JPH03243842A - 微量漏洩ガス測定法 - Google Patents
微量漏洩ガス測定法Info
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- JPH03243842A JPH03243842A JP2040434A JP4043490A JPH03243842A JP H03243842 A JPH03243842 A JP H03243842A JP 2040434 A JP2040434 A JP 2040434A JP 4043490 A JP4043490 A JP 4043490A JP H03243842 A JPH03243842 A JP H03243842A
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 41
- 239000001307 helium Substances 0.000 abstract description 37
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 abstract description 37
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 37
- 239000003758 nuclear fuel Substances 0.000 abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、微量漏洩ガス測定法に係り、特に原子燃料体
等から漏洩するヘリウム等の微量漏洩ガス測定法に関す
る。
等から漏洩するヘリウム等の微量漏洩ガス測定法に関す
る。
（従来の技術及び発明が解決しようとする課題）一般に
、原子燃料体内部に封入されたヘリウムの漏洩量を検出
する方法として、原子燃料体をチャンバー内に密封し、
真空排気後、この漏洩ヘリウムを検出器例えば質量分析
計に導き分析して漏洩ヘリウム量を測定することが行わ
れていた。
、原子燃料体内部に封入されたヘリウムの漏洩量を検出
する方法として、原子燃料体をチャンバー内に密封し、
真空排気後、この漏洩ヘリウムを検出器例えば質量分析
計に導き分析して漏洩ヘリウム量を測定することが行わ
れていた。
これを第４図により具体的に示すと、チャンバー１０内
を開閉弁１１を介して所定時間排気ポンプ１２により排
気した後、チャンバー１０内に漏洩するヘリウム等の気
体を開閉弁１３を介して直に排気ポンプ１４により検出
器１５に導きヘリウム等の漏洩量を検出し、これを第５
図のようにレコーダチャト上に過度特性曲線を描くよう
にして求めていた。
を開閉弁１１を介して所定時間排気ポンプ１２により排
気した後、チャンバー１０内に漏洩するヘリウム等の気
体を開閉弁１３を介して直に排気ポンプ１４により検出
器１５に導きヘリウム等の漏洩量を検出し、これを第５
図のようにレコーダチャト上に過度特性曲線を描くよう
にして求めていた。
この検出方法は単純ではあるが、ヘリウム等の飽和漏洩
量Ｑを検出するには相当の時間がかかってしまうので、
普通、前記過度特性曲線の時定数τを求め、この時定値
τを１，５９倍（１／τ）して概略的な飽和漏洩量Ｑを
算出する方法が採用されていた。
量Ｑを検出するには相当の時間がかかってしまうので、
普通、前記過度特性曲線の時定数τを求め、この時定値
τを１，５９倍（１／τ）して概略的な飽和漏洩量Ｑを
算出する方法が採用されていた。
ところで、チャンバー１０からヘリウム等の気体を直接
に検出器１５に導くと、このチャンバー内壁等に吸蔵さ
れているヘリウムが断続的に放出されるのでその検出特
性に大きな揺らぎ部ＰＩ。
に検出器１５に導くと、このチャンバー内壁等に吸蔵さ
れているヘリウムが断続的に放出されるのでその検出特
性に大きな揺らぎ部ＰＩ。
Ｐ２・・・が生しく第５図参照）、この特性値からでは
飽和漏洩ｆｆ１Ｑを正確に読取ることがでいない等の問
題がある。
飽和漏洩ｆｆ１Ｑを正確に読取ることがでいない等の問
題がある。
そのため、特性が水平になった時点Ｑをとらえ、この値
からヘリウムの飽和漏洩量を検出していたか、この値に
もバラツキがあり正確な飽和値を求めることかできない
と言う問題かあった。
からヘリウムの飽和漏洩量を検出していたか、この値に
もバラツキがあり正確な飽和値を求めることかできない
と言う問題かあった。
そこで、本発明は、チャンバー内壁等に吸蔵されるヘリ
