CN204459766U - 气瓶接头保护装置及气体供应装置 - Google Patents
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Abstract
气瓶接头保护装置用于保护连接供气瓶的气瓶接头,气瓶接头具有泄气孔。气瓶接头保护装置包括保护箱、保护气供应装置以及气体回收装置,保护箱具有容置腔，气瓶接头穿设于保护箱，且泄气孔处于容置腔内。保护气供应装置和气体回收装置分别与容置腔连通，保护气供应装置提供惰性气体至容置腔，气体回收装置回收容置腔的惰性气体及经由泄气孔泄漏的供气瓶中的气体。气瓶接头保护装置能够防止气瓶接头被腐蚀，降低气瓶接头的使用成本。本实用新型还涉及具有气瓶接头保护装置的气体供应装置。
Description
技术领域
本实用新型涉及化工设备技术领域，特别涉及一种气瓶接头保护装置和具有气瓶接头保护装置的气体供应装置。
背景技术
蚀刻制程中常需要使用氯气(Cl2)对特定的薄膜层进行蚀刻，所以需要持续提供氯气。通常，氯气被压缩充装于供气设备的气瓶中，并通过气瓶接头接入供气设备的气瓶以持续利用氯气进行蚀刻。
因为氯气具有毒性、氧化性，特别是与水结合后会产生盐酸和次氯酸会腐蚀气瓶接头。所以，通常需要在气瓶接头上设置排气箱。图1是现有的供气设备的气瓶接头设置排气箱的结构示意图。如图1所示，供气设备200包括气瓶210、气体导引管220、气瓶接头230、导管240、气体处理装置250和排气箱260。气体导引管220连接于气瓶210的端部，气瓶接头230垂直连接于气体导引管220，导管240一端连通于气瓶接头230，另一端连通于气体处理装置250，气体导引管220和导管240穿过排气箱260，并使气体导引管220和气瓶接头230处于排气箱260内。排气箱260连接有抽气装置(图未示)，通过抽气装置抽除排气箱260内的空气，使排气箱260内处于负压状态。周围湿度较大的空气会通过排气箱260的缝隙进入到排气箱260内，并聚集在气瓶接头230的泄漏孔处凝结出微量水分。
当气瓶接头230长时间使用或处于气瓶接头230内的垫片(图未示)安装稍有偏差，就会造成微量氯气从气瓶接头230上设的泄漏孔(图未示)中溢出，并与泄漏孔周围的水产生反应，消耗了溢出的氯气。所以设置在排气箱260内的侦测器(图未示)无法侦测到泄漏的微量氯气。微量氯气与水反应产生盐酸和次氯酸，进而造成气瓶接头230长时间被腐蚀，使气瓶接头230后期维修非常困难。此外，为了解决气瓶接头230被腐蚀，防止氯气泄漏事故的发生，通常需要使用优质的垫片或者使用操作经验丰富的人员定期更换气瓶接头230，因此大大增加了使用成本，而且不能及时知道气瓶接头230是否发生泄漏，其稳定性低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于，提供了一种气瓶接头保护装置，能够防止气瓶接头被腐蚀，降低气瓶接头的使用成本。
本实用新型的目的在于，提供了一种气体供应装置，能够防止气瓶接头被腐蚀，降低气瓶接头的使用成本。
本实用新型解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。
一种气瓶接头保护装置,用于保护连接供气瓶的气瓶接头,气瓶接头具有泄气孔。气瓶接头保护装置包括保护箱、保护气供应装置以及气体回收装置,保护箱具有容置腔，气瓶接头穿设于保护箱，且泄气孔处于容置腔内。保护气供应装置和气体回收装置分别与容置腔连通，保护气供应装置提供惰性气体至容置腔，气体回收装置回收容置腔的惰性气体及经由泄气孔泄漏的供气瓶中的气体。
在本实用新型的较佳实施例中，上述保护箱包括多个侧壁、第一底板和第二底板。多个侧壁依次围合连接并连接于第一底板和第二底板之间形成保护箱。
在本实用新型的较佳实施例中，上述保护箱的第一底板设有第一安装孔,第二底板设有第二安装孔,第一安装孔和第二安装孔同轴设置，气瓶接头穿设于第一安装孔和第二安装孔。
在本实用新型的较佳实施例中，上述保护箱的第一安装孔和第二安装孔内分别设有密封圈，气瓶接头通过密封圈与保护箱密封固定。
在本实用新型的较佳实施例中，上述保护箱的第一底板设有进气孔，且进气孔与保护气供应装置连通。第二底板设有出气孔，且出气孔与气体回收装置连通，进气孔和出气孔贯通容置腔。
在本实用新型的较佳实施例中，上述出气孔内的内壁上设有气体侦测器，气体侦测器检测由泄气孔泄漏的供气瓶中的气体。
在本实用新型的较佳实施例中，上述惰性气体为氮气。
一种气体供应装置，其包括供气装置和气体处理装置。供气装置包括供气瓶、气瓶接头和导管，气瓶接头连接于供气瓶，导管一端连接于气瓶接头，另一端连接于气体处理结构，且气体供应装置还包括上述的气瓶接头保护装置。
