JP2007029790A - 過弗化物含有排ガスの処理方法及び処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 処理対象の過弗化物を含む排ガスを処理する1台又は複数台の過弗化物分解装置1,2に対して補助用の過弗化物分解装置3を設け、過弗化物分解装置の少なくとも1台の処理機能が低下したとき、その処理機能が低下した過弗化物分解装置に導入される排ガスの少なくとも一部を補助用の過弗化物分解装置により処理することにより、保守点検時等における排ガス処理能力を維持して、信頼性を向上することができる。
【選択図】 図1
Description
固形分除去装置5内では、水スプレーのみでも除去できるが、効率よく水と反応されるために、ラシヒリング等の充填物84を充填しておいてもよい。このようにして、固形分除去装置5で過弗化物を含む排ガスに含まれる水溶性物質、固形分、水との反応で固形物を生成するガスが除去された排ガスは、配管51を経由して加熱装置6に供給される。一方、固形分除去装置5で除去されたSiO2とHFを含む排水は、水封配管91に供給される。水封配管91は、2重配管の構造になっており、過弗化物を含むガスが排水タンク8に流入しないように、水封されている。なお、水封配管91の構造は、U字型にしても水封することはできる。水封配管91からは、排水のみが配管62を経由し、排水タンク8に排出する。
CHF3+H2O+1/2・O2→CO2+3HF (3)
SF6+3H2O→SO3+6HF (4)
NF3+3/2・H2O+1/2・O2→NO2+3HF (5)
ここで、CO2、HF、SO3、NO2を含む高温の分解ガスは、冷却装置7に導かれ、スプレーノズル81からのスプレー水によって約50℃以下に冷却される。このスプレー水は配管70、72、73を経由して供給される。
4 制御装置
5 固形分除去装置
20,21 三方弁
22,23 真空ポンプ
24,25 エッチャー
Claims (20)
- 処理対象の過弗化物を含む排ガスを処理する1台又は複数台の過弗化物分解装置に対して補助用の過弗化物分解装置を設け、前記過弗化物分解装置の少なくとも1台の処理機能が低下したとき、該処理機能が低下した過弗化物分解装置に導入される排ガスの少なくとも一部を前記補助用の過弗化物分解装置により処理する過弗化物含有排ガスの処理方法。
- 前記過弗化物分解装置に導入される前記排ガスの圧力を検知し、該検出圧力が設定値以上のとき、前記排ガスの少なくとも一部を前記補助用の過弗化物分解装置に導入して処理することを特徴とする請求項1に記載の過弗化物含有排ガスの処理方法。
- 前記過弗化物分解装置に導入される前記排ガスの供給圧力と該過弗化物分解装置から排出される処理ガス圧力との圧力差を求め、該圧力差に応じて前記排ガスの少なくとも一部を前記補助用の過弗化物分解装置に導入して処理することを特徴とする請求項1に記載の過弗化物含有排ガスの処理方法。
- 前記過弗化物分解装置から排出される処理ガスの過弗化物の濃度を検出し、該検出濃度に応じて前記排ガスの少なくとも一部を前記補助用の過弗化物分解装置に導入して処理することを特徴とする請求項1に記載の過弗化物含有排ガスの処理方法。
- 前記過弗化物分解装置は、前記排ガスを加熱する加熱手段と、該加熱された排ガス中の過弗化物を分解する触媒層とを備え、前記分解に必要な水を前記加熱手段の熱で水蒸気化して前記排ガスに混合することを特徴とする請求項1に記載の過弗化物含有排ガスの処理方法。
- 前記触媒層から排出される排ガス温度が100℃以上で、前記分解に必要な水を前記加熱手段に供給することを特徴とする請求項5に記載の過弗化物含有排ガスの処理方法。
- 前記加熱手段に前記排ガスと空気又は酸素を混合した排ガスを供給することを特徴とする請求項5又は6に記載の過弗化物含有排ガスの処理方法。
- 複数の過弗化物分解装置と、前記複数の過弗化物分解装置に処理対象の過弗化物を含む排ガスをそれぞれ導入する複数の排ガス導入配管とを有し、少なくとも一の前記過弗化物分解装置の排ガス導入配管は、排ガス分配装置を介して他の過弗化物分解装置の前記排ガス導入配管に連通可能に設けられてなる過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記排ガス分配装置は、前記他の過弗化物分解装置の処理機能の低下が検知されたとき、該処理機能が低下した過弗化物分解装置に導入される排ガスを前記一の過弗化物分解装置に切り替えることを特徴とする請求項8に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記処理対象の排ガスが複数の製造装置から排出される場合、前記排ガス分配装置は、前記他の過弗化物分解装置のうちの一の排ガス導入配管の排ガス量が設定量を越えたことが検知されたとき、該一の排ガス導入配管の排ガスの一部を前記一の過弗化物分解装置の排ガス導入配管に分流させることを特徴とする請求項8に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記処理対象の排ガスが複数の製造装置から排出される場合、前記排ガス分配装置は、前記複数の製造装置の少なくとも一つの製造装置から信号が出力されたとき、当該製造装置から導入されている排ガス導入配管の排ガスの一部を前記一の過弗化物分解装置の排ガス導入配管に分流させることを特徴とする請求項8に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記排ガス分配装置は、1個の三方弁又は2個の二方弁を用いて構成されていることを特徴とする請求項8乃至11のいずれか1項に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記過弗化物分解装置は、前記排ガスを加熱する加熱手段と、該加熱手段により加熱された排ガス中の過弗化物を分解する触媒層と、該触媒層により処理された排ガスを冷却する冷却手段とを備えて構成されることを特徴とする請求項8に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記加熱手段は、水を蒸気化して前記排ガスに混合することを特徴とする請求項13に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記加熱手段の内部に、水を蒸気化する蒸気配管が内蔵されていることを特徴とする請求項14に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記加熱手段は、前記排ガスに混合する空気又は酸素の供給配管が設けられていることを特徴とする請求項13乃至15のいずれか1項に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記加熱手段は、起動時に前記触媒層を昇温する昇温用空気の供給配管が設けられていることを特徴とする請求項13乃至16のいずれか1項に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記触媒層と前記冷却手段との間に伝熱を遮るセラミックスのスペーサを設けたことを特徴とする請求項13に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記加熱手段の上流側に、前記排ガスに含まれるケイ素分を除去する固形分除去手段を設け、該固形分除去手段と前記加熱手段との間に遮断弁を設けたことを特徴とする請求項13に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
- 前記冷却手段は、水を用いて冷却するとともに、該冷却手段の下流に排水タンクと、該排水タンクの水の少なくとも一部を前記冷却用の水に供給する排水ポンプを設けたことを特徴とする請求項13に記載の過弗化物含有排ガスの処理装置。
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