漏えいが発生した場
合に漏えいガスを希釈することになる気体（空気らしく
は安全な不活性ガスなど）が存在する状態（初期状態）
から、バルブ８を開け、真空ポンプ９によりシリンダー
キャビネット３の内部の気体を排気し、シリンダーキャ
ビネット３の内部が真空状態になってからバルブ８を閉
じ、ガス漏えいが発生しても、漏えいガスを希釈する気
体（空気もしくは安全な不活性ガスなど）が存在しない
ために漏えいガスが希釈されない、という状況を作る。

これにより、漏えいガスの検出が従来より高精度・高速
で行える。

真空ポンプ９は、次の様な働きをする。即ち、危険ガス
の容器としてのシリンダー５の中に入っている半導体製
造用ガスが半導体製造に伴い消費されてなくなった場合
、第２図のごとく空になったシリンダー５を、新しくガ
スか一杯に充填されたシリンダー［例えば１００気圧の
シラン（ＳｉＨ４）を充填した、内容積的４７（のボン
ベ］と交換する。

交換後、シリンダーキャビネット３の内部は、当然気体
（空気など）で満たされている。この気体は、ガス漏え
いが万一発生した場合に漏えいガスを希釈してしまうの
で、この気体を排気する為に真空ポンプ９を使用する。

バルブ８は、真空ポンプ９でシリンダーキャビネット３
の内部の気体を排気し終わった後、バルブ８を閉じてシ
リンダーキャビネット３の内部を真空状態（例えば０．
１気圧）に保持する動きをする。もしバルブ８が存在し
ない場合は、シリンダーキャビネット３の内部が、真空
ポンプ９１こより常時排気されていることになり、万一
ガス漏え０が発生した場合でら漏えいガスが真空ポンプ
９に引かれて排気されてしまい、漏えいガス検出装置７
（例えば、ヤナコ計測・製鉄化学課ＭＡＰ−ＬＯＯＭ。

他の例として理研計器製ＧＤ−に３４が挙げられる）の
所に漏えいガスが到達出来ず、万一ガス漏えいが発生し
てらそれを検出することかできなくなってしまう。

シリンダーキャビネット３は、シリンダー５やその数多
数の部品（例：空気作動弁、配管継手、手動弁、逆止弁
、圧力計、ガスフィルター、その池）を収納・＠管する
と同時に、シリンダーキャビネット３の外部の気体（空
気など）がシリンダーキャビネット３の内部に人ってこ
ない様に密閉する働きも持つ。

従来の技術では、半導体製造に使用される各種危険ガス
（爆発、火災、毒性ガスなど）がシリンダーキャビネッ
ト３（第３図）の内部で漏えいした場合、シリンダーキ
ャビネット３内部に既に存在している気体（空気らしく
は安全な不活性ガスなど）により漏えいガスが希釈され
、少量の漏えいは検出できないが、上記保管庫、つまり
シリンダーキャビネット３では漏えＬ）ガスを希釈する
気体かシリンダーキャビネット３の内部に存在しないの
で漏えいガスが希釈されないため従来の方法では検出不
可能であった少量の漏えいをも漏えいガス検出装置７て
検出可能となり、それだけ従来より早く危険状態が発見
でき、安全性が高まるという効果がある。

（へ）発明の効果 この発明によれば、保管庫本体内を真空状態にして漏え
いガスを検知できるようにしているので、漏えいガスの
検知が、従来より高精度で、かつ高速度に可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すシリンダーキャビネッ
トの斜視図、第２図はそのシリンダーキャビネットの動
作の一例を示すフローチャート、第３図は従来例を示す
第１図相当図である。 ３・・・・・・シリンダーキャビネット、５・・・・・
・シリンダー ７・・・・・・漏えいガス検出手段、 ８・・・・・・バルブ、 ９・・・・・・真空ポンプ。 １ 図 １丁 図 第２１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、危険ガスの容器を保管する密閉保管庫本体と、容器
   のガス漏れを検出する漏えいガス検出手段と、保管庫本
   体内の気体を排気するための真空ポンプと、この真空ポ
   ンプと保管庫本体との間に接続され、真空ポンプの排気
   作動中は開閉され、排気終了後は閉塞され、保管庫内を
   真空状態に保つバルブとにより構成されることを特徴と
   する危険ガス容器保管庫。