CN202812797U - 高纯安全特气柜系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种气柜系统，尤其是一种高纯安全特气柜系统。本实用新型提供了一种在更换钢瓶时保证钢瓶管接头的密封连接部清洁的高纯安全特气柜系统，包括特气柜、设置在特气柜内的特气系统，所述特气系统包括钢瓶和管路系统，所述管路系统包括供气管路、稀释气体管路以及抽真空管路，所述供气管路上设置有钢瓶管接头，所述供气管路通过钢瓶管接头与所述钢瓶相连，所述稀释气体管路和抽真空管路均连在供气管路上，还包括吹扫管路，钢瓶管接头包括气体通道、依次设置的密封接口部、紧固部和进气部，还包括吹扫部，所述吹扫部上设置有一定数量的吹扫通孔，所述吹扫通孔的出口朝向所述密封接口部的外壁，所述吹扫管路与所述吹扫通孔相连通。

Description

高纯安全特气柜系统

技术领域

本实用新型涉及一种气柜系统，尤其是一种高纯安全特气柜系统。

背景技术

目前的压缩气体几乎都是采用钢瓶进行承装，钢瓶的出气口通常设置有阀门和钢瓶接口，管道需利用钢瓶管接头才能密封连接在钢瓶接口上，现有的钢瓶管接头均是采用如下方式进行连接，钢瓶接口上的外壁上设置有外螺纹，钢瓶接口上设置有与钢瓶管接头密封面相匹配的密封面，在两个密封面之间安装好垫片，然后将螺母穿在管道接口上与管道接口的外螺纹相连接，螺母在紧固过程中压住钢瓶管接头上的紧固部，使得钢瓶管接头牢牢的连接在钢瓶接口上，从而实现两者的密封。

在钢瓶的使用过程中，一旦钢瓶中的气体使用完毕，则必须要更换钢瓶，对比普通气体来说，只需直接将钢瓶管接头拆下，然后换上新钢瓶连接即可。然而对于易燃、易爆、有毒之类的气体，则在换钢瓶前需要进行一系列工艺，以排出管道中残余的特殊气体，以防止气体在换钢瓶中泄露出来。这种工序一般采用如下方式，在拆下钢瓶管接头前，首先对供气管路抽真空，在抽真空后再向供气管路中充氮气之类的稳定气体进行稀释，然后再抽真空，再充氮气稀释，如此反复若干次，然后时供气管路保压确保钢瓶阀关闭可靠后，再拆下钢瓶管接头以更换钢瓶。

然而在更换钢瓶时，钢瓶管接头的密封连接部必然暴漏在空气中，这就使得密封连接部受到灰尘和微生物的污染，这就很可能从管道中污染气体，这在电子行业中尤其突出，电子行业中使用的气体一般为易燃、易爆、有毒的气体，其对无尘度的要求非常高，一旦气体中混入灰尘则会对产品的质量造成严重的影响。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种在更换钢瓶时保证钢瓶管接头的密封连接部清洁的高纯安全特气柜系统。

本实用新型解决其技术问题所采用的高纯安全特气柜系统，包括特气柜、设置在特气柜内的特气系统，所述特气系统包括钢瓶和管路系统，所述管路系统包括供气管路、稀释气体管路以及抽真空管路，所述供气管路上设置有钢瓶管接头，所述供气管路通过钢瓶管接头与所述钢瓶相连，所述稀释气体管路和抽真空管路均连在所述供气管路上，还包括吹扫管路，所述钢瓶管接头包括气体通道、依次设置的密封接口部、紧固部和进气部，还包括吹扫部，所述吹扫部上设置有吹扫通孔，所述吹扫通孔的出口朝向所述密封接口部的外壁，所述吹扫管路与所述吹扫通孔相连通。

进一步的是，所述吹扫部上还设置有进气腔，所述进气腔与所述吹扫管路连通，所述进气腔与所述吹扫通孔的进口相连通。

进一步的是，所述吹扫部还包括密封盖板，所述密封盖板设置在进气腔顶部并将所述进气腔密封，所述密封盖板上设置有与所述进气腔相连通的进气嘴，所述进气嘴与所述吹扫管路连通。