本实用新型的气瓶接头保护装置和具有气瓶接头保护装置的气体供应装置包含保护箱，保护气供应装置和气体回收装置。气瓶接头保护装置中的保护气供应装置和气体回收装置分别与保护箱的容置腔连通，保护气供应装置提供惰性气体至容置腔，且惰性气体包裹位于容置腔内的气瓶接头，避免气瓶接头损坏时从泄气孔泄漏出的微量有毒气体与水接触并产生腐蚀性物质，防止了气瓶接头被腐蚀性物质腐蚀。而且，从供气瓶内泄漏的微量有毒气体混合着惰性气体一起被气体回收装置回收，防止了微量有毒气体污染环境。此外，泄漏出的微量有毒气体由于没有被消耗，所以容易被检测出来，无需使用优质的垫片并定期更换气瓶接头，能够大大降低气瓶接头的使用成本。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明。
附图说明
图1是现有的供气设备的气瓶接头设置排气箱的结构示意图。
图2是本实用新型一实施例的气体供应装置的结构示意图。
图3是本实用新型一实施例的气瓶接头的拆分结构示意图。
图4是本实用新型一实施例的气瓶接头的组合剖视示意图。
图5是本实用新型一实施例的保护箱与气瓶接头的剖视结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的气瓶接头保护装置和具有气瓶接头保护装置的气体供应装置的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如下。
有关本实用新型的前述及其它技术内容、特点及功效，在以下配合参考图示的较佳实施例的详细说明中将可清楚呈现。通过具体实施方式的说明，当可对本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效得以更加深入且具体的了解，然而所附图示仅是提供参考与说明之用，并非用来对本实用新型加以限制。
图2是本实用新型一实施例的气体供应装置的结构示意图。如图2所示，在本实施例中，气体供应装置100包括供气装置110、气瓶接头保护装置120和气体处理装置130。如图2所示，供气装置110包括供气瓶112、气瓶接头114和导管116，气瓶接头114连接于供气瓶112，导管116的一端连接于气瓶接头114，另一端连接于气体处理装置130，气瓶接头保护装置120连接于气瓶接头114。供气瓶112包括瓶体1122和供气连接部1124，供气连接部1124连接于瓶体1122的一端，且瓶体1122内的气体通过供气连接部1124可与外界流通。
图3是本实用新型一实施例的气瓶接头的拆分结构示意图，图4是本实用新型一实施例的气瓶接头的组合剖视示意图。如图3和图4所示，气瓶接头114包括接口部1142、垫片1143、管接柱1144和连接螺母1146。气瓶接头114的接口部1142连接于供气瓶112的供气连接部1124，垫片1143设置在接口部1142内，且管接柱1144抵靠于垫片1143并设置在接口部1142内，管接柱1144的中部设有抵靠部1145，连接螺母1146的端部设有与管接柱1144的抵靠部1145配合的阻挡部1148，且连接螺母1146沿着轴线方向设有贯穿连接螺母1146的螺孔1149，连接螺母1146通过螺孔1149套设于管接柱1144，且连接螺母1146的阻挡部1148与管接柱1144的抵靠部1145相互抵靠，同时固定连接于接口部1142，使管接柱1144固定于接口部1142和连接螺母1146之间。
气体处理装置130用于分配利用供气瓶112内的气体，供气瓶112内的气体可通过供气连接部1124途经管接柱1144和导管116到达气体处理装置130。值得一提的是，连接螺母1146上设有两个泄气孔1147，气瓶接头114长时间使用，使接口部1142内的垫片1143损坏或者松动时，瓶体1122内的气体可通过泄气孔1147泄漏出。
图5是本实用新型一实施例的保护箱与气瓶接头的剖视结构示意图。如图2和图5所示，气瓶接头保护装置120包括保护箱122。保护箱122的形状并不限定，优选地，本实施例中的保护箱122为正方体结构。具体地，保护箱122包括多个侧壁1221、第一底板1223和第二底板1226，多个侧壁1221依次围合连接并连接于第一底板1223和第二底板1226之间形成保护箱122。在本实施例中，多个侧壁1221例如为四个侧壁1221。保护箱122具有容置腔101，容置腔101由四个侧壁1221、第一底板1223和第二底板1226围绕形成。
