CN217542238U - 真空压力测量装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种真空压力测量装置，其应用于真空腔，包括：阀体和压力计，阀体一端连接真空腔。压力计与阀体的另一端可分离地密封连接，其中，阀体在压力计更换时和真空腔保持断开以防止真空腔从阀体漏气，阀体在压力计更换完成之后和真空腔连通以让压力计经由阀体测量真空腔的压力。本申请解决了现有半导体加工设备真空腔室在发生压力计损坏进行更换时需要打开真空腔进而导致需要重新PM以至于浪费半导体加工设备的生产时间的问题。

Description

真空压力测量装置

技术领域

本申请涉及半导体加工设备，特别是涉及真空压力测量装置。

背景技术

为了测量半导体加工设备的真空腔室的压力，可以在真空腔室外壁设置压力计。当压力计发生损坏时，需要打开真空腔室更换，而打开真空腔室就会通入大气。压力计更换完成后，由于真空腔室通入了大气，需要对真空腔室重新进行PM(prevention maintenance预防保养)才能继续生产，重新PM需要一定的时间。因此，对真空腔室重新进行PM，就会浪费的半导体加工设备的生产时间。因此，现有半导体加工设备真空腔室在发生压力计损坏进行更换时需要打开真空腔进而导致需要重新PM,浪费了半导体加工设备的生产时间。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本申请提供了一种真空压力测量装置，其应用于真空腔，包括：阀体和压力计，所述阀体一端连接所述真空腔。所述压力计与所述阀体的另一端可分离地密封连接，其中，所述压力计更换时，所述阀体和所述真空腔保持断开以防止所述真空腔从所述阀体漏气。所述压力计更换完成之后，所述阀体和所述真空腔连通以让所述压力计经由所述阀体测量所述真空腔的压力。

优选地，所述真空腔包括开口，所述阀体设置于所述开口。

优选地，所述真空压力测量装置还包括转接头，其一端密封连接所述阀体，所述转接头的另一端可分离地密封连接所述压力计，所述转接头和所述阀体连通，所述压力计经由所述转接头测量所述真空腔的压力。

优选地，所述真空压力测量装置还包括第一密封件，其设置于所述阀体和所述转接头之间，所述第一密封件连通所述阀体和所述转接头并密封所述阀体和所述转接头的连接处。

优选地，所述第一密封件为橡胶圈。

优选地，所述真空压力测量装置还包括第二密封件，其设置于所述转接头和所述压力计之间，所述第二密封件连通所述转接头和所述压力计并密封所述转接头和所述压力计的连接处。

优选地，所述第二密封件为铜垫圈。

优选地，所述转接头和所述压力计通过螺栓或卡套可分离地密封连接。

优选地，所述阀体为手阀。

优选地，所述真空压力测量装置还包括信号传输装置，其一端与所述压力计电性连接，所述信号传输装置的另一端电性连接控制装置，所述信号传输装置用于传输电源和所述压力计产生的压力采样信号。

本申请的有益效果在于：通过在真空腔设置阀体和压力计，让阀体一端连接真空腔，让阀体的另一端和压力计可分离地密封连接，阀体在压力计更换时和真空腔保持断开以防止真空腔从阀体漏气，阀体在压力计更换完成之后和真空腔连通以让压力计经由阀体测量真空腔的压力。因此，设置阀体后，在压力计损坏需要更换时，由于阀体和压力计为可分离地密封连接，可以通过控制阀体的通断，让压力计在更换时真空腔保持真空密封的状态。因为压力计更换时无需打开真空腔，进而也就无需重新进行PM，不会因为重新进行PM造成半导体加工设备生产时间的浪费。也可节省因为重新PM耗费的人力和物力。

上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请较佳的实施例并配合附图对本申请进行详细说明。

附图说明

图1是本申请实施例中，现有真空腔压力计安装示意图；

图2是本申请实施例中，真空压力测量装置应用示意图；

图3是本申请实施例中，图2的A向放大图；

图4是本申请实施例中，真空压力测量装置分解示意图。

其中，附图标记：

1 真空压力测量装置

10 阀体

11 压力计

12 转接头

13 第一密封件

14 第二密封件

15 螺栓

16 信号传输装置

17 控制装置

2 真空腔

20 开口

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所公开的内容轻易地了解本申请的其他优点及功效。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以互相组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于包覆不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

