JPS6326470A - ガスタンクのための弁 - Google Patents

ガスタンクのための弁

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JPS6326470A
JPS6326470A JP62165570A JP16557087A JPS6326470A JP S6326470 A JPS6326470 A JP S6326470A JP 62165570 A JP62165570 A JP 62165570A JP 16557087 A JP16557087 A JP 16557087A JP S6326470 A JPS6326470 A JP S6326470A
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JP
Japan
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valve
gas
scavenging
conduit
chamber
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Pending
Application number
JP62165570A
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English (en)
Inventor
フオルカー・ヴイーンケ
ハインリッヒ・シエール
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Draegerwerk AG and Co KGaA
Original Assignee
Draegerwerk AG and Co KGaA
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Publication date
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    • F16K1/30—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces specially adapted for pressure containers
    • F16K1/304—Shut-off valves with additional means
    • F16K1/305—Shut-off valves with additional means with valve member and actuator on the same side of the seat
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/04—Arrangement or mounting of valves
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はガスタンクのための弁であって、弁室へ至るガ
ス圧導管と、ガス送出導管とを備えており、前記ガス圧
導管が閉鎖弁によって閉鎖される形式のものに関する。
従来の技術 たとえば半導体を製造するといったような種々異なる製
造目的のために高純度のガスが必要であるような場合に
は通常のガスタンク用弁は適当ではない。高純度ガスを
取扱う場合には、どれほど微量であってら弁の弁室内又
はガス送出導管内に不純物か残留していることが許され
ない。又、空気に対して相反性又は腐食性ないしは有毒
性であるような特別な高純度ガスもある。ｆことえばン
ランは弁室内の残留空気と接触すると爆発してしまう。
又、ガスが空気と接触することによって毒性を有するよ
うになると作業員に危険が生じる。ガス導入装置のスタ
ート時、又は遮断した後ないしは開放した後で装置をま
ず活性化するために送出側の全供給導管を分かれた掃気
循環系を介して適当なガスで掃気することも可能である
か、このように掃気すると閉鎖弁が十分に掃気されない
ままである。何故ならばガスタンクが流通側にあるので
、閉鎖弁は掃気流通路が直接通る位置に設けられている
のではなく、ガス送出導管を通ってのみ接近可能である
からである。閉鎖弁の袋状の弁室自体を掃気するために
は高価で効果の不確実なインターバル掃気のような別々
な操作が必要である。このインターバル掃気のためには
ガス送出導管は池の導管と分けられていなければならな
い。しかしながら、インターバル掃気の後に残留する不
純物はまだ高純度ガスの送出に必要とされる条件を満た
すものではない。
ドイツ連邦共和国特許第６６７３７８号明細書から、高
圧ガスタンクを閉鎖するための高圧弁として使用される
と同時にガス送出導管のための逃し弁としての機能も果
たすような弁が公知である。この公知の弁では閉鎖ピン
が高、圧弁と逃し弁とを交互に開閉する。高圧弁が開放
すると、ガスタンクからガス受取手へと至るガス送出導
管内にガスが流入する。ガスタンクを閉鎖する場合には
、高圧弁へと閉鎖ピンが押しやられ、これと同時に逃し
弁が開放する。弁室及びガス送出導管内の過圧は、開放
された逃し弁を介して外部へ逃げる。
前記の公知の弁は高純度ガスの使用には適していない。
それというのは、稼働が中断して高圧弁が閉鎖されると
、弁室及びガス送出導管は逃し弁を介して外部と連通ず
るので外部から不純物が侵入してしまう。さらに不都合
なことには開放へ又は閉鎖への過渡段階では高圧弁も逃
し弁も同時に開放しているため、ガスタンクと外部とが
連通してしまう。
発明が解決しようとする問題点 本発明の課題は冒頭で述べた形式の弁を稼働の終了した
状態で弁室と、ガス送出導管と、それ以外の、弁座まで
を含むガスを導く送出側の室とが掃気され、この場合に
種々異なる手段で掃気流か流入、流出し、又、掃気が閉
鎖弁の操作に依存せずに行なわれるように構成すること
にある。
問題点を解決するための手段 前述の問題点を解決するために本発明によれば、掃気弁
を備えた弁室と連通する掃気導管が設けられているよう
にした。
発明の効果 本発明の構成手段により得られる効果は、閉鎖弁を閉じ
た状態で掃気導管を介して不活性ガスが弁室を通ってガ
ス送出導管内に遅ばれ、導管の１つ１つに至るまで、ガ
スを導びく全装置が掃気され、弁室内、特に弁座周辺の
不純物が一掃されるということである。
実施態様 本発明の特に有利なＩ実施態様によれば掃気弁が弁体内
に設けられており、掃気弁の掃気弁室内へ掃気導管が差
し込まれている。この実施態様によれば掃気弁が掃気導
管内部の一箇所に設けられている構成と比較して、掃気
弁の後部に残留する死室量を著しく減少できる。
本発明の別の１実施態様によれば掃気導管の開口が掃気
弁座の流過通路として形成されており、掃気弁と閉鎖弁
の弁室とが互いに直ぐ隣接して設けられている。この実
％ｇ様によっても残留する死室員を減少せしめる二とが
できる。
流過通路の長さは弁室に必要とされる壁厚さによっての
み決定される。
本発明の構成の弁では使用ガスで掃気することら可能で
あるが、たとえば極めて有毒なカスを使用する場合にガ
スタンクの交換前と交換後に危険性のない大気をもたら
すために不活性ガスで安全な掃気を行なうことらできる
。不活性ガスで安全な掃気を行なう場合には、不活性ガ
スを少し流すか又は間隔をおいて流すだけで必要な純度
が得られる。それというのは死１室及び流過通路ができ
るだけ小さく保持されているからである。
本発明のもう１つの実施態様によれば掃気導管の開口が
ガス送出導管に対して半径方向で弁室内へ差し込まれて
いる。この実施態様によれば、弁室内部の極めて狭いス
ペースまでもが流通過程において効果的に掃気される。
実施例 弁体ｌにはガス圧導管４とガス送出導管５との間に閉鎖
弁２，３　が設けられている。弁体ｌ内にはさらに掃気
弁６，７　が設けられており、掃気弁の掃気弁室８内に
は掃気導管９が引き込まれている。掃気弁の弁座７は流
過通路１０の開口でもある。この流過通路１０は掃気導
管９の開口として形成されており、閉鎖弁２．３　の弁
室１１に連通している。閉鎖弁２．３　及び掃気弁６，
７は玉弁として形成されており、球２゜６は弁が閉鎖状
態にある時には相応する弁座３．７に押圧されている。
閉鎖弁２．３及び掃気弁６．７は閉鎖スピンドル１２及
び掃気スピンドルＩ３によって相応するビン１４．１５
を介して操作可能である。又、ダイヤフラム１６，１７
が適当にガスをシールする。閉鎖スピンドル１２はハン
ドル車１８を介して、又、掃気スピンドルＩ３は方形接
続部１９を介して、たとえば図示されていないスパナに
よって操作可能である。掃気導管９は掃気接続部２０を
介して図示されていない掃気ガス供給装社と接続するこ
とができる。ガス送出導管５はガス供給接続部２１を備
えており、このガス供給接続部にガス受取側が接続され
る。ソケット２２によって弁体ｌは図示されていないガ
スタンクと結合される。
弁を掃気するために、閉鎖弁２．３が閉じた状態で掃気
弁６．７が開放せしめられると、掃気導管９から掃気弁
室８内へ、次いで掃気弁室８から流過通路ＩＯを介して
弁室１１内へ掃気ガスが流通し、ざらに掃気ガスはガス
送出導管５からガス供給接続部２１へと流出する。ガス
送出導管内を検査することによって検出されたガスの純
度によって掃気に必要な時間が検出される。所望のガス
品質が得られると、掃気弁６．７を再び閉鎖できる。閉
鎖弁２．３が開放して初めて取扱いガスがガス圧導管４
を介してガス送出導管５内に導かれる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明のガスタンクのための弁の縦断面図である
。 Ｉ・・・弁体、２，３・・閉鎖弁、４・・・ガス圧導管
、５・・ガス送出導管、６，７・・掃気弁、８・・・掃
気弁室、９・・・掃気導管、１０・・・流過通路、１１
・・・弁室、Ｉ２・・・閉鎖スピンドル、１３・・・掃
気スピンドル、１４．１５・・ビン、１６．１７・・・
ダイヤフラム、１８・・ハンドル車、１９・・・方形接
続部、２０・・・掃気接続部、２１・・・供給接続部、
２２・・・ソケット

