CN202746942U

CN202746942U - 高纯气体输送设备

Info

Publication number: CN202746942U
Application number: CN 201220378433
Authority: CN
Inventors: 马全合; 张磊; 石志强
Original assignee: WUXI AWAIT TECH Co Ltd
Current assignee: WUXI AWAIT TECH Co Ltd
Priority date: 2012-07-31
Filing date: 2012-07-31
Publication date: 2013-02-20
Anticipated expiration: 2022-07-31

Abstract

本实用新型涉及一种高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动阀；主进气管路B与气瓶柜内部的主进气管路A相连，主进气管路B在进气方向上依次设有主管路手动阀、主管路压力表、主管路气动阀、管路遮断阀，主进气管路B与支管路连接，支管路在进气方向上依次设有支管路手动阀、高压侧支管路气动阀、支管路调压阀、低压侧支管路压力传感器、支管路过滤器、低压侧支管路手动阀；本实用新型具有气体压力及流量供应稳定的优点。

Description

高纯气体输送设备

技术领域：

本实用新型专利涉及一种气体输送设备，特别涉及一种气体压力及流量供应稳定的高纯气体输送设备。

背景技术：

光伏、光纤、LED、LCD及半导体等行业中常用到许多高纯气体，随着行业的不断发展，生产规模不断扩大，对于高纯气体的需求量也越来越大，但因为技术所限，目前高纯气体输送设备常常存在供应能力不足的问题，气体压力及流量不稳定，无法保证进行正常稳定的生产。

实用新型内容：

本实用新型专利的目的在于提供一种气体压力及流量供应稳定的高纯气体输送设备。

为了实现上述目的，本实用新型提出如下技术方案实现：

高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；其特征在于：气瓶柜与VMB相连；气瓶柜内部设有钢瓶、主进气管路A、排气管路A、吹净管路、G-N₂抽气管路、P-N₂进气管路、H-N₂进气管路、磅秤；钢瓶设置于磅秤上，主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动阀，主进气管路A在高压侧压力传感器与高压侧主管路气动阀间、主管路过滤器与低压侧主管路气动阀间分别与高压侧排气管路、低压侧排气管路连接，高压侧排气管路上设有高压侧排气管路气动阀，低压侧排气管路上设有低压侧排气管路气动阀，高压侧排气管路、低压侧排气管路合并为排气管路A，排气管路A在排气方向上依次设有排气管路压力传感器、排气管路高压气动阀；排气管路A与G-N₂抽气管路连接，G-N₂抽气管路在G-N₂进气方向上依次设有抽气管路气动阀、真空产生器A，其中真空产生器A设置在排气管路A与G-N₂抽气管路连接部位；主进气管路A在进气端与高压侧压力传感器之间的部位设置有吹净管路，吹净管路在进气方向上依次设有吹净管路压力传感器、吹净管路气动阀，吹净管路分别与P-N₂进气管路、H-N₂进气管路相连，并分别在连接部位设有吹净管路低压气动阀、吹净管路高压气动阀，P-N₂进气管路上设有P-N₂进气管路气动阀；VMB内部设有主进气管路B、支管路、P-N₂吹净管路、排气管路B、EQ-N₂抽气管路；主进气管路B与气瓶柜内部的主进气管路A相连，主进气管路B在进气方向上依次设有主管路手动阀、主管路压力表、主管路气动阀、管路遮断阀，主进气管路B与支管路连接，支管路在进气方向上依次设有支管路手动阀、高压侧支管路气动阀、支管路调压阀、低压侧支管路压力传感器、支管路过滤器、低压侧支管路手动阀；支管路在支管路手动阀与高压侧支管路气动阀间、低压侧支管路压力传感器与支管路过滤器间分别与P-N₂吹净管路、排气管路B连接；P-N₂吹净管路在进气方向上依次设有吹净管路低压手动阀、吹净管路压力表、吹净管路手动阀；排气管路B上设有排气管路手动阀，排气管路B与EQ-N₂抽气管路相连，EQ-N₂抽气管路在EQ-N₂进气方向上依次设有抽气管路手动阀、真空产生器B，其中真空产生器B设置在排气管路B与EQ-N₂抽气管路连接部位。

本实用新型专利可解决的技术问题是：

在气瓶柜内部的主进气管路A上设置有高压侧压力传感器、低压侧压力传感器，钢瓶设置在磅秤上，在VMB内部的主进气管路B上设置有主管路压力表，支管路上设置有低压侧支管路压力传感器，通过这些压力传感器和磅秤可以随时监控输送通道内气体的压力值以及钢瓶内的液化气体余量，当出现气体压力异常时可以通过主管路调压阀以及支管路调压阀及时调整气体压力，当磅秤显示钢瓶内余量不足是，能及时更换钢瓶，保证了气体压力及流量的稳定供应；VMB内部的多条支管路提供了充足的高纯气体供应，可以满足生产需要，保证了生产的正常进行。

