CN101696765B - 一种三氟化硼输送装置 - Google Patents

一种三氟化硼输送装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101696765B
CN101696765B CN 200910236599 CN200910236599A CN101696765B CN 101696765 B CN101696765 B CN 101696765B CN 200910236599 CN200910236599 CN 200910236599 CN 200910236599 A CN200910236599 A CN 200910236599A CN 101696765 B CN101696765 B CN 101696765B
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve
pipeline
boron trifluoride
material pipeline
low pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 200910236599
Other languages
English (en)
Other versions
CN101696765A (zh
Inventor
张奕
郭巍
张雪生
陆亦军
杜学臣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
China National Bluestar Group Co Ltd
Shanghai Bluestar New Chemical Materials Co Ltd
Original Assignee
China National Bluestar Group Co Ltd
Shanghai Bluestar New Chemical Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by China National Bluestar Group Co Ltd, Shanghai Bluestar New Chemical Materials Co Ltd filed Critical China National Bluestar Group Co Ltd
Priority to CN 200910236599 priority Critical patent/CN101696765B/zh
Publication of CN101696765A publication Critical patent/CN101696765A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101696765B publication Critical patent/CN101696765B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Pipeline Systems (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

本发明涉及聚合物反应技术领域的一种三氟化硼输送装置,包括物料管线,在物料管线上设有抽真空管线和吹扫管线,所述的抽真空管线将三氟化硼输送管线内的三氟化硼抽取干净,所述的吹扫管线将残留的三氟化硼及杂质冲洗干净。本发明可有效去除管线死角中的杂质,防止更换三氟化硼钢瓶时,由于管线中残留三氟化硼与杂质起反应而堵塞管线,保证了输送管道的洁净畅通,从而保证反应器得到准确干净的催化剂。