进一步地，保护箱122的第一底板1223上设有第一安装孔1224和进气孔1225，且第一安装孔1224和进气孔1225与容置腔101贯通。第二底板1226上设有第二安装孔1227和出气孔1228，第二安装孔1227和出气孔1228与容置腔101贯通。第一安装孔1224和第二安装孔1227同轴设置，且于第一安装孔1224和第二安装孔1227内分别设有密封圈1229。气瓶接头114穿过第一安装孔1224和第二安装孔1227，使供气装置110的导管116与第一安装孔1224内的密封圈1229配合，同时使气瓶接头114的连接螺母1146与第二安装孔1227内的密封圈1229配合，以使保护箱122密封固定连接在气瓶接头114上。值得一提的是，连接螺母1146上的泄气孔1147处在容置腔101内，当供气瓶112内的微量气体发生泄漏，即微量气体从泄气孔1147泄漏出时，泄漏出的微量气体处于保护箱122的容置腔101内。
第一底板1223上的进气孔1225与保护气供应装置124连通，保护气供应装置124输送出干燥纯净的惰性气体，可使保护箱122的容置腔101内充满惰性气体，并包裹气瓶接头114，确保气瓶接头114处于干燥的环境中。优选地，在本实施例中，采用氮气(N2)作为填充容置腔101的惰性气体，使氮气(N2)以0.1MPa的压力、2L/min的流量，并采用4毫米管径的气管将氮气(N2)输送至容置腔101。
第二底板1226上的出气孔1228与气体回收装置126连通，容置腔101内的惰性气体可通过出气孔1228进入到气体回收装置126中。而且出气孔1228内的内壁上设有气体侦测器(图未示)，气体侦测器用于检测经由气瓶接头114的泄气孔1147泄漏出的供气瓶112的微量气体。
本实用新型的气瓶接头保护装置120用于保护气体供应装置100的气瓶接头114。当气瓶接头114使用一段时间后，由于操作人员更换气瓶接头114的水平不一致，导致气瓶接头114与供气连接部1124的连接密封性下降，供气瓶112内的微量有毒气体(通常是遇水产生腐蚀性物质的气体例如氯气)从连接螺母1146的泄气孔1147泄漏出。泄漏出的微量有毒气体处于干燥的惰性气体中，阻止了微量有毒气体与水接触的可能，防止了微量有毒气体接触到水分后产生具有腐蚀性的物质腐蚀气瓶接头114。微量有毒气体混合于惰性气体中，并随着惰性气体由出气孔1228进入气体回收装置126做进一步的处理。微量有毒气体没有被消耗，可以轻易的通过气体侦测器检测出微量有毒气体并发出警报，提醒操作人员气体供应装置100发生泄漏，以及时更换气瓶接头114。因此，操作人员能及时检测知道气瓶接头114是否发生泄漏，其稳定性高。而且无需使用优质的垫片定期更换气瓶接头114，可以等到气体侦测器发出警报后再更换气瓶接头114的垫片1143或者气瓶接头114，能够大大降低使用成本。
以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。
Claims (8)
1.一种气瓶接头保护装置,用于保护连接供气瓶的气瓶接头,该气瓶接头具有泄气孔,其特征在于,该气瓶接头保护装置包括保护箱、保护气供应装置以及气体回收装置,该保护箱具有容置腔，该气瓶接头穿设于该保护箱，且该泄气孔处于该容置腔内,该保护气供应装置和该气体回收装置分别与该容置腔连通，该保护气供应装置提供惰性气体至该容置腔，该气体回收装置回收该容置腔的该惰性气体及经由该泄气孔泄漏的该供气瓶中的气体。
2.如权利要求1所述的气瓶接头保护装置,其特征在于，该保护箱包括多个侧壁、第一底板和第二底板，该多个侧壁依次围合连接并连接于该第一底板和该第二底板之间形成该保护箱。
3.如权利要求2所述的气瓶接头保护装置,其特征在于，该保护箱的该第一底板设有第一安装孔,该第二底板设有第二安装孔,该第一安装孔和该第二安装孔同轴设置，该气瓶接头穿设于该第一安装孔和该第二安装孔。
4.如权利要求3所述的气瓶接头保护装置,其特征在于，该保护箱的该第一安装孔和该第二安装孔内分别设有密封圈，该气瓶接头通过该密封圈与该保护箱密封固定。
5.如权利要求2所述的气瓶接头保护装置,其特征在于，该保护箱的该第一底板设有进气孔，且该进气孔与该保护气供应装置连通，该第二底板设有出气孔，且该出气孔与该气体回收装置连通，该进气孔和该出气孔贯通该容置腔。
6.如权利要求5所述的气瓶接头保护装置,其特征在于，该出气孔内的内壁上设有气体侦测器，该气体侦测器检测由该泄气孔泄漏的该供气瓶中的气体。
7.如权利要求1所述的气瓶接头保护装置,其特征在于，该惰性气体为氮气。
8.一种气体供应装置，其包括供气装置和气体处理装置，该供气装置包括供气瓶、气瓶接头和导管，该气瓶接头连接于该供气瓶，该导管一端连接于该气瓶接头，另一端连接于该气体处理结构，其特征在于，该气体供应装置还包括权利要求1～7任一项所述的气瓶接头保护装置。
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