WO2013038956A1 - ガス検知システム及びガス検知方法 - Google Patents

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WO2013038956A1
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housing
detector
sampling tube
exhaust line
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Inventor
松本　賢治
Original Assignee
東京エレクトロン株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
    • G01M3/229—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell

Definitions

  • the present invention relates to a gas detection system and a gas detection method.
  • the gas detector when the gas detector is installed away from the gas leakage source, the leaked gas is decomposed by reaction with moisture contained in the air before reaching the gas detector, and the gas detector supports it. In some cases, the leakage could not be detected because the substance changed to a non-existent substance or a sufficient amount of gas that could be detected could not reach the gas detector. For this reason, the gas detector needs to be installed in the vicinity of the gas generation source, that is, in the housing that houses the equipment that uses the gas.
  • the present invention provides a gas detection system and a gas detection method capable of detecting leakage of gas from a gas using device with high sensitivity even when the gas detector is installed apart from the gas using device, in view of the problems of the above-described conventional technology. For the purpose.
  • the present invention includes an airtight housing that houses a device that performs at least one of supply, use, and exhaust of the first gas inside, A second gas supply line connected to the housing and supplying a second gas that is not reactive with the first gas into the housing; An exhaust line for exhausting the inside of the housing; A gas detection system comprising: a gas detector connected to the exhaust line via a sampling tube and capable of detecting the first gas.
  • the gas detection system of the present invention it is possible to detect leakage of gas from the gas using device with high sensitivity even when the gas detector is installed apart from the gas using device.
  • the gas detection system according to the present embodiment has airtightness, and a housing that houses a device that supplies the first gas therein or a device that uses and / or exhausts the first gas. Has a body. Furthermore, a second gas supply line that is connected to the casing and that supplies a second gas that is not reactive with the first gas into the casing, and an exhaust line that exhausts the casing. And has.
  • the gas detection system includes a gas detector connected to the exhaust line via a sampling tube and capable of detecting the first gas.
  • an airtight casing 10 and an exhaust line 11 connected to the casing 10 and exhausting the inside of the casing 10 are arranged.
  • a device that supplies the first gas or a device that uses and / or exhausts the first gas (hereinafter, also simply referred to as a device) 12 is installed.
  • a device that uses and exhausts the first gas is described as an example of the device 12. Therefore, the device 12 is connected to the first gas supply line 13 and the first gas exhaust line 14.
  • these lines are appropriately provided depending on the type of equipment installed in the housing.
  • the device 12 may be a device that performs at least one of supply, use, and exhaust of the first gas.
  • the device 12 when the device 12 is a “device that supplies the first gas”, the device 12 may be connected to the first gas supply line 13 or may be the first gas supply line 13 itself. A first gas is supplied. In this case, the device 12 may not include the first gas exhaust line 14.
  • the device 12 is “a device that uses and exhausts the first gas”
  • the device 12 is connected to the first gas supply line 13 and the first gas exhaust line 14 as shown in FIG.
  • the first gas supplied from the first gas supply line 13 is used, and the used first gas is exhausted via the first gas exhaust line 14.
  • the device 12 when the device 12 is “a device that uses or exhausts the first gas”, the device 12 is connected to the first gas supply line 13 or the first gas exhaust line 14, and the first gas The first gas supplied from the supply line 13 is used, or the used first gas is exhausted via the first gas exhaust line 14. In this case, the device 12 may not include either the first gas supply line 13 or the first gas exhaust line 14.
  • the first gas exhaust line 14 is a line that exhausts the first gas, and is distinguished from the exhaust line 11 that exhausts the inside of the housing 10.
  • the housing 10 is connected to a second gas supply line 15 for supplying a second gas that is not reactive with the first gas into the housing 10.
  • a gas detector 17 is installed in the exhaust line 11 via a sampling tube 16.
  • the housing 10 has a size according to the size of the equipment installed therein, and has a strength corresponding to the size, depending on the gas used and the atmosphere in the housing 10. It only needs to be made of a material that can withstand corrosion and has the necessary heat resistance.
  • a material of the housing 10 for example, stainless steel, steel, aluminum, acrylic, or the like generally used in a housing for housing equipment can be used.
  • the housing 10 is schematically represented by a rectangular parallelepiped, but a door for inserting / removing equipment and operation, a flange for providing various incidental facilities, and the like may be installed. it can.
  • a door for inserting / removing equipment and operation a flange for providing various incidental facilities, and the like may be installed. it can.
  • the gas detection system 1 of this Embodiment WHEREIN When the 1st gas used with the apparatus installed in the housing
  • the first gas leaks from the gas supply line 13 and the first gas exhaust line 14, it is preferable to prepare so that the first gas does not leak to the outside.
  • the leaked first gas is exhausted from the exhaust line 11 via the casing 10 from the cylindrical casing 10 ′.
  • the type of the device is not particularly limited, and includes any device that handles the first gas.
  • the device that supplies the first gas include a cylinder filled with the first gas, a gas production apparatus that produces the first gas, and the like.
  • the apparatus for using and / or exhausting the first gas various manufacturing apparatuses using the first gas, for example, a CVD (Chemical Vapor Deposition) apparatus, an ALD (Atomic Layer Deposition) apparatus, an etching apparatus, a baking furnace, etc.
  • CVD Chemical Vapor Deposition
  • ALD Atomic Layer Deposition
  • an analyzer using a first gas a vacuum pump, a circulation pump, a trap facility, an abatement device, and the like can be given.
  • the type of the first gas is not particularly limited, and various gases can be used as the first gas.
  • a gas having a toxic gas and a flammable gas can be mentioned.
  • Specific examples include fluorine-based gases such as boron trifluoride and diborane; silane-based gases such as monosilane and methylsilane; and gasified organometallic compounds.
  • gasified organometallic compounds include alkylamidinate compounds such as amidoaminoalkane manganese compounds, manganese amidinates, nickel amidinates, cobalt amidinates, and copper amidinates; cyclopentadienyl manganese , Methylcyclopentadienyl manganese, ethylcyclopentadienyl manganese, isopropylcyclopentadienyl manganese, cyclopentadienyl nickel, methylcyclopentadienyl nickel, ethylcyclopentadienyl nickel, isopropylcyclopentadienyl nickel, cyclo Pentadienyliron, methylcyclopentadienyliron, ethylcyclopentadienyliron, isopropylcyclopentadienyliron, cyclopentadienylcobalt, methylcyclopentadienylcoba Cyclo
  • the second gas can be used without any particular limitation as long as it is non-toxic and non-flammable and has little influence or danger to the human body and is not reactive with the first gas. It can be selected as appropriate according to the type of the first gas.