进一步的是，所述吹扫通孔至少设置两个并均匀分布在所述吹扫部上。

进一步的是，所述吹扫部设置在所述进气部和所述紧固部之间，所述吹扫通孔穿过所述紧固部。

进一步的是，所述吹扫管路的两端分别与所述吹扫通孔和稀释气体管路相连通。

进一步的是，所述特气系统设置有两组，并且两组特气系统并联。

进一步的是，所述稀释气体管路上设置有单向阀，所述单向阀的方向为气体从稀释气体管路进入到供气管路中。

进一步的是，所述供气管路上设置有压力测量器，所述压力测量器设置在供气管路与稀释气体管路的连接点和钢瓶管接头之间。

进一步的是，所述特气柜上设置有进气口和出气口，所述出气口设置在特气柜的下部，所述进气口设置在特气柜的上部，所述进气口上连接由排风管路，所述特气柜除进气口和出气口外整体密封，所述进气口上设置有电磁阀，所述特气柜的柜座上设置有防震结构。

本实用新型的有益效果是：由于在钢瓶管接头上设置有吹扫部，因此在更换钢瓶时，利用吹扫管路从吹扫通孔中吹出气体，使得气体在密封接口部表面形成风帘，从而阻止灰尘或其它物质污染密封接口部，同时气体产生的动力也能吹走密封接口部已有的灰尘，这样就保证了密封接口部的清洁程度，防止因为更换钢瓶使得管道受到污染，这为精密的加工提供了可靠的保障。在吹扫部内还可以设置进气腔，供气装置提供的气体首先进入到进气腔，在进气腔中缓冲均匀后再均匀的从吹扫通孔中喷出，这样使得风帘更加均匀，更好的保护密封接口部表面。特气系统可以设置两组，从而形成一备一用，这在维修或更换钢瓶时就能持续的供气。

附图说明

图1是管路布置示意图；

图2是钢瓶接口和钢瓶管接头装配时的爆炸示意图；

图3是钢瓶管接头的结构示意图；

图4是钢瓶管接头的内部结构示意图；

图5是钢瓶管接头的主视图；

图6是图5的左视图；

图中零部件、部位及编号：钢瓶接口1、连接结构11、密封连接面12、气体出口12、钢瓶管接头2、气体通道21、密封接口部22、紧固部23、吹扫部24、进气部25、吹扫通孔26、进气腔27、密封盖板28、进气嘴29、螺母3、垫片4、钢瓶5、供气管路61、稀释气体管路62、抽真空管路63、吹扫管路64、排空管路65、单向阀66、压力测量器67。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1所示，本实用新型包括特气柜、设置在特气柜内的特气系统，所述特气系统包括钢瓶5和管路系统，所述管路系统包括供气管路61、稀释气体管路62以及抽真空管路63，所述供气管路61上设置有钢瓶管接头2，所述供气管路61通过钢瓶管接头2与所述钢瓶5相连，所述稀释气体管路62和抽真空管路63均连在所述供气管路61上，还包括吹扫管路64，所述钢瓶管接头2包括气体通道21、依次设置的密封接口部22、紧固部23和进气部25，还包括吹扫部24，所述吹扫部24上设置有一定数量的吹扫通孔26，所述吹扫通孔26的出口朝向所述密封接口部22的外壁，所述吹扫管路64与所述吹扫通孔26相连通。本管路系统中以供气管路61为主干管路，其它管路除吹扫管路64外均分支连接在供气管路61上，通过三通等管件即可实现连接，各个管路上均按需要设置阀门，其阀门布置可以参见图1设置，在供气管路61上最好设置过滤器，其数量按需求设置，以防止杂质进入后续设备。吹扫管路64直接与吹扫通孔26连通，吹扫管路64可以直接与吹扫通孔26连通，也可以通过其它机构缓冲后于吹扫通孔26连通，在连通好后除维修外就不必再拆开两者。在组装钢瓶和供气管路61时，与普通的钢瓶管连接结构相同，将垫片4安装在密封接口部22和密封连接面12之间，然后将钢瓶管接头2上的紧固部23与钢瓶接口1上的连接结构11连接紧固，紧固可以采用如图1所示的螺母3紧固在连接结构11上，从而压紧钢瓶管接头2上的紧固部23，使得钢瓶管接头2和钢瓶接口1形成端面密封；同样也可以采用快速卡接接头的方式，直接将紧固部23和连接结构11设置为快速卡接接头的构造，从而快速的实现密封。在长期使用中，钢瓶内的气体耗尽或者压力不足以使用，这就需要更换钢瓶，对于易燃易爆、有毒等特殊气体，首先需要进入清扫工艺，即关闭钢瓶阀门，抽取利用抽真空管路63抽出供气管路61中残存的特殊气体，抽真空管路63通过抽真空装置实现抽真空，特殊气体被抽至废气处理场所，再利用稀释气体管路62通入氮气稀释特殊气体，再抽取，以此反复数次以清扫供气管路61中残存的特殊气体。在清扫完毕后，松开钢瓶管接头2上的紧固部23与钢瓶接口1上的连接结构11的连接，然后利用吹扫管路64为吹扫通孔26供气，吹扫管路64与供气装置相连，吹扫管路64一般提供氮气这种稳定无污染的气体，当然类似的气体也可以。吹扫管路64可以直接与各个吹扫通孔26连通，也可以通过缓冲装置间接与各个吹扫通孔26连通，气体通过吹扫通孔26喷出，吹扫通孔26是均匀分布的，吹扫通孔26绕密封接口部22的外壁均匀分布，例如图6所示的分布方式，此时气体就在密封接口部22的外壁形成一层风帘或者风墙，阻止外界的灰尘进入到密封接口部22中，同时，密封接口部22原有的灰尘，如因连接摩擦掉落的细碎材料，在气体形成的风作用下也能吹走，从而保证了密封接口部22的清洁。吹扫的气体也能阻止空气进入到气体通道21中，减少了氧气与特殊气体混合的可能性。保持吹扫状态直至新的钢瓶换上，这样就使得密封接口部22在裸漏时也能受到保护。

