JP6874957B2 - 排ガス除害排出システム - Google Patents
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Description
処理対象の排ガスを無害化する排ガス処理部を備えた除害装置と、
前記排ガスを真空吸引して前記排ガス処理部に供給する真空ポンプと
を有しており、
前記真空ポンプは前記除害装置に内蔵されている内蔵真空ポンプであり、
前記内蔵真空ポンプとして、2軸スクリュー式真空ポンプを用いており、
前記除害装置の装置筐体の内部には、前記内蔵真空ポンプが、前記排ガス処理部の上側横方の位置において縦置き状態に配置され、
前記内蔵真空ポンプの吸気口は、当該内蔵真空ポンプのポンプケーシングの上端部に開口し、前記内蔵真空ポンプの排気口は、前記ポンプケーシングの下端部において横方に開口しており、
前記排ガス処理部の吸気口は、当該排ガス処理部の上端に位置しており、
前記内蔵真空ポンプの排気口は、前記排ガス処理部の吸気口と同一あるいは高い位置に配置されており、
前記内蔵真空ポンプの排気口と前記排ガス処理部の吸気口との間は、水平あるいは、前記排ガス処理部の吸気口に向けて下向きに配置した内部排ガス配管によって接続されている
ことを特徴としている。
れている。これらを用いることができることは勿論である。
1A、1B、1C、1D システム構成
1E 排ガス除害排出システム
2 半導体製造装置
3 クリーンルーム
4 上の階
5 下の階
6 プロセスチャンバ
11、11A、11B、11C、41 メカニカルブースターポンプ
11E、42 真空ポンプ
11a 排気口
12 除害装置
12a 吸込口
13、13E 排ガス配管
14 装置筐体
15 排ガス処理部
15a 吸気口
16 真空ポンプ
16A スクリュー式真空ポンプ
16a 吸気口
16b 排気口
17 内部排ガス配管
18 プラズマ反応器
19 出口スクラバ
20 廃液回収・循環タンク
21 制御盤
22 ポンプ集中制御盤
23 ポンプラック
31 ポンプケーシング
32 ポンプ室
33、34 スクリューロータ
Claims (6)
- 処理対象の排ガスを無害化する排ガス処理部を備えた除害装置と、
前記排ガスを真空吸引して前記排ガス処理部に供給する真空ポンプと
を有しており、
前記真空ポンプは前記除害装置に内蔵されている内蔵真空ポンプであり、
前記内蔵真空ポンプとして、2軸スクリュー式真空ポンプを用いており、
前記除害装置の装置筐体の内部には、前記内蔵真空ポンプが、前記排ガス処理部の上側横方の位置において縦置き状態に配置され、
前記内蔵真空ポンプの吸気口は、当該内蔵真空ポンプのポンプケーシングの上端部に開口し、前記内蔵真空ポンプの排気口は、前記ポンプケーシングの下端部において横方に開口しており、
前記排ガス処理部の吸気口は、当該排ガス処理部の上端に位置しており、
前記内蔵真空ポンプの排気口は、前記排ガス処理部の吸気口と同一あるいは高い位置に配置されており、
前記内蔵真空ポンプの排気口と前記排ガス処理部の吸気口との間は、水平あるいは、前記排ガス処理部の吸気口に向けて下向きに配置した内部排ガス配管によって接続されていることを特徴とする排ガス除害排出システム。 - 請求項1において、
前記除害装置はプラズマ式の除害装置であり、前記排ガス処理部は、プラズマ反応器、および、その下側に配置された廃液回収・循環タンクを備えており、
前記内蔵真空ポンプの吸気口から流し込まれ、当該内蔵真空ポンプのポンプ室および前記内部排ガス配管を介して前記排ガス処理部に流れ落ちる洗浄液が、当該排ガス処理部の前記廃液回収・循環タンクに回収されるようになっている排ガス除害排出システム。 - 請求項1または2において、さらに、
前記排ガスを真空吸引して前記内蔵真空ポンプに供給する前段側の真空ポンプを有しており、
前記前段側の真空ポンプは、前記除害装置に外付けされている外付け真空ポンプである排ガス除害排出システム。 - 請求項3において、
前記外付け真空ポンプとして、直列に接続された複数台の真空ポンプを備えている排ガス除害排出システム。 - 請求項4において、
前記外付け真空ポンプとして、メカニカルブースターポンプとスクリュー式真空ポンプとを備えている排ガス除害排出システム。 - 請求項4において、
前記外付け真空ポンプとして、複数台のメカニカルブースターポンプを備えている排ガス除害排出システム。
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JP2016184336A JP6874957B2 (ja) | 2016-09-21 | 2016-09-21 | 排ガス除害排出システム |
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CN111765081B (zh) * | 2020-06-24 | 2022-04-08 | 浙江恒翔神工真空科技有限公司 | 一种真空炉真空泵机组 |
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