JP5356813B2

JP5356813B2 - 排ガス除害システム

Info

Publication number: JP5356813B2
Application number: JP2008526706A
Authority: JP
Inventors: 良彦井上; 圭成松下; 啓志今村
Original assignee: Kanken Techno Co Ltd
Current assignee: Kanken Techno Co Ltd
Priority date: 2007-07-06
Filing date: 2008-03-24
Publication date: 2013-12-04
Anticipated expiration: 2028-03-24
Also published as: JPWO2009008194A1; WO2009008194A1

Description

本発明は、工業プロセス等から排出される人体に有害なガスやオゾン層破壊ガスなどを無害なものへと除害処理する排ガス除害システムに関する。

物を製造したり、処理したりする工業プロセスでは様々な種類のガスが使用されている。このため、工業プロセスから排出されるガス（以下、単に「排ガス」という。）の種類も非常に多岐にわたっており、排ガスの種類に応じて、様々な種類のガス除害方法および装置が用いられている。

例えば、半導体製造プロセス一つを例にとっても、モノシラン（ＳｉＨ_４）、塩素系ガス、ＰＦＣｓ（パーフルオロコンパウンド）など様々な種類のガスが使用されている。これらのガスは人体や地球環境に対して悪影響を及ぼすことから、いずれかの手段によって分解或いは除去する必要があり、種々の除害方法が実用化されている。その代表例として、吸着式，湿式，電熱酸化分解式，火炎燃焼式などがあるが、各々長所と問題点とを有している。

このうち、電熱ヒーターを用いる電熱酸化分解式（例えば、特許文献１参照。）は、半導体製造プロセスにおける排ガス除害方法として現在最も普及している方法であり、排ガスの除害処理に際して処理工程を制御しやすく、排ガスを安全に分解処理することができる。また、電熱酸化分解式を採用した排ガス除害ユニットは、装置をコンパクトにすることができ、狭いスペースでも設置可能なことから、限りある工場スペースを有効活用することができる。
特開２００２−１８８８１０号公報

しかしながら、上述の電熱酸化分解式は、例えば液晶パネル製造プロセスなどのように大容量の排ガスが発生する工程での除害処理には不向きであった。と云うのも、電熱酸化分解式の排ガス除害ユニットは、上述のように装置をコンパクトにできると云った特徴を有する反面、大容量の排ガスを処理するために単に装置を大型化した場合、排ガスと電熱ヒーターが発する熱との接触効率が低下する結果、効率的な排ガスの除害処理が困難になると云う問題があった。ここで、大型化した前記排ガス除害ユニットにおいて、排ガスと電熱ヒーターが発する熱との接触効率を向上させるためには、排ガス除害ユニットに設置する電熱ヒーターの数を増やせばよいが、電熱ヒーターを増やすことによって装置構成が複雑になり、排ガス除害ユニット内における排ガスの通流やメンテナンスに不都合が生じるようになる。

また、大容量の排ガスを処理するために、小型の排ガス除害ユニットを複数設置することも考えられるが、単に排ガス除害ユニットを複数設置するだけでは、オペレーターによる操作や装置の保守管理が煩雑になると云う問題があった。

それゆえに、本発明の主たる課題は、従来より使用実績のある小型の排ガス除害ユニットを使用し、大容量の排ガスを安全且つ確実に除害処理することができ、しかも運転管理が簡単でメンテナンス性にも優れた排ガス除害システムを提供することにある。

請求項１に記載した発明は、「半導体製造装置より排出された排ガス(E)が集合するメイン配管(12)と、個別入口配管(14)を介してメイン配管(12)に接続され、その内部にて個別入口配管(14)を経由して供給された排ガス(E)を除害処理する複数の排ガス除害ユニット(16)と、排気ファン(40)が取り付けられた個別出口配管(18)を介して各排ガス除害ユニット(16)に接続され、各排ガス除害ユニット(16)で除害処理した排ガス(E)を集合させて大気中に排出する排気ダクト(20)とを具備する排ガス除害システム(10)であって、各個別入口配管(14)内の圧力を測定する入口圧力センサー(24) が取り付けられると共に、入口圧力センサー(24)のそれぞれで測定した圧力が一定となるように各排気ファン(40)の回転数を制御する制御装置(22)が設けられており」、特に「各個別入口配管(14)の流路を開閉する入口バルブ(26)が取り付けられると共に、各個別出口配管(18)の流路を開閉する出口バルブ(44)と各個別出口配管(18)内の圧力を測定する出口圧力センサー(42)とが取り付けられ、排ガス除害ユニット(16)を介して同一流路上にある入口圧力センサー(24)と出口圧力センサー(42)とで測定した圧力の差が所定の大きさ以上になった際、制御装置(22)が、当該同一流路上の入口バルブ(26)及び出口バルブ(44)を閉操作すると共に、排ガス(E)の通流が遮断された排ガス除害ユニット(16)の運転を緊急停止させる」ことを特徴とする排ガス除害システム(10)である。