为了使各个吹扫通孔26喷出的气体压力均匀，如图4、图2所示，所述吹扫部24上还设置有进气腔27，所述进气腔27与所述吹扫管路64连通，所述进气腔27与所述吹扫通孔26的进口相连通。供气装置一般是氮气瓶，其提供的氮气首先进入吹扫管路64，然后通过吹扫管路进入到进气腔27，进气腔27起到了缓冲的作用，使得进气腔27处的压力平均，进气腔27中经过缓冲的气体再从吹扫通孔26中喷出，这样每个吹扫通孔内的起始压强都与进气腔27内的相同，从而使得各个吹扫通孔26中喷出的气体压强均匀，从而使得形成的风帘或风墙完整均匀的防护在密封接口部22上。

具体的，如图2和图4所示，所述吹扫部24还包括密封盖板28，所述密封盖板28设置在进气腔27顶部并将所述进气腔27密封，所述密封盖板28上设置有与所述进气腔27相连通的进气嘴29，所述进气嘴29与所述吹扫管路64连通。通过进气嘴29来连通吹扫管路64更加方便，进气嘴29可以根据不同的吹扫管路64来设定，这在连接时就更加的方便快捷。

具体的，如图4所示，所述吹扫部24设置在所述进气部25和所述紧固部23之间，所述吹扫通孔26穿过所述紧固部23。这样的结构布置使得整个钢瓶管接头2更加紧凑，吹扫部24的加入不会增加紧固部23与钢瓶接口1上连接结构11的连接距离，这样不会因为连接距离的增加而减少连接可靠度。

在吹扫和稀释中一般使用相同的气体，而且两个管路部是同时工作的，因此为了简化结构，如图1所示，所述吹扫管路64的两端分别与所述吹扫通孔26和稀释气体管路62相连通。例如在使用氮气的情况下，利用氮气瓶为稀释气体管路62提供氮气，从而实现稀释作用，在稀释和抽真空完毕后，关闭稀释气体管路62与供气管路的连通，打开吹扫管路64，使得氮气流向吹扫管路64，从而实现吹扫功能，这样供气装置如氮气瓶只需一个即可，这样就简化了整个结构。

如图1所示，上述所述特气系统设置有两组，并且两组特气系统并联。这样在一组换钢瓶和维修时，可以通过另一组提供特殊气体，保持持续的特殊气体供应。

为了防止特殊气体反流至稀释气体管路62中，如图1所示，所述稀释气体管路62上设置有单向阀66，所述单向阀66的方向为气体从稀释气体管路62进入到供气管路61中。

为了在更换钢瓶5的过程中检测钢瓶5是否关闭可靠，如图1所示，所述供气管路61上设置有压力测量器67，所述压力测量器67设置在供气管路61与稀释气体管路62的连接点和钢瓶管接头2之间。在利用抽真空管路63抽真空后，对供气管路61进行保压，即利用烦闷关闭供气管路61，此时，若钢瓶5没有关闭牢靠，则必然渗透至供气管路61中，使得压力测量器67的读数变化。若压力测量器67读数没有变化，则说明钢瓶5中并没有气体渗出，钢瓶已经关闭牢靠。