如图1所示，是真空腔2现有的压力计11的安装方式，压力计11设置于真空腔2的外壁，当压力计11损坏时需要打开真空腔2，待大气进入真空腔2后再更换压力计11，压力计11更换完成后需要进行PM。

如图2所示，公开了本实施例的一种真空压力测量装置1，其应用于真空腔2，包括：阀体10和压力计11，阀体10一端连接真空腔2。例如，阀体10可以是电磁阀，通过螺接的方式连接于真空腔2。压力计11与阀体10的另一端可分离地密封连接。压力计11和阀体10可分离地连接，可以在压力计11损坏时方便更换压力计11。压力计11和阀体10为密封连接，可以防止真空腔2从压力计11漏气。例如，压力计11可以为电离真空计，压力计11在真空腔2进行腔体工艺反应时工作，通过其离子测量仪将气体中的气体分子电离，收集这些离子并测量产生的电流来测量真空腔2的压力，压力计11和阀体10可以通过螺接的方式可分离地密封连接。其中，压力计11更换时，阀体10和真空腔2保持断开以防止真空腔2从阀体10漏气(例如，防止大气从阀体10进入真空腔2)，压力计11更换完成之后，阀体10和真空腔2连通以让压力计11经由阀体10测量真空腔2的压力。

通过在真空腔2设置阀体10和压力计11，让阀体10一端连接真空腔2，让阀体10的另一端和压力计11可分离地密封连接。阀体10在工作时可以包括连通及断开两种状态，压力计11更换时阀体10和真空腔2之间保持断开状态，从而实现真空腔2在阀体10的密闭设置，并进一步防止真空腔2从阀体10漏气。在压力计11更换完成之后，阀体10和真空腔2保持连通状态，以让压力计11经由阀体10测量真空腔2的压力。例如，阀体10可以包括与真空腔2连接的部位--真空腔连接端，和与压力计11连接的部位--压力计连接端。阀体10和真空腔2间保持断开状态时，真空腔2不会从真空腔连接端漏气，即外界大气不会从真空腔连接端进入真空腔2，但是外界大气可以进入压力计连接端，以让压力计连接端和外界压力平衡，从而可以顺利更换压力计11且不用打开真空腔2。阀体10和真空腔2连通时，真空腔2、真空腔连接端和压力计连接端保持连通，此时真空腔2、真空腔连接端和压力计连接端的内部压力值是相同的，因此压力计11可以测量真空腔2的压力，但是外界大气不会进入真空腔连接端和压力计连接端。因此，设置阀体10后，在压力计11损坏需要更换时，由于阀体10和压力计11为可分离地密封连接，可以通过控制阀体10的通断，让压力计11在更换时真空腔2保持真空密封的状态。因为压力计11更换时无需打开真空腔2，进而也就无需重新进行PM，不会因为重新进行PM造成半导体加工设备生产时间的浪费。也可节省因为重新PM耗费的人力和物力。

如图2所示，优选地，真空腔2包括开口20，阀体10设置于开口20。例如开口20可以为检漏口。在真空腔2保养后或者压力不正常时，可以在检漏口外接一个氦测仪，然后在四周喷氦气来检测真空腔2是否有漏。

请同时参考图2和图3，优选地，真空压力测量装置1还包括转接头12，其一端密封连接阀体10，转接头12的另一端可分离地密封连接压力计11，转接头12和阀体10连通，压力计11经由转接头12测量真空腔2的压力。由于压力计11和阀体10是外购件，两者会因为尺寸不同而难以直接连接，转接头12可以分别根据阀体10和压力计11的尺寸进行加工，转接头12和阀体10以及压力计11分别连接后，可以让压力计11和阀体10得以间接的连接。转接头12可以是金属或者塑料材质。

请同时参考图2到图4，优选地，真空压力测量装置1还包括第一密封件13，其设置于阀体10和转接头12之间，第一密封件13连通阀体10和转接头12并密封阀体10和转接头12的连接处。第一密封件13密封阀体10和转接头12的连接处可以防止真空腔2从阀体10和转接头12的连接处漏气，例如，第一密封件13可以防止大气从阀体10和转接头12的连接处进入真空腔2。