この発明では、複数設置された排ガス除害ユニット(16)に排ガス(E)を供給する個別入
口配管(14)のそれぞれに入口圧力センサー(24)が取り付けられており、制御装置(22)によ
って各入口圧力センサー(24)で測定した圧力が一定となるように、各排気ファン(40)の回
転数が制御されているので、メイン配管(12)に送給された大容量の排ガス(E)を各排ガス
除害ユニット(16)に均等に分配することができ、各排ガス除害ユニット(16)内において同
一の条件で当該排ガス(E)を除害することができる。
特に、この発明では、排ガス除害ユニット(16)を介して同一流路上にある入口圧力センサー(24)と出口圧力センサー(42)とで測定した圧力の差が所定の大きさ以上になった場合、すなわち排ガス除害ユニット(16)内で排ガス(E)の流路が閉塞する等のトラブルが生じた場合、制御装置(22)が入口バルブ(26)及び出口バルブ(44)を即座に閉操作すると共に、排ガス(E)の通流が遮断された排ガス除害ユニット(16)の運転を緊急停止させる。つまり、何らかのトラブルが生じた排ガス除害ユニット(16)を、排ガス除害システム(10)から即座に縁切りすることができる。

請求項２に記載した発明は、請求項１に記載の排ガス除害システム(10)において、「各個別入口配管(14)には、当該配管(14)の排ガス通流方向における上流側先端(14a)から入口圧力センサー(24)取り付け位置までのコンダクタンス(配管抵抗の逆数；排ガス(E)の流れ易さを表わす指標)が互いに略等しくなる位置に各入口圧力センサー(24)が取り付けられている」ことを特徴とするもので、これにより、各排気ファン(40)の負荷を略均一にすることができると共に、各排ガス除害ユニット(16)に対してより一層均等に排ガス(E)を分配することができるようになる。

請求項３に記載した発明は、請求項１又は２に記載の排ガス除害システム(10)において、「複数の排ガス除害ユニット(16)のうち少なくとも１基を常時停止してバックアップ用にすると共に、制御装置(22)が、排ガス除害ユニット(16)の何れかを緊急停止した際にバックアップ用の排ガス除害ユニット(16)の運転を開始させる」ことを特徴とする。

上述のようにトラブルの生じた排ガス除害ユニット(16)を緊急停止させた場合、排ガス除害システム(10)全体の排ガス除害能力は低下するようになるが、この発明では、トラブルの生じた排ガス除害ユニット(16)を緊急停止させた際に、バックアップ用の排ガス除害ユニット(16)を稼働させるようにしているので、排ガス除害システム(10)全体の排ガス除害能力を常時一定に保つことができる。

請求項４に記載した発明は、請求項１乃至３の何れかに記載の排ガス除害システム(10)において、「メイン配管(12)のコンダクタンスが、個別入口配管(14)のコンダクタンスよりも大きい」ことを特徴とするもので、これにより、コンダクタンスが大きなメイン配管(12)とコンダクタンスが小さな個別入口配管(14)との間における排ガス(E)の流れ易さの差によって、メイン配管(12)に集合させた排ガス(E)を、各個別入口配管(14)に分配する前に均質にすることができる。つまり、各個別入口配管(14)を介して排ガス除害ユニット(16)に分配される排ガス(E)を均一なものにすることができる。

請求項５に記載した発明は、請求項１乃至４の何れかに記載の排ガス除害システム(10)において、「各個別入口配管(14)の上流側先端(14a)が、メイン配管(12)の底部(12b)より高い位置に配設されている」ことを特徴とするもので、これにより、メイン配管(12)に集合させた排ガス(E)中に液体や異物が含まれている場合であっても、これらの液体や異物をメイン配管(12)の底部に残留させることができ、排ガス(E)中の液体や異物が個別入口配管(14)に流れ込むのを防止することができる。