具体的，所述特气柜上设置有进气口和出气口，所述出气口设置在特气柜的下部，所述进气口设置在特气柜的上部，所述进气口上连接由排风管路，所述特气柜除进气口和出气口外整体密封，所述进气口上设置有电磁阀，所述特气柜的柜座上设置有防震结构。排风设计上，采用下进上排的方式，加排风机，始终使特气柜内气压为负压，确保即使在发生泄漏的情况下，特殊气体也不向室内扩散，而是通过排风管排至指定的空间。在气盘所在空间除一进气口和排气口外，其它部分进行密封设计，门与柜体之间加密封阻燃胶垫，确保关闭后特气柜的密封性。进气口上安装电动阀，在发生高温或者火焰的情况下，进气口电动阀关闭，排风口保持抽风，如此就使气盘空间中含氧量越来越来，不利于燃烧。在特气柜柜座与设备基础之间加防震圈，以减少地震时对特气柜的震动，以损坏柜内元件及其联接。

Claims (10)

1.高纯安全特气柜系统，包括特气柜、设置在特气柜内的特气系统，所述特气系统包括钢瓶（5）和管路系统，所述管路系统包括供气管路（61）、稀释气体管路（62）以及抽真空管路（63），所述供气管路（61）上设置有钢瓶管接头（2），所述供气管路（61）通过钢瓶管接头（2）与所述钢瓶（5）相连，所述稀释气体管路（62）和抽真空管路（63）均连在所述供气管路（61）上，其特征在于：还包括吹扫管路（64），所述钢瓶管接头（2）包括气体通道（21）、依次设置的密封接口部（22）、紧固部（23）和进气部（25），还包括吹扫部（24），所述吹扫部（24）上设置有吹扫通孔（26），所述吹扫通孔（26）的出口朝向所述密封接口部（22）的外壁，所述吹扫管路（64）与所述吹扫通孔（26）相连通。

2.如权利要求1所述的高纯安全特气柜系统，其特征在于：所述吹扫部（24）上还设置有进气腔（27），所述进气腔（27）与所述吹扫管路（64）连通，所述进气腔（27）与所述吹扫通孔（26）的进口相连通。

3.如权利要求2所述的高纯安全特气柜系统，其特征在于：所述吹扫部（24）还包括密封盖板（28），所述密封盖板（28）设置在进气腔（27）顶部并将所述进气腔（27）密封，所述密封盖板（28）上设置有与所述进气腔（27）相连通的进气嘴（29），所述进气嘴（29）与所述吹扫管路（64）连通。

4.如权利要求1所述的高纯安全特气柜系统，其特征在于：所述吹扫通孔（26）至少设置两个并均匀分布在所述吹扫部（24）上。

5.如权利要求1所述的高纯安全特气柜系统，其特征在于：所述吹扫部（24）设置在所述进气部（25）和所述紧固部（23）之间，所述吹扫通孔（26）穿过所述紧固部（23）。

6.如权利要求1所述的高纯安全特气柜系统，其特征在于：所述吹扫管路（64）的两端分别与所述吹扫通孔（26）和稀释气体管路（62）相连通。

7.如权利要求1所述的高纯安全特气柜系统，其特征在于：所述特气系统设置有两组，并且两组特气系统并联。

8.如权利要求1所述的高纯安全特气柜系统，其特征在于：所述稀释气体管路（62）上设置有单向阀（66），所述单向阀（66）的方向为气体从稀释气体管路（62）进入到供气管路（61）中。

9.如权利要求1所述的高纯安全特气柜系统，其特征在于：所述供气管路（61）上设置有压力测量器（67），所述压力测量器（67）设置在供气管路（61）与稀释气体管路（62）的连接点和钢瓶管接头（2）之间。

10.如权利要求1至9任一权利要求所述的高纯安全特气柜系统，其特征在于：所述特气柜上设置有进气口和出气口，所述出气口设置在特气柜的下部，所述进气口设置在特气柜的上部，所述进气口上连接由排风管路，所述特气柜除进气口和出气口外整体密封，所述进气口上设置有电磁阀，所述特气柜的柜座上设置有防震结构。

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