  • the non-reactive gas is sufficient if it has a very low reactivity with the first gas, for example, as a trace component (for example, ppm order) that does not affect the output of the gas detector. Those containing a component that reacts with the first gas are not excluded.
  • the first gas is a hydrolyzable gas
  • a dry gas having a low water content can be used as the second gas.
  • an inert gas, dry air (dry air), or the like can be used, but dry air is preferably used from the viewpoint of cost and safety.
  • the degree of drying of the dry gas is selected depending on the reactivity of the first gas, and is not limited, but the dew point is preferably 0 ° C. or lower, and is ⁇ 10 ° C. or lower. Is more preferable, and it is particularly preferably ⁇ 50 ° C. or lower.
  • the second gas can be dry air supplied from dry air equipment installed in the clean room.
  • the dry air supplied from the dry air equipment installed in the clean room is air used in clean rooms in various industrial fields such as semiconductor, medical and food factories, and is particularly preferably low dew point and high cleanliness air.
  • Specific dew points include, for example, dry air having a dew point of ⁇ 50 ° C. to ⁇ 70 ° C. for a factory in the field of secondary battery manufacturing, and ⁇ 90 ° C. or lower for a factory in the semiconductor and liquid crystal fields.
  • the first gas is a combustible gas
  • a gas having a low oxygen content such as an inert gas can be preferably used as the second gas.
  • the supply amount of the second gas is not limited, but when the first gas leaks, the flow rate per hour is such that the first gas does not leak out of the housing 10.
  • the space volume within 10 is preferably 10 times or more.
  • the space volume means a volume obtained by subtracting the volume of the device portion from the internal volume of the housing 10.
  • the flow rate per hour is 15 times or more the space volume in the housing 10.
  • the second gas is supplied to the space between the housing 10 and the device installed in the housing 10.
  • the second gas can be supplied by installing a pipe on a part of the side wall of the housing 10, but it is preferable that the second gas be supplied uniformly into the housing 10.
  • the pipe can be extended to the inside of the housing 10, a diffusion mechanism such as a fan can be provided at the outlet portion of the second gas, or a diffusion plate (baffle plate) can be provided.
  • the gas detector 17 is connected to the housing 10 or the exhaust line 11 via the sampling tube 16 as shown in FIG.
  • the type of the gas detector 17 is not particularly limited, and is appropriately selected depending on the detection target gas, that is, the type of the first gas and the required detection limit value.
  • the gas detector 17 includes a constant potential electrolytic sensor, a diaphragm separation type constant potential electrolytic sensor, a diaphragm galvanic cell sensor, an infrared sensor, a detection tape sensor, a heat A particle-type sensor or the like can be preferably used.
  • the gas detector 17 includes a contact combustion sensor, a new ceramic sensor, a semiconductor sensor, a hot wire semiconductor sensor, a heat conduction sensor, and an infrared sensor. Can be preferably used.
  • the gas detector 17 includes a semiconductor sensor, a hot-wire semiconductor sensor, a constant potential electrolytic sensor, a diaphragm separation type constant potential electrolytic sensor, a diaphragm electrode sensor, an infrared sensor.
  • a sensor, a detection tape type sensor or the like can be preferably used.
  • the gas detector 17 is linked with the first gas supply source, that is, when the gas detector 17 detects the leakage of the first gas, the supply of the first gas can be shut off. It is preferable to be configured. This is because, when the first gas leaks, it is possible to prevent further leakage by blocking the supply when the first gas leaks. Furthermore, when the gas detector 17 detects the leakage of the first gas, a leak detection signal is output to the central control room of the building, and the evacuation broadcast from the building is automatically transmitted by the broadcast facility of the central control room that has received this signal. It may be set to be performed automatically.
  • the type of the sampling tube 16 is not particularly limited, and various tubes can be used. However, it is preferable that the sampling tube 16 has a low reactivity with the first gas and the second gas, and further, a gas, air, and moisture that are difficult to permeate, and pressure resistance. In addition, those having the required heat-resistant temperature are preferable. Specifically, for example, a Teflon (registered trademark) tube, a stainless steel tube, or a copper tube can be preferably used as the sampling tube 16. The length of the sampling tube 16 is not limited, and can be appropriately selected depending on the layout of the apparatus.
  • the first gas has hydrolyzability or is a gas having a low vapor pressure
  • the configuration of the heating mechanism 16a is not particularly limited as long as the inside of the sampling tube 16 can be set to a predetermined temperature.
  • the heating temperature is selected according to the type of the first gas and the heat resistance temperature of the sampling tube 16 and the gas detector 17 and is not limited.
  • the decomposition temperature of the first gas is 30 ° C. or higher. It is preferable to heat to less than.
  • the exhaust line 11 is not particularly limited, and is configured so that the gas in the housing 10 can be exhausted out of the system, as long as it has corrosion resistance, heat resistance, and strength as necessary. It ’s enough.
  • the exhaust line 11 may be a fan such as a sirocco fan or a duct constituted by a duct connected to a blower.
  • the exhaust line 11 is preferably connected to the abatement apparatus before releasing the first gas to the environment.
  • the exhaust amount is selected depending on the supply amount of the second gas and the like, and is not limited.
  • the exhaust gas flow rate is set to 0. It is preferable that it is 5 m / S or more.
  • the amount of exhaust gas from the casing 10 and the second gas supply amount so that the inside of the casing 10 does not become an extreme positive pressure or negative pressure It is preferable to adjust and control so that and become substantially balanced.
  • the first gas is not reactive with the first gas.
  • the gas is purged from the housing 10 and supplied to the gas detector 17. Therefore, even a gas that easily reacts with air or moisture can be supplied to the gas detector 17 without being decomposed. Even if the gas has a low vapor pressure near room temperature, the second gas can be supplied.
  • the gas detector 17 can be purged and supplied to the gas detector 17. Therefore, according to the gas detection system 1 of the present embodiment, the first gas can be accurately detected even if the gas detector 17 and the device that handles the first gas are provided apart from each other. .
  • a gas detection system having a plurality of casings described in the first embodiment will be described.
  • the gas detection system according to the second embodiment includes a plurality of casings each including the second gas supply line and the exhaust line described in the first embodiment. It is a gas detection system provided with the confluence
  • a plurality of housings 10 are arranged, and an apparatus for supplying the first gas or an apparatus 12 for using and / or exhausting the first gas is installed therein. Yes.
  • the apparatus 12 For example, in order from the housing
  • Each can be arranged like a detoxifying device.
  • a first gas supply line 13 and a first gas exhaust line 14 can be provided depending on the equipment.