請求項１に記載の発明によれば、制御装置によって各入口圧力センサーで測定した圧力が一定となるように、各排気ファンの回転数が制御されているので、メイン配管に送給された大容量の排ガスを各排ガス除害ユニットに均等に分配することができ、各排ガス除害ユニット内において同一の条件で当該排ガスを除害することができる。したがって、従来より使用実績のある小型の排ガス除害ユニットを複数併用しているにもかかわらず、オペレーターの手を煩わせることなく、大容量の排ガスを高い効率で安全且つ確実に除害することができる。

また、請求項１に記載の発明によれば、何らかのトラブルが生じた排ガス除害ユニットを、排ガス除害システムから即座に縁切りすることができる。したがって、排ガス除害システム全体の稼働を停止させることなく、トラブルの生じた排ガス除害ユニットのみを迅速且つ自動的に排ガス除害システムから切り離すことができ、このようにトラブルの生じた排ガス除害ユニットを安全にメンテナンスすることができる。

請求項３に記載の発明によれば、排ガス除害システム全体の排ガス除害能力を常時一定に保つことができるので、大容量の排ガスを安定して確実に除害することができる。

請求項４に記載の発明によれば、各個別入口配管を介して排ガス除害ユニットに分配される排ガスを均一なものにすることができるので、各排ガス除害ユニットの排ガス処理負担を平準化させることができ、大容量の排ガスを長期間安定して除害することができる。

請求項５に記載の発明によれば、メイン配管に集合させた排ガス中に含まれる液体や異物が個別入口配管に流れ込むのを防止することができるので、排ガス除害ユニットが前記液体や異物によって汚染されトラブルが生じるのを未然に防ぐことができる。

したがって、従来より使用実績のある小型の排ガス除害ユニットを使用し、大容量の排ガスを安全且つ確実に除害処理することができ、しかも運転管理が簡単でメンテナンス性にも優れた排ガス除害システムを提供することができる。

本発明における排ガス除害システムの一例を示す概略図である。本発明における排ガス除害ユニットの一例を示す概略図である。本発明における制御装置の一例を示す概略図である。

符号の説明

(10)…排ガス除害システム
(12)…メイン配管
(14)…個別入口配管
(16)…排ガス除害ユニット
(18)…個別出口配管
(20)…排気ダクト
(22)…制御装置
(24)…入口圧力センサー
(26)…入口バルブ
(28)…入口スクラバー
(30)…反応炉
(32)…出口スクラバー
(34)…水槽
(36)…排ガス処理室
(38)…電熱ヒーター
(40)…排気ファン
(42)…出口圧力センサー
(44)…出口バルブ
(46)…ＣＰＵ
(48)…メモリ
(50)…入力装置
(52)…表示装置
(54)…データベースサーバ
(S1),(S2)…信号線
(L1)〜(L4)…配線
(E)…排ガス

以下、本発明を図示実施例に従って詳述する。図１は、本発明の排ガス除害システム(10)の一実施例を示す概略図である。この図が示すように、本実施例の排ガス除害システム(10)は、大略、メイン配管(12)，個別入口配管(14)，複数(図１の例では３基表示)の排ガス除害ユニット(16)，個別出口配管(18)，排気ダクト(20)及び制御装置(22)で構成されている。

メイン配管(12)は、半導体製造装置より排出された排ガス(E)を集合させて、後述する複数の排ガス除害ユニット(16)へと分配するためのものである。このメイン配管(12)には、排ガス除害システム(10)を構成する排ガス除害ユニットと同数(図１の例では３本)の個別入口配管(14)の一端(排ガス通流方向の上流側端部)が接続されている。

