CN208951692U - 一种实现过流报警的液态源供应装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及技术领域，具体地说是一种实现过流报警的液态源供应装置，包括液态源源罐装置、工艺面盘管路、集中控制模块，其特征在于，还包括液体供应支路、推送气体支路、吹扫支路、真空排气支路、预抽真空支路；本实用新型与现有技术相比，使用气体过流开关替代常用的液体流量计，显著降低成本，且更加便于拆装；增加预抽真空支路，解决了真空源单一的问题，传感器检测到气体压力发生异常变化的时候，可以立即切断开关，避免液体大量漏出污染环境。

Description

一种实现过流报警的液态源供应装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种实现过流报警的液态源供应装置。

背景技术

半导体、液晶面板、光纤、光伏等泛半导体制造行业，某些工艺会使用到如 SiCl4，TMA，TCS等液态源化学品，通常把液态源源瓶安装连接在供应装置后，使用高纯的Ar或N2作为推送气体，把源瓶内的液态源以设定流量压力缓慢压送至工艺生产机台。当输送管路系统发生意外泄漏时，带压液体会从泄漏点喷出，造成毒性或腐蚀性环境污染，或者自燃引起火灾等安全事故。

因此，现有技术还有待发展。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种实现过流报警的液态源供应装置，旨在解决液态源供应装置安全稳定性差，真空源单一的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采取了以下技术方案：

本实用新型提供一种实现过流报警的液态源供应装置，包括液态源源罐装置、工艺面盘管路、集中控制模块，其特征在于，还包括液体供应支路、推送气体支路、真空排气支路、吹扫支路、预抽真空支路；

所述液态源源罐装置包括气相口、液相口、液态源罐、气相控制阀和液相控制阀，所述气相口一端位于液态源罐内靠近罐顶处，另一端与真空排气支路及推送气体支路相连，所述气相控制阀设置液态源罐外的气相口上；所述液相口一端位于液态源罐内靠近罐底处，另一端与液体供应支路及吹扫支路相连，所述液相控制阀设置在液态源罐外的液相口上；

所述推送气体支路包括推送气体管、第一手动隔膜阀、推送气体减压阀、气体过流开关、第一气动隔膜阀和进气压力传感器，所述推送气体管一端连接推送气体输入端，另一端连接气相控制阀；所述第一手动隔膜阀、推送气体减压阀、气体过流开关、第一气动隔膜阀和进气压力传感器沿气体输送方向依次设置在推送气体管上；

所述液体供应支路包括液体供应管、第三手动隔膜阀、第二气动隔膜阀、出料压力传感器，所述液体供应管一端连接外部液体供应管网，另一端连接所述液相控制阀；所述出料压力传感器、第二气动隔膜阀和第三手动隔膜阀沿液体输送方向依次设置在液体供应管上；

所述真空排气支路包括真空排气管、第七气动隔膜阀、排气压力传感器、第五气动隔膜阀、第三气动隔膜阀，所述真空排气管一端连接外部真空泵，另一端连入推送气体支路和气相控制阀，所述第三气动隔膜阀、第五气动隔膜阀、排气压力传感器、第七气动隔膜阀沿气体输送方向依次设置在真空排气管上；

所述吹扫支路包括吹扫管、吹扫支管、第二手动隔膜阀、吹扫气体减压阀、第四气动隔膜阀、第六气动隔膜阀，所述吹扫管一端连接吹扫气体输入端，另一端连接液体供应支路和液相控制阀，所述第二手动隔膜阀、吹扫气体减压阀、第六气动隔膜阀、第四气动隔膜阀沿气体输送方向依次设置在吹扫管上；所述吹扫支管一端连入第四气动隔膜阀与第六气动隔膜阀之间的吹扫管，另一端连入第五气动隔膜阀与第三气动隔膜阀之间的真空排气管；

