TW202005703A - 氣體減量裝置 - Google Patents

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TW202005703A
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伊恩 法蘭西斯 基格里夫
高橋克典
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英商愛德華有限公司
日商埃地沃茲日本有限公司
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Abstract

本發明揭示一種用於使從一製程腔室接收之製程氣體減量之減量系統，該減量系統包括：複數個燃燒器模組(24、26)，各燃燒器模組(24、26)包括用於接收該製程氣體且在氧氣中燃燒該製程氣體之一各自燃燒器(36、50)；及一共同洗滌器(30)，其經組態以從該複數個燃燒器(36、50)之各者接收經燃燒製程氣體且從該所接收經燃燒製程氣體移除一或多個物質。

Description

氣體減量裝置
本發明係關於氣體減量，且特定言之係關於在從製程工具(諸如在半導體製造業中使用之一製程工具)排出之氣體之減量中使用之裝置。
真空泵抽及減量系統用於各種且不同技術領域中，例如半導體製造。通常，在該等系統中，真空泵抽設備用於從一特定位置泵抽氣體(例如，來自一工業製程之氣體)，且減量設備用於減量(例如，破壞或處置)已產生之非所要物質。
減量設備通常包括一燃燒器，該燃燒器經組態以在複數個噴嘴處接收製程氣體且藉由在一燃料與氧氣混合物中燃燒製程氣體而從其移除非所要物質。減量設備可進一步包括燃燒器下游之一清洗器(例如，一濕式洗滌器)以移除微粒物質及水溶性物質且處理由燃燒器產生之燃燒產物內之水反應性氣體。
本發明者已認知，可期望增加減量設備之容量，藉此容許在一給定時間段內使更大體積之製程氣體減量。
本發明者已進一步認知，藉由增加該減量設備之一入口處之噴嘴數目且亦增加該減量系統之一燃燒器之大小而增加該減量設備之該容量傾向於導致該燃燒器之行為及/或效能之非所要及/或不可預測改變。本發明者已認知，此可導致難以預測該製程氣體之燃燒副產物，此可導致難以實施該燃燒氣體之有效清潔。
本發明者已進一步認知，可藉由並行實施具有已知效能特性之多個(例如，相對較小)燃燒器(而非增加一燃燒器之大小)而增加該減量設備之容量，同時維持減量程序之有效性。該多個燃燒器之各者可具有預定已知數目個入口噴嘴。
在一態樣中，提供一種用於使從一製程腔室接收之製程氣體減量之減量系統。該減量系統包括：複數個燃燒器模組，各燃燒器模組包括用於接收該製程氣體且在氧氣中燃燒該製程氣體之一各自燃燒器及耦合至該燃燒器模組之該燃燒器之一各自冷卻器，各冷卻器經組態以冷卻由該冷卻器所耦合至之該燃燒器輸出之該經燃燒製程氣體；及一共同洗滌器，其經組態以從該複數個燃燒器模組之各者接收經燃燒且經冷卻之製程氣體且從該所接收經燃燒製程氣體移除一或多個物質。有利地，該等各自冷卻器冷卻該經燃燒製程氣體，此傾向於改良該共同洗滌器之有效性，且傾向於減小該經燃燒製程氣體對下游組件(諸如該共同洗滌器)之腐蝕或損害。此外，經燃燒製程氣體之冷卻傾向於促進由該等燃燒器模組及/或該共同洗滌器輸出之產物(例如，固體、液體及/或氣體產物)之處置(例如，處理、收集等)。有利地，該等各自冷卻器對該經燃燒氣體之該冷卻傾向於在一短(例如，垂直)距離內發生。