Description

一种三氟化硼输送装置
技术领域
本发明涉及聚合物反应技术领域,具体涉及一种三氟化硼输送装置。
背景技术
BF3(三氟化硼)气体在聚合物反应器中是聚合反应的催化剂,用量很少,其性质是强氧化剂,遇到微量水分或是杂质都会反应生成焦油等胶状物质,堵塞细小的输送管道,导致聚合物反应器经常因三氟化硼管线堵塞被迫停产。
现有输送BF3(三氟化硼)的装置中,由于阀门、流量计、钢瓶的更换维护容易引入杂质,导致BF3与其反应结胶(反应机理不明),引起管道堵塞,严重影响流量计的使用。现有解决方案只使用普通氮气吹扫并不能去除管道死角中的残留杂质,并且容易污染环境。
发明内容
为了解决现有技术中由于更换部件引入杂质导致BF3(三氟化硼)与其反应堵塞管道的问题,本发明的目的在于提供一种三氟化硼输送装置。
一种三氟化硼输送装置,包括物料管线,在物料管线上设有抽真空管线和吹扫管线,所述的抽真空管线将三氟化硼输送管线内的三氟化硼抽取干净,所述的吹扫管线将残留的三氟化硼及杂质冲洗干净。
上述方案中,所述抽真空管线上依次设有文丘里真空供给阀VVS、止逆阀CV2和真空发生器,所述真空发生器吸入口与物料管线上质量流量计MFC入口之间的管线上设有低压隔离阀A4,所述低压隔离阀A4与物料管线上调压阀REGA入口之间的管线上依次设有止逆阀CV3和低压隔离阀LPVA,所述止逆阀CV3与物料管线上高压隔离阀HPIA之间的管线上设有高压排空阀HPV。
上述方案中,所述吹扫管线一端为进气端,另一端与物料管线上高压隔离阀HPIA的出口端相连,所述吹扫管线上从进气端依次设有止逆阀CV1和吹扫气体隔离阀PGIA。
上述方案中,所述吹扫管线中的气体为惰性气体。
与现有技术相比,本发明技术方案产生的有益效果为:
本发明可有效去除管线死角中的杂质,防止在更换三氟化硼输送装置中某部件时,由于管线中残留三氟化硼与杂质起反应而堵塞管线,保证了输送管道的洁净畅通,从而保证反应器得到准确干净的催化剂。
附图说明
图1为本发明的气路图;
图2为本发明一个实施例的气路图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的技术方案进行详细说明。
参见图1,本发明提供一种三氟化硼输送装置,在三氟化硼输送装置的物料管线上设有抽真空管线和吹扫管线,所述物料管线上依次设有低压隔离阀A3、低压隔离阀A2、质量流量计MFC、低压隔离阀A1、制程气体隔离阀PLIA、调压阀REGA、高压隔离阀HPIA和垫片式过滤器F1,所述调压阀REGA上设有输送压力表DPGA,所述的抽真空管线将三氟化硼输送管线内的三氟化硼抽取干净,所述的吹扫管线将残留的三氟化硼及杂质冲洗干净。
所述抽真空管线上依次设有文丘里真空供给阀VVS、止逆阀CV2和真空发生器,所述真空发生器吸入口与物料管线上质量流量计MFC入口之间的管线上设有低压隔离阀A4,所述低压隔离阀A4与物料管线上调压阀REGA入口之间的管线上依次设有止逆阀CV3和低压隔离阀LPVA,所述止逆阀CV3与物料管线上高压隔离阀HPIA之间的管线上设有高压排空阀HPV。
所述吹扫管线一端为进气端,另一端与物料管线上高压隔离阀HPIA的出口端相连,所述吹扫管线上从进气端依次设有止逆阀CV1和吹扫气体隔离阀PGIA。所述吹扫管线中的气体为惰性气体,所述惰性气体为:氮气、氦气、氖气或氩气。
参见图2,图2是应用本发明装置的一个实施例的气路图。以实际生产中,更换钢瓶为例,图2中有A、B两条物料管线,A物料管线为图1中所述物料管线,所述A物料管线上设有的抽真空管线和吹扫管线也与图1所示相同;
所述B物料管线与A物料管线中的所设部件相同,依次设有低压隔离阀B3、低压隔离阀B2、质量流量计MFC、低压隔离阀B1、制程气体隔离阀PLIB、调压阀REGB、高压隔离阀HPIB和垫片式过滤器F1,所述调压阀REGB上设有输送压力表DPGB,B物料管线上设有与A物料管线上的相同的抽真空管线和吹扫管,所述抽真空管线上真空发生器吸入口与B物料管线上质量流量计MFC入口之间的管线上设有低压隔离阀B4,所述低压隔离阀B4与物料管线上调压阀REGB入口之间的管线上依次设有止逆阀CV3和低压隔离阀LPVB,所述止逆阀CV3与物料管线上高压隔离阀HPIB之间的管线上设有高压排空阀HPV;所述吹扫管线一端为进气端,另一端与B物料管线上高压隔离阀HPIB的出口端相连,所述吹扫管线上从进气端依次设有止逆阀CV1和吹扫气体隔离阀PGIB;
所述两条抽真空管线为并联关系,所述两条吹扫管线也为并联关系,所述两条物料管线中制程气体隔离阀PLIA和PLIB的入口端之间设有桥接管线,所述桥接管线上设有低压隔离阀H。
下面以从A钢瓶切换到B钢瓶为例,具体说明更换钢瓶的操作步骤:
1、打开B钢瓶的出口阀门,观察出口压力;
2、打开钢瓶出口隔膜阀、紧急遮断阀ESOB和高压隔离阀HPIB,调节二次减压阀REGB,输送压力表DPGB压力为0.4MPa;
3、关闭制程气体隔离阀PLIA的同时打开另一路的隔离阀PLIB与低压隔离阀H,通知主控观察流量计流量;
4、流量稳定,关闭需要更换钢瓶的出口阀门,其紧急遮断阀ESO保持开启;
5、打开文丘里真空供给阀VVS,观察真空度;
6、打开低压隔离阀LPVA,将管道中的BF3抽空,当调压阀REGA压力为负压时,关闭低压隔离阀LPVA,由于真空抽空管道,在下一步更换钢瓶时钢瓶出口管线的N2由于管线中的BF3已经抽空,所以不污染环境;
7、打开吹扫气体隔离阀PGIA,将管道中充满N2,然后关闭吹扫气体隔离阀PGIA,打开低压隔离阀LPVA;当调压阀REGA压力显示负压时,关闭低压隔离阀LPVA;此动作循环操作30次,此步骤为抽真空,再冲入N2反复多次,防止死角杂质残留;
8、打开吹扫气体隔离阀PGIA,低压隔离阀LPVA与为关闭状态,保持钢瓶连接口处持续有N2流出;
9、更换钢瓶;
10、钢瓶安装完毕,保压试验:打开气柜中的排气扇,关闭阀门ESOA,打开钢瓶出口阀门,出口压力表SPG有指示时,关闭钢瓶出口阀门等待20分钟,如无压力下降,表示无泄漏。
本发明采用真空发生器产生22~27英寸汞柱的真空,对于管线中死角中的杂质能有效去除,并且能有效防止由于在更换BF3钢瓶时,由于管线中残留BF3而导致污染环境。
本发明所有部件阀门和调压器皆由316L不锈钢制作,所有阀门皆为采用VCR接口之隔膜阀,所有部件、管材焊接后表面再采用电抛光技术处理以防外界腐蚀性物质进入。
以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种三氟化硼输送装置,包括物料管线,其特征在于:在物料管线上设有抽真空管线和吹扫管线,
所述抽真空管线上依次设有文丘里真空供给阀VVS、止逆阀CV2和真空发生器,所述真空发生器吸入口与物料管线上质量流量计MFC入口之间的管线上设有低压隔离阀A4,所述低压隔离阀A4与物料管线上调压阀REGA入口之间的管线上依次设有止逆阀CV3和低压隔离阀LPVA,所述止逆阀CV3与物料管线上高压隔离阀HPIA之间的管线上设有高压排空阀HPV,
所述吹扫管线一端为进气端,另一端与物料管线上高压隔离阀HPIA的出口端相连,所述吹扫管线上从进气端依次设有止逆阀CV1和吹扫气体隔离阀PGIA,
所述的抽真空管线用于将三氟化硼输送管线内的三氟化硼抽取干净,所述的吹扫管线用于将残留的三氟化硼及杂质冲洗干净。
2.如权利要求1所述的三氟化硼输送装置,其特征在于:所述吹扫管线中的气体为惰性气体。
CN 200910236599 2009-11-03 2009-11-03 一种三氟化硼输送装置 Expired - Fee Related CN101696765B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910236599 CN101696765B (zh) 2009-11-03 2009-11-03 一种三氟化硼输送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910236599 CN101696765B (zh) 2009-11-03 2009-11-03 一种三氟化硼输送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101696765A CN101696765A (zh) 2010-04-21
CN101696765B true CN101696765B (zh) 2013-04-24

