CN219589893U - 一种检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种检测装置，应用于钢瓶检测，包括连接机构，连接钢瓶，真空机构，连接在连接机构上，检漏机构，连接在连接机构上，充气检测机构，连接在连接机构上，其中，真空机构经连接机构抽出钢瓶内的气体，以使钢瓶处于真空状态，检漏机构对处于真空状态的钢瓶进行检漏，充气检测机构用于经连接机构对钢瓶进行充气，以使钢瓶内达到预设气压，然后对钢瓶进行检测。本实用新型首先通过真空机构经连接机构将钢瓶内的空气抽出，使钢瓶处于真空状态，接着通过检漏机构对钢瓶的外部进行检测，检测完成后，通过充气检测机构对钢瓶进行充气，并观察检测钢瓶，完成钢瓶的检测，以达到快速对钢瓶检测，提高检测效率，且不会对钢瓶造成污染。

Description

一种检测装置

技术领域

本实用新型涉及化工生产设备技术领域，特别涉及一种检测装置。

背景技术

MO源即高纯金属有机化合物，是采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术进行外延生长时的支撑材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半导体超薄型膜材料，可用来生产LED外延片、HEMT器件、半导体激光器、太阳能电池等；是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。MO源需要达到6N(99.9999％)以上的产品纯度才合格，因此在生产过程中需要经过粗分离纯化、细分离纯化、超细分离纯化的生产的过程且MO源具有非常活泼的化学性质，对空气和水极为敏感，在空气中会瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸。因此MO源存放尤为重要，目前MO源灌装于316L材质的钢瓶内，所以钢瓶的密封性检测和洁净度尤为重要。

现有技术当中，现检测方法使用氦质谱检漏仪检测使用喷氦法检测。原检测方法时间较长，还会造成二次污染，钢瓶检测效率不高，加上大规格钢瓶投入使用检测难以满足生产的实际使用需求。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的是提供一种检测装置，以至少解决上述现有技术当中的不足。

本实用新型提供以下技术方案，一种检测装置，应用于钢瓶检测，包括：

连接机构，连接所述钢瓶；

真空机构，连接在所述连接机构上；

检漏机构，连接在所述连接机构上；

充气检测机构，连接在所述连接机构上；

其中，所述真空机构经所述连接机构抽出所述钢瓶内的气体，以使所述钢瓶处于真空状态，所述检漏机构对处于真空状态的所述钢瓶进行检漏，所述充气检测机构用于经所述连接机构对所述钢瓶进行充气，以使所述钢瓶内达到预设气压，并在所述预设气压状态下，对所述钢瓶进行检测。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：首先通过真空机构经连接机构将钢瓶内的空气抽出，使钢瓶处于真空状态，接着通过检漏机构对钢瓶的外部进行检测，检测完成后，通过充气检测机构对钢瓶进行充气，并观察检测钢瓶，完成钢瓶的检测，以达到快速对钢瓶检测，提高检测效率，且不会对钢瓶造成污染。

进一步的，所述连接机构包括检测管道、钢瓶连接管道、第一电磁阀、钢瓶内漏检测管以及第二电磁阀，所述检测管道经所述钢瓶连接管道连接所述钢瓶的一侧，所述钢瓶内漏检测管连接所述钢瓶的另一侧，所述第一电磁阀设置在所述钢瓶连接管道上，所述第二电磁阀连接在所述钢瓶内漏检测管上，所述钢瓶内漏检测管连接所述充气检测机构。

进一步的，所述检测管道、所述钢瓶连接管道以及所述钢瓶内漏检测管均采用不锈钢洁净卫生管。

进一步的，所述真空机构包括抽真空装置、第一压力感应器、辅助真空管道以及第三电磁阀，所述辅助真空管道的一端连接所述抽真空装置，另一端连接所述连接机构，所述第一压力感应器设于所述辅助真空管道上，所述第三电磁阀设于所述辅助真空管道上。

进一步的，所述检漏机构包括氦质谱检漏仪以及连接管道，所述连接管道的一端连接所述氦质谱检漏仪，另一端连接所述连接机构。

进一步的，所述充气检测机构包括氦气储罐、氦气输送管路、第二压力感应器以及第四电磁阀，所述氦气输送管路的一端连接所述氦气储罐，另一端连接所述连接机构，所述第二压力感应器与所述第四电磁阀均设置在所述氦气输送管路上。

进一步的，所述检测装置还包括充气机构，所述充气机构通过所述检漏机构连接所述连接机构，所述充气机构通过所述检漏机构对所述钢瓶进行充气，以使所述钢瓶内充压至预设气压。

进一步的，所述充气机构包括氮气储罐、氮气管路以及第五电磁阀，所述氮气管路与所述氮气储罐连接，所述第五电磁阀设置在所述氮气管路上，所述氮气管路连接所述检漏机构

附图说明

图1为本实用新型实施例中检测装置的结构示意图。

主要元件符号说明：

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1，所示为本实用新型实施例中的检测装置，应用于钢瓶60检测，包括连接机构10、真空机构20、检漏机构30以及充气检测机构40。