ここで、本実施例の排ガス除害システム(10)では、メイン配管(12)の内径が、各個別入口配管(14)の内径よりも大きく形成されており、メイン配管(12)のコンダクタンス(配管抵抗の逆数；排ガス(E)の流れ易さを表わす指標)が、個別入口配管(14)のコンダクタンスよりも大きくなるように構成されている。こうすることにより、コンダクタンスが大きなメイン配管(12)とコンダクタンスが小さな個別入口配管(14)との間における排ガス(E)の流れ易さの差によって、メイン配管(12)に集合させた排ガス(E)を、各個別入口配管(14)に分配する前に均質にすることができる。つまり、各個別入口配管(14)を介して排ガス除害ユニット(16)に分配される排ガス(E)を均一なものにすることができる。この結果、各排ガス除害ユニット(16)の排ガス処理負担を平準化させることができ、大容量の排ガス(E)を長期間安定して除害することができる。

なお、図１では、メイン配管(12)を、個別入口配管(14)よりも内径の大きな管状の部材で形成する場合を示しているが、このメイン配管(12)は、半導体製造装置より排出された排ガス(E)を集合させることができ、しかもそのコンダクタンスが個別入口配管(14)のコンダクタンスよりも大きいものであれば如何なる形状であってもよく、例えば、タンク状のもので形成するようにしてもよい。

個別入口配管(14)は、メイン配管(12)に集合した排ガス(E)を各排ガス除害ユニット(16)に分配・供給するための配管である。

本実施例では、各個別入口配管(14)の上流側先端(14a)が、メイン配管(12)の底部(12b)より高い位置に配設されている。こうすることにより、メイン配管(12)に集合させた排ガス(E)中に液体や異物が含まれている場合であっても、これらの液体や異物をメイン配管(12)の底部に残留させることができ、排ガス(E)中に含まれる液体や異物が個別入口配管(14)に流れ込むのを防止することができる。このため、排ガス除害ユニット(16)が前記液体や異物によって汚染されトラブルが生じるのを未然に防ぐことができる。

また、各個別入口配管(14)のそれぞれには、内部の圧力を測定する入口圧力センサー(24)が取り付けられると共に、入口圧力センサー(24)で測定した圧力データが信号線(S1)を介して後述する制御装置(22)へ与えられるようになっている。ここで、この入口センサー(24)は、各個別入口配管(14)の排ガス通流方向における上流側先端(14a)から入口圧力センサー(24)取り付け位置までのコンダクタンスが互いに略等しくなるようにして各個別入口配管(14)に取り付けられている。

さらに、各個別入口配管(14)の途中には、エアー弁や電磁弁などで構成され、個別入口配管(14)の流路を開閉する入口バルブ(26)が取り付けられている。この入口バルブ(26)は、配線(L2)を介して制御装置(22)に接続されており、制御装置(22)によって開閉操作される。

そして、個別入口配管(14)における排ガス通流方向の下流側端部は、排ガス除害ユニット(16)の排ガス受入れ側の端部に接続されている。

排ガス除害ユニット(16)は、排ガス(E)を熱分解して除害する装置である。本実施例では、この排ガス除害ユニット(16)として、従来より半導体製造排ガスの除害に多数の導入実績がある電熱酸化分解式のものを使用している。この電熱酸化分解式の排ガス除害ユニット(16)は、図２に示すように、大略、入口スクラバー(28)，反応炉(30)，出口スクラバー(32)，水槽(34)及びこれらを繋ぐ配管系などで構成されており、本実施例のものでは、前記各構成部材が１つのキャビネット(図示せず)に収納されている。

入口スクラバー(28)は、個別入口配管(14)を通じて排ガス除害ユニット(16)に供給される排ガス(E)を水洗し、当該排ガス(E)中に含まれる粉塵や水溶性成分などを除去するためのものである。

反応炉(30)は、入口スクラバー(28)で水洗した排ガス(E)を、熱酸化分解法を用いて分解・除害する装置である。この反応炉(30)には、内部に形成された排ガス処理室(36)に熱源となる電熱ヒーター(38)が複数配設されている。この電熱ヒーター(38)は、排ガス処理室(36)内を７００℃〜１３００℃程度の所定の温度に加熱して排ガス(E)を熱分解させる。

出口スクラバー(32)は、反応炉(30)で熱分解した排ガス(E)を水洗し、熱分解の際に生じた粉塵や水溶性成分などを当該排ガス(E)中から除去すると共に、排ガス(E)を冷却するためのものである。

水槽(34)は、入口スクラバー(28)に供給する水(W)を貯留すると共に、入口スクラバー(28)および出口スクラバー(32)から排出される水(W)を回収するタンクである。