所述预抽真空支路包括文丘里进气管、文丘里排气管、预抽真空管、文丘里真空发生器、第八气动隔膜阀；所述文丘里进气管一端连接外部气体入口，另一端连接文丘里真空发生器的第一气体进口；所述预抽真空管一端连入所述排气压力传感器和第七气动隔膜阀之间的真空排气管，另一端连入文丘里真空发生器的第二气体进口，所述预抽真空管上还设有第八气动隔膜阀；所述文丘里排气管一端连入文丘里真空发生器的排气口，另一端连接外部尾气排气管；

所述第一气动隔膜阀、第二气动隔膜阀、第三气动隔膜阀、第四气动隔膜阀、第五气动隔膜阀、第六气动隔膜阀、第七气动隔膜阀、第八气动隔膜阀、进气压力传感器、出料压力传感器、排气压力传感器的信号端均与集中控制模块电性连接。

进一步的，所述气体过流开关是可拆卸的。

进一步的，所述液态源源罐装置设置在防爆柜体内部。

进一步的，所述防爆柜体操作面安装有防爆玻璃，顶部设有排风口，正面下部安装带过滤网的进风口，顶部排风口接有外界负压源。

进一步的，所述液态源罐下方设有秤重传感器。

本实用新型的有益效果在于：使用气体过流开关替代常用的液体流量计，显著降低成本，且更加便于拆装；增加预抽真空支路，解决了真空源单一的问题，传感器检测到气体压力发生异常变化的时候，可以立即切断开关，避免液体大量漏出污染环境。

附图说明

图1为本实用新型管线结构示意图，其中集中控制模块未示出；

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1所示，本实用新型提供一种实现过流报警的液态源供应装置，包括液态源源罐装置、工艺面盘管路、集中控制模块，其特征在于，还包括液体供应支路、推送气体支路、真空排气支路、吹扫支路、预抽真空支路；

所述液态源源罐装置包括气相口、液相口、液态源罐1、气相控制阀2和液相控制阀3，所述气相口一端位于液态源罐1内靠近罐顶处，另一端与真空排气支路及推送气体支路相连，所述气相控制阀2设置液态源罐1外的气相口上；所述液相口一端位于液态源罐1内靠近罐底处，另一端与液体供应支路及吹扫支路相连，所述液相控制阀3设置在液态源罐1外的液相口上；

所述推送气体支路包括推送气体管、第一手动隔膜阀4、推送气体减压阀18、气体过流开关20、第一气动隔膜阀7和进气压力传感器15，所述推送气体管一端连接推送气体输入端，另一端连接气相控制阀2；所述第一手动隔膜阀4、推送气体减压阀18、气体过流开关20、第一气动隔膜阀7和进气压力传感器15 沿气体输送方向依次设置在推送气体管上；

所述液体供应支路包括液体供应管、第三手动隔膜阀6、第二气动隔膜阀8、出料压力传感器16，所述液体供应管一端连接外部液体供应管网，另一端连接所述液相控制阀3；所述出料压力传感器16、第二气动隔膜阀8和第三手动隔膜阀6沿液体输送方向依次设置在液体供应管上；

所述真空排气支路包括真空排气管、第七气动隔膜阀13、排气压力传感器 17、第五气动隔膜阀11、第三气动隔膜阀9，所述真空排气管一端连接外部真空泵，另一端连入推送气体支路和气相控制阀2，所述第三气动隔膜阀9、第五气动隔膜阀11、排气压力传感器17、第七气动隔膜阀13沿气体输送方向依次设置在真空排气管上；

所述吹扫支路包括吹扫管、吹扫支管、第二手动隔膜阀5、吹扫气体减压阀 19、第四气动隔膜阀10、第六气动隔膜阀12，所述吹扫管一端连接吹扫气体输入端，另一端连接液体供应支路和液相控制阀3，所述第二手动隔膜阀5、吹扫气体减压阀19、第六气动隔膜阀12、第四气动隔膜阀10沿气体输送方向依次设置在吹扫管上；所述吹扫支管一端连入第四气动隔膜阀10与第六气动隔膜阀12 之间的吹扫管，另一端连入第五气动隔膜阀11与第三气动隔膜阀9之间的真空排气管；