所述连接机构10连接所述钢瓶60，所述真空机构20连接在所述连接机构10上，所述检漏机构30连接在所述连接机构10上，所述充气检测机构40连接在所述连接机构10上，其中，所述真空机构20经所述连接机构10抽出所述钢瓶60内的气体，以使所述钢瓶60处于真空状态，所述检漏机构30对处于真空状态的所述钢瓶60进行检漏，所述充气检测机构40用于经所述连接机构对所述钢瓶60进行充气，以使所述钢瓶60内达到预设气压，并在所述预设气压状态下，对所述钢瓶60进行检测。

需要解释的是，在对钢瓶60检测时，首先需要将钢瓶进行清洁，清洁完成后的钢瓶60连接至连接机构10，然后通过真空机构20经连接机构10将钢瓶10内的气体抽出，在本实施例中，真空机构20在通过连接机构10进行粗抽，使得钢瓶60内处于近似真空的检测压力，当钢瓶60内的压力处于检测压力时，在具体实施时，此时真空机构20通过DCS控制系统中枢进行关闭，接着检漏机构30开启，此时检漏机构30通过其自身的氦气喷枪对钢瓶60的连接处以及钢瓶60的焊接处进行外漏检测，当外漏检测合格时，此时充气检测机构40经过连接机构10对钢瓶60内进行充气，此时充气检测机构40检测到钢瓶60内的压力达到预设气压后，在本实施例中，预设气压为0.5bar，对钢瓶60进行观察，从而完成钢瓶60的充气后的检测，以达到快速对钢瓶60检测，有效提高检测效率，且不会对钢瓶60本身造成污染。

请参阅图1，在本实施例中，所述连接机构10包括检测管道11、钢瓶连接管道12、第一电磁阀13、钢瓶内漏检测管14以及第二电磁阀15，所述检测管道11经所述钢瓶连接管道12连接所述钢瓶60的一侧，所述钢瓶内漏检测管14连接所述钢瓶60的另一侧，所述第一电磁阀13设置在所述钢瓶连接管道12上，所述第二电磁阀15连接在所述钢瓶内漏检测管14上，所述钢瓶内漏检测管14连接所述充气检测机构40。

可以理解的是，由于钢瓶60连接了钢瓶连接管道12以及钢瓶内漏检测管14，并且在钢瓶连接管道12上设有第一电磁阀13，在钢瓶内漏检测管14上设有第二电磁阀15，在对钢瓶60进行检测的过程中，可以通过第一电磁阀13将钢瓶连接管道12进行关闭，以使钢瓶60的检测更加的准确，并且钢瓶60在进行充气检测时，充气完成后，通过第二电磁阀15关闭钢瓶内漏检测管14，以使钢瓶60内的气体不会溢出，从而使得钢瓶60的充气检测更为的准确。

值得说明的是，在本实施例中，钢瓶连接管道12与钢瓶60的连接方式为1/2vcr接头连接，钢瓶内漏检测管14与钢瓶60的连接方式为1/4vcr接头连接。

请参阅图1，在本实施例中，所述真空机构20包括抽真空装置21、第一压力感应器22、辅助真空管道23以及第三电磁阀24，所述辅助真空管道23的一端连接所述抽真空装置21，另一端连接所述连接机构10，所述第一压力感应器22设于所述辅助真空管道23上，所述第三电磁阀24设于所述辅助真空管道23上。

需要解释的是，在本实施例中，辅助真空管道23的一端连接抽真空装置21，另一端则连接在检测管道11上，从而使得抽真空装置21通过辅助真空管道23检测管道11以及钢瓶连接管道12对钢瓶60进行抽真空，在具体实施时，首先打开第三电磁阀23，此时抽真空装置21通过辅助真空管道23、检测管道11以及钢瓶连接管道12对连接在钢瓶连接管道12上的钢瓶60进行抽真空，在抽真空的过程中，为了了解钢瓶60内的气压，此时通过第一压力感应器22了解钢瓶60内的气压，在抽真空结束后，此时只需要关闭第三电磁阀23，抽真空装置21影响钢瓶60内的气压状态。

请参阅图1，在本实施例中，所述检漏机构30包括氦质谱检漏仪31以及连接管道32，所述连接管道32的一端连接所述氦质谱检漏仪31，另一端连接所述连接机构10。

需要解释的是，连接管道32的一端连接氦质谱检漏仪31，另一端连接检测管道11，在具体实施时，氦质谱检漏仪31在对钢瓶60进行检测的过程中，通过氦气喷枪对钢瓶60的连接处以及钢瓶60的焊接处进行外漏检测，在对钢瓶60的外漏检测完成后，此时氦质谱检漏仪31通过连接管道32、检测管道11以及钢瓶连接管道12对电磁阀进行逐个检测，被检测的电磁阀在检测时将其关闭。

请查阅图1，在本实施例中，所述充气检测机构40包括氦气储罐41、氦气输送管路42、第二压力感应器43以及第四电磁阀44，所述氦气输送管路42的一端连接所述氦气储罐41，另一端连接所述连接机构10，所述第二压力感应器43与所述第四电磁阀44均设置在所述氦气输送管路上。