以上のような各装置で構成された排ガス除害ユニット(16)の排ガス排出側の端部(具体的には出口スクラバー(32)の排ガス(E)通流方向下流側端部)には、個別出口配管(18)の一端(上流側端部)が接続されている。

また、この排ガス除害ユニット(16)は、配線(L2)を介して制御装置(22)に接続されており(図１参照)、制御装置(22)によって排ガス除害ユニット(16)の運転及び停止が制御されるようになっている。

なお、図１に示す本実施例の排ガス除害システム(10)では、３基ある排ガス除害ユニット(16)のうち、右側の１基を常時停止し、且つ入口バルブ(26)及び出口バルブ(44)を閉じてバックアップ用としている。又、３基ある排ガス除害ユニット(16)は、排ガス処理能力が同一のものを使用している。

個別出口配管(18)は、排ガス除害ユニット(16)の排出側端部と、除害処理が完了した排ガス(E)を集合させて大気中へ排出する排気ダクト(20)とを連通接続する配管である。

この個別出口配管(18)には、排ガス(E)を吸引して排ガス除害ユニット(16)内に導入すると共に、排ガス除害ユニット(16)で除害処理した排ガス(E)を排出する排気ファン(40)が取り付けられている。この排気ファン(40)は、配線(L3) を介して制御装置(22)に接続されており、制御装置(22)によって回転数が制御されるようになっている。

また、個別出口配管(18)には、内部の圧力を測定する出口圧力センサー(42)が取り付けられており、この出口圧力センサー(42)で測定した圧力データが信号線(S2)を介して制御装置(22)へ入力されるようになっている。

さらに、個別出口配管(18)の途中には、エアー弁や電磁弁などで構成され、個別出口配管(18)の流路を開閉する出口バルブ(44)が取り付けられている。この出口バルブ(44)は、配線(L4)を介して制御装置(22)に接続されており、制御装置(22)によって開閉操作される。

制御装置(22)は、排ガス除害ユニット(16)，入口バルブ(26)，排気ファン(40)及び出口バルブ(44)が所定の動作を行なうよう、シーケンス制御するためのものであり、ＣＰＵ[CentralProcessing Unit；中央処理装置](46)，メモリ(48)，入力装置(50)および表示装置(52)などで構成されている。

ＣＰＵ(46)は、メモリ(48)に記憶されたプログラムを実行する装置である。このＣＰＵ(46)には、図示しないインターフェースを介して入力側に各入口圧力センサー(24)及び各出口圧力センサー(42)が接続されると共に、出力側に各排ガス除害ユニット(16)，各入口バルブ(26)，各排気ファン(40)及び各出口バルブ(44)が接続されている。そして、このＣＰＵ(46)が入力装置(50)，各入口圧力センサー(24)及び各出口圧力センサー(42)からデータを受け取り、演算・加工した上で、排ガス除害ユニット(16)，入口バルブ(26)，排気ファン(40)及び出口バルブ(44)に所定の制御信号を出力するようになっている。

また、本実施例の制御装置(22)では、このＣＰＵ(46)に時刻装置(46a)が内蔵されており、ＣＰＵ(46)に入力された圧力のデータやＣＰＵ(46)より出力された各装置に対する制御信号のデータが時刻装置(46a)の時刻データと関連づけられてデータベースサーバ(54)に記憶されるようになっている。このため、制御装置(22)による排ガス除害システム(10)の制御状況を過去に遡って検証することができ、排ガス除害システム(10)の管理に資することができる。

メモリ(48)は、主としてＣＰＵ(46)に実行させるプログラムが記憶された装置である。本実施例では、このメモリ(48)に主として以下のような３つのプログラムが記憶されている。すなわち、第１のプログラムは、各入口圧力センサー(24)で測定した圧力が一定となるように、各排気ファン(40)の回転数を制御するプログラムである。また、第２のプログラムは、同一流路上にある入口圧力センサー(24)と出口圧力センサー(42)とで測定した圧力の差が所定の大きさ(例えば、数十Ｐａ〜数ｋＰａの範囲内にある所定値)以上になった際に、当該流路上の入口バルブ(26)及び出口バルブ(44)を閉操作すると共に、排ガス(E)の通流が遮断された排ガス除害ユニット(16)の運転を緊急停止させるプログラムである。そして、第３のプログラムは、第２のプログラムによる排ガス除害ユニット(16)の緊急停止が行なわれた際に、バックアップ用の排ガス除害ユニット(16)と同一流路上にある入口バルブ(26)及び出口バルブ(44)を開操作すると共に、バックアップ用の排ガス除害ユニット(16)の運転を開始させるプログラムである。本実施例の排ガス除害システム(10)では、制御装置(22)がこれらのプログラムを同時に実行するように構成されている。

入力装置(50)は、ＣＰＵ(46)に指示を与えたり、メモリ(48)に記憶されているプログラムを変更或いは修正等するための装置であり、具体的にはキーボードやタッチパネルなどがこの入力装置(50)に該当する。

表示装置(52)は、各入口圧力センサー(24)及び各出口圧力センサー(42)の圧力測定データやＣＰＵ(46)による各装置の制御信号などを表示するディスプレイ装置である。かかる表示装置(52)を設けることによって、排ガス除害システム(10)の稼働状況をリアルタイムで確認することができ、又、データベースサーバ(54)に記憶されたデータを呼び出せば、過去の稼働状況についても確認することができる。

以上のように構成された本実施例の排ガス除害システム(10)において、排ガス除害ユニット(16)の反応炉(30)を除く排ガス通流部分には、排ガス(E)に含まれる、或いは当該排ガス(E)の分解の際に生じるフッ酸などの腐食性成分による腐蝕から各部を守るため、塩化ビニル，ポリエチレン，不飽和ポリエステル樹脂およびフッ素樹脂などによる耐蝕性のライニングやコーティングが施されている。

次に、本実施例の排ガス除害システム(10)の作用について説明する。本実施例の排ガス除害システム(10)を用いて排ガス(E)を除害する際には、まず始めに、図示しない電源をオンにして、稼働させる排ガス除害ユニット(16)[図１に示す例の場合、左側と中央のもの]の電熱ヒーター(38)に通電を行い、排ガス処理室(36)内の加熱を開始させる。

続いて、排ガス処理室(36)内の温度が、排ガス(E)の除害が可能な所定の温度に達すると、当該排ガス除害ユニット(16)と同一流路上にある個別入口配管(14)の入口バルブ(26)及び個別出口配管(18)の出口バルブ(44)を開けて排気ファン(40)を作動させ、排ガス除害ユニット(16)に排ガス(E)を導入する。すると、排ガス(E)は、入口スクラバー(28)で水洗された後、反応炉(30)で熱分解され、出口スクラバー(32)で再度水洗されることによって除害される。

以上のように、排ガス除害ユニット(16)で除害された排ガス(E)は、排気ファン(40)にて吸引され、個別出口配管(18)を経由して排気ダクト(20)に集合させた後、大気中へと排出される。

本実施例の排ガス除害システム(10)によれば、３基設置された排ガス除害ユニット(16)に排ガス(E)を供給する各個別入口配管(14)のそれぞれに、入口圧力センサー(24)が取り付けられており、制御装置(22)によって各入口圧力センサー(24)で測定した圧力が一定となるように、各排気ファン(40)の回転数が制御されているので、メイン配管(12)に送給された大容量の排ガス(E)を各排ガス除害ユニット(16)に均等に分配することができ、各排ガス除害ユニット(16)内において同一の条件で当該排ガス(E)を除害することができる。特に、本実施例の排ガス除害システム(10)では、各入口圧力センサー(24)が、各個別入口配管(14)の排ガス通流方向における上流側先端(14a)から入口圧力センサー(24)取り付け位置までのコンダクタンスが互いに略等しくなるようにして各個別入口配管(14)に取り付けられているので、各排気ファン(40)の負荷を略均一にすることができると共に、各排ガス除害ユニット(16)に対してより一層均等に排ガス(E)を分配することができるようになる。したがって、従来より使用実績のある電熱酸化分解式で且つ小型の排ガス除害ユニット(16)を複数併用しているにもかかわらず、オペレーターの手を煩わせることなく、大容量の排ガス(E)を高い効率で安全且つ確実に除害することができる。