該減量系統可進一步包括一槽，該槽經配置以收集由該複數個燃燒器模組及/或該共同洗滌器輸出之液體。該槽可耦合於該複數個燃燒器模組與該共同洗滌器之間。該槽可包括一塑膠(例如，由其製成)。換言之，該槽之壁可為一塑膠。該塑膠槽傾向於抵抗由該複數個燃燒器模組及/或該共同洗滌器輸出之(例如，酸性)液體之腐蝕。一塑膠槽之使用傾向於藉由使用該等冷卻器來將該經燃燒製程氣體冷卻至該塑膠材料不受損害之一溫度而促進或實現。與其他材料(諸如金屬，例如不銹鋼)之槽相比，該塑膠槽傾向於更抵抗斷裂。
例如，可存在恰好一個共同洗滌器、恰好兩個共同洗滌器、恰好三個共同洗滌器或恰好四個共同洗滌器。
該等冷卻器之至少一者可為一淬火器件。
該等燃燒器模組之各者可包括各自複數個噴嘴，其等經配置以接收該製程氣體且將該所接收製程氣體引入至該燃燒器模組之該燃燒器中。
該等燃燒器模組可為實質上相同的。
該共同洗滌器可為選自由以下項構成之洗滌器群組之一洗滌器：濕式洗滌器、乾式洗滌器、吸收器、吸附器、擋板噴霧洗滌器、噴射文氏管洗滌器、液氣比洗滌器、機械輔助洗滌器、噴霧塔、噴霧噴嘴、汽提塔、乾式靜電集塵器、濕式靜電集塵器及文氏管洗滌器。較佳地，該共同洗滌器係一濕式洗滌器。
該等燃燒器模組可經組態以彼此並行操作。
該等燃燒器模組可經組態以彼此獨立操作。此可使得該複數個燃燒器模組之一者可處於一「開啟」狀態而該複數個燃燒器模組之另一者處於一「關閉」狀態。此傾向於容許維修一或多個燃燒器堆疊，同時仍運行其他燃燒器堆疊。
該減量系統可包括恰好兩個燃燒器模組。該減量系統可包括恰好一個洗滌器。
在一進一步態樣中，提供一種用於從一製程腔室抽空製程氣體且使該製程氣體減量之一真空泵抽及減量系統。該系統包括用於從該製程腔室抽空製程氣體之一真空泵抽系統及用於使從該製程腔室抽空之該製程氣體減量之一減量系統。該減量系統係根據任何前述態樣。
在一進一步態樣中，提供一種用於使從一製程腔室接收之製程氣體減量之方法。該方法包括：藉由複數個燃燒器模組之各者接收該製程氣體，各燃燒器模組包括一各自燃燒器及耦合至該各自燃燒器之一各自冷卻器；藉由該等燃燒器在氧氣中燃燒該製程氣體；藉由該等冷卻器冷卻該經燃燒製程氣體；藉由一共同洗滌器從該複數個燃燒器之各者接收經燃燒且經冷卻之製程氣體；及藉由該共同洗滌器從該所接收經燃燒製程氣體移除一或多個物質。
在一進一步態樣中，提供一種用於使從一製程腔室接收之製程氣體減量之減量系統，該減量系統包括：複數個燃燒器模組，各燃燒器模組包括用於接收該製程氣體且在氧氣中燃燒該製程氣體之一各自燃燒器；及一或多個共同洗滌器，該一或多個共同洗滌器之各者經配置以從該複數個燃燒器之各者接收經燃燒製程氣體且從該所接收經燃燒製程氣體移除一或多個物質。該等燃燒器模組經組態以彼此獨立操作。此傾向於容許該複數個燃燒器模組之一或多者處於一「開啟」狀態(即，燃燒製程氣體)，而該複數個燃燒器模組之一或多個其他者處於一「關閉」狀態(即，未燃燒製程氣體)。因此，該等燃燒器模組(或燃燒器堆疊)之一或多者可關閉、維修、經歷維護、修復等，而該等燃燒器模組之其他者保持開啟，即，燃燒該製程氣體。
在一進一步態樣中，提供一種用於使從一製程腔室接收之製程氣體減量之減量系統，該減量系統包括：複數個燃燒器模組，各燃燒器模組包括用於接收該製程氣體且在氧氣中燃燒該製程氣體之一各自燃燒器；及一或多個共同洗滌器，該一或多個共同洗滌器之各者經配置以從該複數個燃燒器之各者接收經燃燒製程氣體且從該所接收經燃燒製程氣體移除一或多個物質。例如，可存在恰好一個共同洗滌器、恰好兩個共同洗滌器、恰好三個共同洗滌器或恰好四個共同洗滌器。
在任何前述態樣中，該減量系統可進一步包括複數個冷卻器，各冷卻器耦合至該複數個燃燒器之一各自者，各冷卻器經組態以冷卻由該冷卻器所耦合至之該燃燒器輸出之該經燃燒製程氣體且輸出經冷卻之經燃燒製程氣體以供該共同洗滌器使用。
該等燃燒器模組之各者可包括各自複數個噴嘴，其等經配置以接收該製程氣體且將該所接收製程氣體引入至該燃燒器模組之該燃燒器中。
該等燃燒器模組可為實質上相同的。
該一或多個共同洗滌器之各者可為選自由以下項構成之洗滌器群組之一洗滌器：濕式洗滌器、乾式洗滌器、吸收器、吸附器、擋板噴霧洗滌器、噴射文氏管洗滌器、液氣比洗滌器、機械輔助洗滌器、噴霧塔、噴霧噴嘴、汽提塔、乾式靜電集塵器、濕式靜電集塵器及文氏管洗滌器。
該減量系統可進一步包括一槽，該槽經配置以收集由該複數個燃燒器模組及/或該一或多個共同洗滌器輸出之液體。
該槽可耦合於該複數個燃燒器模組與該一或多個共同洗滌器之間。
該槽可包括一塑膠。
該等燃燒器模組可經組態以彼此並行操作。
該等燃燒器模組可經組態以彼此獨立操作，使得該複數個燃燒器模組之一者可處於一「開啟」狀態而該複數個燃燒器模組之另一者處於一「關閉」狀態。
該減量系統可包括恰好兩個燃燒器模組。
該減量系統可包括恰好一個洗滌器。
在一進一步態樣中，提供一種用於從一製程腔室抽空製程氣體且使該製程氣體減量之真空泵抽及減量系統，該系統包括：一真空泵抽系統，其用於從該製程腔室抽空製程氣體；及一減量系統，其用於使從該製程腔室抽空之該製程氣體減量；其中該減量系統係根據該第一態樣。
在一進一步態樣中，提供一種用於使從一製程腔室接收之製程氣體減量之方法，該方法包括：藉由複數個燃燒器模組之各者接收該製程氣體，各燃燒器模組包括一各自燃燒器；藉由該等燃燒器在氧氣中燃燒該製程氣體；藉由一或多個共同洗滌器從該複數個燃燒器之各者接收經燃燒製程氣體；及藉由該一或多個共同洗滌器從該所接收經燃燒製程氣體移除一或多個物質。
圖1係用於從一製程腔室12抽空製程氣體且從製程氣體移除有害物質之一真空泵抽及減量系統10之一示意圖(未按比例)。
產物之處理在存在一製程氣體之製程腔室12中執行，例如，諸如藉由介電蝕刻或平板蝕刻處理矽晶圓。通常，在處理期間或之後，從製程腔室12排出製程氣體中之有害物質。此等有害物質可包含(但不限於) CF4 、C2 F6 、NF3 、SF6 、SiF4 、SiCl4 及/或Cl2 。
系統10包括一真空泵14，該真空泵14經組態以經由一第一流體連接16 (通常被稱為一「前級管線(foreline)」)從製程腔室12泵抽製程氣體。在此實施例中，真空泵14包括一或多個乾式真空泵 (即，在無潤滑劑或油的情況下沿穿過泵之氣體流徑操作之一真空泵)。
在一些實施例中，使用乾氮氣來沖洗真空泵14且稀釋潛在腐蝕性氣體。在一些實施例中，可使用空氣來沖洗真空泵14。較佳地，在引入至真空泵14之前從沖洗氣體(即，乾氮氣或空氣)移除油及水分之一者或兩者。將瞭解，代替乾氮氣或空氣，可使用其他氣體來沖洗真空泵14。
系統10進一步包括經由一第二流體連接20流體連接至真空泵14之一減量裝置18。隨後在下文參考圖2更詳細描述減量裝置18。減量裝置18經組態以從自真空泵14接收之製程氣體移除有害物質且經由一第三流體連接22輸出一廢氣。較佳地，減量裝置18經組態以將所接收製程氣體之一組分轉換為一不同化合物或若干化合物。
減量裝置18可經由第三流體連接20將廢氣輸出至例如環境或其他氣體處理及/或儲存裝置(圖中未展示)。
較佳地，流體連接16、20、22之各者內之氣壓係低於大氣壓的。此有利地傾向於提供，在一無意洩漏之事件中，該等流體連接16、20、22內部之氣體不流出該等流體連接16、20、22且代替地空氣傾向於被汲取至該等流體連接16、20、22中。
圖2係展示減量裝置18之一示意圖(未按比例)。
在此實施例中，減量裝置18包括一第一燃燒器模組24、一第二燃燒器模組26、一排放槽28及一清洗器(即，洗滌器) 30。
第一燃燒器模組24包括包含複數個第一噴嘴34之一頭部32、一第一燃燒器(burner或combustor) 36及一第一淬火器件38。
如圖2中展示，可存在六個第一噴嘴34。第一噴嘴34耦合至第二流體連接20，使得在操作中，第一噴嘴34接收製程氣體之一各自部分，如在圖2中藉由一虛線箭頭及參考數字40指示。第一噴嘴34係第一燃燒器模組24之輸入端。第一噴嘴34進一步耦合至第一燃燒器36，使得在操作中，藉由第一噴嘴34將製程氣體噴射至第一燃燒器36中。
第一燃燒器36經組態以從第一噴嘴34接收製程氣體。第一燃燒器36經進一步組態以例如在一燃料與氧氣混合物中燃燒(burn或combust)所接收製程氣體。可在一燃料輸入端(未展示)處將燃料(例如，天然氣)噴射至第一燃燒器36中。在一些實施例中，將純氧引入至第一燃燒器36以實現或促進製程氣體之燃燒。較佳地，第一燃燒器36內之一壓力係低於大氣壓的。此有利地傾向於提供，在一無意洩漏之事件中，第一燃燒器36內部之氣體不從第一燃燒器36被排至環境且代替地空氣傾向於被汲取至第一燃燒器36中。
第一燃燒器36進一步耦合至第一淬火器件38，使得在操作中，來自第一燃燒器36之經燃燒製程氣體由第一淬火器件38接收，如在圖2藉由一虛線箭頭及參考數字42指示。
第一淬火器件38經組態以將經燃燒製程氣體從一相對高溫度(例如，約800°C至1200°C，例如約1000°C)冷卻至一相對低溫度(例如，約50°C至100°C，例如約60°C)。更特定言之，第一淬火器件38跨流動穿過其中之經燃燒製程氣流噴水(例如，作為一細霧)，藉此蒸發地冷卻該氣流。
第一淬火器件38進一步在排放槽28之一第一端處或附近耦合至排放槽28，使得在操作中，經冷卻氣流從第一淬火器件38輸出且進入至排放槽28中，如在圖2藉由一虛線箭頭及參考數字44指示。
在此實施例中，第二燃燒器模組26實質上相同於第一燃燒器模組24。特定言之，第二燃燒器模組26包括包含複數個第二噴嘴48之一頭部46、一第二燃燒器(burner或combustor) 50及一第二淬火器件52。
如圖2中展示，可存在六個第二噴嘴48。第二噴嘴48耦合至第二流體連接20，使得在操作中，第二噴嘴48接收製程氣體之一各自部分，如在圖2中藉由一虛線箭頭及參考數字40指示。第二噴嘴48係第二燃燒器模組26之輸入端。第二噴嘴48進一步耦合至第二燃燒器50，使得在操作中，由第二噴嘴48將製程氣體噴射至第二燃燒器50中。
第二燃燒器50經組態以從第二噴嘴48接收製程氣體。第二燃燒器50經進一步組態以例如在一燃料與氧氣混合物中燃燒(burn或combust)所接收製程氣體。可在一燃料輸入端(未展示)處將燃料(例如，天然氣)噴射至第二燃燒器50中。在一些實施例中，將純氧引入至第二燃燒器50以實現或促進製程氣體之燃燒。較佳地，第二燃燒器50內之一壓力係低於大氣壓的。此有利地傾向於提供，在一無意洩漏之事件中，第二燃燒器50內部之氣體不從第二燃燒器50被排至環境且代替地空氣傾向於被汲取至第二燃燒器50中。
第二燃燒器50進一步耦合至第二淬火器件52，使得在操作中，來自第二燃燒器50之經燃燒製程氣體由第二淬火器件52接收，如在圖2藉由一虛線箭頭及參考數字54指示。
第二淬火器件52經組態以將經燃燒製程氣體從一相對高溫度(例如，約800°C至1200°C，例如約1000°C)冷卻至一相對低溫度(例如，約50°C至100°C，例如約60°C)。更特定言之，第二淬火器件52跨流動穿過其中之經燃燒製程氣流噴水(例如，作為一細霧)，藉此蒸發地冷卻該氣流。
第二淬火器件52進一步在排放槽28之第一端處或附近耦合至排放槽28，使得在操作中，經冷卻氣流從第二淬火器件52輸出且進入至排放槽28中，如在圖2藉由一虛線箭頭及參考數字56指示。
排放槽28係一塑膠槽，例如阻燃聚丙烯(FRPP)或氯化聚氯乙烯(CPVC)。
第一燃燒器模組24及第二燃燒器模組26在排放槽28之第一端處耦合至排放槽28之一上表面。第一燃燒器模組24及第二燃燒器模組26耦合至排放槽28，使得第一燃燒器模組24及第二燃燒器模組26相鄰且隔開。第一燃燒器模組24及第二燃燒器模組26經由各自氣密密封件耦合至排放槽28以防止或抵抗氣體洩漏。
清洗器30在排放槽28之一第二端處耦合至排放槽28之上表面，排放槽28之第二端與排放槽28之第一端相對。清洗器30經由一氣密密封件耦合至排放槽28以防止或抵抗氣體洩漏。
在操作中，經蒸發地冷卻之氣流從燃燒器模組24、26之淬火器件38、52流動通過排放槽28且至清洗器30中。此氣體流動在圖2中藉由虛線箭頭及參考數字44及56指示。因此，清洗器30接收經冷卻、經燃燒製程氣體。此氣體流動44、56可由例如真空泵14迫使氣體通過減量裝置18及/或由減量裝置18下游之汲取氣體通過減量裝置18之一進一步泵(未展示)引起。
清洗器30經組態以從流動通過其之一氣流移除某些物質。清洗器30可為例如經組態以將一洗滌液體(例如，水)引入至流動通過清洗器30之氣流中之一濕式洗滌器。例如，清洗器30可對氣流噴灑洗滌液體，或可迫使氣流通過洗滌液體之一貯槽，或可實施某其他接觸方法。
除耦合至排放槽28之上表面以外，清洗器30進一步在與耦合至排放槽28之清洗器30之端相對之清洗器30之一端處耦合至第三流體連接22。
在操作中，清洗器30從排放槽28接收經冷卻、經燃燒製程氣體44、56。該氣體流動通過清洗器30，如在圖2中藉由一虛線箭頭及參考數字58指示，藉此其藉由清洗器30之操作進行清洗(即，洗滌)。將經清洗氣流從清洗器30輸出至第三流體連接22，藉此經清洗氣流離開減量裝置18，如在圖2中藉由一虛線箭頭及參考數字60指示。
在此實施例中，在經冷卻、經燃燒製程氣體動通過清洗器30時，清洗器30之操作從該氣體流移除固體微粒物質(例如，砂、灰塵、灰分、灰塵或其他顆粒)。例如，可在洗滌液體之液滴中捕獲固體微粒物質。洗滌液體之此等液滴落入至排放槽28中，在其中其等被收集於液體池62中。
在此實施例中，在經冷卻、經燃燒製程氣體流動通過清洗器30時，清洗器30之操作從該氣體移除某些氣態物質。例如，氣流內之水溶性氣態物質傾向於被吸收或溶解於被引入至氣流之洗滌液體中。洗滌液體之此等液滴落入至排放槽28中，在其中其等被收集於液體池62中。
排放槽28亦可在液體池62中收集由淬火器件38、52輸出之液體。
清洗器30之操作可進一步冷卻流動通過其之氣流。
在一些實施例中，氣態水溶性物質從氣流之此移除意謂收集於排放槽28中之液體62係酸性的。例如，液體62可包括氫氟酸。有利地，塑膠排放槽28傾向於抵抗酸性液體62之腐蝕或溶解。
離開清洗器30之經清洗氣流60可包含在製程腔室12中執行之製程及在燃燒器36、50中執行之燃燒反應之非水溶性副產物。
在此實施例中，排放槽28包括一出口64，可經由該出口64將收集於排放槽28中之材料(諸如液體62及固體物質)從排放槽28移除(例如，週期性地)。較佳地，排放槽28包括經組態以量測排放槽28中之液體62之酸鹼值之一感測器(未展示)。較佳地，排放槽28包括一入口(未展示)，可經由該入口將水或另一流體(例如，一鹼性液體)引入至排放槽28中，藉此將液體62之酸鹼值維持在一預定義臨限值位凖。
因此，提供一減量裝置。
有利地，與習知減量裝置相比，上述減量裝置傾向於具有增加數目個入口噴嘴。因此，減量裝置之容量傾向於增加。因此，可在一給定時間段內使較大體積之製程氣體減量。
習知地，增加入口噴嘴之數目傾向於需要一較大燃燒器以燃燒增加體積之製程氣體。噴嘴效能傾向於受到燃燒器大小之影響。例如，藉由增加耦合至噴嘴之燃燒器之大小，噴嘴行為可以一不利方式或以難以預測之一方式受到影響。此傾向於意謂難以特性化在較大燃燒器中發生之燃燒反應，從而意謂難以或無法預測燃燒產物。此可導致對經燃燒製程氣體之較不有效處理(例如，清洗)。
有利地，上述減量裝置傾向於藉由實施可並行操作且耦合至一共同排放槽及清洗器之多個單獨燃燒器模組而減輕或克服此問題。此等多個燃燒器之各者具有預定義、已知數目個入口噴嘴，例如六個噴嘴。而且，此等多個燃燒器之各者具有已知且可預測之效能特性及行為。以此方式，一噴嘴過載之可能性傾向於被減小且在各燃燒器中發生之各自燃燒反應傾向於係可預測的。因此，燃燒製程氣體之副產物傾向於可容易地預測且可更容易實施有效清洗。
有利地，經燃燒製程氣體之冷卻傾向於在一短垂直距離內發生。在冷卻之前，可存在一「堰(weir)」，其在實際燃燒器下方提供一延伸熱區。此傾向於增加高溫下之駐留時間及因此反應效率，同時保護反應腔室之外壁。
上述減量裝置可被稱為一「配對」減量裝置。
在上文實施例中，系統包括從其泵抽製程氣體且使製程氣體減量之一單一製程腔室。然而，在其他實施例中，系統可包含從其等泵抽製程氣體且使製程氣體減量之多個不同製程腔室。在一些實施例中，實質上相同製程可在多個不同製程腔室中實行。在一些實施例中，不同製程可在不同製程腔室中實行。來自多個不同製程腔室之製程氣體可為相同或不同製程氣體。製程氣體可以相同或不同速率從多個不同製程腔室排出。
在上文實施例中，系統包括一單一真空泵。然而，在其他實施例中，系統包括多個真空泵。在上文實施例中，真空泵係在減量裝置之上游。然而，在其他實施例中，真空泵之一或多者定位於減量裝置之下游。
在上文實施例中，真空泵係一乾式真空泵。然而，在其他實施例中，真空泵之一或多者係一不同類型之泵，例如一液環泵。
在上文實施例中，減量裝置包括兩個不同燃燒器模組。然而，在其他實施例中，減量裝置包括不同數目個燃燒器模組。在一些實施例中，減量裝置包括兩個以上燃燒器模組，例如3個、4個、5個、6個、7個、8個、9個或10個燃燒器模組。
在上文實施例中，減量裝置之燃燒器模組並行操作。然而，在其他實施例中，燃燒器模組之一或多者可關閉(或以一減小速率或容量操作)，而其他燃燒器模組之一或多者開啟。
在上文實施例中，燃燒器模組各包括六個入口噴嘴。然而，在其他實施例中，燃燒器模組之一或多者包括不同數目個入口噴嘴。在一些實施例中，燃燒器模組之一或多者包括六個以下噴嘴，即1個、2個、3個、4個或5個噴嘴。在一些實施例中，燃燒器模組之一或多者包括六個以上噴嘴，例如7個、8個、9個、10個、11個、12個、13個、14個或15個噴嘴。較佳地，各燃燒器模組包括與其他燃燒器模組之各者相同數目個入口噴嘴。
在上文實施例中，清洗器係一濕式洗滌器。然而，在其他實施例中，代替或除清洗器以外，可使用從經燃燒製程氣體移除物質之一不同類型之器件。換言之，可實施除一濕式洗滌器以外的一不同類型之洗滌器。可使用之不同類型之洗滌器之實例包含(但不限於)濕式洗滌器、乾式洗滌器、吸收器、吸附器、擋板噴霧洗滌器、噴射文氏管洗滌器、液氣比洗滌器、機械輔助洗滌器、噴霧塔、噴霧噴嘴、汽提塔、乾式靜電集塵器、濕式靜電集塵器及文氏管洗滌器。
在上文實施例中，減量裝置包括僅一單一清洗器(即，洗滌器)，該清洗器由多個燃燒器模組共有或共用。然而，在其他實施例中，減量裝置包括不同數目個洗滌器，各經配置以從排放槽接收氣體。換言之，減量裝置可包括多個洗滌器，例如2個、3個、4個、5個、6個、7個、8個、9個或10個洗滌器，其等之各者從燃燒器模組之各者接收輸入氣體。多個洗滌器可具有相同類型，例如多個洗滌器可實質上彼此相同。有利地，與僅使用相同大小之一單一洗滌器相比，多個洗滌器之使用傾向於增加減量裝置之容量。多個洗滌器之使用傾向於增加減量裝置之容量，同時避免較大大小/容量洗滌器之使用。較大大小/容量洗滌器之使用可以一不利方式或以難以預測之一方式影響氣體之洗滌及/或下游(或實際上，上游)實體之操作。然而，在一些實施例中，可實施較小數目個較大大小/容量洗滌器。
在上文實施例中，減量裝置之燃燒器模組實質上彼此相同。然而，在其他實施例中，燃燒器模組之一或多者不同於其他燃燒器模組之一或多者。
在上文實施例中，使用淬火器件來冷卻經燃燒製程氣體。然而，在其他實施例中，代替或除淬火器件之一或多者以外，使用一或多個不同類型之冷卻器來冷卻經燃燒製程氣體。
在一些實施例中，減量裝置包括上文未描述之一或多個進一步子系統。例如，減量裝置可包括選自由以下項構成之群組之一或多個設備或子系統：熱反應器、燃燒箱、催化單元、電漿單元、過濾器、洗滌器、吸收及吸附單元、冷卻腔室、酸性氣體洗滌器等。
10‧‧‧真空泵抽及減量系統 12‧‧‧製程腔室 14‧‧‧真空泵 16‧‧‧第一流體連接 18‧‧‧減量裝置 20‧‧‧第二流體連接 22‧‧‧第三流體連接 24‧‧‧第一燃燒器模組 26‧‧‧第二燃燒器模組 28‧‧‧排放槽 30‧‧‧清洗器 32‧‧‧頭部 34‧‧‧第一噴嘴 36‧‧‧第一燃燒器 38‧‧‧第一淬火器件 40‧‧‧虛線箭頭 42‧‧‧虛線箭頭 44‧‧‧虛線箭頭 46‧‧‧頭部 48‧‧‧第二噴嘴 50‧‧‧第二燃燒器 52‧‧‧第二淬火器件 54‧‧‧虛線箭頭 56‧‧‧虛線箭頭 58‧‧‧虛線箭頭 60‧‧‧虛線箭頭 62‧‧‧液體池/液體 64‧‧‧出口
圖1係展示一真空泵抽及減量系統之一示意圖(未按比例)；及 圖2係展示一真空泵抽及減量系統之減量裝置之一透視圖之一示意圖(未按比例)。
18‧‧‧減量裝置
20‧‧‧第二流體連接
22‧‧‧第三流體連接
24‧‧‧第一燃燒器模組
26‧‧‧第二燃燒器模組
28‧‧‧排放槽
30‧‧‧清洗器