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、ガスタンクのための弁であって、弁室（１１）へ至
    るガス圧導管（４）とガス送出導管（５）とを備えてお
    り、ガス圧導管（４）が閉鎖弁（２）によって閉鎖され
    る形式のものにおいて、掃気弁（６、７）を備えた、弁
    室（１１）と連通する掃気導管（９、１０）が設けられ
    ていることを特徴とする、ガスタンクのための弁。 ２、弁体（１）内に設けられた掃気弁（６、７）の掃気
    弁室（８）内へ前記掃気導管（９）が差し込まれている
    、特許請求の範囲第１項記載の弁。 ３、掃気導管（９）の開口（１０）が掃気弁の弁座（７
    ）の流過通路（１０）として形成されていて、閉鎖弁（
    ２、３）の弁室（１１）に直ぐ隣接して設けられている
    、特許請求の範囲第１項又は第２項記載の弁。 ４、掃気導管（９）の開口（１０）がガス送出導管（５
    ）に対して半径方向で弁室（１１）内へ差し込まれてい
    る特許請求の範囲第１項から第３項までのいずれか１項
    記載の弁。
JP62165570A 1986-07-04 1987-07-03 ガスタンクのための弁 Pending JPS6326470A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3622527.4 1986-07-04
DE3622527A DE3622527C1 (de) 1986-07-04 1986-07-04 Ventil fuer Gasbehaelter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6326470A true JPS6326470A (ja) 1988-02-04

Family

ID=6304411

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62165570A Pending JPS6326470A (ja) 1986-07-04 1987-07-03 ガスタンクのための弁

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US (1) US4768543A (ja)
EP (1) EP0252282B1 (ja)
JP (1) JPS6326470A (ja)
AT (1) ATE56510T1 (ja)
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