Family

ID=42141882

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200910236599 Expired - Fee Related CN101696765B (zh) 2009-11-03 2009-11-03 一种三氟化硼输送装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101696765B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103372557B (zh) * 2012-04-23 2016-06-22 至砾机电设备(上海)有限公司 一种吹扫净化方法及其装置
CN102853252B (zh) * 2012-08-31 2015-08-12 成都爱德工程有限公司 用于高纯安全特气的钢瓶更换方法
CN102853263B (zh) * 2012-08-31 2014-04-02 成都爱德工程有限公司 特气柜中钢瓶更换的检测方法
CN108896689A (zh) * 2018-08-13 2018-11-27 朗析仪器(上海)有限公司 一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统
CN110173626B (zh) * 2019-06-28 2024-02-13 恒力石化(大连)有限公司 一种pta精制装置浆料系统联运和互供控制系统
CN110873286B (zh) * 2019-11-21 2020-08-25 西安交通大学 一种高压大流量气体实验用多种气源供给装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101280885A (zh) * 2008-05-26 2008-10-08 中国蓝星(集团)总公司 一种防止甲醛气体堵塞管线的方法及甲醛储存装置
CN101480653A (zh) * 2009-02-20 2009-07-15 中冶实久建设有限公司南京分公司 液压管路的氮气吹扫装置及液压管路清洁方法
CN201575302U (zh) * 2009-11-03 2010-09-08 中国蓝星(集团)股份有限公司 一种三氟化硼输送装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101280885A (zh) * 2008-05-26 2008-10-08 中国蓝星(集团)总公司 一种防止甲醛气体堵塞管线的方法及甲醛储存装置
CN101480653A (zh) * 2009-02-20 2009-07-15 中冶实久建设有限公司南京分公司 液压管路的氮气吹扫装置及液压管路清洁方法
CN201575302U (zh) * 2009-11-03 2010-09-08 中国蓝星(集团)股份有限公司 一种三氟化硼输送装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP特开2008-126198A 2008.06.05

Also Published As

Publication number Publication date
CN101696765A (zh) 2010-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101696765B (zh) 一种三氟化硼输送装置
CN101276732A (zh) 一种微电子气源柜吹扫系统
CN201575302U (zh) 一种三氟化硼输送装置
CN214663709U (zh) 一种用于特殊气体输送的气瓶柜
CN209991215U (zh) 一种生产装置连续供应氢气的系统
CN210979351U (zh) 一种用于特殊气体输送的集装格供应系统
CN212746000U (zh) 一种高纯度连续供气装置
CN214369272U (zh) 一种用于特殊气体超高流量输送的设备
CN201282131Y (zh) 一种微电子气源柜吹扫系统
CN214369312U (zh) 一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱
CN211232413U (zh) 一种用于大流量气体供应设备
CN102853252A (zh) 用于高纯安全特气的钢瓶更换方法
CN209707435U (zh) 一种玻璃电极ph计自动标定及清洗装置
CN208951692U (zh) 一种实现过流报警的液态源供应装置
CN208762574U (zh) 一种管式pecvd炉tma供气系统
CN210716947U (zh) 一种用于特殊气体输送的钢瓶架
CN207556941U (zh) 一种氨基酸检测样品前处理装置
CN208090318U (zh) 一种全自动特殊液体供应柜
CN212298533U (zh) 一种用于特殊气体混合配比的混气输送设备
CN219702884U (zh) 超导腔等离子体清洗气路装置
CN212039901U (zh) 一种用于气体混合的混气设备
CN216404219U (zh) 一种去除光纤拉丝涂覆气泡的装置
CN218251964U (zh) 一种管路气体清洗及快速回压装置
CN219907228U (zh) 一种用于化工厂污水车间沼气罐能源回收利用系统
CN113804518B (zh) 一种高纯及超纯气体高保真取样装置和方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130424

Termination date: 20201103

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee