CN220169162U - 一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，包括气瓶一和气瓶二，气瓶一和气瓶二的进口均连接有气瓶充装系统，气瓶充装系统通过管道连接有高压回收系统、低压回收系统和真空系统，气瓶一和气瓶二通过气瓶充装系统连接有产品来料系统、氦气系统和高纯氮气系统。本实用新型通过设置的低压回收系统、高压回收系统和真空系统对气瓶一和气瓶二以及管道内部的残余气体进行排出，使得在对气瓶一和气瓶二内部充入电子气体时更加的纯净，进而提高了电子气体在充装时的纯净度。

Description

一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统

技术领域

本实用新型涉及电子气体技术领域，具体涉及一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统。

背景技术

半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI(大规模集成电路)级，VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。

中国专利号20202 2145015.0，公开了一种高纯电子气体的充装系统，包括至少1个产品罐、至少2组过滤机构、以及至少1个隔膜压缩机；所述产品罐的底部通过隔膜压缩机与一组过滤机构的入口连接，所述过滤机构的出口与所述产品罐的顶部连接，构成第一级循环过滤体系；所述产品罐的底部通过隔膜压缩机与另一组过滤机构的入口连接，所述过滤机构的出口与所述产品罐的顶部连接，构成第二级循环过滤体系；所述第一级循环过滤体系中的过滤机构的过滤精度小于所述第二级循环过滤体系中过滤机构的过滤精度。

电子气体在向大瓶内部充装时，由于充装管道以及大瓶的内部存有残余气体，导致电子气体在充装后的纯度降低。因此，亟需设计一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，以解决现有技术中的上述不足之处。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，包括气瓶一和气瓶二，所述气瓶一和气瓶二的进口均连接有气瓶充装系统，所述气瓶充装系统通过管道连接有高压回收系统、低压回收系统和真空系统，所述气瓶一和气瓶二通过气瓶充装系统连接有产品来料系统、氦气系统和高纯氮气系统。

进一步的，还包括称重系统一和称重系统二，所述称重系统一和称重系统二通过导线均连接有控制器。

进一步的，所述气瓶充装系统包括开关阀和流量传感器，所述开关阀和流量传感器与气瓶一串联。

进一步的，所述开关阀和流量传感器均与控制器通过导线呈电性连接，所述气瓶一和气瓶二通过气瓶充装系统连接有分析系统。

进一步的，所述气瓶一和气瓶二均包括基础层，所述基础层的外壁设置有加强层。

进一步的，所述加强层的外壁设置有耐腐蚀层，所述耐腐蚀层的外壁设置有防撞层。

在上述技术方案中，本实用新型提供的一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，有益效果为：

(1)通过设置的低压回收系统、高压回收系统和真空系统对气瓶一和气瓶二以及管道内部的残余气体进行排出，使得在对气瓶一和气瓶二内部充入电子气体时更加的纯净，进而提高了电子气体在充装时的纯净度。

(2)通过设置的称重系统一和称重系统二分别对气瓶一和气瓶二进行称重，使得达到重量时控制器自动控制开关阀进行断开，从而实现了气瓶一和气瓶二能够自动识别充装完成，并进行断开充装的效果，使得电子气体在进行充装时更加智能。

(3)通过设置的防撞层、耐腐蚀层和加强层，利用防撞层使得气瓶一和气瓶二在使用时不容易因意外碰破损，通过耐腐蚀层和加强层增强了气瓶一和气瓶二的耐腐蚀和耐高压的效果，使得气瓶一和气瓶二的使用寿命得到延长。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统实施例提供的整体示意图。

图2为本实用新型一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统实施例提供的气瓶一结构示意图。

附图标记说明：

1产品来料系统、2氦气系统、3高纯氮气系统、4气瓶一、5高压回收系统、6低压回收系统、7真空系统、8分析系统、9气瓶充装系统、10气瓶二、11称重系统一、12称重系统二、13防撞层、14耐腐蚀层、15加强层、16基础层、17控制器、18开关阀、19流量传感器。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。

如图1-2所示，本实用新型实施例提供的一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，包括气瓶一4和气瓶二10，气瓶一4和气瓶二10的进口均连接有气瓶充装系统9，气瓶充装系统9通过管道连接有高压回收系统5、低压回收系统6和真空系统7，气瓶一4和气瓶二10通过气瓶充装系统9连接有产品来料系统1、氦气系统2和高纯氮气系统3。

具体的，本实施例中，包括气瓶一4和气瓶二10，气瓶一4和气瓶二10为待充装的大瓶，将电子气体充装到气瓶一4和气瓶二10内部后，使得电子气体因高压作用进行液化，气瓶一4和气瓶二10的进口均连接有气瓶充装系统9，气瓶充装系统9对气瓶一4和气瓶二10由多个阀门组成，实现电子气体向气瓶一4和气瓶二10内部进行充装，气瓶充装系统9通过管道连接有高压回收系统5、低压回收系统6和真空系统7，将气瓶一4和气瓶二10的气液相管线分别接上气瓶充装系统9的气液相阀门，从液相管线中，通过高压回收系统5排出大瓶中残余的气体，当压力降低至一定值后，再通过低压回收系统6排出大瓶中残余的气体，最后经过真空系统7将钢瓶内残余气体全部排出，高压、低压、真空系统7排出的气体全部经过回收后，作为低等级原料，实现复用钢瓶的原位处理及尾气全回收，气瓶一4和气瓶二10通过气瓶充装系统9连接有产品来料系统1、氦气系统2和高纯氮气系统3，产品来料系统1向气瓶一4和气瓶二10充入电子气体以及提供充入的压力，气瓶一4和气瓶二10的气相接上充装系统后，由氦气系统2充入低压氦气，然后由高压氮气阀充入高压氮气，对系统进行保压测试；保压测试通过后，由低压氮气系统与真空系统7反复开启配合操作，对系统管路进行吹扫置换。