需要解释的是，氦气输送管路42的一端连接氦气储罐41，另一端连接钢瓶内漏检测管14，在对钢瓶60进行充气检测时，此时打开第四电磁阀44，氦气储罐41内的氦气经过氦气输送管路42以及内漏检测管14进入至钢瓶60内，在此过程中，给钢瓶60内预设一个气压，预设气压在本实施例中，具体为0.5bar，当钢瓶60内的气压填充氦气后，通过第二压力感应器43观察到钢瓶60内的气压为0.5bar时，此时关闭第四电磁阀44，然后在观察钢瓶60内的情况，并观察第四电磁阀44，达到对第四电磁阀44进行检测的目的，当第四电磁阀44合格后，此时打开第四电磁阀44，此时氦气储罐41内的氦气通过氦气输送管路42以及钢瓶内漏检测管14，并关闭第一电磁阀15，此时观察第一电磁阀15的情况，完成对第一电磁阀15的检测。

请参阅图1，在本实施例中，所述检测装置还包括充气机构50，所述充气机构50通过所述检漏机构30连接所述连接机构10，所述充气机构50通过所述检漏机构30对所述钢瓶60进行充气，以使所述钢瓶60内充压至预设气压，所述充气机构50包括氮气储罐51、氮气管路52以及第五电磁阀53，所述氮气管路52与所述氮气储罐51连接，所述第五电磁阀53设置在所述氮气管路52上，所述氮气管路52连接所述检漏机构30。

需要解释的是，氮气管路52经过氦质谱检漏仪31与连接管道32连接，在对钢瓶60以及各个电磁阀检测完成后，此时通过打开第五电磁阀53，将氮气储罐51内的氮气通过氮气管路52、连接管道32、检测管道11以及钢瓶连接管道12充入至钢瓶60内，以使钢瓶60处于预设气压，也就是常压。

值得说明的是，在本实施例中，检测管道11、钢瓶连接管道12、钢瓶内漏检测管14、辅助真空管道23、连接管道32、氦气输送管路42以及氮气管路52,均采用不锈钢洁净卫生管。

综上，本实用新型上述实施例当中的检测装置，首先通过真空机构20经连接机构10将钢瓶60内的空气抽出，使钢瓶60处于真空状态，接着通过检漏机构30对钢瓶60的外部进行检测，检测完成后，通过充气检测机构40对钢瓶60进行充气，并观察检测钢瓶60，完成钢瓶60的检测，以达到快速对钢瓶60检测，提高检测效率，且不会对钢瓶60造成污染。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种检测装置，应用于钢瓶检测，其特征在于，包括：

连接机构，连接所述钢瓶；

真空机构，连接在所述连接机构上；

检漏机构，连接在所述连接机构上；

充气检测机构，连接在所述连接机构上；

其中，所述真空机构经所述连接机构抽出所述钢瓶内的气体，以使所述钢瓶处于真空状态，所述检漏机构对处于真空状态的所述钢瓶进行检漏，所述充气检测机构用于经所述连接机构对所述钢瓶进行充气，以使所述钢瓶内达到预设气压，并在所述预设气压状态下，对所述钢瓶进行检测。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述连接机构包括检测管道、钢瓶连接管道、第一电磁阀、钢瓶内漏检测管以及第二电磁阀，所述检测管道经所述钢瓶连接管道连接所述钢瓶的一侧，所述钢瓶内漏检测管连接所述钢瓶的另一侧，所述第一电磁阀设置在所述钢瓶连接管道上，所述第二电磁阀连接在所述钢瓶内漏检测管上，所述钢瓶内漏检测管连接所述充气检测机构。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述检测管道、所述钢瓶连接管道以及所述钢瓶内漏检测管均采用不锈钢洁净卫生管。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述真空机构包括抽真空装置、第一压力感应器、辅助真空管道以及第三电磁阀，所述辅助真空管道的一端连接所述抽真空装置，另一端连接所述连接机构，所述第一压力感应器设于所述辅助真空管道上，所述第三电磁阀设于所述辅助真空管道上。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检漏机构包括氦质谱检漏仪以及连接管道，所述连接管道的一端连接所述氦质谱检漏仪，另一端连接所述连接机构。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述充气检测机构包括氦气储罐、氦气输送管路、第二压力感应器以及第四电磁阀，所述氦气输送管路的一端连接所述氦气储罐，另一端连接所述连接机构，所述第二压力感应器与所述第四电磁阀均设置在所述氦气输送管路上。

7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括充气机构，所述充气机构通过所述检漏机构连接所述连接机构，所述充气机构通过所述检漏机构对所述钢瓶进行充气，以使所述钢瓶内充压至预设气压。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述充气机构包括氮气储罐、氮气管路以及第五电磁阀，所述氮气管路与所述氮气储罐连接，所述第五电磁阀设置在所述氮气管路上，所述氮气管路连接所述检漏机构。