32‧‧‧頭部
34‧‧‧第一噴嘴
36‧‧‧第一燃燒器
38‧‧‧第一淬火器件
40‧‧‧虛線箭頭
42‧‧‧虛線箭頭
44‧‧‧虛線箭頭
46‧‧‧頭部
48‧‧‧第二噴嘴
50‧‧‧第二燃燒器
52‧‧‧第二淬火器件
54‧‧‧虛線箭頭
56‧‧‧虛線箭頭
58‧‧‧虛線箭頭
60‧‧‧虛線箭頭
62‧‧‧液體池/液體
64‧‧‧出口

Claims (15)

  1. 一種用於使從一製程腔室接收之製程氣體減量之減量系統，該減量系統包括： 複數個燃燒器模組，各燃燒器模組包括： 一各自燃燒器，其用於接收該製程氣體且在氧氣中燃燒該製程氣體；及 一各自冷卻器，其耦合至該燃燒器模組之該燃燒器，各冷卻器經組態以冷卻由該冷卻器所耦合至之該燃燒器輸出之該經燃燒製程氣體；及 一共同洗滌器，其經組態以從該複數個燃燒器模組之各者接收經燃燒且經冷卻之製程氣體且從該所接收經燃燒製程氣體移除一或多個物質。
  2. 如請求項1之減量系統，其進一步包括一槽，該槽經配置以收集由該複數個燃燒器模組及/或該共同洗滌器輸出之液體。
  3. 如請求項2之減量系統，其中該槽耦合於該複數個燃燒器模組與該共同洗滌器之間。
  4. 如請求項2或3之減量系統，其中該槽包括一塑膠。
  5. 如請求項1至3中任一項之減量系統，其中該等冷卻器之至少一者係一淬火器件。
  6. 如請求項1至3中任一項之減量系統，其中該等燃燒器模組之各者包括各自複數個噴嘴，其等經配置以接收該製程氣體且將該所接收製程氣體引入至該燃燒器模組之該燃燒器中。
  7. 如請求項1至3中任一項之減量系統，其中該等燃燒器模組係實質上相同的。
  8. 如請求項1至3中任一項之減量系統，其中該共同洗滌器係選自由以下項構成之洗滌器群組之一洗滌器：濕式洗滌器、乾式洗滌器、吸收器、吸附器、擋板噴霧洗滌器、噴射文氏管洗滌器、液氣比洗滌器、機械輔助洗滌器、噴霧塔、噴霧噴嘴、汽提塔、乾式靜電集塵器、濕式靜電集塵器及文氏管洗滌器。
  9. 如請求項8之減量系統，其中該共同洗滌器係一濕式洗滌器。
  10. 如請求項1至3中任一項之減量系統，其中該等燃燒器模組經組態以彼此並行操作。
  11. 如請求項1至3中任一項之減量系統，其中該等燃燒器模組經組態以彼此獨立操作，使得該複數個燃燒器模組之一者可處於一「開啟」狀態而該複數個燃燒器模組之另一者處於一「關閉」狀態。
  12. 如請求項1至3中任一項之減量系統，其中該減量系統包括恰好兩個燃燒器模組。
  13. 如請求項1至3中任一項之減量系統，其中該減量系統包括恰好一個洗滌器。
  14. 一種用於從一製程腔室抽空製程氣體且使該製程氣體減量之一真空泵抽及減量系統，該系統包括： 一真空泵抽系統，其用於從該製程腔室抽空製程氣體；及 一減量系統，其用於使從該製程腔室抽空之該製程氣體減量；其中 該減量系統係根據請求項1至13中任一項。
  15. 一種用於使從一製程腔室接收之製程氣體減量之方法，該方法包括： 藉由複數個燃燒器模組之各者接收該製程氣體，各燃燒器模組包括一各自燃燒器及耦合至該各自燃燒器之一各自冷卻器； 藉由該等燃燒器在氧氣中燃燒該製程氣體； 藉由該等冷卻器冷卻該經燃燒製程氣體； 藉由一共同洗滌器從該複數個燃燒器之各者接收經燃燒且經冷卻之製程氣體；及 藉由該共同洗滌器從該所接收經燃燒製程氣體移除一或多個物質。
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