ウムがあっても、このヘリウムによって漏洩量の検出に
誤差を生しないようにした微量漏洩ガス／ｆＪｊ定注を
得ようとするものである。
ウムがあっても、このヘリウムによって漏洩量の検出に
誤差を生しないようにした微量漏洩ガス／ｆＪｊ定注を
得ようとするものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は、チャンバー内の気体を排気した後、このチャ
ンバーを所定時間密封し、このチャンバーに生じる漏洩
ガスを一時的に封じ込め、この封じ込んだ漏洩ガスを検
出器に導くようにしたものであり、また、封じ込み時間
を時定数にしたものである。
ンバーを所定時間密封し、このチャンバーに生じる漏洩
ガスを一時的に封じ込め、この封じ込んだ漏洩ガスを検
出器に導くようにしたものであり、また、封じ込み時間
を時定数にしたものである。
（作 用）
チャンバー内の気体が排気され真空状態にされた後、チ
ャンバーを密閉すると、チャンバー内には原子燃料体か
らの漏洩気体例えばヘリウムガスが漏洩される。そこで
一定時間例えば時定数経過後に、このチャンバー内の漏
洩ガスが検出器に導かれてチャンバー内の漏洩ガスが検
出される。
ャンバーを密閉すると、チャンバー内には原子燃料体か
らの漏洩気体例えばヘリウムガスが漏洩される。そこで
一定時間例えば時定数経過後に、このチャンバー内の漏
洩ガスが検出器に導かれてチャンバー内の漏洩ガスが検
出される。
（実施例）
以下本発明微量漏洩ガス測定法の一実施例を図面につい
て説明する。
て説明する。
全体を２０で示す微量漏洩ガス測定装置は、第４図に示
したものと同一である。即ち、原子燃料体の挿入された
チャンバー２１が配置される。このチャンバー２１には
分岐管路２２が連結され、１つの分岐管路２２ａには開
閉弁２３を介して真空ポンプ２４が連結される。
したものと同一である。即ち、原子燃料体の挿入された
チャンバー２１が配置される。このチャンバー２１には
分岐管路２２が連結され、１つの分岐管路２２ａには開
閉弁２３を介して真空ポンプ２４が連結される。
また、他の分岐管路２２ｂには開閉弁２５を介して検出
器２６と真空ポンプ２７が直列的に連結される。なお、
２８は開閉弁２５と検出器２６との間に設けられたヘリ
ウムガス漏洩標準チューブであって、検出器２６がヘリ
ウムガスを測定中においてヘリウムガス漏洩の標準値を
定めるものであり、２９は分岐管路２２ｂとヘリウムガ
ス漏洩標準チューブ２８との間に連結された開閉弁であ
る。
器２６と真空ポンプ２７が直列的に連結される。なお、
２８は開閉弁２５と検出器２６との間に設けられたヘリ
ウムガス漏洩標準チューブであって、検出器２６がヘリ
ウムガスを測定中においてヘリウムガス漏洩の標準値を
定めるものであり、２９は分岐管路２２ｂとヘリウムガ
ス漏洩標準チューブ２８との間に連結された開閉弁であ
る。
このような構成の微量漏洩ガス測定装置において、まず
開閉弁２５が閉じられ開閉弁２３が開かれ真空ポンプ２
４が運転され、チャンバー２１内の気体が排気され不純
気体が除去される。
開閉弁２５が閉じられ開閉弁２３が開かれ真空ポンプ２
４が運転され、チャンバー２１内の気体が排気され不純
気体が除去される。
排気作業が終了したら、開閉弁２３が閉じられ、チャン
バー２１内には原子燃料体から漏洩する気体、例えばヘ
リウムガスが収集される。この場合、チャンバー２１の
内壁等の吸蔵ヘリウムもチャンバー２１内に収集される
。
バー２１内には原子燃料体から漏洩する気体、例えばヘ
リウムガスが収集される。この場合、チャンバー２１の
内壁等の吸蔵ヘリウムもチャンバー２１内に収集される
。
所定の時間が経過した後、開閉弁２５が開かれ真空ポン
プ２７が運転されてチャンバー２１の内部気体が開閉弁
２５を介して検出器２６に導かれ、ヘリウムガス漏洩標
準チューブ２８の標準値と比較されながらチャンバー２
１の内部のヘリウムガスが検出される。この検出により
得られた漏洩ヘリウム量は第２図に実線Ｙｏで示される
ように表される。これは波線で示した従来の特性曲線Ｙ
ｑとは異なり矩形波的に検出される。これを数値的に解
析すると、開閉弁２５を開いたときのチャンバー２１内
のヘリウム圧は次の式で表わせる。
プ２７が運転されてチャンバー２１の内部気体が開閉弁
２５を介して検出器２６に導かれ、ヘリウムガス漏洩標
準チューブ２８の標準値と比較されながらチャンバー２
１の内部のヘリウムガスが検出される。この検出により