また、排ガス除害ユニット(16)を介して同一流路上にある入口圧力センサー(24)と出口圧力センサー(42)とで測定した圧力の差が所定の大きさ以上になった場合、すなわち排ガス除害ユニット(16)内で排ガス(E)の流路が閉塞する等のトラブルが生じた場合、制御装置(22)が入口バルブ(26)及び出口バルブ(44)を即座に閉操作すると共に、排ガス(E)の通流が遮断された排ガス除害ユニット(16)の運転を緊急停止させるので、何らかのトラブルが生じた排ガス除害ユニット(16)を、排ガス除害システム(10)から即座に縁切りすることができる。このため、排ガス除害システム(10)全体の稼働を停止させることなく、トラブルの生じた排ガス除害ユニット(16)のみを迅速且つ自動的に排ガス除害システム(10)から切り離すことができ、このようにトラブルの生じた排ガス除害ユニット(16)を安全にメンテナンスすることができる。

そして、３基の排ガス除害ユニット(16)のうち１基を常時停止してバックアップ用にすると共に、制御装置(22)が、排ガス除害ユニット(16)の何れかを緊急停止した際にバックアップ用の排ガス除害ユニット(16)の運転を開始させるようにしているので、排ガス除害システム(10)全体の排ガス除害能力を常時一定に保つことができる。

なお、上述の実施例では、排ガス除害ユニット(16)として、熱源に電熱ヒーター(38)を用いた電熱酸化分解式のものを使用する場合を示したが、排ガス除害ユニット(16)はこれに限定されるものではなく、例えば、熱源に燃焼炎や大気圧プラズマなどを用いたものであってもよい。つまり、この排ガス除害ユニット(16)は、難分解性の排ガス(E)を熱分解することができ、比較的小型でスペース利用効率に優れたものであれば如何なるものであってもよい。

また、排ガス除害ユニット(16)を３基設けると共に、そのうち１基をバックアップ用とする場合を示したが、排ガス除害システム(10)に設ける排ガス除害ユニット(16)の数は、処理対象となる排ガス(E)の排出量に応じて適宜設定することができ、２基であってもよいし、４基以上であってもよい（つまり、複数であればよい）。加えて、バックアップ用の排ガス除害ユニット(16)を少なくとも１基設けるようにすればよく、バックアップ用の排ガス除害ユニットを２基以上設けるようにしてもよい。

Claims

半導体製造装置より排出された排ガスが集合するメイン配管と、
個別入口配管を介して前記メイン配管に接続され、その内部にて前記個別入口配管を経由して供給された排ガスを除害処理する複数の排ガス除害ユニットと、
排気ファンが取り付けられた個別出口配管を介して前記各排ガス除害ユニットに接続され、前記各排ガス除害ユニットで除害処理した排ガスを集合させて大気中に排出する排気ダクトとを具備する排ガス除害システムであって、
前記各個別入口配管内の圧力を測定する入口圧力センサーが取り付けられると共に、
前記入口圧力センサーのそれぞれで測定した圧力が一定となるように前記各排気ファンの回転数を制御する制御装置が設けられ、
前記各個別入口配管の流路を開閉する入口バルブが取り付けられると共に、前記各個別出口配管の流路を開閉する出口バルブと前記各個別出口配管内の圧力を測定する出口圧力センサーとが取り付けられ、
前記排ガス除害ユニットを介して同一流路上にある前記入口圧力センサーと前記出口圧力センサーとで測定した圧力の差が所定の大きさ以上になった際、前記制御装置が、当該同一流路上の前記入口バルブ及び前記出口バルブを閉操作すると共に、排ガスの通流が遮断された排ガス除害ユニットの運転を緊急停止させることを特徴とする排ガス除害システム。
前記各個別入口配管には、当該配管の排ガス通流方向における上流側先端から入口圧力センサー取り付け位置までのコンダクタンスが互いに略等しくなる位置に前記各入口圧力センサーが取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の排ガス除害システム。
前記複数の排ガス除害ユニットのうち少なくとも１基を常時停止してバックアップ用にすると共に、前記制御装置が、前記排ガス除害ユニットの何れかを緊急停止した際に前記バックアップ用の排ガス除害ユニットの運転を開始させることを特徴とする請求項１又は２に記載の排ガス除害システム。
前記メイン配管のコンダクタンスが、前記個別入口配管のコンダクタンスよりも大きい
ことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の排ガス除害システム。
前記各個別入口配管の排ガス通流方向上流側先端が、前記メイン配管の底部より高い位置に配設されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の排ガス除害システム。