  • a first gas supply line 13 and a first gas exhaust line 14 can be provided independently for each housing 10.
  • only the first gas exhaust line 14 may be provided.
  • a cylindrical casing 10 ′ is provided in the first gas supply line 13 and the first gas exhaust line 14 outside the casing 10. be able to. Thereby, even when the first gas leaks from these pipes, it can be discharged out of the system via the casing 10 through the exhaust line.
  • Each casing 10 is provided with a second gas supply line 15 so that the second gas can be supplied into the casing 10.
  • each casing 10 is configured so that the gas leakage can be reliably detected regardless of the casing 10.
  • the exhaust line 11 is installed on the downstream side of the portion where the exhaust line 11 is connected (the location where the sampling tube 16 is installed is downstream of the location where the most downstream exhaust line 11 is integrated with the merge line 18). If it is a side, it will not be specifically limited).
  • the first gas when the first gas leaks into the housing 10, the first gas only comes into contact with the second gas, and the exhaust line 11, The gas can be supplied to the gas detector 17 through the merging line 18 and the sampling tube 16.
  • the first gas can be supplied to the gas detector 17 without being decomposed, the first gas can be accurately detected with high sensitivity. Further, even when the first gas is a low vapor pressure gas, it is purged from the housing 10 by the continuously supplied second gas, so that the first gas can be detected by the gas detector 17. It becomes possible.
  • the casing and the pipe connected thereto are arranged in a predetermined section, and the second gas is supplied to the entire section.
  • the second gas since the second gas is supplied to the entire compartment, it is preferable to use dry air as the second gas from the viewpoint of safety (prevention of lack of oxygen) and cost.
  • the second gas is dry air
  • the humidity becomes, for example, about 5% RH to the extent that it does not react with the first gas by an air conditioner or a dehumidifier.
  • it can also be carried out by dehumidifying the inside of the compartment.
  • FIG. 3 shows the schematic diagram.
  • the same members as those in FIG. 2 are given the same numbers.
  • it has the section 31 in which the housing 10 and the like are arranged.
  • the section 31 is provided with a second gas supply line.
  • a device that can dehumidify the compartment such as an air conditioner or a dehumidifier, may be provided instead of the second gas supply line.
  • a plurality of casings 10 and exhaust lines 11 connected to the casings 10 and exhausting the casings 10 are arranged in the partition 31.
  • the exhaust line 11 is integrated with the merging line 18 outside the section 31 and discharged outside the system, but the merging line 18 can also be provided within the section.
  • a device that supplies the first gas or a device 12 that uses and / or exhausts the first gas is installed.
  • the first gas supply line 13 and the first gas exhaust line 14 are appropriately provided depending on the type of equipment installed in the housing 10.
  • the housing 10 is provided with an intake hole 32 for intake of the second gas supplied into the compartment 31.
  • the position at which the intake hole 32 is provided is not limited, and it is sufficient if it is provided at any location of the housing 10, but it is preferably provided at a location away from the exhaust line 11. Further, although the size of the intake hole 32 is not limited, it is preferably adjusted so that gas corresponding to the exhaust amount in the exhaust line 11 can be sucked.
  • a gas detector 17 is installed in the confluence line 18 via a sampling tube 16.
  • the gas detector 17 is disposed outside the section 31, but the location is not limited, and can be disposed inside the section 31, for example.
  • manganese amidinate (MnAMD) was used as the first gas. And since manganese amidinate is a gas which has hydrolyzability, dry air was used as 2nd gas which does not react with 1st gas.
  • a gas in which a first gas and a second gas are mixed at a predetermined ratio on a pipe is supplied onto a pipe simulating an exhaust line, and the pipe is sufficiently separated from a supply source of the mixed gas.
  • the measurement was performed by an apparatus provided with a gas detector through a sampling tube.
  • a Teflon tube was used as the sampling tube, and a detection tape sensor was used as the gas detector.
  • the second gas dry air having a relative humidity of 5.2% RH at 22 ° C. was used.
  • dry air was humidified and the output value of the gas detector was measured in the same manner.
  • the sampling tube was shortened to 20 cm, and an evaluation was performed by connecting a gas detector to the exhaust line via the sampling tube. In any sample, the measurement was performed by adding the first gas so that the MnAMD concentration in the mixed gas (of the first gas and the second gas) was 0.62 ppm.
  • the results are shown in FIG.
  • the humidity in the figure indicates the relative humidity at 22 ° C. According to this, when dry air is used, the output value of the gas detector is about 10%, whereas when humidified gas is used, the output value decreases as the humidity increases. When the value exceeds 40% RH, the output value becomes less than half. That is, it can be seen that when the humidified gas is used, the sensitivity of the gas detector is significantly reduced as compared with the case where dry air is used.
  • the concentration of the first gas in the mixed gas (the first gas and the second gas) is changed.
  • the lower limit of detection was examined.
  • the same study was performed when air having a relative humidity of 40% RH at 22 ° C. was used instead of dry gas.
  • the sampling tube was shortened to 20 cm, and evaluation was performed by connecting a gas detector on the pipe (exhaust line) via the sampling tube. The results are shown in FIG.
  • the concentration of the first gas was detectable from about 0.2 ppm.
  • air having a humidity of 40% RH was used as the second gas, it was possible to finally detect the air exceeding 0.4 ppm. That is, it was confirmed that by using dry air that is not reactive with the first gas as the second gas, the sensitivity of the gas detector is improved and detection is possible even when the detected gas has a low concentration.
  • the length of the sampling tube was measured at 5 m and 10 m.
  • measurement was also performed without piping (piping 0 m), that is, when a gas detector was installed directly on the exhaust line. The measurement was performed every 5 seconds, and the measurement was performed several times under each condition.
  • dry air having a relative humidity of 5.2% RH at 22 ° C. was used as in the preliminary experiment.
  • a result is shown in FIG. 6.
  • the horizontal axis has shown the frequency
  • the output was not stabilized immediately after the start of measurement, and a slight decrease was observed in the output value. This is considered to be due to the influence of moisture remaining in the gas detection system.
  • a stable state after repeated measurement for example, in the sixth measurement, it was confirmed that the same level of output was obtained for any sample regardless of the length of the sampling tube.
  • the gas detection system it is possible to detect the leakage of the first gas with high sensitivity regardless of the length of the sampling tube, that is, regardless of the distance to the gas detector. It could be confirmed.
  • the gas detection system it is possible to send the gas to be detected from the leakage source of the gas to be detected to the gas detector without changing to a different substance due to decomposition or the like. Moreover, even if the gas to be detected is a low vapor pressure gas, the gas to be detected can be sent to the gas detector using the second gas as a carrier.

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Abstract

　内部にて第１のガスの供給、使用または排気の少なくともいずれかを行う機器を収納した、気密性を有する筐体と、前記筐体に接続されており、前記第１のガスに対して反応性のない第２のガスを前記筐体内に供給する第２のガス供給ラインと、前記筐体内を排気する排気ラインと、前記排気ラインにサンプリングチューブを介して接続されており、前記第１のガスを検知することが可能なガス検知器と、を備えることを特徴とするガス検知システムを提供する。

Description

ガス検知システム及びガス検知方法
　本発明は、ガス検知システム及びガス検知方法に関する。
　近年、工業プロセス、特に半導体製造工程においては有毒ガスや可燃性のガスを含む各種ガスが使用されているが、ガス種によっては漏洩した場合に作業に従事する者の健康を害したり、火災原因となったりする恐れがある。
　このため、特に有毒ガス、可燃性のガスを取り扱う機器類は排気ダクトを備えた筐体内に収められ、万が一ガスが漏洩した場合でも、周辺環境への放出を防ぐように構成されている。筐体内の気体は排気ダクトから排出される一方、排出された量を補うだけの気体（機器類周囲の空気）が筐体のスリット部などを通じて吸い込まれている。実験室やクリーンルーム等、機器類周囲の空気は４０～６０％の湿度を含んでいることが通例である。さらに、ガス検出器を設置してガス漏洩を早期に検出、対応できるように構成されている。
　しかしながら、ガス検知器をガスの漏洩源から離して設置した場合、漏洩したガスがガス検知器に至る前に空気中に含まれる水分との反応により分解等して、ガス検知器で対応していない物質に変化したり、検知し得る十分な量のガスがガス検知器に到達できなかったりして、漏洩を検出できないことがあった。このため、ガス検知器はガスの発生源の近く、すなわち、ガスを使用する機器を収納する筐体に設置する必要があった。
　この場合、筐体にガス検知器設置のためのスペースを確保する必要が生じるため、装置設計の自由度が低くなり、場合によっては装置の操作性が悪くなるという問題があった。
　さらに、工業プロセスにおいては、ガスの使用が複数の機器に渡る場合がほとんどであるため、該当する全ての機器、筐体にガス検知器を設置する必要が生じていた。このため、必要なガス検知器の数が増え、装置全体の初期コストが高くなるばかりか、ガス検知器のメンテナンスのコスト、手間が増えるという問題があった。
　本発明は上記従来技術が有する問題に鑑み、ガス検知器をガス使用機器から離隔して設置した場合でもガス使用機器からのガスの漏洩を感度良く検知できるガス検知システム及びガス検知方法を提供することを目的とする。
　上記課題を解決するため本発明は、内部にて第１のガスの供給、使用または排気の少なくともいずれかを行う機器を収納した、気密性を有する筐体と、
　前記筐体に接続されており、前記第１のガスに対して反応性のない第２のガスを前記筐体内に供給する第２のガス供給ラインと、
　前記筐体内を排気する排気ラインと、
　前記排気ラインにサンプリングチューブを介して接続されており、前記第１のガスを検知することが可能なガス検知器と、を備えることを特徴とするガス検知システムを提供する。
　本発明のガス検知システムによれば、ガス検知器をガス使用機器から離隔して設置した場合でもガス使用機器からのガスの漏洩を感度良く検知できる。
本発明に係る第１の実施形態の説明図。 本発明に係る第２の実施形態の説明図。 本発明に係る第３の実施形態の説明図。 本発明に係る実施例１における、ガス検知器からの出力値の第２のガス中の湿度依存性。 本発明に係る実施例１における、ガス検知器からの出力値の第１のガス濃度依存性。 本発明に係る実施例１におけるサンプリングチューブの長さと、ガス検知器からの出力値との関係。
　以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明するが、本発明は、下記の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲で、下記の実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。また、複数の実施形態が存在する場合において、矛盾しない範囲で組み合わせることができる。
　［第１の実施形態］
　本発明の第１実施の形態にかかるガス検知システムについて説明する。本実施の形態のガス検知システムは、気密性を有しており、その内部に第１のガスを供給する機器、または、第１のガスを使用および／または排気する機器を収納している筐体を備えている。さらに、前記筐体に接続されており、前記第１のガスに対して反応性のない第２のガスを前記筐体内に供給する第２のガス供給ラインと、前記筐体内を排気する排気ラインとを備えている。そして、前記排気ラインにサンプリングチューブを介して接続されており、前記第１のガスを検知することが可能なガス検知器を備えることを特徴とするガス検知システムである。
　具体的な構成例について、図１を基に説明する。まず、本実施の形態に係るガス検知システム１は、気密性を有する筐体１０と、筐体１０に接続され、筐体１０内を排気する排気ライン１１とが配置されている。そして、筐体１０内には、第１のガスを供給する機器、または、第１のガスを使用および／または排気する機器（以下、単に機器とも記載する）１２が設置されている。なお、図１では、機器１２として第１のガスを使用および排気する機器を例に説明しているため、機器１２には、第１のガス供給ライン１３、第１のガス排気ライン１４が接続されているが、これらのラインは筐体内に設置される機器の種類等により適宜設けられるものである。つまり、機器１２は、第１のガスの供給、使用または排気の少なくともいずれかを行う機器であればよい。例えば、機器１２が「第１のガスを供給する機器」である場合、機器１２は、第１のガス供給ライン１３に接続されているか、第１のガス供給ライン１３そのものであってもよく、第１のガスを供給する。この場合、機器１２は第１のガス排気ライン１４を含まなくてもよい。
　例えば、機器１２が「第１のガスを使用および排気する機器」である場合、機器１２は、図２に示すとおり、第１のガス供給ライン１３及び第１のガス排気ライン１４に接続され、第１のガス供給ライン１３から供給された第１のガスを使用し、かつ、使用した第１のガスを、第１のガス排気ライン１４を介して排気する。
　また、例えば、機器１２が「第１のガスを使用または排気する機器」である場合、機器１２は、第１のガス供給ライン１３または第１のガス排気ライン１４に接続され、第１のガス供給ライン１３から供給された第１のガスを使用するか、又は、使用した第１のガスを第１のガス排気ライン１４を介して排気する。この場合、機器１２は第１のガス供給ライン１３または第１のガス排気ライン１４のいずれかを含まなくてもよい。
　なお、第１のガス排気ライン１４は、第１のガスを排気するラインであり、筐体１０内を排気する排気ライン１１とは区別される。
　そして、筐体１０には、筐体１０内に第１のガスに対して反応性のない第２のガスを供給する第２のガス供給ライン１５が接続されている。排気ライン１１には、サンプリングチューブ１６を介してガス検知器１７が設置されている。
　ここで、筐体１０は、そのサイズ、材質等については限定されるものではなく、中に設置される機器の大きさ、それに応じた強度を有し、使用ガスや筐体１０内の雰囲気による腐食に耐え、必要な耐熱性を有する材料で構成されていれば足りる。筐体１０の材質としては、例えば機器を収納する筐体で一般的に使われているステンレスや、鋼鉄、アルミニウム、アクリル等が使用できる。
　また、図１中において、筐体１０は模式的に直方体で表わしているが、機器を出し入れしたり、操作したりするための扉や、各種付帯設備を設けるためのフランジ等を設置することもできる。なお、筐体１０の気密性を高めるため、扉等を設置した場合に生じた隙間部分には、パッキンやシール等を設けることが好ましい。
　そして、本実施の形態のガス検知システム１は、筐体１０内に設置した機器で使用する第１のガスが漏洩した場合に、第１のガスとは反応しない第２のガスによって筐体１０内から第１のガスをパージし、ガス検知器１７に供給するよう構成したものである。このため、筐体１０はその内部に周辺環境のガスが流入しにくいように、気密性を有していることが好ましい。さらに、筐体１０を貫通して外部に接続される第１のガス供給ライン１３、第１のガス排気ライン１４を囲む、図１中、点線で示した筒状の筐体１０’を更に設置して、ガス供給ライン１３、第１のガス排気ライン１４から第１のガスが漏洩した場合に、第１のガスが外部に漏洩しないように備えることが好ましい。この場合、漏洩した第１のガスは筒状の筐体１０’から筐体１０を経由して排気ライン１１から排気されることとなる。
　次に筐体１０内部に設置する第１のガスを供給する機器、または、第１のガスを使用および／または排気する機器について説明する。
　上記機器の種類については特には限定されるものではなく、第１のガスを取り扱う機器であればあらゆるものが含まれる。具体的には、第１のガスを供給する機器としては、第１のガスが充填されたボンベや、第１のガスを製造するガス製造装置等が挙げられる。そして、第１のガスを使用および／または排気する装置としては、第１のガスを用いる各種製造装置、例えばＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置、ＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ　Ｌａｙｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置、エッチング装置、焼成炉等や、第１のガスを用いる分析装置、真空ポンプ、循環ポンプ、トラップ設備、除害装置等が挙げられる。
　第１のガスの種類については特に限定されるものではなく、各種ガスを第１のガスとして使用することができる。特に、毒性ガス、可燃性ガスを有するガスを挙げることができる。具体的には、例えば、三フッ化ホウ素、ジボラン等のフッ素系のガス；モノシラン、メチルシラン等のシラン系ガス；有機金属化合物をガス化したものなどが挙げられる。有機金属化合物をガス化したものとしては、例えば、アミドアミノアルカン系マンガン化合物、マンガンアミジネート、ニッケルアミジネート、コバルトアミジネート、銅アミジネート等のアルキルアミジネート化合物；シクロペンタジエニルマンガン、メチルシクロペンタジエニルマンガン、エチルシクロペンタジエニルマンガン、イソプロピルシクロペンタジエニルマンガン、シクロペンタジエニルニッケル、メチルシクロペンタジエニルニッケル、エチルシクロペンタジエニルニッケル、イソプロピルシクロペンタジエニルニッケル、シクロペンタジエニル鉄、メチルシクロペンタジエニル鉄、エチルシクロペンタジエニル鉄、イソプロピルシクロペンタジエニル鉄、シクロペンタジエニルコバルト、メチルシクロペンタジエニルコバルト、エチルシクロペンタジエニルコバルト、イソプロピルシクロペンタジエニルコバルト、シクロペンタジエニルルテニウム、メチルシクロペンタジエニルルテニウム、エチルシクロペンタジエニルルテニウム、イソプロピルシクロペンタジエニルルテニウム等の、シクロペンタジエニル金属錯体等をガス化したものが挙げられる。とりわけ、蒸気圧の低い（例えば、蒸気圧が９０℃で１００Ｐａ以下のもの）有機金属化合物に対して本実施の形態を適用した場合に効果が期待される。
　第２のガスは、非毒性かつ非可燃性であって人体への影響や危険性が少なく、第１のガスに対して反応性のないガスであれば特に限定されることなく使用することができ、第１のガスの種類によって適宜選択される。また、反応性のないガスとは、第１のガスとの反応性が極めて低いものであれば足り、例えば、ガス検知器の出力に影響を与えない程度の微量成分（例えば、ｐｐｍオーダー）として、第１のガスと反応する成分を含有するものについては排除されるものではない。
　例えば、第１のガスが加水分解性ガスである場合、第２のガスは水分含有量の少ない乾燥気体を使用することができる。乾燥気体としては、不活性ガスやドライエア（乾燥空気）等を使用することができるが、コストや安全性の面からドライエアを用いることが好ましい。乾燥気体の乾燥の程度については、第１のガスの反応性により選択されるものであり、限定されるものではないが、露点が０℃以下であることが好ましく、－１０℃以下であることがより好ましく、－５０℃以下であることが特に好ましい。
　本実施の形態のガス検知システムがクリーンルームに設置してある場合、第２のガスは、クリーンルームに設置されたドライエア設備から供給されたドライエアを用いることができる。クリーンルームに設置されたドライエア設備から供給されたドライエアとは、半導体、医療、食品工場等の様々な産業分野のクリーンルームにおいて用いられる空気であり、特に低露点、高洗浄度空気であることが好ましい。具体的な露点としては、例えば、二次電池製造分野の工場であれば露点－５０℃～－７０℃、半導体、液晶分野の工場であれば－９０℃以下のドライエアとなる。
　また、第１のガスが可燃性ガスである場合は、第２のガスは、例えば不活性ガス等の酸素含有量の少ないガスを好ましく使用することができる。
　第２のガスの供給量については限定されるものではないが、第１のガスが漏洩した場合に、筐体１０外へ第１のガスが漏洩しないように、１時間あたりの流量が筐体１０内の空間容積の１０倍以上であることが好ましい。なお、ここで、空間容積とは、筐体１０の内容積から、機器部分の体積を差し引いた体積を意味している。さらには、１時間あたりの流量が筐体１０内の空間容積の１５倍以上であることがより好ましい。