本实用新型提供的一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，气瓶一4和气瓶二10的气相接上充装系统后，由氦气系统2充入低压氦气，然后由高压氮气阀充入高压氮气，对系统进行保压测试；保压测试通过后，由低压氮气系统与真空系统7反复开启配合操作，对系统管路进行吹扫置换。

本实用新型提供的另一个实施例中，还包括称重系统一11和称重系统二12，称重系统一11和称重系统二12通过导线均连接有控制器17，称重系统一11和称重系统二12分别用于气瓶一4和气瓶二10的称重，气瓶充装系统9包括开关阀18和流量传感器19，开关阀18和流量传感器19与气瓶一4串联，通过设置的称重系统一11和称重系统二12分别对气瓶一4和气瓶二10进行称重，使得达到重量时控制器17自动控制开关阀18进行断开，从而实现了气瓶一4和气瓶二10能够自动识别充装完成，并进行断开充装的效果，使得电子气体在进行充装时更加智能，开关阀18和流量传感器19均与控制器17通过导线呈电性连接，气瓶一4和气瓶二10通过气瓶充装系统9连接有分析系统8，充装完成后，管道中的气体经过在线分析系统8对产品进行原位分析，当称重系统一11和称重系统二12损坏时，通过流量传感器19检测充装的流量，当流量到达预定值时，流量传感器19通过电信号反馈给控制器17，使得控制器17控制开关阀18关闭，进而实现电子气体充装时双重保护的效果，防止电子气体过量充装，称重系统一11、称重系统二12、开关阀18、流量传感器19与控制器17之间的连接原理为现有技术。

本实用新型提供的另一个实施例中，气瓶一4和气瓶二10均包括基础层16，基础层16的外壁设置有加强层15，加强层15的外壁设置有耐腐蚀层14，耐腐蚀层14的外壁设置有防撞层13，利用防撞层13使得气瓶一4和气瓶二10在使用时不容易因意外碰破损，通过耐腐蚀层14和加强层15增强了气瓶一4和气瓶二10的耐腐蚀和耐高压的效果，使得气瓶一4和气瓶二10的使用寿命得到延长。

工作原理：将气瓶一4和气瓶二10的气液相管线分别接上气瓶充装系统9的气液相阀门，从液相管线中，通过高压回收系统5排出大瓶中残余的气体，当压力降低至一定值后，再通过低压回收系统6排出大瓶中残余的气体，最后经过真空系统7将钢瓶内残余气体全部排出，高压、低压、真空系统7排出的气体全部经过回收后，作为低等级原料，实现复用钢瓶的原位处理及尾气全回收；气瓶一4和气瓶二10的气相接上充装系统后，由氦气系统2充入低压氦气，然后由高压氮气阀充入高压氮气，对系统进行保压测试；保压测试通过后，由低压氮气系统与真空系统7反复开启配合操作，对系统管路进行吹扫置换；吹扫置换完成后，由产品来料系统1、气瓶充装系统9及称重系统一11和称重系统二12配合，对气瓶一4和气瓶二10任意瓶进行产品充装，使得电子气体在气瓶一4和气瓶二10内部进行液化存储，称重系统一11检测充装重量到位后反馈给控制器17，使得控制器17控制开关阀18关闭，实现充装完成时的自动断开的效果；充装完成后，管道中的气体经过在线分析系统8，对产品进行原位分析，分析合格后，先由高压回收系统5回收，再经过低压回收系统6将管道中产品气体进行回收，再通过低压氮气系统与真空系统7反复开启配合操作，对系统管路进行吹扫置换后，进行拆卸瓶操作，本系统所有工序均有PLC通过气柜触摸屏控制全自动化运行各充装程序，并自动判断各程序节点终点，仅在拆卸瓶时需要人工操作接入，使得大瓶充装电子气体时更加方便。

以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。

Claims (6)

1.一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，其特征在于，包括气瓶一(4)和气瓶二(10)，所述气瓶一(4)和气瓶二(10)的进口均连接有气瓶充装系统(9)，所述气瓶充装系统(9)通过管道连接有高压回收系统(5)、低压回收系统(6)和真空系统(7)，所述气瓶一(4)和气瓶二(10)通过气瓶充装系统(9)连接有产品来料系统(1)、氦气系统(2)和高纯氮气系统(3)。

2.根据权利要求1所述的一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，其特征在于，还包括称重系统一(11)和称重系统二(12)，所述称重系统一(11)和称重系统二(12)通过导线均连接有控制器(17)。

3.根据权利要求2所述的一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，其特征在于，所述气瓶充装系统(9)包括开关阀(18)和流量传感器(19)，所述开关阀(18)和流量传感器(19)与气瓶一(4)串联。

4.根据权利要求3所述的一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，其特征在于，所述开关阀(18)和流量传感器(19)均与控制器(17)通过导线呈电性连接，所述气瓶一(4)和气瓶二(10)通过气瓶充装系统(9)连接有分析系统(8)。

5.根据权利要求1所述的一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，其特征在于，所述气瓶一(4)和气瓶二(10)均包括基础层(16)，所述基础层(16)的外壁设置有加强层(15)。

6.根据权利要求5所述的一种液态电子级压缩液化产品的大瓶充装系统，其特征在于，所述加强层(15)的外壁设置有耐腐蚀层(14)，所述耐腐蚀层(14)的外壁设置有防撞层(13)。