附图说明：

图1为本实用新型结构图。

具体实施方式：

如图所示，高纯气体输送设备，由气瓶柜1、VMB2组成；气瓶柜1与VMB2相连；气瓶柜1内部设有钢瓶3、主进气管路A4、排气管路A5、吹净管路6、G-N₂抽气管路7、P-N₂进气管路8、H-N₂进气管路9、磅秤10；钢瓶3设置于磅秤10上，主进气管路A4与钢瓶3连接，主进气管路A4在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器11、高压侧主管路气动阀12、主管路调压阀13、低压侧压力传感器14、主管路过滤器15、低压侧主管路气动阀16、主进气管路A手动阀17，主进气管路A4在高压侧压力传感器11与高压侧主管路气动阀12间、主管路过滤器15与低压侧主管路气动阀16间分别与高压侧排气管路18、低压侧排气管路19连接，高压侧排气管路18上设有高压侧排气管路气动阀20，低压侧排气管路19上设有低压侧排气管路气动阀21，高压侧排气管路18、低压侧排气管路19合并为排气管路A5，排气管路A5在排气方向上依次设有排气管路压力传感器22、排气管路高压气动阀23；排气管路A5与G-N₂抽气管路7连接，G-N₂抽气管路7在G-N₂进气方向上依次设有抽气管路气动阀24、真空产生器A25，其中真空产生器A25设置在排气管路A5与G-N₂抽气管路7连接部位；主进气管路A4在进气端与高压侧压力传感器11之间的部位设置有吹净管路6，吹净管路6在进气方向上依次设有吹净管路压力传感器26、吹净管路气动阀27，吹净管路6分别与P-N₂进气管路8、H-N₂进气管路9相连，并分别在连接部位设有吹净管路低压气动阀28、吹净管路高压气动阀29，P-N₂进气管路8上设有P-N₂进气管路气动阀30；VMB2内部设有主进气管路B31、支管路32、P-N₂吹净管路33、排气管路B34、EQ-N₂抽气管路35；主进气管路B31与气瓶柜1内部的主进气管路A4相连，主进气管路B31在进气方向上依次设有主管路手动阀36、主管路压力表37、主管路气动阀38、管路遮断阀39，主进气管路B31与支管路32连接，支管路32在进气方向上依次设有支管路手动阀40、高压侧支管路气动阀41、支管路调压阀42、低压侧支管路压力传感器43、支管路过滤器44、低压侧支管路手动阀45；支管路32在支管路手动阀40与高压侧支管路气动阀41间、低压侧支管路压力传感器43与支管路过滤器44间分别与P-N₂吹净管路33、排气管路B34连接；P-N₂吹净管路33在进气方向上依次设有吹净管路低压手动阀46、吹净管路压力表47、吹净管路手动阀48；排气管路B34上设有排气管路手动阀49，排气管路B34与EQ-N₂抽气管路35相连，EQ-N₂抽气管路35在EQ-N₂进气方向上依次设有抽气管路手动阀50、真空产生器B51，其中真空产生器B51设置在排气管路B34与EQ-N₂抽气管路35连接部位。

实施时，打开钢瓶3阀门，可称量0-300磅的磅秤10将钢瓶的重量实时显示，保证高纯气体稳定供应，高纯气体进入2条主进气管路A4，分别打开高压侧主管路气动阀12、主管路调压阀13、低压侧主管路气动阀16、主进气管路A手动阀17，高纯气体经高压侧主管路气动阀12进入主管路调压阀13，主管路调压阀13可以调整低压侧高纯气体压力，此时高压侧压力传感器11、低压侧压力传感器14可以监测并实时显示主管路调压阀13两侧的气压，保证主进气管路A4内部气压的稳定，高纯气体经过调压后由主管路过滤器15将微粒子杂质过滤，过滤后的高纯气体经过低压侧主管路气动阀16、主进气管路A手动阀17进入VMB内部的主进气管路B31，打开主管路手动阀36、主管路气动阀38，高纯气体可由主进气管路B31进入4条支管路32，主进气管路B31上的主管路压力表37可检测管内气体是否足够，分别打开支管路32上的支管路手动阀40、高压侧支管路气动阀41、支管路调压阀42、低压侧支管路手动阀45，高纯气体经支管路调压阀42再次调压，低压侧支管路压力传感器43可实时显示出低压侧支管路的气压，保证管内气压的稳定，高纯气体经由支管路过滤器44再次过滤微粒子杂质，最后经由低压侧支管路手动阀45到达工作区域。