　第２のガスは、筐体１０と筐体１０内に設置した機器との間の空間に供給されていれば足りる。このため、第２のガスは、例えば図１に示すように、筐体１０の側壁の一部分に配管を設置し供給することができるが、筐体１０内に均質に供給されることが好ましいことから、筐体１０内部にまで配管を延ばしたり、第２のガスの出口部分にファン等の拡散機構を設けたり、拡散板（バッフル板）を設けたりすることもできる。
　ガス検知器１７は、図１に示すようにサンプリングチューブ１６を介して、筐体１０または排気ライン１１に接続されている。
　ガス検知器１７の種類については特に限定されるものではなく、検出対象のガス、すなわち、第１のガスの種類や、要求される検出限界値によって適宜選択される。例えば第１のガスが半導体材料ガスである場合、ガス検知器１７は、定電位電解式センサ、隔膜分離型定電位電解式センサ、隔膜ガルバニ電池式センサ、赤外線式センサ、検知テープ式センサ、熱粒子化式センサ等を好ましく使用することができる。
　また、第１のガスが、可燃性ガスの場合には、ガス検知器１７は、接触燃焼式センサ、ニューセラミック式センサ、半導体式センサ、熱線型半導体式センサ、熱伝導式センサ、赤外線式センサが好ましく使用できる。
　さらに、第１のガスが毒性ガスの場合、ガス検知器１７は、半導体式センサ、熱線型半導体式センサ、定電位電解式センサ、隔膜分離型定電位電解式センサ、隔膜電極式センサ、赤外線式センサ、検知テープ式センサなどが好ましく使用できる。
　そして、ガス検知器１７は第１のガスの供給源と連動するように、すなわち、ガス検知器１７が第１のガスの漏洩を検知した場合に、第１のガスの供給を遮断できるように構成されていることが好ましい。これは、上記構成を有することによって、第１のガスが漏洩した場合に、その供給を遮断することでさらなる漏洩を防止することが可能となるためである。さらに、ガス検知器１７が第１のガスの漏洩を検知した場合には建物の集中管理室に漏洩検知信号を出力し、これを受信した集中管理室の放送設備により建物からの避難放送が自動的におこなわれるよう設定されていてもよい。
　サンプリングチューブ１６については、その種類は特に限定されるものではなく、各種チューブを使用することができる。ただし、サンプリングチューブ１６は、第１のガス、第２のガスとの反応性が低いものであることが好ましく、さらに、用いているガスや、空気、水分が透過しにくいもの、耐圧性を有すると共に、必要な耐熱温度を有しているものが好ましい。具体的には、サンプリングチューブ１６は、例えばテフロン（登録商標）チューブやステンレス管、銅管などを好ましく使用することができる。サンプリングチューブ１６の長さについても限定されるものではなく、装置のレイアウト等により適宜選択することができる。
　また、例えば第１のガスが加水分解性を有する場合や、蒸気圧が低いガスである場合、サンプリングチューブ１６の少なくとも一部を加熱する加熱機構１６ａを備えることが好ましい。これは、加熱機構１６ａを有することでサンプリングチューブ１６内の水分量を低減させたり、第１のガスが析出することを防止したりするためである。
　加熱機構１６ａの構成については特に限定されるものではなく、サンプリングチューブ１６内を所定の温度にできるものであれば足りる。例えば、リボンヒーター、ベルトヒーターなどの抵抗加熱ヒーターをサンプリングチューブ１６の外周に設置する方法や、シリコンオイル、蒸気等の熱媒をサンプリングチューブ１６の外周に循環させて加熱する方法等が挙げられる。
　加熱温度については第１のガスの種類や、サンプリングチューブ１６やガス検知器１７の耐熱温度により選択されるものであり限定されるものではないが、例えば、３０℃以上第１のガスの分解温度未満に加熱することが好ましい。特に、サンプリングチューブ１６内への第１のガスの析出や、サンプリングチューブ１６や、ガス検知器１７の劣化を避けるため、３０℃以上２００℃以下で加熱することが好ましく、８０℃以上１５０℃以下であることがより好ましい。
　排気ライン１１についても特に限定されるものではなく、筐体１０内のガスを系外に排気できるように構成されており、必要に応じて耐腐食性や耐熱性、強度を有していれば足りる。例えば、排気ライン１１としては、シロッコファン等のファンや、ブロアに接続されたダクトにより構成されたものなどが挙げられる。また、第１のガスが毒性ガスの場合などは、排気ライン１１は、第１のガスを環境に放出する前に除害装置に接続されていることが好ましい。その排気量については、第２のガスの供給量等により選択されるものであり、限定されるものではないが、筐体１０内が十分に排気できるよう、例えば、排気ガスの流速が０．５ｍ／Ｓ以上であることが好ましい。
　また、筐体１０やその中に設置した機器の損傷を避けるため、筐体１０内が極端な陽圧または負圧にならないよう、筐体１０からの排気ガス量と、第２のガス供給量とが略平衡になるように調整、制御することが好ましい。
　以上に説明してきた、本実施の形態のガス検知システム１によれば、筐体１０内で第１のガスが漏出した場合でも、これとは反応性がない第２のガスにより、第１のガスは筐体１０からパージされてガス検知器１７に供給される。このため、空気や水分等と反応し易いガスであっても、分解することなくガス検知器１７へ供給することが可能となり、室温近傍における蒸気圧の低いガスであったとしても第２のガスによりパージされガス検知器１７へ供給することが可能となる。従って、本実施の形態のガス検知システム１によれば、ガス検知器１７と第１のガスを取り扱う機器とが離隔して設けられていても、第１のガスを正確に検知することができる。
［第２の実施形態］
　本実施形態では、第１の実施形態で説明した筐体を複数有しているガス検知システムについて説明する。
　すなわち、第２の実施形態に係るガス検知システムは、第１の実施形態で説明した、第２のガス供給ライン、および、排気ラインを備えた筐体を複数有しており、各筐体からの排気ラインが合流する合流ラインを備え、合流ラインにサンプリングチューブを介してガス検知器が配置されているガス検知システムである。
　第２の実施形態に係るガス検知システム及び装置の概要について図２を用いて説明する。図１と同じ部材、装置については、同じ番号を付している。
　図２においては、複数の筐体１０が配置されており、その内部には、第１のガスを供給する機器、または、第１のガスを使用および／または排気する機器１２がそれぞれ設置されている。機器１２としては特に限定されるものではないが、例えば、図中、右側の筐体１０から順に、ＣＶＤ装置、ＣＶＤ装置内のガスを排気するための真空ポンプ、真空ポンプからの排ガスを除害する除害装置のようにそれぞれ配置することができる。