得られた漏洩ヘリウム量は第２図に実線Ｙｏで示される
ように表される。これは波線で示した従来の特性曲線Ｙ
ｑとは異なり矩形波的に検出される。これを数値的に解
析すると、開閉弁２５を開いたときのチャンバー２１内
のヘリウム圧は次の式で表わせる。
Ｐ＝ （Ｐｏ−Ｑ／５）ｅｘｐ （−ｔ／ｒ）＋Ｑ／Ｓ
−（１）ここで、 Ｐ ：ヘリウム圧（Ｔｏ ｒ ｒ） Ｐｏ：チャンバー内初期ヘリウム圧（Ｔｏ ｒ ｒ）Ｓ
：排気ポンプのヘリウム排気速度（１／ｓ）Ｑ ：原
子燃料体のヘリウム漏洩量（Ｔｏｒｒ・１／Ｓ）ｔ ：
開閉弁２５を開いてからの時間（ｓ）τ ：時定数（τ
−Ｖ／ｓ、ただしＶ：チャンバー容積）この（１）式は
下式のように変形できる。即ち、５Ｐ−８（Ｐｏ −Ｑ
／Ｓ） ｅＸｐ （−ｔ／ｒ） ＋Ｑ ・−（２）
（２）式よりヘリウム漏洩ｔＥｔｓＰがＱを示すには Ｐｏ−Ｑ／Ｓ＝Ｏ−（３） でなければならない。一方、 Ｐｏ−Ｑ／Ｖ−ｔｈ ・・・（４）
（ただし、ｔｈ：チャンバーを閉している時間）である
から、（３）式と（４）式とからｔｈ−Ｖ／Ｓ−τ
・・・（５）の関係式が得られる。
−（１）ここで、 Ｐ ：ヘリウム圧（Ｔｏ ｒ ｒ） Ｐｏ：チャンバー内初期ヘリウム圧（Ｔｏ ｒ ｒ）Ｓ
：排気ポンプのヘリウム排気速度（１／ｓ）Ｑ ：原
子燃料体のヘリウム漏洩量（Ｔｏｒｒ・１／Ｓ）ｔ ：
開閉弁２５を開いてからの時間（ｓ）τ ：時定数（τ
−Ｖ／ｓ、ただしＶ：チャンバー容積）この（１）式は
下式のように変形できる。即ち、５Ｐ−８（Ｐｏ −Ｑ
／Ｓ） ｅＸｐ （−ｔ／ｒ） ＋Ｑ ・−（２）
（２）式よりヘリウム漏洩ｔＥｔｓＰがＱを示すには Ｐｏ−Ｑ／Ｓ＝Ｏ−（３） でなければならない。一方、 Ｐｏ−Ｑ／Ｖ−ｔｈ ・・・（４）
（ただし、ｔｈ：チャンバーを閉している時間）である
から、（３）式と（４）式とからｔｈ−Ｖ／Ｓ−τ
・・・（５）の関係式が得られる。
従って、チャンバー２１を時定数τの時間だけ閉じるこ
とにより、ヘリウム漏洩ｍＱを正確に検出することかで
きる。
とにより、ヘリウム漏洩ｍＱを正確に検出することかで
きる。
第３図は、従来例による特性曲線Ｙｑと本発明方法によ
り得られた特性曲線Ｙｏの一例である。
り得られた特性曲線Ｙｏの一例である。
ヘリウム漏洩量の飽和値では本発明方法ではＱの値まで
検出されたが、従来例による方法てはＱｑまでしか検出
できず精度的に見劣りし、また、検出時間は本発明方法
ではは、時定数τでよいが、従来例の方法ではある程度
安定するまでのｔ１時間かかつてしまう。
検出されたが、従来例による方法てはＱｑまでしか検出
できず精度的に見劣りし、また、検出時間は本発明方法
ではは、時定数τでよいが、従来例の方法ではある程度
安定するまでのｔ１時間かかつてしまう。
まお、上記実施例では検出気体としてヘリウムについて
行ったが、他の同様な微量気体についても適応できるこ
とは勿論である。
行ったが、他の同様な微量気体についても適応できるこ
とは勿論である。
チャンバーの気体を排気してからチャンバーを時定数時
間閉じ、その後このチャンバーの気体を検出器に導き検
出するようにしたことにより正確にヘリウム漏洩量を直
接検出することができる。
間閉じ、その後このチャンバーの気体を検出器に導き検
出するようにしたことにより正確にヘリウム漏洩量を直
接検出することができる。
第１図は、本発明微量漏洩ガス測定法の主要部を示すブ
ロック線図、第２図および第３図は、第１図の微量漏洩
ガス測定法を用いて検出した特性曲線と従来の方法によ
る特性曲線図、第４図は、微量漏洩ガス測定法の主要部
を示すブロック線図、第５図は、従来の方法による検出
した詳細な特性曲線図である。 １０・・・チャンバー、１１．１３．２３，２５゜２９
・・・開閉弁、１２，１４，２４．２７・・・真空ボン
フ、１５．２６・・・検出器、２０・・・微量漏洩ガス
測装置、２２・・・分岐管路、２８・・・標準チュウブ
。
ロック線図、第２図および第３図は、第１図の微量漏洩
ガス測定法を用いて検出した特性曲線と従来の方法によ
る特性曲線図、第４図は、微量漏洩ガス測定法の主要部
を示すブロック線図、第５図は、従来の方法による検出
した詳細な特性曲線図である。 １０・・・チャンバー、１１．１３．２３，２５゜２９
・・・開閉弁、１２，１４，２４．２７・・・真空ボン
フ、１５．２６・・・検出器、２０・・・微量漏洩ガス
測装置、２２・・・分岐管路、２８・・・標準チュウブ