优选地，第一密封件13为橡胶圈。

请同时参考图2到图4，优选地，真空压力测量装置1还包括第二密封件14，其设置于转接头12和压力计11之间，第二密封件14连通转接头12和压力计11并密封转接头12和压力计11的连接处。第二密封件14密封转接头12和压力计11的连接处可以防止真空腔2从转接头12和压力计11的连接处漏气。例如，第二密封件14可以防止大气从转接头12和压力计11的连接处进入真空腔2。

优选地，第二密封件14为铜垫圈。

请同时参考图3和图4，优选地，转接头12和压力计11通过螺栓15或卡套可分离地密封连接。例如，可以在转接头12和压力计11边缘设置通孔，让螺栓15的一端穿过通孔以让转接头12和压力计11连接到一起，然后拧紧螺栓15配套的螺母。

优选地，阀体10为手阀。阀体10为手阀，可以在更换压力计11时拧紧手阀以断开压力计11和真空腔2的通道，在压力计11更换完成后松开手阀让压力计11和真空腔2连通以测量真空腔2的压力。相比于阀体10为电磁阀而言，阀体10为手阀的成本更低。

请同时参考图2到图4，优选地，真空压力测量装置1还包括信号传输装置16，其一端与压力计11电性连接，信号传输装置16的另一端电性连接控制装置17，信号传输装置16用于传输电源和压力计11产生的压力采样信号。信号传输装置16电性连接压力计11和控制装置17，可以将压力计11产生的压力采样信号传输至控制装置17进行处理，同时可以让控制装置17为压力计11提供电源。例如，信号传输装置16可以包括供电线和信号线，供电线用于传输电源。信号线用于传输压力采样信号，信号传输装置16也可以是无线传输模块。控制装置17可以为工控机。

以上对本申请实施例所提供的真空压力测量装置进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本申请实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有所改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制，凡依据本申请的精神与技术思想所做的一切等效修饰或改变，仍应由本申请的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种真空压力测量装置(1)，其应用于真空腔(2)，其特征在于，包括：

阀体(10)，其一端连接所述真空腔(2)；以及

压力计(11)，其与所述阀体(10)的另一端可分离地密封连接，其中，所述压力计(11)更换时，所述阀体(10)所述真空腔(2)保持断开以防止所述真空腔(2)从所述阀体(10)漏气；所述压力计(11)更换完成之后，所述阀体(10)和所述真空腔(2)连通以让所述压力计(11)经由所述阀体(10)测量所述真空腔(2)的压力。

2.根据权利要求1所述的真空压力测量装置(1)，其特征在于，所述真空腔(2)包括开口(20)，所述阀体(10)设置于所述开口(20)。

3.根据权利要求2所述的真空压力测量装置(1)，其特征在于，还包括转接头(12)，其一端密封连接所述阀体(10)，所述转接头(12)的另一端可分离地密封连接所述压力计(11)，所述转接头(12)和所述阀体(10)连通，所述压力计(11)经由所述转接头(12)测量所述真空腔(2)的压力。

4.根据权利要求3所述的真空压力测量装置(1)，其特征在于，还包括第一密封件(13)，其设置于所述阀体(10)和所述转接头(12)之间，所述第一密封件(13)连通所述阀体(10)和所述转接头(12)并密封所述阀体(10)和所述转接头(12)的连接处。

5.根据权利要求4所述的真空压力测量装置(1)，其特征在于，所述第一密封件(13)为橡胶圈。

6.根据权利要求3所述的真空压力测量装置(1)，其特征在于，还包括第二密封件(14)，其设置于所述转接头(12)和所述压力计(11)之间，所述第二密封件(14)连通所述转接头(12)和所述压力计(11)并密封所述转接头(12)和所述压力计(11)的连接处。

7.根据权利要求6所述的真空压力测量装置(1)，其特征在于，所述第二密封件(14)为铜垫圈。

8.根据权利要求3所述的真空压力测量装置(1)，其特征在于，所述转接头(12)和所述压力计(11)通过螺栓或卡套可分离地密封连接。

9.根据权利要求1-8任一项所述的真空压力测量装置(1)，其特征在于，所述阀体(10)为手阀。

10.根据权利要求1-8任一项所述的真空压力测量装置(1)，其特征在于，还包括信号传输装置(16)，其一端与所述压力计(11)电性连接，所述信号传输装置(16)的另一端电性连接控制装置(17)，所述信号传输装置(16)用于传输电源和所述压力计(11)产生的压力采样信号。

Images