所述预抽真空支路包括文丘里进气管、文丘里排气管、预抽真空管、文丘里真空发生器21、第八气动隔膜阀14；所述文丘里进气管一端连接外部气体入口，另一端连接文丘里真空发生器21的第一气体进口；所述预抽真空管一端连入所述排气压力传感器17和第七气动隔膜阀13之间的真空排气管，另一端连入文丘里真空发生器21的第二气体进口，所述预抽真空管上还设有第八气动隔膜阀14；所述文丘里排气管一端连入文丘里真空发生器21的排气口，另一端连接外部尾气排气管；

所述第一气动隔膜阀7、第二气动隔膜阀8、第三气动隔膜阀9、第四气动隔膜阀10、第五气动隔膜阀11、第六气动隔膜阀12、第七气动隔膜阀13、第八气动隔膜阀14、进气压力传感器15、出料压力传感器16、排气压力传感器17的信号端均与集中控制模块电性连接。

进一步的，所述气体过流开关20是可拆卸的。

进一步的，所述液态源源罐装置设置在防爆柜体内部。

进一步的，所述防爆柜体操作面安装有防爆玻璃，顶部设有排风口，正面下部安装带过滤网的进风口，顶部排风口接有外界负压源。

进一步的，所述液态源罐1下方设有秤重传感器1-1。

本实用新型工作时，气相控制阀2和液相控制阀3同时打开，推送气体支路工作，第一手动隔膜阀4和第一气动隔膜阀7打开，氮气进入液态源罐1中，使液体原料被压出罐外；同时液体供应支路工作，第三手动隔膜阀6和第二气动隔膜阀8打开，液体经液相口和液体供应支路流向外部液体出口；

当罐中液体排放完毕时，秤重传感器1-1检测重量发生变化，关闭气相控制阀2和液相控制阀3，推送气体支路和液体供应支路停止工作，第一手动隔膜阀 4、第一气动隔膜阀7、第三手动隔膜阀6和第二气动隔膜阀8关闭，吹扫支路启动，第二手动隔膜阀5、第四气动隔膜阀10、第六气动隔膜阀12、第三气动隔膜阀9开启，吹扫气体对推送气体支路和液体供应支路进行吹扫；

吹扫完毕后进行抽真空，首先通过判定排气压力传感器17，当进行抽真空排气时，开启气相控制阀2，关闭液相控制阀3，开启第三气动隔膜阀9、第五气动隔膜阀11，排气压力传感器17读数大于0时，打开第八气动隔膜阀14，关闭第七气动隔膜阀13，使用文丘里真空发生器21抽负压，当排气压力传感器17 读数下降至0时，关闭第八气动隔膜阀14，打开第七气动隔膜阀13，切换至真空泵真空源抽真空；

通过在运行软件中设置工艺出料压力传感器16的数值，来作为过流侦测的辅助手段，当出料压力传感器16突然降低了>20％的正常供应值，立即给出过流报警，提醒用户紧急查看处理。

Claims (5)

1.一种实现过流报警的液态源供应装置，包括液态源源罐装置、工艺面盘管路、集中控制模块，其特征在于，还包括液体供应支路、推送气体支路、真空排气支路、吹扫支路、预抽真空支路；

所述液态源源罐装置包括气相口、液相口、液态源罐(1)、气相控制阀(2)和液相控制阀(3)，所述气相口一端位于液态源罐(1)内靠近罐顶处，另一端与真空排气支路及推送气体支路相连，所述气相控制阀(2)设置液态源罐(1)外的气相口上；所述液相口一端位于液态源罐(1)内靠近罐底处，另一端与液体供应支路及吹扫支路相连，所述液相控制阀(3)设置在液态源罐(1)外的液相口上；