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、漏洩検査対象物の入ったチャンバー内の気体を排気
した後、このチャンバーを所定時間密封しこのチャンバ
ー内に生じる漏洩ガスを一時的に封じ込め、この封じ込
んだ漏洩ガスを検出器に導ようにしたことを特徴とする
微量漏洩ガス測定法。 ２、前記漏洩ガスをチャンバーに封じ込める時間を時定
数としたことを特徴とする請求項１記載の微量漏洩ガス
測定法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2040434A JP2957220B2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 微量漏洩ガス測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2040434A JP2957220B2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 微量漏洩ガス測定法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03243842A true JPH03243842A (ja) | 1991-10-30 |
| JP2957220B2 JP2957220B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=12580535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2040434A Expired - Fee Related JP2957220B2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 微量漏洩ガス測定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2957220B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003106924A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Shimadzu System Solutions Co Ltd | 包装された物品におけるシールの良否判定方法 |
| WO2012117887A1 (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-07 | 株式会社ｏｎｅＡ | 気密性検査装置 |
| CN106017819A (zh) * | 2016-06-24 | 2016-10-12 | 中国科学院光电研究院 | 一种分压漏率测量装置及方法 |
| JP2018194415A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | 株式会社デンソー | 漏れ検出方法及び漏れ検出装置 |
-
1990
- 1990-02-21 JP JP2040434A patent/JP2957220B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003106924A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Shimadzu System Solutions Co Ltd | 包装された物品におけるシールの良否判定方法 |
| WO2012117887A1 (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-07 | 株式会社ｏｎｅＡ | 気密性検査装置 |
| CN106017819A (zh) * | 2016-06-24 | 2016-10-12 | 中国科学院光电研究院 | 一种分压漏率测量装置及方法 |
| JP2018194415A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | 株式会社デンソー | 漏れ検出方法及び漏れ検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2957220B2 (ja) | 1999-10-04 |
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