CN220082809U - 一种液态电子特气充装返料装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种液态电子特气充装返料装置，包括充装排、罐装瓶和安装在充装排上的阀门，所述充装排包括排气管路、充装管路及返料管路，所述排气管路、充装管路和返料管路通过阀门相互连通。该液态电子特气充装返料装置利用带压吹扫气将充装排内的气体置换，置换气排空或进入尾气吸收塔，电子特气通过充装管路充装后，管路内剩余液体利用带压吹扫气使其通过返料管路返回冷凝器重新冷凝回收。该装置具有清洁无污染、装置简单、设计合理等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种液态电子特气充装返料装置，涉及电子特气领域。
背景技术
电子工业用到的气体统称电子气体，电子气体是特种气体的一个重要分支，按门类可分为高纯气，超纯气和半导体特殊材料气三大类。行业内把纯度为5N的气体称为高纯气体，纯度达到6N以上的气体称为超纯气体。半导体特殊材料气按化合物可分为氢化物气体、氟化物气体、碳氟化物气体三类。电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件，化合物半导体器件，太阳能电池，光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。很多电子特气在生产、充装、运输时呈液态，使用时为气态，例如超纯氨、高纯羰基硫和高纯三氯化硼等。
充装过程是电子特气生产的重要环节之一，若充装管路中有空气组分残留，特别是水分、二氧化碳等，会大大降低电子特气品质，甚至还会造成充装管路的腐蚀。
实用新型内容
鉴于现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种液态电子特气充装返料装置，装置结构简单，操作容易，能有效去除输送管路中的残留空气组分并可直接进行返料处理，简化充装工序，节约成本。
为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种液态电子特气充装返料装置，包括充装排、罐装瓶和安装在充装排上的阀门，所述充装排包括排气管路、充装管路及返料管路，所述排气管路、充装管路和返料管路通过阀门相互连通。
优选的，所述充装管路上依次连接设置有第二阀门、第三阀门、就地压力表、第四阀门和罐装瓶。
优选的，所述排气管路上依次连接设置有第五阀门、第六阀门和真空泵，所述返料管路上设置有第七阀门。
优选的，所述充装管路在第二阀门与第三阀门之间的管路与排气管路的第五阀门与第六阀门之间的管路相连通，该连通点也与返料管路连通。
优选的，所述充装管路在第二阀门与第三阀门之间的管路上还连接有吹扫气管路，吹扫气管路上设置有第一阀门。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：该液态电子特气充装返料装置利用带压吹扫气将充装排内的气体置换，置换气排空或进入尾气吸收塔，电子特气通过充装管路充装后，管路内剩余液体利用带压吹扫气使其通过返料管路返回冷凝器重新冷凝回收。该装置具有清洁无污染、装置简单、设计合理等优点。
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细的说明。
附图说明
图1为本实用新型实施例的构造示意图。
图中：1.第一阀门，2.第二阀门，3.第三阀门，4.第四阀门，5.第五阀门，6.第六阀门，7.第七阀门，8.就地压力表，9.真空泵，10.罐装瓶。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型做进一步说明。
应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
如图1所示，本实施例提供了一种液态电子特气充装返料装置，包括充装排、罐装瓶和安装在充装排上的阀门，所述充装排包括排气管路、充装管路及返料管路，所述排气管路、充装管路和返料管路通过阀门相互连通。
在本实用新型实施例中，所述充装管路上依次连接设置有第二阀门、第三阀门、就地压力表、第四阀门和罐装瓶。就地压力表用于检测管道气密性、用于判断管路内原有气体的置换情况以及反映充装时的压力。
在本实用新型实施例中，所述排气管路上依次连接设置有第五阀门、第六阀门和真空泵，所述返料管路上设置有第七阀门。进一步的，所述排气管路又分为两路，一路通过排空阀排空，一路通过真空泵与尾气吸收塔相连。
在本实用新型实施例中，所述充装管路在第二阀门与第三阀门之间的管路与排气管路的第五阀门与第六阀门之间的管路相连通，该连通点也与返料管路连通，所述返料管路的另一端与冷凝器相连，使管道内积蓄的电子特气重新冷凝回收。
在本实用新型实施例中，所述充装管路在第二阀门与第三阀门之间的管路上还连接有吹扫气管路，吹扫气管路上设置有第一阀门。
在本实用新型实施例中，所述的液态电子特气可以是高纯三氯化硼、高纯羰基硫、超纯氨等。
在本实用新型实施例中，所述罐装瓶可以是高压钢瓶、T瓶、Y瓶等。
在本实用新型实施例中，所述的吹扫气是不与待充装的液态电子特气反应的高纯气体，可以是高纯氦气或者高纯氮气。
在本实用新型实施例中，该液态电子特气充装返料装置的工作原理为：
（1）检漏，将充装前准备好的合格罐装瓶引入充装区的地磅上，将充装管路第四阀门后的接头与罐装瓶瓶阀连接好，开启第一阀门、第三阀门和第四阀门，关闭其它阀门，往管道内充入带压吹扫气，关闭第一阀门，观察就地压力表上的示数，检查管道密封性。（2）吹扫，打开第五阀门，将管道气排空后关闭第五阀门，重复充入吹扫气和排空步骤数次，最后一次充气后不排空。（3）抽真空，开启第六阀门和真空泵对管道进行抽真空数分钟，重复充入吹扫气和抽真空步骤数次后关闭第六阀门和真空泵。（4）润洗，开启第二阀门，利用待充装电子特气对充装盘面及管道进行清洗置换，随后打开第六阀门和真空泵，将润洗的电子特气引入尾气吸收塔吸收，重复润洗和抽真空步骤数次。（5）充装，打开罐装瓶瓶阀和第二阀门进行电子特气充装，充装结束后关闭瓶阀和第二阀门。（6）返料，打开第一阀门和第七阀门，通入吹扫气，利用吹扫气压力使液态电子特气返回冷凝器中冷凝，回收利用，随后关闭第七阀门。（7）吹扫，开启第六阀门和真空泵抽真空数分钟，反复通入吹扫气和抽真空数次，最后用吹扫气保持正压，关闭第六阀门和真空泵，将充装口卸下并堵上堵头。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。
Claims (5)
1.一种液态电子特气充装返料装置，其特征在于：包括充装排、罐装瓶和安装在充装排上的阀门，所述充装排包括排气管路、充装管路及返料管路，所述排气管路、充装管路和返料管路通过阀门相互连通。
2.根据权利要求1所述的液态电子特气充装返料装置，其特征在于：所述充装管路上依次连接设置有第二阀门、第三阀门、就地压力表、第四阀门和罐装瓶。
3.根据权利要求2所述的液态电子特气充装返料装置，其特征在于：所述排气管路上依次连接设置有第五阀门、第六阀门和真空泵，所述返料管路上设置有第七阀门。
4.根据权利要求3所述的液态电子特气充装返料装置，其特征在于：所述充装管路在第二阀门与第三阀门之间的管路与排气管路的第五阀门与第六阀门之间的管路相连通，该相连通的位置也与返料管路连通。
5.根据权利要求2所述的液态电子特气充装返料装置，其特征在于：所述充装管路在第二阀门与第三阀门之间的管路上还连接有吹扫气管路，吹扫气管路上设置有第一阀门。
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