　そして、図２の例では、第１のガス供給ライン１３によってこれらの装置が直列に接続されているが、直列に接続する形態に限定されるものではなく、筐体１０内に設置された各機器に応じて第１のガス供給ライン１３、第１のガス排気ライン１４を設けることができる。例えば、各筐体１０ごとに独立した、第１のガス供給ライン１３、第１のガス排気ライン１４を設けることもできる。また、例えば、第１のガスの排気（他の装置への供給）のみ行う装置をその内部に設置する場合には、第１のガス排気ライン１４のみを設ける形態とすることもできる。なお、ここでも第１の実施形態で説明したように、筐体１０の外にある第１のガス供給ライン１３、第１のガス排気ライン１４の部分に、筒状の筐体１０´を設けることができる。これにより、これらの配管から第１のガスが漏出した場合でも、筐体１０を経由して排気ラインによって系外に排出することができる。
　そして、各筐体１０には、第２のガス供給ライン１５が設けられており、筐体１０内に第２のガスを供給できるように構成されている。
　各筐体１０から排気されたガスは図２に示すように、各筐体１０に設置された排気ライン１１を経て、１つの合流ライン１８に統合され、系外に排出される。合流ライン１８上には、サンプリングチューブ１６を介してガス検知器１７が設置されている。ここで、サンプリングチューブ１６を設置する場所については、第１のガスが筐体１０内に漏出した場合、それがどの筐体１０であってもガス漏洩を確実に検知できるよう、各筐体１０に排気ライン１１が接続された部分よりも下流側に設置されていることが好ましい（サンプリングチューブ１６を設置する場所については、最下流の排気ライン１１が合流ライン１８に統合された場所よりも下流側であれば、特に限定されるものではない）。
　以上に説明した本実施の形態のガス検知システム１は、第１のガスが筐体１０内に漏出した場合には、第１のガスは第２のガスと接触するのみで、排気ライン１１、合流ライン１８、サンプリングチューブ１６を介してガス検知器１７にまで供給することができる。
　このため、第１のガスが分解することなくガス検知器１７まで供給できるので第１のガスを正確に感度良く検出できる。また、第１のガスが低蒸気圧のガスの場合でも、継続的に供給される第２のガスにより筐体１０からパージされるため、ガス検知器１７で第１のガスを検出することが可能となる。
　さらに、従来であれば（特に低蒸気圧であって、加水分解する性質を有するガスを用いる場合には、）各筐体１０ごとにガス検知器１７を設けることが必要であったため、本実施の形態と同じ構成を有する装置の場合、少なくとも筐体１０の数と同じ３個のガス検知器１７を設置する必要があった。これに対して、本実施の形態で説明した構成ではガス検知器１７の数は１個で済み、ガス検知器１７の数を少なくすることが可能になるため、コストの低減、メンテナンス性を向上させることができる。
　また、筐体１０にガス検知器１７を設ける必要がなくなるため、装置設計の自由度が向上し、装置の操作性も向上させることが可能となる。
［第３の実施形態］
　本実施の形態では、筐体及びそれに接続した配管を所定の区画内に配置し、区画全体に第２のガスを供給したものである。
　本実施の形態の場合、区画全体に第２のガスを供給するため、安全性（酸欠防止）やコストの面から第２のガスとしてドライエアを用いることが好ましい。第２のガスがドライエアである場合には、区画内にドライガスを供給する方法以外にも、エアコンや除湿機によって、第１のガスと反応しない程度に、例えば湿度が５％ＲＨ程度になるように、区画内を除湿することによって実施することもできる。
　図３にその模式図を示す。図２と同じ部材については、同じ番号を付している。本実施の形態においては、上記のように、筐体１０等が配置された区画３１を有している。区画３１としては、第２のガスの種類にもよるが、他の空間と間仕切りしているものであれば足りるが、気密性を有していることが好ましい。そして、図示していないが、区画３１には、第２のガス供給ラインが設けられている。なお、第２のガスとしてドライエアを用いる場合には第２のガス供給ラインにかえて、区画内を除湿できる装置、例えばエアコン、除湿機等、を設けることもできる。
　第２の実施形態の場合と同様に、区画３１内には、複数の筐体１０と、それぞれの筐体１０に接続され、筐体１０内を排気する排気ライン１１とが配置されている。図３では、排気ライン１１は区画３１外で合流ライン１８に統合され、系外に排出されているが、合流ライン１８も区画内に設けることもできる。
　そして、筐体１０内には、第１のガスを供給する機器、または、第１のガスを使用および／または排気する機器１２が設置されている。なお、図１でも説明したように、第１のガス供給ライン１３、第１のガス排気ライン１４については、筐体１０内に設置される機器の種類等により適宜設けられるものである。
　そして、筐体１０には、区画３１内に供給された第２のガスを吸気する吸気孔３２が設けられている。吸気孔３２を設ける位置については限定されるものではなく、筐体１０のいずれかの場所に設けてあれば足りるが、排気ライン１１から離れた場所に設けてあることが好ましい。また、吸気孔３２のサイズについても限定されるものではないが、排気ライン１１での排気量に応じたガスを吸気できるように調整されていることが好ましい。
　合流ライン１８には、サンプリングチューブ１６を介してガス検知器１７が設置されている。図中、ガス検知器１７は区画３１外に配置しているが、場所は限定されるものではなく、例えば、区画３１内に配置することもできる。
　また、図中では区画３１内に３つの筐体１０を配置した例を示したが、その数は限定されるものではなく、設計等に応じて変更することができる。区画３１内に第２のガス供給ライン１５が接続され、第２のガス供給ライン１５から第２のガスを供給しているため、特に複数の筐体１０が配置されている場合、それぞれの筐体１０に第２のガスの供給配管を設ける必要が無い点で有利になる。
＜実施例＞
　以下、実施例により本実施の形態を詳細に説明するが、本実施の形態は係る実施例に限定されるものではない。
　本実施例では第１のガスとしてはマンガンアミジネート（ＭｎＡＭＤ）を用いた。そして、マンガンアミジネートは加水分解性を有するガスであるため、第１のガスと反応しない第２のガスとしてドライエアを用いた。
　実際に筐体内に第１のガスを漏出させた状態を再現することは困難であることから、本実施例では、模式的な装置により実験を行った。
　具体的には、配管上に第１のガスと、第２のガスとを所定比で混合したガスを排気ラインに模した配管上に供給し、混合ガスの供給源から十分離れた配管上にサンプリングチューブを介してガス検知器を設けた装置により行った。なお、サンプリングチューブとしてはテフロンチューブを、ガス検知器としては検知テープ式センサを使用した。