所述推送气体支路包括推送气体管、第一手动隔膜阀(4)、推送气体减压阀(18)、气体过流开关(20)、第一气动隔膜阀(7)和进气压力传感器(15)，所述推送气体管一端连接推送气体输入端，另一端连接气相控制阀(2)；所述第一手动隔膜阀(4)、推送气体减压阀(18)、气体过流开关(20)、第一气动隔膜阀(7)和进气压力传感器(15)沿气体输送方向依次设置在推送气体管上；

所述液体供应支路包括液体供应管、第三手动隔膜阀(6)、第二气动隔膜阀(8)、出料压力传感器(16)，所述液体供应管一端连接外部液体供应管网，另一端连接所述液相控制阀(3)；所述出料压力传感器(16)、第二气动隔膜阀(8)和第三手动隔膜阀(6)沿液体输送方向依次设置在液体供应管上；

所述真空排气支路包括真空排气管、第七气动隔膜阀(13)、排气压力传感器(17)、第五气动隔膜阀(11)、第三气动隔膜阀(9)，所述真空排气管一端连接外部真空泵，另一端连入推送气体支路和气相控制阀(2)，所述第三气动隔膜阀(9)、第五气动隔膜阀(11)、排气压力传感器(17)、第七气动隔膜阀(13)沿气体输送方向依次设置在真空排气管上；

所述吹扫支路包括吹扫管、吹扫支管、第二手动隔膜阀(5)、吹扫气体减压阀(19)、第四气动隔膜阀(10)、第六气动隔膜阀(12)，所述吹扫管一端连接吹扫气体输入端，另一端连接液体供应支路和液相控制阀(3)，所述第二手动隔膜阀(5)、吹扫气体减压阀(19)、第六气动隔膜阀(12)、第四气动隔膜阀(10)沿气体输送方向依次设置在吹扫管上；所述吹扫支管一端连入第四气动隔膜阀(10)与第六气动隔膜阀(12)之间的吹扫管，另一端连入第五气动隔膜阀(11)与第三气动隔膜阀(9)之间的真空排气管；

所述预抽真空支路包括文丘里进气管、文丘里排气管、预抽真空管、文丘里真空发生器(21)、第八气动隔膜阀(14)；所述文丘里进气管一端连接外部气体入口，另一端连接文丘里真空发生器(21)的第一气体进口；所述预抽真空管一端连入所述排气压力传感器(17)和第七气动隔膜阀(13)之间的真空排气管，另一端连入文丘里真空发生器(21)的第二气体进口，所述预抽真空管上还设有第八气动隔膜阀(14)；所述文丘里排气管一端连入文丘里真空发生器(21)的排气口，另一端连接外部尾气排气管；

所述第一气动隔膜阀(7)、第二气动隔膜阀(8)、第三气动隔膜阀(9)、第四气动隔膜阀(10)、第五气动隔膜阀(11)、第六气动隔膜阀(12)、第七气动隔膜阀(13)、第八气动隔膜阀(14)、进气压力传感器(15)、出料压力传感器(16)、排气压力传感器(17)的信号端均与集中控制模块电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种实现过流报警的液态源供应装置，其特征在于，所述气体过流开关(20)是可拆卸的。

3.根据权利要求1所述的一种实现过流报警的液态源供应装置，其特征在于，所述液态源源罐装置设置在防爆柜体内部。

4.根据权利要求3所述的一种实现过流报警的液态源供应装置，其特征在于，所述防爆柜体操作面安装有防爆玻璃，顶部设有排风口，正面下部安装带过滤网的进风口，顶部排风口接有外界负压源。

5.根据权利要求1所述的一种实现过流报警的液态源供应装置，其特征在于，所述液态源罐(1)下方设有秤重传感器(1-1)。