工作完毕后，关闭气瓶柜1内钢瓶3阀门和主进气管路A4手动阀17，打开高压侧排气管路气动阀20、低压侧排气管路气动阀21、排气管路高压气动阀23、抽气管路气动阀24、真空产生器A25，利用真空产生器24抽取气体，使排气管路A5保持负压状态，排气管路压力传感器22可检测排气管路是否保持抽真空状态，废气经由高压侧排气管路气动阀20、低压侧排气管路气动阀21进入排气管路A5，由于排气管路A5的负压状态，使得废气经排气管路高压气动阀23进入G-N₂抽气管路7，G-N₂气体经抽气管路气动阀24进入G-N₂抽气管路7，将废气携带排出；再打开吹净管路气动阀27、吹净管路低压气动阀28、吹净管路高压气动阀29、P-N₂进气管路气动阀30，P-N₂、H-N₂气体进入吹净管路6，吹净管路压力传感器26可检测吹净管路工作状态，经吹净管路气动阀27进入主进气管路A4，再由高压侧排气管路气动阀20、低压侧排气管路气动阀21进入排气管路A5，因为排气管路A5内部为负压被排入G-N₂抽气管路7排出，保证了管道能够被洗净，不残留有害废气。

在VMB内，关闭支管路手动阀40、低压侧支管路手动阀45，打开排气管路手动阀49、抽气管路手动阀50、真空产生器B51，真空产生器B51抽取排气管路B34内气体，在EQ-N₂抽气管路35内EQ-N₂气体的带动下，在排气管路B34内形成负压，废气经由排气管路手动阀49进入排气管路B34，再进入EQ-N₂抽气管路35由EQ-N₂气体携带排出；打开吹净管路低压手动阀46、吹净管路手动阀48，P-N₂气体进入P-N₂吹净管路33，吹净管路压力表47可实时监测P-N₂吹净管路33工作状态，P-N₂气体经吹净管路手动阀48进入支管路32，因为排气管路B34内的负压，P-N₂气体吹入排气管路B34，再进入EQ-N₂抽气管路35并被排除，保证了支管路32能被洗净，不残留有害气体。

Claims

1.高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；其特征在于：气瓶柜与VMB相连；气瓶柜内部设有钢瓶、主进气管路A、排气管路A、吹净管路、G-N₂抽气管路、P-N₂进气管路、H-N₂进气管路、磅秤；钢瓶设置于磅秤上，主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动阀，主进气管路A在高压侧压力传感器与高压侧主管路气动阀间、主管路过滤器与低压侧主管路气动阀间分别与高压侧排气管路、低压侧排气管路连接，高压侧排气管路上设有高压侧排气管路气动阀，低压侧排气管路上设有低压侧排气管路气动阀，高压侧排气管路、低压侧排气管路合并为排气管路A，排气管路A在排气方向上依次设有排气管路压力传感器、排气管路高压气动阀；排气管路A与G-N₂抽气管路连接，G-N₂抽气管路在G-N₂进气方向上依次设有抽气管路气动阀、真空产生器A，其中真空产生器A设置在排气管路A与G-N₂抽气管路连接部位；主进气管路A在进气端与高压侧压力传感器之间的部位设置有吹净管路，吹净管路在进气方向上依次设有吹净管路压力传感器、吹净管路气动阀，吹净管路分别与P-N₂进气管路、H-N₂进气管路相连，并分别在连接部位设有吹净管路低压气动阀、吹净管路高压气动阀，P-N₂进气管路上设有P-N₂进气管路气动阀；VMB内部设有主进气管路B、支管路、P-N₂吹净管路、排气管路B、EQ-N₂抽气管路；主进气管路B与气瓶柜内部的主进气管路A相连，主进气管路B在进气方向上依次设有主管路手动阀、主管路压力表、主管路气动阀、管路遮断阀，主进气管路B与支管路连接，支管路在进气方向上依次设有支管路手动阀、高压侧支管路气动阀、支管路调压阀、低压侧支管路压力传感器、支管路过滤器、低压侧支管路手动阀；支管路在支管路手动阀与高压侧支管路气动阀间、低压侧支管路压力传感器与支管路过滤器间分别与P-N₂吹净管路、排气管路B连接；P-N₂吹净管路在进气方向上依次设有吹净管路低压手动阀、吹净管路压力表、吹净管路手动阀；排气管路B上设有排气管路手动阀，排气管路B与EQ-N₂抽气管路相连，EQ-N₂抽气管路在EQ-N₂进气方向上依次设有抽气管路手动阀、真空产生器B，其中真空产生器B设置在排气管路B与EQ-N₂抽气管路连接部位。