　予備実験として、第１のガスをガス検知器で検知する際の第２のガスの影響を調べた。
　まず、第２のガスの湿度とガス検出器の出力との関係を調べた。
　第２のガスとしては、２２℃における相対湿度が５．２％ＲＨのドライエアを使用した。また、比較のため、ドライエアを加湿し、同様にしてガス検出器の出力値の測定を行った。なお、本予備実験では、サンプリングチューブの影響を避けるため、サンプリングチューブは２０ｃｍと短くした上で、排気ラインにサンプリングチューブを介してガス検知器を接続して評価を行った。また、いずれの試料でも、（第１のガスと第２のガスとの）混合ガス中のＭｎＡＭＤ濃度が０．６２ｐｐｍになるように第１のガスを添加して測定を行った。
　結果を図４に示す。図中の湿度は２２℃における相対湿度を示している。これによると、ドライエアを用いた場合、ガス検知器の出力値が１０％程度であるのに対して、加湿したガスを用いた場合、湿度の増加に伴いその出力値が低下しており、湿度が４０％ＲＨを超えた場合にその出力値は半分以下になった。つまり、加湿したガスを用いた場合、ドライエアを用いた場合と比較して、ガス検知器の感度が著しく低下することが分かる。
　次に、同じ装置で、第２のガスとして上記実験と同じドライエアを用いた場合に、（第１のガスと第２のガスとの）混合ガス中の、第１のガスの濃度を変化させて検出限界下限値を調べた。また、比較のため、ドライガスにかえて２２℃における相対湿度が４０％ＲＨの空気を用いた場合についても同様に検討を行った。これらの実験でもサンプリングチューブの影響を避けるため、サンプリングチューブは２０ｃｍと短くした上で、配管上（排気ライン）にサンプリングチューブを介してガス検知器を接続して評価を行った。結果を図５に示す。
　これによると、ドライエアを用いた場合、第１のガスの濃度が０．２ｐｐｍ位から検出可能であった。これに対して、第２のガスとして湿度が４０％ＲＨの空気を用いた場合、０．４ｐｐｍを超えてようやく検出することが可能であった。つまり、第１のガスと反応性のないドライエアを第２のガスとして用いることによって、ガス検知器の感度が向上し、被検知ガスが低濃度の場合でも検知できることが確認できた。
　以上のように、予備実験により第１のガスであるＭｎＡＭＤと反応性がないドライエアを第２のガスとして使用することによって、ガス検知器においてより高い感度で測定できることが確認できた。このため、以下の実験では、第１のガスとしてＭｎＡＭＤを、第２のガスとしてドライエアをそれぞれ用いることとした。
　本実施例では、上述の模式的な装置において、サンプリングチューブの長さの違いによるガス検知器の検出能力の変換について調べた。
　サンプリングチューブの長さは５ｍ、１０ｍで測定を行った。また、比較例として、配管なし（配管０ｍ）、すなわち排気ライン上に直接ガス検知器を設置した場合も測定を行った。測定は５秒ごとに行い、それぞれの条件で複数回測定を行った。なお、（第１のガスと第２のガスとの）混合ガス中のＭｎＡＭＤ濃度が０．６２ｐｐｍになるように、第１のガスを添加して実験を行っている。また、第２のガスとしては、予備実験の場合と同様に、２２℃における相対湿度が５．２％ＲＨのドライエアを使用した。結果を図６に示す
　図６において、横軸は測定回数を示している。これによると、測定開始直後は出力が安定せず出力値に若干の低下が見られたが、これは、ガス検知システム内に残留していた水分等の影響だと考えられる。そして、繰り返し測定し安定した状態、例えば６回目の測定においては、サンプリングチューブの長さに関わらずいずれの試料についても同程度の出力が得られることが確認できた。
　以上の結果から、本実施形態に係るガス検知システムによれば、サンプリングチューブの長さに関わらず、すなわちガス検知器までの距離に関わらず、感度良く第１のガスの漏洩を検知することが確認できた。
　以上、本実施形態に係るガス検知システムによれば、被検知ガスの漏洩源からガス検知器まで、被検知ガスが分解等により異なる物質に変化することなく送ることが可能になる。また、被検知ガスが低蒸気圧のガスであっても、第２のガスをキャリアとしてガス検知器まで被検知ガスを送ることが可能となる。
　このため、ガス使用機器またはこれを納める筐体と、ガス検知器とを離隔して設置しても高感度で被検知ガスの漏洩を検出することができる。また、ガス使用機器周辺や筐体の設計自由度が高くなり、装置の操作性を高めることができる。
　本国際出願は、２０１１年９月１６日に出願された日本国特許出願２０１１－２０３５２３号に基づく優先権を主張するものであり、その全内容を本国際出願に援用する。
１　　ガス検知システム
１０　筐体
１１　排気ライン
１２　第１のガスの供給、使用または排気の少なくともいずれかを行う機器
１５　第２のガス供給ライン
１６　サンプリングチューブ
１６ａ　加熱機構
１７　ガス検出器
１８　合流ライン

Claims (6)

  1. 　内部にて第１のガスの供給、使用または排気の少なくともいずれかを行う機器を収納した、気密性を有する筐体と、
    　前記筐体に接続されており、前記第１のガスに対して反応性のない第２のガスを前記筐体内に供給する第２のガス供給ラインと、
    　前記筐体内を排気する排気ラインと、
    　前記排気ラインにサンプリングチューブを介して接続されており、前記第１のガスを検知することが可能なガス検知器と、を備えることを特徴とするガス検知システム。
  2. 　前記第１のガスは、加水分解性ガスであり、前記第２のガスは乾燥気体であることを特徴とする請求項１に記載のガス検知システム。
  3. 　前記乾燥気体はドライエアであり、クリーンルームに設置されたドライエア設備から供給されることを特徴とする請求項２に記載のガス検知システム。
  4. 　前記サンプリングチューブの少なくとも一部を加熱する加熱機構を備えることを特徴とする請求項１に記載のガス検知システム。
  5. 　前記第２のガス供給ライン、および、前記排気ラインを備えた前記筐体を複数有しており、
    　各筐体からの排気ラインが合流する合流ラインを備え、
    　前記合流ラインにサンプリングチューブを介してガス検知器が配置されていることを特徴とする、請求項１に記載のガス検知システム。
  6. 　内部にて第１のガスの供給、使用または排気の少なくともいずれかを行う機器を収納した、気密性を有する筐体に接続された第２のガス供給ラインから、前記第１のガスに対して反応性のない第２のガスを前記筐体内に供給するステップと、
    　排気ラインを介して前記筐体内を排気するステップと、
    　前記排気ラインにサンプリングチューブを介して接続されたガス検知器により、前記第１のガスを検知するステップと、を含むことを特徴とするガス検知方法。
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